JP2010230792A - 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】駆動手段に入射した光による迷光を低減することのできる光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光学デバイス１は、外部から入射される光の分布範囲Ｂ内に配置され、当該光を反射する金属膜１１を有する可動板１０と、可動板１０を軸Ａ周りに揺動可能に支持する軸部材２０と、可動板１０に設けられる永久磁石６１と、永久磁石６１との間に電磁力を発生させ、可動板１０を揺動させるように構成されたコイル６２及び交流電流信号発生器（電源）６３とを備え、コイル６２及び交流電流信号発生器（電源）６３における光の分布範囲Ｂ内に含まれる部分が、光を所定範囲外に反射させるような法線ベクトルを有する面で構成されている。
【選択図】図１

Description

本発明に係るいくつかの態様は、例えばＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）技術により作製され、可動板が軸部材を中心に往復運動する光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置に関する。

従来、この種の光学デバイスとして、磁気発生部と、駆動軸を中心として角変位可能なように支持部材で両端支持される走査ミラーとを備え、走査ミラーは、一方面側に鏡面部が形成され、他方面側に永久磁石が形成され、磁気発生部は走査ミラーの他方面側に所定の距離を隔てて配設されているものが知られている。この光学デバイスは、前述の構成により、走査ミラーが、単独で、しかも他方面側に薄膜状の永久磁石を形成しただけの軽い状態で駆動されるので、走査ミラーを大型にした場合であっても、比較的小さな駆動力でも容易に駆動できる。（例えば特許文献１参照）。

特開平６−８２７１１号公報

ところで、一般に、光学デバイスに入射する光の分布範囲は、光反射面（ミラー）を有する可動板のサイズよりも大きいので、光学デバイスにおける可動板以外の部分、特に、可動板の近傍に配置され、可動板に設けられた強磁性体との間に電磁力を発生させて可動板を揺動させる駆動手段に光が入射する場合が顕著であった。この場合、駆動手段に入射した光は、可動板を駆動（走査）しても移動しないので、常に同じ位置に反射される。その結果、駆動手段に入射した光が、可動板による光の反射範囲、当該光の反射範囲を含む他の光学デバイス、ミラー、スクリーン（他の光学デバイス、ミラーなどを介して照射するスクリーンも含む）などに、いわゆる迷光となって表れるおそれがあった。なお、駆動手段として、例えば反射率の高い金属材料からなるコイルなどを用いることが多いため、反射光を抑制するためにコイルの表面を黒くコーティングすることが考えられる。しかし、この方法では、迷光の光量を低減するはできても迷光自体は依然として表れるので、抜本的な解決策とはいえなかった。

本発明のいくつかの態様は前述の問題に鑑みてなされたものであり、駆動手段に入射した光による迷光を低減することのできる光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置を提供することを目的の１つとする。

本発明に係る光学デバイスは、外部から入射される光の分布範囲内に配置され、該光を反射する光反射面を有する可動板と、可動板を所定軸周りに揺動可能に支持する軸部材と可動板に設けられる強磁性体と、該強磁性体との間に電磁力を発生させ、前記可動板を揺動させるように構成された駆動手段とを備え、駆動手段における光の分布範囲内の部分が、光を所定範囲外に反射させるような法線ベクトルを有する面で構成されている。

かかる構成によれば、駆動手段における光の分布範囲内の部分が、外部から入射される光を所定範囲外に反射させるような法線ベクトル（特定法線ベクトル）を有する面で構成されている。一般に、反射面の法線ベクトル（法線）に対して光の入射角と反射角とは等しいことが知られているから、入射光に対して反射面の法線ベクトルの方向を変更することにより、光の入射角及び反射角を変えることができる。よって、外部から入射される光と反射面の法線ベクトルとがなす角度、すなわち当該光の入射角を適切な値に設定することにより、反射光を所定範囲外に反射させることが可能となる。これにより、駆動手段に入射した光による迷光を低減することができる。駆動手段の反射光が外す「所定範囲」には、例えば、可動板による光の反射範囲、当該光の反射範囲を含む他の光学デバイス、ミラー、スクリーン（他の光学デバイス、ミラーなどを介して照射するスクリーンも含む）などが含まれる。

