JP2010237157A - 表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検体12を搬送する搬送部14と、搬送部14にて搬送される被検体12の表面に所定の繰り返し明暗パターンを照射する照射部16と、被検体12に照射された明暗パターンを被検体12の幅方向に移動させる動力伝達機構18と、被検体12の明暗パターンが照射された部位を撮像するラインセンサ20と、ラインセンサ20にて撮像された信号に基づいて被検体12の表面に欠陥が存在するか否かを判定する欠陥判定部50と、を備える。
【選択図】図1
Description
先ず、第1の実施の形態に係る表面検査装置(第1検査装置)10は、被検体の表面に存在する凹凸状の欠陥(表面欠陥)を検出するための装置であり、被検体の製造工程中の搬送ラインに組み込まれる。
次に、第2の実施の形態に係る表面検査装置(第2検査装置)100について、図5を参照しながら説明する。なお、第2の実施の形態は、第1の実施の形態と共通する構成には同一の参照符号を付して説明を省略する。
次に、第3の実施の形態に係る表面検査装置(第3検査装置)200について、図7を参照しながら説明する。なお、第3の実施の形態は、第1の実施の形態と共通する構成には同一の参照符号を付して説明を省略する。
12…被検体
14…搬送部(搬送手段)
16、116、216…照射部(照射手段)
18…動力伝達機構(移動手段)
20…ラインセンサ
22、122、222…制御部
24…搬送ロール
26、226…光源部
28、228…明暗表示部
46…画像処理部
50、150…欠陥判定部
52…映像表示部
56…映像制御部(移動手段)
84…駆動モータ(駆動部)
X…検査部位
Claims (9)
- 被検体を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段にて搬送される前記被検体の表面に所定の繰り返し明暗パターンを照射する照射手段と、
前記被検体に照射された前記明暗パターンを前記被検体の幅方向に移動させる移動手段と、
前記被検体の前記明暗パターンが照射された部位を撮像するラインセンサと、
前記ラインセンサにて撮像された信号に基づいて前記被検体の表面に欠陥が存在するか否かを判定する欠陥判定部と、を備えることを特徴とする表面検査装置。 - 請求項1記載の表面検査装置において、
前記被検体はウエブであり、
前記搬送手段には、前記被検体の幅方向に延びる回転軸線の回りに回転し、かつ前記被検体を搬送方向に搬送する搬送ロールが設けられ、
前記照射手段は、前記被検体のうち前記搬送ロールと接触する検査部位に前記明暗パターンを照射することを特徴とする表面検査装置。 - 請求項2記載の表面検査装置において、
前記照射手段には、前記検査部位に光を照射する光源部と、
前記光源部と前記検査部位との間に位置し、かつ前記検査部位に照射される前記明暗パターンに対応する模様を有する明暗表示部と、が設けられ、
前記移動手段は、前記搬送ロールの回転力を利用して前記明暗表示部の模様を移動させることを特徴とする表面検査装置。 - 請求項2記載の表面検査装置において、
前記照射手段には、前記検査部位に光を照射する光源部と、
前記光源部と前記検査部位との間に位置し、かつ前記検査部位に照射される前記明暗パターンに対応する模様を有する明暗表示部と、
前記搬送ロールの駆動源とは別体に設けられて前記明暗表示部の模様を移動させる駆動部と、が設けられ、
前記駆動部は、前記搬送ロールの回転と同期して前記明暗表示部の模様を駆動させることを特徴とする表面検査装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の表面検査装置において、
前記ラインセンサにて撮像された信号に基づいて2次元の明暗パターン画像を生成する画像処理部をさらに備え、
前記移動手段は、前記被検体の搬送と連動して前記被検体に照射された前記明暗パターンを移動させることを特徴とする表面検査装置。 - 請求項5記載の表面検査装置において、
前記欠陥判定部は、前記画像処理部にて生成された明暗パターン画像から正常状態の前記被検体を前記ラインセンサにて撮像した時に得られる明暗パターン画像を消去することにより、前記被検体の表面に欠陥が存在するか否かを判定することを特徴とする表面検査装置。 - 請求項5記載の表面検査装置において、
前記欠陥判定部は、前記画像処理部にて生成された明暗パターン画像において、所定距離だけ離れた画素の差分を抽出することにより、前記被検体の表面に欠陥が存在するか否かを判定することを特徴とする表面検査装置。 - 請求項2記載の表面検査装置において、
前記照射手段には、前記検査部位と対向する位置に配置され、かつ前記検査部位に照射される前記明暗パターンに対応する模様を映像として表示する映像表示部が設けられ、
前記移動手段には、前記映像表示部に表示された模様が移動するように前記映像表示部を制御する映像制御部が設けられていることを特徴とする表面検査装置。 - 請求項8記載の表面検査装置において、
前記ラインセンサにて撮像された信号に基づいて2次元の明暗パターン画像を生成する画像処理部をさらに備え、
前記欠陥判定部は、前記画像処理部にて生成された明暗パターン画像と前記映像表示部に表示される模様とに基づいて、前記被検体の表面に欠陥が存在するか否かを判定することを特徴とする表面検査装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015219142A (ja) * | 2014-05-19 | 2015-12-07 | コニカミノルタ株式会社 | 光デバイス検査装置および光デバイス検査方法 |
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-
2009
- 2009-03-31 JP JP2009087733A patent/JP2010237157A/ja active Pending
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