JP2010239396A - Surface acoustic wave device - Google Patents

Surface acoustic wave device Download PDF

Info

Publication number
JP2010239396A
JP2010239396A JP2009085280A JP2009085280A JP2010239396A JP 2010239396 A JP2010239396 A JP 2010239396A JP 2009085280 A JP2009085280 A JP 2009085280A JP 2009085280 A JP2009085280 A JP 2009085280A JP 2010239396 A JP2010239396 A JP 2010239396A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resonator
electrode
electrode fingers
elastic wave
comb
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009085280A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Matsuda
隆志 松田
Michio Miura
道雄 三浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiyo Yuden Co Ltd filed Critical Taiyo Yuden Co Ltd
Priority to JP2009085280A priority Critical patent/JP2010239396A/en
Publication of JP2010239396A publication Critical patent/JP2010239396A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface acoustic wave device employing an interdigital electrode which can be reduced in size. <P>SOLUTION: In the surface acoustic wave device 8 which includes resonators 1, 2, the resonators 1, 2 is provided with a pair of interdigital electrodes 10, 20, 30, 40 and electrode fingers of each interdigital electrode are alternately disposed, side by side, in the surface acoustic wave propagation direction. A crossing width of the electrode fingers is varied in the surface acoustic wave propagation direction. The resonators 1, 2 are disposed side by side, in a direction vertical to the elastic wave propagation direction, and in the resonator 1. A portion S1, wherein the crossing width is shorter than the surroundings, in the resonator and a portion L2 where the crossing width is longer than the surroundings in the resonator 2 are disposed, at positions opposed in a direction vertical to the surface acoustic wave propagation direction. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば、通信機器等の電気回路に用いられる弾性波デバイスに関する。   The present invention relates to an elastic wave device used in an electric circuit such as a communication device.

携帯電話等に用いられる高周波デバイスは、小型化が必須である。弾性表面（SAW）を用いたフィルタ、デュープレクサは、小型軽量といった特徴で携帯電話の小型化に貢献してきたが、さらに小型化、高性能化が求められている。低損失化のため、SAWの共振器を用いたラダータイプフィルタが一般に用いられている。また、高性能化のためにデバイスの持つ温度特性を改善しようとする技術がある。その一つとして、SAWを励振する櫛形電極の表面を正の温度係数を持つSiO2等で覆い、温度特性を補償する技術がある。これは、SAWの中でもラブ波と呼ばれる波を使うものである（例えば、特許文献１参照）。このような櫛形電極を有する弾性波フィルタは、櫛形電極の開口長方向に高次のモード（横モード）が立ちやすく、それを抑える技術として交差幅に重み付けをつけるアポタイズ重み付けが用いられてきた（例えば、特許文献２および特許文献３参照）。 Miniaturization is essential for high-frequency devices used in mobile phones and the like. Filters and duplexers using elastic surfaces (SAW) have contributed to the miniaturization of mobile phones due to their small size and light weight, but further miniaturization and high performance are required. In order to reduce the loss, a ladder type filter using a SAW resonator is generally used. There is also a technology for improving the temperature characteristics of a device for higher performance. One of them is a technique for compensating temperature characteristics by covering the surface of a comb-shaped electrode for exciting SAW with SiO 2 or the like having a positive temperature coefficient. This uses a wave called a love wave among SAWs (see, for example, Patent Document 1). In such an acoustic wave filter having a comb-shaped electrode, a higher-order mode (transverse mode) is likely to stand in the opening length direction of the comb-shaped electrode. For example, see Patent Document 2 and Patent Document 3).

特開2007-251710号公報JP 2007-251710 A 特開平8-125490号公報JP-A-8-125490 特開平3-216010号公報Japanese Patent Laid-Open No. 3-216010 特許3119579号公報Japanese Patent No. 3119579

しかしながら、アポタイズ重み付けが成された櫛形電極は、励振に寄与しない電極（ダミー電極）が必要となる。そのため、ダミー電極の分だけ櫛形電極のサイズが大きくなってしまう。上記課題を鑑みて、本発明は、小型化が可能な櫛形電極を用いた弾性波デバイスを提供することを目的とする。   However, the comb-shaped electrode subjected to the apodization weighting requires an electrode (dummy electrode) that does not contribute to excitation. For this reason, the size of the comb electrode is increased by the amount of the dummy electrode. In view of the above problems, an object of the present invention is to provide an acoustic wave device using a comb-shaped electrode that can be miniaturized.

本願開示の弾性波デバイスは、圧電基板上に設けられた複数の共振器を含む弾性波デバイスであって、前記共振器は、前記圧電基板上に設けられた複数の電極指を有する、一組の櫛形電極を備える。前記一組の櫛形電極それぞれの電極指は、弾性波伝播方向に交互に並ぶように配置され、前記電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において変化している。前記複数の共振器は、弾性波伝播方向に垂直な方向に並んで配置されており、前記複数の共振器のうち１の共振器において前記交差幅が周りより短くなっている部分と、前記１の共振器の隣の共振器において交差幅が周りより長くなっている部分とが、前記弾性波伝播方向に垂直な方向において対向する位置に配置される。   An acoustic wave device of the present disclosure is an acoustic wave device including a plurality of resonators provided on a piezoelectric substrate, and the resonator includes a plurality of electrode fingers provided on the piezoelectric substrate. The comb-shaped electrode is provided. The electrode fingers of each of the pair of comb-shaped electrodes are arranged alternately in the elastic wave propagation direction, and the cross width of the electrode fingers changes in the elastic wave propagation direction. The plurality of resonators are arranged side by side in a direction perpendicular to the elastic wave propagation direction, and a portion of the plurality of resonators in which the crossing width is shorter than the surroundings; In the resonator adjacent to the resonator, the portion where the crossing width is longer than the surrounding is disposed at a position facing in the direction perpendicular to the elastic wave propagation direction.

本願開示によれば、櫛形電極を用いた弾性波デバイスの小型化が可能になる。   According to the present disclosure, it is possible to reduce the size of an acoustic wave device using comb electrodes.

第１の実施形態にかかる弾性波デバイスの上面図The top view of the elastic wave device concerning a 1st embodiment 図１に示す共振器の境界について説明するための図The figure for demonstrating the boundary of the resonator shown in FIG. 比較のための弾性波デバイスの上面図Top view of acoustic wave device for comparison 比較のための弾性波デバイスの上面図Top view of acoustic wave device for comparison 第１の実施形態にかかる弾性波デバイスの変形例の上面図The top view of the modification of the elastic wave device concerning a 1st embodiment 第２の実施形態にかかる弾性波デバイスの上面図Top view of elastic wave device according to second embodiment 第２の実施形態にかかる弾性波デバイスの変形例を示す上面図The top view which shows the modification of the elastic wave device concerning 2nd Embodiment 電極指の周期が異なる櫛形電極が互いに接続される場合の例を示す上面図Top view showing an example in which comb-shaped electrodes having different electrode finger cycles are connected to each other 通信機器の構成例を示す図Diagram showing a configuration example of communication equipment

以下、本発明の実施形態について図面を参照して具体的に説明する。   Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.

