JP2010245159A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数の閾値を有し、ダストや不純物の局所的なばらつきによる歩留りの低下や、信頼性の低下を抑えることが可能な半導体装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板(Sub.)に形成された第1導電型のMOSFETと第2導電型のMOSFETを有し、前記第1導電型のMOSFETは、第1導電型の不純物を含む第1のゲート電極15aと、第2導電型の不純物を含む第2のゲート電極15bとを備え、前記第2導電型のMOSFETは、第1導電型の不純物を含む第3のゲート電極15cと、第2導電型の不純物を含む第4のゲート電極15dとを備える。
【選択図】図1
【解決手段】半導体基板(Sub.)に形成された第1導電型のMOSFETと第2導電型のMOSFETを有し、前記第1導電型のMOSFETは、第1導電型の不純物を含む第1のゲート電極15aと、第2導電型の不純物を含む第2のゲート電極15bとを備え、前記第2導電型のMOSFETは、第1導電型の不純物を含む第3のゲート電極15cと、第2導電型の不純物を含む第4のゲート電極15dとを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、例えば不純物のプレドーピングにより性能の向上を図ったMOSFETであって、複数の閾値を有する半導体装置とその製造方法に関する。
近年、CMOSFET(Complementary Metal Oxide Semiconductor Field Efect Transistor)などの半導体装置における微細化に伴い、ゲート電極へのプレドーピングによる高性能化が行われている。例えば、半導体基板上にゲート電極となるポリシリコン膜を形成した後、P型MOSFET、N型MOSFETそれぞれの領域において、それぞれP型、N型の不純物のプレドーピングを行うことにより、ゲート電極の空乏化率を低減させることができる(例えば特許文献1など参照)。
一方、CMOSFETなどの半導体装置において、複数の閾値を有する素子を併せて作りこむ手法が種々検討されている。例えば、半導体基板のP型MOSFET、N型MOSFETそれぞれの領域において、それぞれ複数回、チャネル不純物注入を行うことにより、所望の閾値に調整される(例えば特許文献2など参照)。
しかしながら、特に閾値の高いトランジスタを形成する場合は、高濃度の不純物注入が必要であるため、不純物の局所的なばらつきが大きくなるとともに、NBTI(Negative Bias Temperature Instability)により信頼性が低下するという問題が生じる。また、チャネル不純物注入の工程数が増加するとともに、増加した工程数分フォトレジストを剥離する工程数が増加するため、フォトレジストに起因するダストが増加するという問題がある。
本発明は、複数の閾値を有し、ダストや不純物の局所的なばらつきによる歩留りの低下を抑え、信頼性を向上させることが可能な半導体装置とその製造方法を提供することを目的とするものである。
本発明の一態様によれば、半導体基板に形成された第1導電型のMOSFETと第2導電型のMOSFETを有し、前記第1導電型のMOSFETは、第1導電型の不純物を含む第1のゲート電極と、第2導電型の不純物を含む第2のゲート電極とを備え、前記第2導電型のMOSFETは、第1導電型の不純物を含む第3のゲート電極と、第2導電型の不純物を含む第4のゲート電極とを備え、前記第1導電型のMOSFETおよび前記第2導電型のMOSFETがそれぞれ複数の閾値を有することを特徴とする半導体装置が提供される。
また、本発明の一態様によれば、半導体基板に第1導電型のMOSFET領域と、第2導電型のMOSFET領域を形成し、半導体基板上にゲート絶縁膜となる絶縁膜と、ゲート電極となる導電体膜を順次形成し、前記第1導電型のMOSFET領域における第1の領域の導電体膜と、前記第2導電型のMOSFET領域における第1の領域の導電体膜とに、選択的に第1導電型の不純物を前記半導体基板に到達しない条件で注入し、前記第1導電型のMOSFET領域における第2の領域の導電体膜と、前記第2導電型のMOSFET領域における第2の領域の導電体膜とに、選択的に第2導電型の不純物を前記半導体基板に到達しない条件で注入し、前記絶縁体膜と前記導電体膜を選択的に除去し、ゲート電極を形成し、前記第1導電型のMOSFET領域および前記第2導電型のMOSFET領域に、それぞれチャネル不純物を注入することを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
本発明の一実施態様によれば、複数の閾値を有する半導体装置とその製造方法において、ダストや不純物の局所的なばらつきによる歩留りの低下を抑え、信頼性を向上させることが可能となる。
以下本発明の実施形態について、図を参照して説明する。
