JP2010239020A - 半導体装置用ウエハホルダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係るウエハホルダ1は、複数の保持部を有すると共に、炭化ケイ素を含むウエハホルダ本体3と、前記保持部に着脱可能に構成され、前記保持部の上面側においてウエハ7を保持するウエハ保持部材5と、を備えている。ウエハホルダ本体3の内側面11とウエハ保持部材5の外側面17bとは断面テーパ状に形成され、互いに密着している。
【選択図】図2
Description
(1)本実施形態によるウエハホルダ1は、複数の保持部10である貫通孔9を有すると共に、炭化ケイ素を含むウエハホルダ本体3と、保持部10に着脱可能に構成され、保持部10の上面側にウエハ7を保持するウエハ保持部材5と、を備えている。
3 ウエハホルダ本体
5 ウエハ保持部材
7 ウエハ
9 貫通孔(保持部)
10 保持部
11 内側面
17b 外側面
Claims (4)
- 複数の保持部を有すると共に、炭化ケイ素を含むウエハホルダ本体と、
前記保持部に着脱可能に構成され、前記保持部の上面側においてウエハを保持するウエハ保持部材と
を備えたことを特徴とする半導体装置用ウエハホルダ。 - 前記ウエハホルダ本体の保持部は、ウエハホルダ本体を厚さ方向に貫通する貫通孔であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置用ウエハホルダ。
- 前記ウエハホルダ本体の保持部の内側面に、前記ウエハ保持部材の外側面が密着するように構成し、
前記保持部の内側面の断面と、前記ウエハ保持部材の外側面の断面とは、共にテーパ状に形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置用ウエハホルダ。 - 前記ウエハホルダ本体の保持部の内側面、およびウエハ保持部材の外側面は、表面粗さRaが1〜2μmに形成したことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置用ウエハホルダ。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130097184A (ko) * | 2010-08-13 | 2013-09-02 | 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 개선된 웨이퍼 캐리어 |
KR101367666B1 (ko) * | 2010-12-08 | 2014-02-27 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 서셉터 및 이를 이용한 화학기상 증착장치 |
KR20160081439A (ko) * | 2014-12-31 | 2016-07-08 | 주식회사 티씨케이 | 포켓 교체형 서셉터 |
US9716010B2 (en) | 2013-11-12 | 2017-07-25 | Globalfoundries Inc. | Handle wafer |
US10287685B2 (en) | 2013-08-29 | 2019-05-14 | Maruwa Co., Ltd. | Susceptor |
KR102143180B1 (ko) * | 2019-05-21 | 2020-08-12 | 주식회사 빅스턴 | 척 테이블 및 그 제조 방법 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6235627A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-16 | Nec Kyushu Ltd | 半導体製造装置の半導体基板保持治具 |
JP2001066069A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-16 | Dainippon Printing Co Ltd | 焼成処理用セッター |
JP2001127143A (ja) * | 1999-10-27 | 2001-05-11 | Applied Materials Inc | 基板支持装置 |
-
2009
- 2009-03-31 JP JP2009087018A patent/JP2010239020A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6235627A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-16 | Nec Kyushu Ltd | 半導体製造装置の半導体基板保持治具 |
JP2001066069A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-16 | Dainippon Printing Co Ltd | 焼成処理用セッター |
JP2001127143A (ja) * | 1999-10-27 | 2001-05-11 | Applied Materials Inc | 基板支持装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130097184A (ko) * | 2010-08-13 | 2013-09-02 | 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 개선된 웨이퍼 캐리어 |
KR101885747B1 (ko) | 2010-08-13 | 2018-08-06 | 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 개선된 웨이퍼 캐리어 |
KR101367666B1 (ko) * | 2010-12-08 | 2014-02-27 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 서셉터 및 이를 이용한 화학기상 증착장치 |
US10287685B2 (en) | 2013-08-29 | 2019-05-14 | Maruwa Co., Ltd. | Susceptor |
US9716010B2 (en) | 2013-11-12 | 2017-07-25 | Globalfoundries Inc. | Handle wafer |
KR20160081439A (ko) * | 2014-12-31 | 2016-07-08 | 주식회사 티씨케이 | 포켓 교체형 서셉터 |
KR101682776B1 (ko) | 2014-12-31 | 2016-12-05 | 주식회사 티씨케이 | 포켓 교체형 서셉터 |
KR102143180B1 (ko) * | 2019-05-21 | 2020-08-12 | 주식회사 빅스턴 | 척 테이블 및 그 제조 방법 |
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