（第１の実施形態）
［弾性波デバイスの構成］
図１は、第１の実施形態にかかる弾性波デバイスの上面図である。図１に示す弾性波デバイス８は、圧電基板７上に直列に接続された２つの共振器１、２を備える。共振器１は、弾性波を励起させる一組の櫛形電極１０、２０と、当該弾性波の伝播方向の両側に設けられた反射器３ａ、３ｂとを備える。櫛形電極１０、２０は、等間隔で平行に並ぶ複数の電極指１１、２１と、これら電極指１１、２１が接続されるバスバー１２、２２を有する。櫛形電極１０、２０それぞれの電極指１１、２１が交互にかつ平行に並ぶように一組の櫛形電極１０、２０は配置されている。弾性波は、電極指１１、２１に垂直な方向に伝播する。 (First embodiment)
[Configuration of elastic wave device]
FIG. 1 is a top view of the acoustic wave device according to the first embodiment. The acoustic wave device 8 shown in FIG. 1 includes two resonators 1 and 2 connected in series on a piezoelectric substrate 7. The resonator 1 includes a pair of comb electrodes 10 and 20 that excite an elastic wave, and reflectors 3a and 3b provided on both sides in the propagation direction of the elastic wave. The comb electrodes 10 and 20 have a plurality of electrode fingers 11 and 21 arranged in parallel at equal intervals, and bus bars 12 and 22 to which the electrode fingers 11 and 21 are connected. The pair of comb electrodes 10 and 20 are arranged so that the electrode fingers 11 and 21 of the comb electrodes 10 and 20 are arranged alternately and in parallel. The elastic wave propagates in a direction perpendicular to the electrode fingers 11 and 21.

なお、櫛形電極１０、２０は、ＩＤＴ(Inter Digital Transducer)電極とも称される。また、本実施形態では、複数の電極指とそれらが接続されるバスバーとを含む電極を櫛形電極としている。そして、２つの櫛形電極１０、２０（上下の櫛形電極とも称される）が、一組の櫛形電極として共振器を構成している例について説明している。   The comb electrodes 10 and 20 are also referred to as IDT (Inter Digital Transducer) electrodes. In the present embodiment, an electrode including a plurality of electrode fingers and a bus bar to which they are connected is a comb-shaped electrode. An example in which two comb-shaped electrodes 10 and 20 (also referred to as upper and lower comb-shaped electrodes) constitute a resonator as a pair of comb-shaped electrodes is described.

櫛形電極１０の電極指１１が、隣の電極指２１（他方の櫛形電極２０の電極指２１）と、弾性波の伝播方向において重なる（＝交差する）部分の長さ（＝交差幅）は、弾性波の伝播方向において変化している。すなわち、櫛形電極１０、２０の電極指１１、２１にはアポタイズ重み付けが施されている。共振器１においては、交差幅が周りより短くなっている部分Ｓ１と、交差幅が周りより長くなっている部分Ｌ１とが弾性波の伝播方向において周期的に現れるよう、アポタイズ重み付けされている。ここでは、交差幅の２つのピークおよびピークの両側の谷（３箇所）が周期的に現れている。   The length (= intersection width) of the portion where the electrode finger 11 of the comb electrode 10 overlaps (= intersects) with the adjacent electrode finger 21 (the electrode finger 21 of the other comb electrode 20) in the propagation direction of the elastic wave is It changes in the propagation direction of the elastic wave. In other words, the electrode fingers 11 and 21 of the comb-shaped electrodes 10 and 20 are subjected to apodization weighting. In the resonator 1, the portion S1 in which the crossing width is shorter than the surroundings and the portion L1 in which the crossing width is longer than the surroundings are weighted so as to appear periodically in the propagation direction of the elastic wave. Here, two peaks of intersection width and valleys (three places) on both sides of the peak appear periodically.

交差幅が短い部分Ｓ１から交差幅が長い部分Ｌ１にかけては、交差幅の電極指ごとの増加量は一定であり、交差幅が短い部分Ｓ１から交差幅が長い部分Ｌ１にかけては、交差幅の電極指ごとの減少量は一定である。   From the portion S1 having a short intersection width to the portion L1 having a long intersection width, the amount of increase in the electrode width of each of the electrode fingers is constant, and from the portion S1 having a short intersection width to the portion L1 having a large intersection width, The amount of reduction for each finger is constant.

共振器２も共振器１と同様の構成である。すなわち、電極指３１およびバスバー２２を有する櫛形電極３０と、電極指４１、バスバー４２を有する櫛形電極４０とが、それぞれの電極指が交互かつ平行に並ぶように配置される。櫛形電極３０、４０の両側には、反射器４ａ、４ｂが設けられる。共振器２におけるアポタイズ重み付けも共振器１と同様である。   The resonator 2 has the same configuration as the resonator 1. That is, the comb-shaped electrode 30 having the electrode fingers 31 and the bus bars 22 and the comb-shaped electrodes 40 having the electrode fingers 41 and the bus bars 42 are arranged so that the respective electrode fingers are arranged alternately and in parallel. Reflectors 4a and 4b are provided on both sides of the comb electrodes 30 and 40, respectively. Apodization weighting in the resonator 2 is the same as that in the resonator 1.

ここで、共振器２の一方の櫛形電極３０は、隣接する共振器１の櫛形電極２０とバスバー２２を共有している。すなわち、櫛形電極２０のバスバー２２と櫛形電極３０のバスバー２２にもなっている。これにより、共振器１と共振器２と接続される。なお、共振器１、２それぞれ櫛形電極にバスバーを設け、バスバー間を配線で接続してもよい。   Here, one comb electrode 30 of the resonator 2 shares the bus bar 22 with the comb electrode 20 of the adjacent resonator 1. That is, the bus bar 22 of the comb electrode 20 and the bus bar 22 of the comb electrode 30 are also provided. Thereby, the resonator 1 and the resonator 2 are connected. Note that a bus bar may be provided on each of the resonator electrodes 1 and 2 and the bus bars may be connected by wiring.

図１に示す例では、共振器１における、共振器２に接続されていない方のバスバー１２には端子電極５が、共振器２におけるバスバー４２には端子電極６が接続されている。端子電極５、６間で、２つの共振器１、２が直列接続された構成となる。   In the example shown in FIG. 1, the terminal electrode 5 is connected to the bus bar 12 that is not connected to the resonator 2 in the resonator 1, and the terminal electrode 6 is connected to the bus bar 42 in the resonator 2. The two resonators 1 and 2 are connected in series between the terminal electrodes 5 and 6.