図1に、本実施形態の半導体装置であるCMOSFETの断面図を示す。バルクSiからなる半導体基板(Sub.)に、N型MOSFET領域11と、P型MOSFET領域12が形成され、それぞれ、STI(Shallow Trench Isolation)などの素子分離領域13により素子分離されている。素子分離領域13により分離された各素子において、半導体基板(Sub.)上に、それぞれゲート絶縁膜14を介してゲート電極が形成されている。
N型MOSFET領域11においては、N型不純物であるリンが注入されたゲート電極15a、P型不純物であるホウ素が注入されたゲート電極15bが形成されている。P型MOSFET領域12においては、N型不純物であるリンが注入されたゲート電極15c、P型不純物であるホウ素が注入されたゲート電極15dが形成されている。各ゲート電極15a、15b、15c、15dには、それぞれゲート側壁16が形成されている。
半導体基板(Sub.)には、各ゲート電極15a、15b、15c、15dの直下を挟んで、シャロージャンクション(Shallow Junction)17、ソース−ドレイン拡散層18が形成されている。半導体基板(Sub.)上には、層間絶縁膜19が形成されており、さらに、層間絶縁膜19を貫通し、ゲート電極15a、15b、15c、15d、ソース−ドレイン拡散層18と接続するコンタクト20が形成されている。
このような半導体装置は、以下のようにして形成される。図2A〜図2Gに本実施形態の半導体装置の製造工程の断面図を示す。先ず、図2Aに示すように、半導体基板(Sub.)に素子分離領域13を形成し、リソグラフィにより、N型MOSFET領域となる領域上に開口部が設けられたフォトレジスト膜(図示せず)でマスクし、例えばホウ素を注入することにより、N型MOSFET領域11となるPウェルを形成する。フォトレジスト膜(図示せず)を剥離した後、リソグラフィにより、今度は、P型MOSFET領域となる領域を開口したフォトレジスト膜(図示せず)でマスクし、例えばリンを注入し、P型MOSFET領域12となるNウェルを形成した後、フォトレジスト膜(図示せず)を剥離する。
次いで、図2Bに示すように、N型MOSFET領域11、P型MOSFET領域12が形成された半導体基板(Sub.)上に、ゲート絶縁膜14となる例えば熱酸化膜21などを形成し、さらに、ゲート電極15a、15b、15c、15dとなる例えばポリシリコン膜22を堆積する。
次いで、図2Cに示すように、リソグラフィによりN型MOSFET領域11上、P型MOSFET領域12上のそれぞれ所定領域に開口部が設けられたフォトレジスト膜23でマスクし、ポリシリコン膜22に例えばリンをプレドーピングする。このとき、注入条件は、半導体基板(Sub.)に到達しない条件、例えば7KeV、6.0E+15(cm−2)とする。そして、フォトレジスト膜23をウェットエッチングにより剥離する。
次いで、図2Dに示すように、リソグラフィにより、今度は、N型MOSFET領域11上、P型MOSFET領域12上のそれぞれ所定領域に開口部が設けられたフォトレジスト膜24でマスクし、ポリシリコン膜22に例えばホウ素をプレドーピングする。このとき、注入条件は、半導体基板(Sub.)に到達しない条件、例えば1KeV、2.0E+15(cm−2)とする。そして、フォトレジスト膜24をウェットエッチングにより剥離する。
次いで、図2Eに示すように、不純物注入されたポリシリコン膜22を、リソグラフィによりゲート電極パターンが形成されたフォトレジスト膜(図示せず)でマスクし、RIE(Reactive Ion Etching)などの異方性エッチングを施すことにより、ゲート絶縁膜14、ゲート電極15a、15b、15c、15dを形成する。
そして、図2Fに示すように、ゲート電極15a、15b直下を挟んで例えば砒素を、ゲート電極15c、15d直下を挟んで例えばBF2をそれぞれ注入し、エクステンション(Extention)構造を形成する。さらに、これらより深い領域に、それぞれBF2、砒素を注入し、ハロー(Halo)構造を形成する。このようにして、N型MOSFET領域11、P型MOSFET領域12の各素子において、それぞれシャロージャンクション17を形成する。
次いで、図2Gに示すように、例えばSi酸化膜、Si窒化膜を堆積し、RIEなどの異方性エッチングを施すことにより、ゲート電極15a、15b、15c、15dにそれぞれゲート側壁16を形成する。そして、N型MOSFET領域11、P型MOSFET領域12の各素子において、それぞれリン、ホウ素を注入し、ソース−ドレイン拡散層18を形成する。
そして、上層にPMD(Pre−Metal Dielectric)などの層間膜19を堆積した後、ゲート電極15a、15b、15c、15d、ソース−ドレイン拡散層18に到達し、かつ上層に形成される多層配線(図示せず)と接続されるコンタクト20を形成する。このようにして、図1に示すようなCMOSFETが形成される。