好ましくは、前述の特定法線ベクトルを有する面は、可動板に対して所定角度を有する平面を含む。

かかる構成によれば、前述の特定法線ベクトルを有する面に、可動板に対して所定角度を有する平面が含まれる。ここで、例えば可動板と平行な面は、異方性エッチングや、機械などによる切削加工を施すことにより、可動板に対して所定角度を有する平面となる。よって、所定角度を適切な値に設定するにより、当該平面を前述の特定法線ベクトルを有する面にすることが可能となる。これにより、駆動手段における光の分布範囲内の部分は、前述の特定法線ベクトルを有する面を容易に形成することができる。

好ましくは、強磁性体は永久磁石であり、駆動手段は、永久磁石に対向する位置に所定距離離間して配置されるコイルと、該コイルに交流電流信号を印加する交流電流信号発生器とを含む。

かかる構成によれば、駆動手段に、永久磁石に対向する位置に所定距離離間して配置されるコイルと、コイルに交流電流信号を印加する交流電流信号発生器とが含まれる。ここで、コイルは永久磁石に対向する位置に配置されるので、永久磁石との間に効率よく電磁力を発生させることができる。また、コイルは永久磁石と所定距離離間して配置されるので、可動板に対して所定角度を有するように、例えばコイルの上面を傾斜させても、可動板の揺動を妨げることなく配置することが可能となる。

好ましくは、所定角度を有する平面が、永久磁石の磁界の方向に対して直交する方向に傾斜している。

かかる構成によれば、所定角度を有する平面が、永久磁石の磁界の方向に対して直交する方向に傾斜しているので、所定角度を有する平面及び永久磁石のＮ極間の距離と、所定角度を有する平面及び永久磁石のＳ極間の距離とがほぼ変化せず、コイルが発生する磁界によって永久磁石のＮ極及びＳ極に作用させる力（トルク）がほぼ均等になる。これにより、駆動手段に入射した光による迷光を低減することができるとともに、少ない消費電力で可動板を揺動させることができる。

好ましくは、前述の特定法線ベクトルを有する平面を含む基板をさらに備え、該平面上にコイルが設置される。

かかる構成によれば、前述の特定法線ベクトルを有する基板の平面上にコイルが設置されるので、コイルの上面も前述の特定法線ベクトルを有する平面となる。これにより、コイルの上面における光の分布範囲内の部分は、前述の特定法線ベクトルを有する平面を容易に形成することができる。

好ましくは、前述の所定範囲は、可動板により反射された光の反射範囲を含む。
かかる構成によれば、前述の所定範囲に、可動板により反射された光の反射範囲が含まれるので、駆動手段における外部から入射される光の分布範囲内の部分への入射光は、可動板により反射された光の反射範囲外に反射される。言い換えれば、可動板により反射された光の反射範囲と駆動手段により反射された光の反射範囲とが重ならない。これにより、駆動手段に入射した光が、可動板による光の反射範囲に迷光となって表れるおそれを低減することができる。

本発明に係る光スキャナーは、前述した本発明に係る光学デバイスを備える。
かかる構成によれば、前述した本発明に係る光学デバイスを備えるので、駆動手段に入射した光による迷光を低減することができる。これにより、従来の光学デバイスのように、迷光を目立たなくするために解像度を下げたり、外部から入射される光のコントラストを低下させたりする必要がなくなる。よって、従来の光学デバイスと比較して、解像度を上げることができ、外部から入射される光のコントラストを上げることができる優れた光学特性を有する光スキャナーを実現することができる。