共振器１において、交差幅が周りより大きくなっている部分Ｌ１は、共振器２において交差幅が回りより小さくなっている部分Ｓ１に対向する位置に配置される。すなわち、共振器１において交差幅が最大になっている部分Ｌ１と、共振器２において交差幅が最小になっている部分Ｓ２が、弾性波の伝播方向に垂直な方向に並ぶように配置される。この配置により、櫛形電極において、励振に寄与しないダミー電極部分の面積を減らし、基板上のスペースを有効に活用することができる。   In the resonator 1, the portion L <b> 1 where the crossing width is larger than the surroundings is disposed at a position facing the portion S <b> 1 where the crossing width is smaller than the turning in the resonator 2. That is, the portion L1 having the maximum crossing width in the resonator 1 and the portion S2 having the minimum crossing width in the resonator 2 are arranged in a direction perpendicular to the propagation direction of the elastic wave. . With this arrangement, in the comb-shaped electrode, the area of the dummy electrode portion that does not contribute to excitation can be reduced, and the space on the substrate can be used effectively.

図１に示す例では、共振器１における交差幅の変化の周期と、共振器２における交差幅の変化の周期は同じなので、共振器１における交差幅の３箇所の谷のうち２箇所に、共振器２における交差幅の２つのピークを対向させて配置することが可能である。このように、複数の共振器において、電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において一定の周期で極大および極小になるように変化しており、１つの共振器において交差幅が極大になっている部分と、隣の共振器において交差幅が極小になっている部分とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において対向するように、複数の共振器が配置されることが好ましい。これにより、１の共振器の交差幅極大の部分を、隣の共振器の交差幅極小の部分に、より効率よく適合させて配置することが可能になる。   In the example shown in FIG. 1, since the period of change of the crossing width in the resonator 1 is the same as the period of change of the crossing width in the resonator 2, two of the three valleys of the crossing width in the resonator 1 are It is possible to arrange the two crossing width peaks in the resonator 2 to face each other. As described above, in a plurality of resonators, the crossing width of the electrode fingers changes so as to become maximum and minimum at a constant period in the elastic wave propagation direction, and the crossing width becomes maximum in one resonator. It is preferable that the plurality of resonators are arranged so that the portion where the crossing width is minimized in the adjacent resonator is opposed to the portion in which the adjacent resonator is in the direction perpendicular to the elastic wave propagation direction. As a result, it is possible to more efficiently match and arrange the portion having the maximum cross width of one resonator with the portion having the minimum cross width of the adjacent resonator.

また、共振器１における電極指１１、２１の交差部分の一部と、共振器２における電極指３１、４１の交差部分とは、弾性波伝播方向において重なるようにアポタイズ重み付けが施されている。そのため、交差部分が重なる分だけ、開口長方向のサイズを小さくすることができる。   In addition, a part of the intersection of the electrode fingers 11 and 21 in the resonator 1 and the intersection of the electrode fingers 31 and 41 in the resonator 2 are subjected to apodization weighting so as to overlap in the elastic wave propagation direction. For this reason, the size in the opening length direction can be reduced by an amount corresponding to the overlapping portions.

ここで、互いに接続される、共振器１の櫛形電極２０と、共振器２の櫛形電極３０との境界の形状について説明する。図２は、図１に示す共振器１、２の境界について説明するための図である。図２に示す例では、共振器１における櫛形電極２０の電極指２１と櫛形電極１０の電極指１１との交差部分（互いに対向している部分）は、励振に寄与する部分と言える。同様に、共振器２において、櫛形電極３０の電極指３１と、櫛形電極４０の電極指４１との交差部分が励振に寄与する部分と言える。この共振器１の励振に寄与する部部と、共振器２の励振に寄与する部分とを弾性波伝播方向に垂直な方向に結ぶ線の中点Ｒの集合により表される線を境界Ｋとしている。すなわち、互いに接続される上下の櫛型電極２０、３０間のバスバーに相当する部分（励振に寄与しない櫛型電極部分と交差部分との境界の点Ｐ１、Ｐ２を結ぶ線の中点により表される線を櫛型電極２０、３０の境界Ｋとしている。   Here, the shape of the boundary between the comb-shaped electrode 20 of the resonator 1 and the comb-shaped electrode 30 of the resonator 2 that are connected to each other will be described. FIG. 2 is a diagram for explaining the boundary between resonators 1 and 2 shown in FIG. In the example shown in FIG. 2, it can be said that the intersecting portion (the portion facing each other) of the electrode finger 21 of the comb electrode 20 and the electrode finger 11 of the comb electrode 10 in the resonator 1 is a portion contributing to excitation. Similarly, in the resonator 2, it can be said that the intersection of the electrode finger 31 of the comb-shaped electrode 30 and the electrode finger 41 of the comb-shaped electrode 40 contributes to excitation. A line represented by a set of midpoints R connecting the part contributing to the excitation of the resonator 1 and the part contributing to the excitation of the resonator 2 in a direction perpendicular to the elastic wave propagation direction is defined as a boundary K. Yes. That is, the portion corresponding to the bus bar between the upper and lower comb electrodes 20 and 30 connected to each other (represented by the midpoint of the line connecting the points P1 and P2 of the boundary between the comb electrode portion that does not contribute to excitation and the intersecting portion) This line is the boundary K between the comb electrodes 20 and 30.

本実施形態では、境界Ｋは、櫛形電極１０、２０における電極指の交差部分の包絡線Ｆ２に沿った形となる。すなわち、櫛形電極２０と櫛形電極３０の境界に位置するバスバー２２は、櫛形電極１０、２０における電極指の交差部分の包絡線Ｆ２の一部と同じ形状である。これにより、ダミー電極をより減少させることができ、スペースをより効率よく使用することができる。   In the present embodiment, the boundary K has a shape along the envelope F2 of the intersecting portion of the electrode fingers in the comb electrodes 10 and 20. That is, the bus bar 22 positioned at the boundary between the comb electrode 20 and the comb electrode 30 has the same shape as a part of the envelope F2 at the intersection of the electrode fingers of the comb electrodes 10 and 20. Thereby, dummy electrodes can be further reduced, and space can be used more efficiently.

なお、図１、２に示す例では、櫛形電極１０、２０における電極指交差部分の包絡線Ｆ１、Ｆ２は、複数のピークまたは谷を含む折れ線で表されている。アポタイズ重み付けを電極指の交差部分の包絡線は、上記例に限られない。例えば、包絡線は、正弦歯曲線のような波形や、その他の曲線であってもよい。   In the example shown in FIGS. 1 and 2, the envelopes F <b> 1 and F <b> 2 at the electrode finger intersections in the comb electrodes 10 and 20 are represented by broken lines including a plurality of peaks or valleys. The envelope of the intersection of the electrode fingers with respect to the apodization weighting is not limited to the above example. For example, the envelope may be a waveform such as a sinusoidal curve or another curve.