形成されたCMOSFETにおいて、N型MOSFET、P型MOSFETは、ゲート電極15aとゲート電極15b、ゲート電極15cとゲート電極15dの仕事関数がそれぞれ異なることから、それぞれ二つの閾値を有している。図3に示すように、N型MOSFETにおけるゲート電極15aにリンが注入された素子a、P型MOSFETにおけるゲート電極15dにホウ素が注入された素子dは、低い閾値を有しており、例えばI/O回路などに用いられる。また、N型MOSFETにおけるゲート電極15bにホウ素が注入された素子a、P型MOSFETにおけるゲート電極15cにリンが注入された素子dは、高い閾値を有しており、例えば低リーク電流が要求される回路などに用いられる。
なお、このようなCMOSFETにおいて、N型MOSFET、P型MOSFETのチャネル不純物濃度は、素子aと素子b、素子cと素子dで実質的に等しくなっており、SIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy)などにより確認することができる。そして、素子aと素子b、素子cと素子dでは、ゲート電極に注入された元素が異なっており、EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)、SCM(Scanning Capacitance Microscope)などにより確認することができる。さらに、素子aと素子b、素子cと素子dでは、ゲート電極におけるポリシリコンの結晶粒径が異なっており、TEM(Transmission Electron Microscope)などにより確認することができる。
このようにして形成される複数の閾値を有するCMOSFETにおいて、高濃度の不純物注入を要することなく閾値を高くすることができるため、チャネル不純物濃度を低減できることから、素子間の局所的なばらつきの発生を抑えることができる。これによってSRAM(Static Random Access Memory)などの大規模メモリ装置における規模を増大させることができる。さらに、高濃度の不純物注入を要しないことから、NBTIによる信頼性の低下を抑えることが可能となる。
また、チャネル不純物の注入工程数を増加させることなく、単閾値の半導体装置と同様に2回のプレドーピングで複数の閾値を設けることができるため、製造コストを増大させないだけでなく、マスクとして用いられるレジスト膜の剥離の際に発生するダストを低減し、歩留りの低下を抑えることが可能となる。
このように、プレドーピングにより、ゲート電極の空乏化率を低減するとともに、同じ導電型のMOSFET中に注入される不純物を異なる導電型とすることにより、MOSFETの閾値を変動させることが可能となる。このとき、プレドーピングは、半導体基板に到達しない条件で行う必要がある。プレドーピングにより不純物が半導体基板に到達すると不純物がゲート絶縁膜を突き抜けて素子の特性変動を生じるからであるからである。このようなプレドーピングの条件としては、例えば、ポリシリコンの膜厚が80−150nmで、不純物がホウ素の場合、0.5−1KeV、1E+15−2E+15(cm−2)、不純物がリンの場合、5−10eV、3E+15−7E+15(cm−2)とすることができる。
本実施形態において、N型MOSFET領域、P型MOSFET領域において、それぞれN型不純物のプレドーピングを行う領域とP型不純物のプレドーピングを行う領域の2つの領域を設けたが、これらの領域はオーバーラップしてもよい。この場合、N型MOSFET領域、P型MOSFET領域において、それぞれN型不純物とP型不純物の両方が注入される領域が形成される。この領域における仕事関数は、N型不純物のみ、P型不純物のみが注入される領域と異なるため、さらに閾値の異なる領域を形成することができる。
なお、このようなN型およびP型不純物のプレドーピングは、必ずしもN型MOSFET領域、P型MOSFET領域の双方に行われる必要はなく、N型MOSFET領域、P型MOSFET領域の一方にだけ行われてもよい。
さらに、従来のチャネル不純物濃度の制御による多閾値化の手法を併せて用いてもよく、その場合もチャネル不純物濃度のみを制御する場合と比較して、工程の追加を抑える、あるいは閾値数を増大させることが可能となる。
本実施形態において、N型不純物としてリンを、P型不純物としてホウ素を用いているが、これらに限定されるものではなく、プレドーピングに通常用いられるAs、BF2などの不純物を用いることができる。また、半導体基板として、Si基板を用いたが、必ずしもバルクの単結晶Siウェハを用いる必要はなく、エピタキシャルSiウェハや、SOIウェハなどを用いることができる。
尚、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。その他要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
11…N型MOSFET領域