本発明に係る画像形成装置は、前述した本発明に係る光スキャナーを備える。
かかる構成によれば、前述した本発明に係る光スキャナーを備えるので、従来の光学デバイスと比較して、解像度を上げることができ、外部から入射される光のコントラストを上げることができる。これにより、高解像度でハイコントラストの画像を形成することができる優れた描画特性を有する画像形成装置を実現することができる。

本発明に係る光学デバイスの構成を説明する平面図である。 図１に示したＩ−Ｉ線における断面図である。 図１に示したＩＩ−ＩＩ線における断面図である。 本発明に係る光学デバイスの反射光の一例を説明する平面図である。 本発明に係る光スキャナーを備える画像形成装置の一例を示す概略図である。

以下、本発明の一実施形態について図面を参照しながら説明する。
＜光学デバイス＞
図１乃至図４は、本発明に係る光学デバイスを示すものであり、図１は、本発明に係る光学デバイスの構成を説明する平面図である。

図１に示すように、光学デバイス１は、可動板１０と、軸部材２０と、固定部３０と、枠部（フレーム）４０と、支持部材（ホルダ）５０と、コイル６２とを備える。光学デバイス１に対し、図示しない外部の光源から正規分布（ガウス分布又はガウシアン分布）の広がりをもった光が入射する。この光は、図１に示す分布範囲Ｂに分布する。

可動板１０の上面（一方の面）には、光の分布範囲Ｂ内に配置され、当該光を反射する金属膜１１が成膜されている。金属膜１１は本発明の光反射面に相当する。金属膜１１は、例えば可動板１０の上面に、真空蒸着、スパッタリング、金属箔の接合などの成膜方法を施すことにより、成膜することができる。

一対の軸部材２０は、固定部３０に対して可動板１０を軸部材２０の中心軸である軸Ａ周りに揺動可能に支持する。なお、軸部材２０は弾性を有するものが好ましい。これにより、後述のねじり変形が容易になる。固定部３０は、一対の軸部材２０にそれぞれ接続され、可動板１０及び軸部材２０から構成される振動系の両端を固定する。可動板１０、軸部材２０、及び固定部３０は、例えばシリコン基板をエッチング加工することにより、一体形成されている。

本実施形態では、可動板１０、軸部材２０、及び固定部３０を一体形成したが、これに限定されず、それぞれを別々に形成してもよい。また、本実施形態では、可動板１０の平面形状として円形のものを示したが、これに限定されず、光学デバイス１の可動板１０として求められる役割を果たす限り、楕円形、矩形、多角形などの他の形状であってもよい。

枠部４０は、固定部３０を嵌合するための図示しない切欠部を有する。固定部３０が切欠部に嵌合されると、枠部４０が可動板１０の周囲を囲むように配置される。なお、切欠部に固定部３０が嵌合されたときに、可動板１０、軸部材２０、及び固定部３０の上面と、枠部４０の上面とが同一平面又は略同一平面となるように、切欠部の寸法を設定するのが好ましい。

図２は、図１に示したＩ−Ｉ線における断面図である。図２に示すように、可動板１０の下面（他方の面）には、図示しない接着剤を介し、本発明の強磁性体として永久磁石６１が接合されている。また、光学デバイス１を平面視したときに、永久磁石６１は、軸Ａに直交する方向（図１におけるＹ軸方向）に磁化されている。すなわち、永久磁石６１は、軸Ａを介して対向する互いに極性の異なる一対の磁極を有する。なお、永久磁石６１は、軸Ａに対して角度をなして磁化されていてもよいし、配置される方向が軸Ａに対して角度をなしていてもよい。

永久磁石６１の材料はネオジウム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石などの硬磁性体を着磁したものを好適に用いることができる。なお、硬磁性体を可動板１０に設けた後に、硬磁性体を着磁することで永久磁石としてもよい。

本実施形態では、永久磁石６１を、可動板１０と異なる部材として説明したが、これに限定されず、可動板１０と一体形成してもよい。この場合、永久磁石６１は、可動板１０の下面（他方の面）にスパッタリングなどの成膜方法を施すことにより形成される。