また、本実施形態では、共振器１において交差幅が周りよりも短くなっている部分の電極指１１とバスバー２２とが接続される部分で、バスバー２２は、共振器１の電極指１１、２１の交差部分（共振部）方向へ屈曲している。すなわち、バスバー２２は、電極指１１、２１の交差幅が短い部分では、バスバーは交差幅の短い部分の方向へ屈曲して形成される。このように、バスバーを交差幅の短い側へ屈曲させることで、共振器の面積を縮小し、基板上のスペースを有効に活用することができる。   In the present embodiment, the bus bar 22 is connected to the electrode fingers 11 and 21 of the resonator 1 where the electrode fingers 11 and the bus bars 22 of the resonator 1 where the crossing width is shorter than the surroundings are connected. Are bent in the direction of the intersecting part (resonant part). That is, the bus bar 22 is formed by bending the bus bar toward the portion where the crossing width is short at the portion where the crossing width of the electrode fingers 11 and 21 is short. In this way, by bending the bus bar to the side with the short intersection width, the area of the resonator can be reduced, and the space on the substrate can be effectively utilized.

また、図１に示す例では、共振器１、２間の共有のバスバー２２が屈曲しているが、共振器１、２間を接続するバスバー２２のみでなく、共振器１、２の端子電極に接続される側のバスバー１２、４２が内側（交差部分側へ）屈曲していてもよい。これにより、共振器の面積をさらに縮小し、基板上のスペースをさらに有効に活用することができる。   In the example shown in FIG. 1, the shared bus bar 22 between the resonators 1 and 2 is bent, but not only the bus bar 22 connecting the resonators 1 and 2 but also the terminal electrodes of the resonators 1 and 2. The bus bars 12 and 42 on the side to be connected to may be bent inward (to the intersecting portion). Thereby, the area of the resonator can be further reduced, and the space on the substrate can be utilized more effectively.

［効果、その他］
図３および図４は、比較のための弾性波デバイスの上面図である。図３、４に示す弾性波デバイスでは、アポタイズ重み付けされた櫛形電極を備えた共振器１５および共振器１６が、直列に接続されている。図３では、共振器１５と共振器１６は、配線パターン１７で接続されている。図４では、共振器１５と共振器１６は、バスバー１８を共有している。図３、４いずれの場合も、共振器１５における、電極指の交差幅の極大部分と、共振器１６における電極指の交差幅の極大部分とが対向するように配置されている。 [Effects, other]
3 and 4 are top views of an acoustic wave device for comparison. In the acoustic wave device shown in FIGS. 3 and 4, the resonator 15 and the resonator 16 having comb-shaped electrodes weighted with apodization are connected in series. In FIG. 3, the resonator 15 and the resonator 16 are connected by a wiring pattern 17. In FIG. 4, the resonator 15 and the resonator 16 share the bus bar 18. 3 and 4, the resonator 15 is disposed such that the maximum portion of the crossing width of the electrode fingers in the resonator 15 and the maximum portion of the crossing width of the electrode fingers in the resonator 16 are opposed to each other.

これに対して、図１、２では、共振器１の交差幅の極大部分Ｌ１と、共振器２の交差幅の極小部分Ｓ２とが、対向するように配置されている。そのため、図３、４に示す構成に比べて、互いに接続される櫛形電極２０、３０間の距離を小さくできる。その結果、図１、２に示す弾性波デバイスの開口長方向のサイズＨ１は、図３、４に示す弾性波デバイスの開口長方向のサイズＨ２、Ｈ３いずれよりも小さくすることができる。すなわち、弾性波デバイスの小型化が可能になる。   On the other hand, in FIGS. 1 and 2, the maximum portion L1 of the crossing width of the resonator 1 and the minimum portion S2 of the crossing width of the resonator 2 are arranged so as to face each other. Therefore, the distance between the comb electrodes 20 and 30 connected to each other can be reduced as compared with the configuration shown in FIGS. As a result, the size H1 in the opening length direction of the acoustic wave device shown in FIGS. 1 and 2 can be made smaller than both the sizes H2 and H3 in the opening length direction of the acoustic wave device shown in FIGS. That is, the acoustic wave device can be downsized.

携帯電話等向けの櫛形電極を有する弾性波デバイスには、圧電基板として、例えば、LiTaO3が用いられる。また、ラブ波の実用化と広帯域化の要求から、電気機械結合係数k2のより大きなLiNbO3基板も用いられることもある。LiTaO3基板に対し、LiNbO3基板は、櫛形電極の開口長方向に高次のモード（横モード）が立ちやすく、それを抑える技術として、アポタイズ重み付けが好適に用いられる。 For example, LiTaO 3 is used as a piezoelectric substrate in an acoustic wave device having a comb electrode for a mobile phone or the like. In addition, LiNbO 3 substrates having a larger electromechanical coupling coefficient k 2 may be used because of the practical use of Love waves and the demand for wider bandwidth. In contrast to the LiTaO 3 substrate, the LiNbO 3 substrate is likely to have a higher-order mode (transverse mode) in the opening length direction of the comb-shaped electrode.

ところで、櫛形電極の電極指の周期λは、用いる圧電基板の音速vとフィルタの周波数fによっておおよそ決まり、それらの関係は、例えば、（式）v=fλで表すことができる。櫛形電極の対数（ついすう）は、所望のインピーダンスによって決まる。したがって、圧電基板とフィルタの周波数が決まれば、櫛形電極のサイズもほぼ決まる。そのため、従来の櫛形電極の構成では、それ以上の小型化が困難であった。本実施形態によれば、アポタイズ重み付けにより、高次モードを有効に抑えつつも、櫛形電極の小型化が可能になる。   By the way, the period λ of the electrode fingers of the comb-shaped electrode is roughly determined by the sound velocity v of the piezoelectric substrate to be used and the frequency f of the filter, and their relationship can be expressed by, for example, (formula) v = fλ. The number of comb electrodes is determined by the desired impedance. Therefore, when the frequencies of the piezoelectric substrate and the filter are determined, the size of the comb electrode is also substantially determined. Therefore, it is difficult to further reduce the size of the conventional comb electrode configuration. According to the present embodiment, it is possible to reduce the size of the comb-shaped electrode while effectively suppressing the higher-order mode by the apodizing weighting.

（変形例）
図５は、第１の実施形態にかかる弾性波デバイスの変形例の上面図である。図５において、図１および図２と同じ部分には、同じ番号を付している。図５に示す弾性波デバイス８ａにおいては、図１にしめすように互いに接続される櫛形電極２０、３０がバスバー２２を共有する代わりに、隣り合う共振器間１，２において互いに接続される櫛形電極２０、３０が電極指１９を共有している。これにより、バスバー２２を一部省略できる。バスバーの省略によりさらなる小型化が可能になる。 (Modification)
FIG. 5 is a top view of a modification of the acoustic wave device according to the first embodiment. 5, the same parts as those in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals. In the acoustic wave device 8 a shown in FIG. 5, the comb electrodes 20, 30 connected to each other as shown in FIG. 1 share the bus bar 22, but are connected to each other between the adjacent resonators 1, 2. 20 and 30 share the electrode finger 19. Thereby, a part of bus bar 22 can be omitted. Further reduction in size is possible by omitting the bus bar.