12…P型MOSFET領域
13…素子分離領域
14…ゲート絶縁膜
15a、15b、15c、15d…ゲート電極
16…ゲート側壁
17…シャロージャンクション
18…ソース−ドレイン拡散層
19…層間絶縁膜
20…コンタクト
21…熱酸化膜
22…ポリシリコン膜
23、24…フォトレジスト膜
12…P型MOSFET領域
13…素子分離領域
14…ゲート絶縁膜
15a、15b、15c、15d…ゲート電極
16…ゲート側壁
17…シャロージャンクション
18…ソース−ドレイン拡散層
19…層間絶縁膜
20…コンタクト
21…熱酸化膜
22…ポリシリコン膜
23、24…フォトレジスト膜
Claims (5)
- 半導体基板に形成された第1導電型のMOSFETと第2導電型のMOSFETを有し、
前記第1導電型のMOSFETは、第1導電型の不純物を含む第1のゲート電極と、第2導電型の不純物を含む第2のゲート電極とを備え、
前記第2導電型のMOSFETは、第1導電型の不純物を含む第3のゲート電極と、第2導電型の不純物を含む第4のゲート電極とを備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1導電型のMOSFETは、第1導電型の不純物および第2導電型の不純物を含む第3のゲート電極を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1導電型の不純物はリン、前記第2導電型の不純物はホウ素であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 半導体基板に第1導電型のMOSFET領域と、第2導電型のMOSFET領域を形成し、
半導体基板上にゲート絶縁膜となる絶縁膜と、ゲート電極となる導電体膜を順次形成し、
前記第1導電型のMOSFET領域における第1の領域の導電体膜と、前記第2導電型のMOSFET領域における第1の領域の導電体膜とに、選択的に第1導電型の不純物を前記半導体基板に到達しない条件で注入し、
前記第1導電型のMOSFET領域における第2の領域の導電体膜と、前記第2導電型のMOSFET領域における第2の領域の導電体膜とに、選択的に第2導電型の不純物を前記半導体基板に到達しない条件で注入し、
前記絶縁体膜と前記導電体膜を選択的に除去してゲート電極を形成し、
前記第1導電型のMOSFET領域および前記第2導電型のMOSFET領域に、それぞれチャネル不純物を注入することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1導電型のMOSFET領域における前記第1の領域と前記第1導電型のMOSFET領域における前記第2の領域と、前記第2導電型のMOSFET領域における前記第1の領域と前記第2導電型のMOSFET領域における前記第2の領域は、それぞれ前記第1の領域と前記第2の領域が重複した第3の領域を含むことを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
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JP2009090027A JP2010245159A (ja) | 2009-04-02 | 2009-04-02 | 半導体装置およびその製造方法 |
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JP2009090027A Pending JP2010245159A (ja) | 2009-04-02 | 2009-04-02 | 半導体装置およびその製造方法 |
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Cited By (1)
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JP2022015868A (ja) * | 2020-07-10 | 2022-01-21 | 信越半導体株式会社 | エピタキシャル成長条件の設定方法及びエピタキシャルウェーハの製造方法 |
-
2009
- 2009-04-02 JP JP2009090027A patent/JP2010245159A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2022015868A (ja) * | 2020-07-10 | 2022-01-21 | 信越半導体株式会社 | エピタキシャル成長条件の設定方法及びエピタキシャルウェーハの製造方法 |
JP7347350B2 (ja) | 2020-07-10 | 2023-09-20 | 信越半導体株式会社 | エピタキシャル成長条件の設定方法及びエピタキシャルウェーハの製造方法 |
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