支持部材５０は、枠部４０を下方から支持しており、図示しない接着剤を介して枠部４０に接合されている。また、支持部材５０は、光学デバイス１の底部をなす基板５１を備える。基板５１の上面の一部に、具体的には図１に示した光の分布範囲Ｂを含む領域に、傾斜面５２が形成されている。底部５１の上面における傾斜面５２以外の部分は、可動板１０と平行な平面が形成されている。

本実施形態では、支持部材５０を、枠部４０と異なる部材として説明したが、これに限定されず、枠部４０と一体であってもよい。また、本実施形態では、枠部４０の図示しない切欠部に固定部３０を嵌合するようにしたが、これに限定されず、光学デバイス１は、枠部４０を備えていなくてもよい。この場合、固定部３０は、接着剤などを介して支持部材５０に接合される。

傾斜面５２は、可動板１０と平行な面に対して所定角度θを有する平面であり、傾斜面５２は、外部から入射される光を所定範囲外に反射させるような法線ベクトル（以下、特定法線ベクトルという）を有する。傾斜面５２上には、傾斜面５２において可動板１０と対向する位置に、永久磁石６１から所定距離離間してコイル６２が設置される。これにより、傾斜面５２と同様に、コイル６２の上面６２ａは、可動板１０と平行な面に対して所定角度θを有する平面となり、前述の特定法線ベクトルを有する。一般に、反射面の法線ベクトル（法線）に対して光の入射角と反射角とは等しいことが知られているから、入射光に対して反射面の法線ベクトルの方向を変更することにより、光の入射角及び反射角を変えることができる。よって、外部から入射される光と反射面の法線ベクトルとがなす角度、すなわち当該光の入射角を適切な値に設定することにより、反射光を所定範囲外に反射させることが可能となる。

なお、コイル６２の上面６２ａの反射光が外す所定範囲は、後述するように軸Ａ周りに可動板１０が揺動したときに反射される光の反射範囲Ｄを含むことが好ましい。また、当該光の反射範囲Ｄを含む他の光学デバイス、ミラー、スクリーン（他の光学デバイス、ミラーなどを介して照射するスクリーンも含む）など、を含むことが更に好ましい。これらの範囲内にコイル６２の上面６２ａの反射光が入ると、迷光となるからである。

ここで、例えば可動板１０と平行な基板５１の上面は、異方性エッチングや、機械などによる切削加工を施すことにより、可動板１０に対して所定角度θを有する傾斜面５２となる。よって、所定角度θを適切な値に設定するにより、傾斜面５２及び上面６２ａを、前述の特定法線ベクトルを有する面にすることが可能となる。

本実施形態では、コイルの上面６２ａは、基板５１の傾斜面５２上にコイル６２を設置することにより、可動板１０と平行な面に対して所定角度θを有する平面にし、前述の特定法線ベクトルを有するようにしたが、これに限定されない。例えば、磁心の上面に機械などによる切削加工を施すことにより、可動板１０と平行な面に対して所定角度θを有する傾斜面にして、この傾斜面にコイルを巻き付けることで、コイルの上面を可動板１０と平行な面に対して所定角度θを有する平面とし、前述の特定法線ベクトルを有するようにしてもよい。この場合、基板５１の上面に傾斜面５２を形成する必要はない。

図３は、図１に示したＩＩ−ＩＩ線における断面図である。なお、図３では、説明の便宜上、永久磁石６１の左側をＮ極、右側をＳ極に着磁されている場合について説明する。駆動手段６０は、永久磁石６１との間に電磁力を発生させ、可動板１０を軸Ａ周りに揺動させるためのものである。図３に示すように、駆動手段６０は、コイル６２と、コイル６２に電気的に接続されている交流電流信号発生器（電源）６３とを含んで構成される。