すなわち、櫛形電極２０の交差部分と櫛形電極３０の交差部分とが弾性波の伝播方向に垂直な方向において対向している部分では、櫛形電極２０と櫛形電極３０は、電極指１９を共有している。すなわち、共振器１の他方（共振器２に接続されていない方）の櫛形電極１０の電極指１１と、共振器２における他方（共振器１に接続されていない方）の櫛形電極４０の電極指４１との間には、共通の電極指１９が設けられている。電極指１９は、櫛形電極２０の電極指であり、櫛形電極３０の電極指でもある。なお、櫛形電極２０の交差部分と櫛形電極３０の交差部分が対向していない部分には、バスバー２２、３２が設けられる。このように、櫛形電極は、バスバーと、バスバーに接続される複数の電極指を備える構成に限られず、複数の電極指のみを備える構成であってもよい。   That is, in the portion where the intersecting portion of the comb electrode 20 and the intersecting portion of the comb electrode 30 face each other in the direction perpendicular to the propagation direction of the elastic wave, the comb electrode 20 and the comb electrode 30 share the electrode finger 19. Yes. That is, the electrode finger 11 of the comb-shaped electrode 10 on the other side (not connected to the resonator 2) of the resonator 1 and the electrode of the comb-shaped electrode 40 on the other side (not connected to the resonator 1) of the resonator 2 A common electrode finger 19 is provided between the finger 41. The electrode finger 19 is an electrode finger of the comb-shaped electrode 20 and also an electrode finger of the comb-shaped electrode 30. Note that bus bars 22 and 32 are provided at portions where the intersecting portion of the comb-shaped electrode 20 and the intersecting portion of the comb-shaped electrode 30 do not face each other. Thus, the comb-shaped electrode is not limited to a configuration including a bus bar and a plurality of electrode fingers connected to the bus bar, and may be configured to include only a plurality of electrode fingers.

そして、互いに接続される櫛形電極２０、３０間の境界Ｋは、櫛形電極２０の交差部分の包絡線Ｆ２に沿った形状となっている。図５に示す構成の弾性波デバイスも、図１のバスバー２２を有する場合と同様に、直列に接続された２つの共振器として機能する。また、境界Ｋが、櫛形電極２０の交差部分の包絡線Ｆ２に沿った形状となるため、ダミー電極をより減少させることができ、スペースをより効率よく使用することができる。なお、本変形例のようなバスバーの省略は、電極指の周期が同じ共振器を接続する場合に、特に有効である。   The boundary K between the comb electrodes 20 and 30 connected to each other has a shape along the envelope F2 at the intersection of the comb electrodes 20. The acoustic wave device having the configuration shown in FIG. 5 also functions as two resonators connected in series as in the case of having the bus bar 22 of FIG. In addition, since the boundary K has a shape along the envelope F2 at the intersecting portion of the comb electrode 20, the dummy electrodes can be further reduced, and the space can be used more efficiently. The omission of the bus bar as in this modification is particularly effective when connecting resonators having the same electrode finger period.

（第２の実施形態）
図６は、第２の実施形態にかかる弾性波デバイスの上面図である。図５において、図１および図２と同じ部分には、同じ番号を付している。図６に示す弾性波デバイス８ｂは、２つの端子電極５、６間で直列に接続された２つの共振器１、２を含む。 (Second Embodiment)
FIG. 6 is a top view of the acoustic wave device according to the second embodiment. 5, the same parts as those in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals. The acoustic wave device 8b shown in FIG. 6 includes two resonators 1 and 2 connected in series between the two terminal electrodes 5 and 6.

共振器１では、バスバー１２に接続された電極指１１と、共有の電極指１９との交差部分で弾性波が励振される。共振器２では、共有の電極指１９とバスバー４２に接続された電極指４１との交差部分で弾性波が励振される。共振器１における電極指１１、１９の交差幅は、周期的に現れる２つの極大部分と、極大部分の両側の極小部分を有するように、アポタイズ重み付けされている。共振器２における電極指１９、４１の交差幅は共振器１における２つの極大部分が極小になり、共振器１の極小部分において極大になるようにアポタイズ重み付けされている。   In the resonator 1, an elastic wave is excited at the intersection of the electrode finger 11 connected to the bus bar 12 and the common electrode finger 19. In the resonator 2, an elastic wave is excited at the intersection of the shared electrode finger 19 and the electrode finger 41 connected to the bus bar 42. The intersection width of the electrode fingers 11 and 19 in the resonator 1 is apodized so as to have two maximum portions that appear periodically and minimum portions on both sides of the maximum portion. The intersection width of the electrode fingers 19 and 41 in the resonator 2 is apodized and weighted so that the two maximum portions in the resonator 1 become minimum and the maximum in the resonator 1 becomes maximum.

また、共振器１における櫛形電極１０と共振器２における櫛形電極４０との境界Ｋは、共振器１における電極指１１、１９の交差部分の包絡線および共振器２における電極指１９、４１の交差部分の包絡線と同じ形状になっている。   The boundary K between the comb-shaped electrode 10 in the resonator 1 and the comb-shaped electrode 40 in the resonator 2 is defined by the envelope of the intersection of the electrode fingers 11 and 19 in the resonator 1 and the intersection of the electrode fingers 19 and 41 in the resonator 2. It has the same shape as the envelope of the part.

さらに、互いに接続される共振器１および共振器２の電極指交差部分の伝搬路方向の長さは、共振器１、２いずれか１つの共振器の電極指交差部分の長さと同じになるように、それぞれの交差部分が配置されている。すなわち、互いに接続される櫛形電極の伝搬路方向の長さＬ１が、一つの櫛形電極よりも大きくならない。このように、アポタイズ位置を設定することで、伝搬方向のサイズは大きくならず、開口長方向のサイズを小さくできる。   Further, the length in the propagation path direction of the electrode finger crossing portions of the resonator 1 and the resonator 2 connected to each other is the same as the length of the electrode finger crossing portion of one of the resonators 1 and 2. The respective intersecting portions are arranged. That is, the length L1 of the comb electrodes connected to each other in the propagation path direction is not larger than that of one comb electrode. Thus, by setting the apodized position, the size in the propagation direction is not increased, and the size in the opening length direction can be reduced.

（変形例）
図７は、第２の実施形態にかかる弾性波デバイスの変形例を示す上面図である。図７に示す弾性波デバイス８ｃでは、対数の異なる共振器１、２が直列に接続されている。共振器１における交差幅の極大部分が、共振器２における交差幅が極小部分に対向するようにアポタイズ重み付けが設定される。共振器１の電極指１１、１９の交差部分と、共振器２の電極指１９、４１の交差部分とが対向する部分では、電極指１９を、共振器１と共振器２で共有されている。図７に示す構成により、伝搬方向のサイズは変えず、かつ、交差幅の最大値も変えずに、小型化が可能になる。 (Modification)
FIG. 7 is a top view showing a modification of the acoustic wave device according to the second embodiment. In the acoustic wave device 8c shown in FIG. 7, resonators 1 and 2 having different logarithms are connected in series. Apodization weighting is set so that the maximum portion of the crossing width in the resonator 1 faces the minimum portion of the crossing width in the resonator 2. The electrode finger 19 is shared by the resonator 1 and the resonator 2 at a portion where the intersecting portion of the electrode fingers 11 and 19 of the resonator 1 and the intersecting portion of the electrode fingers 19 and 41 of the resonator 2 face each other. . With the configuration shown in FIG. 7, the size can be reduced without changing the size in the propagation direction and without changing the maximum value of the crossing width.

［その他の変形例］
上記実施形態においては、互いに接続される共振器１、２双方における電極指の交差部分の包絡線の形状が同じである場合を説明したが、必ずしも同じでなくてもよい。例えば、交差幅の極大値が異なる場合であっても、共振器１の交差幅極大部分と共振器２の交差幅極小部分を対向させて配置することで、小型化は可能である。 [Other variations]
In the above-described embodiment, the case where the shapes of the envelopes of the intersecting portions of the electrode fingers in both resonators 1 and 2 connected to each other is the same, but it is not necessarily the same. For example, even if the maximum value of the crossing width is different, the crossing width maximum portion of the resonator 1 and the crossing width minimum portion of the resonator 2 are arranged to face each other, so that downsizing is possible.

また、交差幅の変化の周期が共振器１、２で異なる場合も、共振器１の交差幅極大部分を、共振器２の交差幅極小部分の付近に対向させて配置することで、小型化は可能である。   Further, even when the period of change of the crossing width is different between the resonators 1 and 2, the crossing width maximum portion of the resonator 1 is disposed near the minimum crossing width portion of the resonator 2, thereby reducing the size. Is possible.

また、共振器周波数（周期）が異なる複数の共振器を接続する場合も、同様に、小型化が可能である。例えば、共振器周波数が異なる共振器は、互いに接続される櫛形電極の電極指の周期が異なる。例えば、図１に示すように互いに接続される櫛形電極間に共有のバスバーを設けることで、電極指の周期が異なる共振器を接続することができる。   Similarly, when a plurality of resonators having different resonator frequencies (periods) are connected, the size can be reduced. For example, resonators having different resonator frequencies have different periods of electrode fingers of comb electrodes connected to each other. For example, as shown in FIG. 1, by providing a common bus bar between comb-shaped electrodes connected to each other, resonators having different electrode finger cycles can be connected.

図８は、電極指の周期が異なる櫛形電極が互いに接続される場合の例を示す上面図である。図８において、図６と同じ部分には同じ符号を付している。図８に示す例では、共振器１における櫛形電極１０の電極指１１の周期と、共振器２ａにおける櫛形電極４０ａの電極指４１ａの周期は異なっている。電極指１１は、弾性波伝播方向において、共有の電極指１９の一部と対向（交差）している。電極指４１ａも、また、共有の電極指１９の他の部分と対向（交差）している。電極指１１と電極指１９の交差部分と、電極指４１ａと電極指１９との交差部分との間の領域において、電極指１９が曲げて形成されている。このように、共有の電極指１９の一部を曲げて形成することで、周期の異なる電極指を持つ共振器１、２ａを接続している。   FIG. 8 is a top view showing an example in which comb-shaped electrodes having different electrode finger cycles are connected to each other. In FIG. 8, the same parts as those in FIG. In the example shown in FIG. 8, the period of the electrode finger 11 of the comb electrode 10 in the resonator 1 is different from the period of the electrode finger 41a of the comb electrode 40a in the resonator 2a. The electrode finger 11 faces (crosses) a part of the shared electrode finger 19 in the elastic wave propagation direction. The electrode finger 41a also faces (crosses) the other part of the shared electrode finger 19. The electrode finger 19 is bent and formed in a region between the intersection of the electrode finger 11 and the electrode finger 19 and the intersection of the electrode finger 41 a and the electrode finger 19. Thus, by forming a part of the shared electrode finger 19 by bending, the resonators 1 and 2a having electrode fingers having different periods are connected.

例えば、共振器を直列と並列に接続したラダータイプフィルタでは、直列共振器の共振周波数と、並列共振器の***振周波数がほぼ一致するように櫛形電極は調整されている。しかし、直列共振器どうしでも所望の特性を得るために、周波数（周期）が異なっている場合がある。また、フィルタの並列腕に、複数の周波数（周期）の異なる共振器を直列に接続したものを挿入する場合もある。このような場合でも、上記実施形態を適用できる
また、以上の実施形態では、開口幅方向の縮小を最優先にした場合の例を説明した。すなわち、共振器の交差幅が周りより最も短くなっている部分（谷の位置）、隣の共振器の交差幅が周りより最も長くなっている部分（ピークの位置）とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において同じ位置にある例を説明した。一方の共振器における交差幅が極大の位置と、その隣の共振器における交差幅が極小の位置とは、弾性波伝播方向において厳密に一致する必要は必ずしもない。例えば、上記極小位置と上記極大位置とが少々ずれていても、共振器の交差幅が周りより短くなっている部分と、隣の共振器の交差幅が周りより長くなっている部分とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において対向する位置にあれば、共振器の面積を縮小させ、面積の有効利用が可能になる。このような面積の縮小効果と、その他の種々の条件とのバランスを考慮して、適切に電極指を配置することが好ましい。 For example, in a ladder type filter in which resonators are connected in series and in parallel, the comb-shaped electrode is adjusted so that the resonance frequency of the series resonator and the anti-resonance frequency of the parallel resonator substantially coincide. However, the frequency (period) may be different between the series resonators in order to obtain desired characteristics. In addition, a plurality of resonators having different frequencies (periods) connected in series may be inserted into the parallel arm of the filter. Even in such a case, the above embodiment can be applied. In the above embodiment, an example in which reduction in the opening width direction is given top priority has been described. That is, the portion where the crossing width of the resonator is the shortest from the surroundings (the valley position) and the portion where the crossing width of the adjacent resonator is the longest from the surroundings (the peak position) The example which exists in the same position in the direction perpendicular | vertical to was demonstrated. The position where the crossing width in one resonator is the maximum and the position where the crossing width in the adjacent resonator is the minimum need not exactly coincide with each other in the elastic wave propagation direction. For example, even if the minimum position and the maximum position are slightly shifted, a portion where the crossing width of the resonator is shorter than the surroundings and a portion where the crossing width of the adjacent resonator is longer than the surroundings, If it is at a position facing in the direction perpendicular to the elastic wave propagation direction, the area of the resonator can be reduced and the area can be used effectively. In consideration of the balance between the effect of reducing the area and various other conditions, it is preferable to appropriately arrange the electrode fingers.

例えば、図５や図７で示したような、バスバー２２が細くなってしまう場合において、バスバーの抵抗と、面積の有効利用とのバランスを考慮した位置に電極指およびバスバーを配置する事が望ましい。あるいは図１や図２や図５で示した例で、かつ、横方向に無限に余裕が無い場合において、縦方向と横方向の面積のバランスを考慮した位置に電極指およびバスバーを配置する事が望ましい。   For example, when the bus bar 22 becomes thin as shown in FIGS. 5 and 7, it is desirable to arrange the electrode fingers and the bus bar at positions that take into consideration the balance between the resistance of the bus bar and the effective use of the area. . Alternatively, in the example shown in FIGS. 1, 2, and 5, and when there is infinite margin in the horizontal direction, the electrode fingers and the bus bars should be arranged at positions that take into account the balance of the vertical and horizontal areas. Is desirable.

また、上記実施形態では、共振器が直列に接続される場合について説明したが、同様にして複数の共振器を並列に接続することもできる。例えば、図１に示す構成において、共有のバスバー２２から配線を引き出して信号線に接続し、端子電極６をグランドに接続することで、信号線に対して並列に接続された共振器が得られる。あるいは、バスバー２２に信号線をつないで、端子電極５および端子電極６をＧＮＤに落としたものでもよい。   Moreover, although the said embodiment demonstrated the case where a resonator was connected in series, a several resonator can also be connected in parallel similarly. For example, in the configuration shown in FIG. 1, a resonator connected in parallel to the signal line can be obtained by drawing the wiring from the shared bus bar 22 and connecting it to the signal line and connecting the terminal electrode 6 to the ground. . Alternatively, a signal line may be connected to the bus bar 22 and the terminal electrode 5 and the terminal electrode 6 may be dropped to GND.

上記実施形態では、圧電基板７上に２つの共振器が設けられる場合を例示したが、例えば、圧電基板７上に３つ以上の共振器を設けた弾性波フィルタも、本発明の実施形態に含まれる。また、上記の弾性波デバイスや、弾性波フィルタを含むモジュール、通信機器も本発明の実施形態の一つである。   In the above-described embodiment, the case where two resonators are provided on the piezoelectric substrate 7 is illustrated. However, for example, an acoustic wave filter in which three or more resonators are provided on the piezoelectric substrate 7 is also included in the embodiment of the present invention. included. In addition, the elastic wave device, a module including an elastic wave filter, and a communication device are also embodiments of the present invention.

図９は、通信機器の構成例を示す図である。図９に示す通信機器５０においては、モジュール基板５１上に、通信モジュール６０、ＲＦＩＣ５３およびベースバンドＩＣ５４が設けられている。通信モジュール６０には、例えば、上記実施形態で示した弾性波デバイスを用いることができる。   FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration example of a communication device. In the communication device 50 shown in FIG. 9, a communication module 60, an RFIC 53, and a baseband IC 54 are provided on a module substrate 51. For the communication module 60, for example, the elastic wave device shown in the above embodiment can be used.

通信モジュール６０の送信端子ＴｘはＲＦＩＣ５３に接続され、受信端子ＲｘもＲＦＩＣ５３に接続されている。ＲＦＩＣ５３はベースバンドＩＣ５４に接続されている。ＲＦＩＣ５３は、半導体チップおよびその他の部品により形成することができる。ＲＦＩＣ５３には、受信端子から入力された受信信号を処理するための受信回路および、送信信号を処理するための送信回路を含む回路が集積されている。   The transmission terminal Tx of the communication module 60 is connected to the RFIC 53, and the reception terminal Rx is also connected to the RFIC 53. The RFIC 53 is connected to the baseband IC 54. The RFIC 53 can be formed of a semiconductor chip and other components. The RFIC 53 is integrated with a circuit including a reception circuit for processing a reception signal input from a reception terminal and a transmission circuit for processing a transmission signal.

また、ベースバンドＩＣ５４も半導体チップおよびその他の部品により実現することができる。ベースバンドＩＣ５４には、ＲＦＩＣ５３に含まれる受信回路から受け取った受信信号を、音声信号やパッケットデータに変換するための回路と、音声信号やパッケットデータを送信信号に変換してＲＦＩＣ５３に含まれる送信回路に出力するため回路とが集積される。   The baseband IC 54 can also be realized by a semiconductor chip and other components. The baseband IC 54 includes a circuit for converting a reception signal received from a reception circuit included in the RFIC 53 into an audio signal and packet data, and a transmission circuit included in the RFIC 53 by converting the audio signal and packet data into a transmission signal. Is integrated with the circuit for output.

図示しないが、ベースバンドＩＣ５４には、例えば、スピーカ、ディスプレイ等の出力機器が接続されており、ベースバンドＩＣ５４で受信信号から変換された音声信号やパケットデータを出力し、通信機器５０のユーザに認識させることができる。また、マイク、ボタン等の通信機器５０が備える入力機器もベースバンドＩＣ５４に接続されており、ユーザから入力された音声やデータをベースバンドＩＣ５４が送信信号に変換することができる構成になっている。なお、通信機器５０の構成は、図９に示す例に限られない。   Although not shown, output devices such as a speaker and a display are connected to the baseband IC 54, and output audio signals and packet data converted from received signals by the baseband IC 54, to the user of the communication device 50. Can be recognized. In addition, input devices included in the communication device 50 such as a microphone and a button are also connected to the baseband IC 54, and the baseband IC 54 can convert voice and data input from the user into transmission signals. . The configuration of the communication device 50 is not limited to the example illustrated in FIG.

１，２ 共振器
３ａ、４ａ 反射器
５，６ 端子電極
７ 圧電基板
８ 弾性波デバイス
１０、２０、３０、４０ 櫛形電極
１１、１９、２１、３１、４１ 電極指
１２、２２、３２、４２ バスバー
５０ 通信機器
５１ モジュール基板
６０ 通信モジュール DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 2 Resonator 3a, 4a Reflector 5, 6 Terminal electrode 7 Piezoelectric substrate 8 Elastic wave device 10, 20, 30, 40 Interdigital electrode 11, 19, 21, 31, 41 Electrode finger 12, 22, 32, 42 Bus bar 50 Communication Equipment 51 Module Board 60 Communication Module

Claims (7)

圧電基板上に設けられた複数の共振器を含む弾性波デバイスであって、
前記共振器は、前記圧電基板上に設けられた複数の電極指を有する、一組の櫛形電極を備え、
前記一組の櫛形電極それぞれの電極指は、弾性波伝播方向に交互に並ぶように配置され、
前記電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において変化しており、
前記複数の共振器は、弾性波伝播方向に垂直な方向に並んで配置されており、
前記複数の共振器のうち１の共振器において前記交差幅が周りより短くなっている部分と、前記１の共振器の隣の共振器において交差幅が周りより長くなっている部分とが、前記弾性波伝播方向に垂直な方向において対向する位置に配置される、弾性波デバイス。 An acoustic wave device including a plurality of resonators provided on a piezoelectric substrate,
The resonator includes a pair of comb electrodes having a plurality of electrode fingers provided on the piezoelectric substrate,
The electrode fingers of each of the pair of comb-shaped electrodes are arranged to be alternately arranged in the elastic wave propagation direction,
The cross width of the electrode fingers changes in the elastic wave propagation direction,
The plurality of resonators are arranged side by side in a direction perpendicular to the elastic wave propagation direction,
Among the plurality of resonators, a portion where the crossing width is shorter than the surroundings in one resonator, and a portion where the crossing width is longer than the surroundings in the resonator adjacent to the one resonator, An elastic wave device disposed at a position facing in a direction perpendicular to the elastic wave propagation direction. 前記複数の共振器において、前記電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において一定の周期で極大および極小になるように変化しており、
前記１の共振器において交差幅が極大になっている部分と、前記１の共振器の隣の共振器において交差幅が極小になっている部分とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において対向するように、前記複数の共振器が配置される、請求項１に記載の弾性波デバイス。 In the plurality of resonators, the cross width of the electrode fingers changes so as to become a maximum and a minimum at a constant period in the elastic wave propagation direction,
The portion where the crossing width is maximized in the first resonator and the portion where the crossing width is minimum in the resonator adjacent to the first resonator are opposed in a direction perpendicular to the elastic wave propagation direction. The acoustic wave device according to claim 1, wherein the plurality of resonators are arranged. 前記１の共振器における電極指の交差部分と、前記隣の共振器の電極指の交差部分とが、前記弾性波伝搬方向において重なっている、請求項１または２に記載の弾性波デバイス。   3. The acoustic wave device according to claim 1, wherein an intersection of electrode fingers of the first resonator overlaps an intersection of electrode fingers of the adjacent resonator in the elastic wave propagation direction. 前記第１の共振器と前記隣の共振器との間にバスバーが設けられ、
前記バスバーは、前記第１の共振器または前記隣の共振器における前記電極指の交差部分の包絡線に沿った形状である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波デバイス。 A bus bar is provided between the first resonator and the adjacent resonator;
The elastic wave device according to any one of claims 1 to 3, wherein the bus bar has a shape along an envelope of an intersection of the electrode fingers in the first resonator or the adjacent resonator. 前記１の共振器の櫛形電極と、当該櫛形電極に接続される、前記隣の共振器の櫛形電極は、電極指を共有しており、
前記１の共振器における電極指の交差部分と、前記隣の共振器における各電極指の交差部分とを結ぶ、前記弾性波伝播方向に垂直な方向における線分の中点の集合で表される境界線が、前記第１の共振器または前記隣の共振器における前記電極指の交差部分の包絡線に沿った形状である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波デバイス。 The comb electrode of the first resonator and the comb electrode of the adjacent resonator connected to the comb electrode share an electrode finger,
It is represented by a set of midpoints of line segments in a direction perpendicular to the elastic wave propagation direction connecting the intersecting portions of the electrode fingers in the first resonator and the intersecting portions of the electrode fingers in the adjacent resonator. The elastic wave device according to any one of claims 1 to 4, wherein the boundary line has a shape along an envelope of an intersecting portion of the electrode fingers in the first resonator or the adjacent resonator. 請求項１〜５に記載の弾性波デバイスを含む通信機器。   Communication equipment including the acoustic wave device according to claim 1. 圧電基板上に設けられた複数の共振器を含む弾性波デバイスであって、
前記共振器は、前記圧電基板上に設けられた複数の電極指と、当該電極指を接続するバスバーとを有する、櫛形電極を備え、
前記櫛形電極それぞれの電極指は、弾性波伝播方向に交互に並ぶように配置され、
前記電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において変化しており、
前記バスバーの交差幅の短い電極指に接続される部分が、前記電極指が交互に並ぶ電極指が交差する共振部方向へ屈曲している弾性波デバイス。 An acoustic wave device including a plurality of resonators provided on a piezoelectric substrate,
The resonator includes a comb electrode having a plurality of electrode fingers provided on the piezoelectric substrate and a bus bar connecting the electrode fingers,
The electrode fingers of each of the comb electrodes are arranged alternately in the elastic wave propagation direction,
The cross width of the electrode fingers changes in the elastic wave propagation direction,
An elastic wave device in which a portion of the bus bar connected to an electrode finger having a short intersection width is bent toward a resonance portion where electrode fingers alternately arranged intersect.
JP2009085280A 2009-03-31 2009-03-31 Surface acoustic wave device Pending JP2010239396A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009085280A JP2010239396A (en) 2009-03-31 2009-03-31 Surface acoustic wave device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009085280A JP2010239396A (en) 2009-03-31 2009-03-31 Surface acoustic wave device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010239396A true JP2010239396A (en) 2010-10-21

Family

ID=43093351

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009085280A Pending JP2010239396A (en) 2009-03-31 2009-03-31 Surface acoustic wave device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010239396A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024117050A1 (en) * 2022-11-28 2024-06-06 株式会社村田製作所 Elastic wave device and filter device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0548374A (en) * 1991-08-19 1993-02-26 Nec Corp Weighting electrode for surface acoustic wave filter
JPH09298447A (en) * 1996-04-30 1997-11-18 Hiroaki Sato Surface acoustic wave filter
JP2004320714A (en) * 2003-03-28 2004-11-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave filter and antenna duplexer

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0548374A (en) * 1991-08-19 1993-02-26 Nec Corp Weighting electrode for surface acoustic wave filter
JPH09298447A (en) * 1996-04-30 1997-11-18 Hiroaki Sato Surface acoustic wave filter
JP2004320714A (en) * 2003-03-28 2004-11-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave filter and antenna duplexer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024117050A1 (en) * 2022-11-28 2024-06-06 株式会社村田製作所 Elastic wave device and filter device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11962283B2 (en) Piston mode lamb wave resonators
CN109600125B (en) Filter
US6759928B2 (en) Surface acoustic wave device with divided interdigital transducers
JP4734436B2 (en) Duplexer
US7479855B2 (en) Longitudinally-coupled-resonator-type elastic wave filter device
JP5690877B2 (en) Elastic wave filter
JP5422441B2 (en) Elastic wave device
JP6513104B2 (en) Elastic wave resonator, elastic wave filter using the same, antenna duplexer, module and communication device
JP5246205B2 (en) Elastic wave filter, antenna duplexer using the same, and communication device
JP6773238B2 (en) SAW filters, multiplexers, high frequency front-end circuits and communications equipment
WO2019131530A1 (en) Acoustic wave filter
JP2019121873A (en) Elastic wave device, filter, and multiplexer
JP5168360B2 (en) Duplexer
JP6607323B2 (en) Elastic wave device, high-frequency front-end circuit, and communication device
CN108886351B (en) Elastic wave element and communication device
JP2010239396A (en) Surface acoustic wave device
JP4995923B2 (en) Boundary acoustic wave device and communication device using the same
JP2006129057A (en) Surface acoustic wave device
WO2023074373A1 (en) Elastic wave resonator, elastic wave filter device, and multiplexer
JP2003017970A (en) Surface acoustic wave device
JP4506394B2 (en) Unidirectional surface acoustic wave transducer and surface acoustic wave device using the same
JP2023044392A (en) Acoustic wave element, acoustic wave filter device, and multiplexer
JP2008067032A (en) Balanced surface acoustic wave filter
JP2006287782A (en) Transversal type saw filter
JP2005072992A (en) Longitudinally coupled dual mode surface acoustic wave filter

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110315

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20111128

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120802

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120816

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20121204