コイル６２には、交流電流信号発生器（電源）６３から所定周波数の交流電流が供給される。これにより、コイル６２は上方（可動板１０側）に向く磁界と、下方に向く磁界とを交互に発生させる。これにより、コイル６２に対して永久磁石６１の一対の磁極のうち一方の磁極が接近し他方の磁極が離間するようにして、軸部材２０をねじれ変形させながら、可動板１０及び永久磁石６１が、軸Ａ回りに揺動させられる。

コイル６２に供給される交流電流の所定周波数は、可動板１０及び軸部材２０から構成される振動系の振動数（ねじり共振周波数）とほぼ一致するように設定するのが好ましい。このように共振を利用することで、可動板１０を軸Ａ周りに揺動させるときに、少ない消費電力で振れ角を大きくすることができる。

本実施形態では、駆動手段６０の一例として、コイル６２及び交流電流信号発生器（電源）６３を用いるようにしたが、これに限定されず、強磁性体との間に電磁力を発生させ、可動板１０を軸Ａ周りに揺動させるように構成されていればよい。

ここで、可動板１０と平行な面に対して所定角度θを有するコイル６２の上面６２ａが、例えば永久磁石６１が磁化されている方向（図１におけるＹ軸方向）に傾斜している場合、コイル６２の上面６２ａ及び永久磁石６１のＮ極間の距離と、コイル６２の上面６２ａ及び永久磁石６１のＳ極間の距離とが異なってしまう。その結果、コイル６２が発生する磁界によって永久磁石６１のＮ極及びＳ極に作用させる力（トルク）が不均等になる。よって、図３に示すように、コイル６２の上面６２ａは、永久磁石６１が磁化されている方向（図１におけるＹ軸方向）に対して直交する方向（図１におけるＸ軸方向）に傾斜しているのが好ましい。

なお、軸Ａ周りに揺動する可動板１０に対し、コイル６２の上面６２ａが傾斜しているので、永久磁石６１及びコイル６２間の所定距離は従来よりも長くする必要がある。しかしながら、コイル６２の上面６２ａを傾斜させるために永久磁石６１及びコイル６２間の所定距離を長くしても、可動板１０を揺動させるのに必要な電力はほとんど変わらない。すなわち、永久磁石６１及びコイル６２間の所定距離を長くすることにより、空気抵抗が低減するので、可動板１０及び軸部材２０から構成される振動系をねじり共振周波数で駆動するときのＱ値が高くなる。その結果、永久磁石６１及びコイル６２間の所定距離を長くすることによる消費電力の増加はほとんどない。

図４は、本発明に係る光学デバイスの反射光の一例を説明する平面図である。図４に示すように、光学デバイス１に対し、外部から光Ｃが入射されると、可動板１０に入射した光Ｃは、可動板１０が軸Ａ周りに揺動することにより、反射範囲Ｄに反射される。これに対し、前述の特定法線ベクトルを有するコイル６２の上面６２ａに入射した光Ｃは、反射光Ｄ１のように、反射板１０による光の反射範囲Ｄとは異なる方向に反射される。

本実施形態では、駆動手段６０における光の分布範囲Ｂ内に含まれる部分として、コイル６２の上面６２ａを示したが、これに限定されない。駆動手段における光の分布範囲Ｂ内に含まれる部分である限り、例えばコイル６２の側面や交流電流信号発生器（電源）６３などであってもよい。また、本実施形態では、前述の特定法線ベクトルを有する面として、可動板１０に対して所定角度を有する平面を示したが、これに限定されない。前述の特定法線ベクトルを有する面である限り、例えば曲面であってもよい。

このように、本実施形態における光学デバイス１によれば、駆動手段６０における光の分布範囲内の部分が、外部から入射される光を所定範囲外に反射させるような法線ベクトル（特定法線ベクトル）を有する面で構成されている。一般に、反射面の法線ベクトル（法線）に対して光の入射角と反射角とは等しいことが知られているから、入射光に対して反射面の法線ベクトルの方向を変更することにより、光の入射角及び反射角を変えることができる。よって、外部から入射される光と反射面の法線ベクトルとがなす角度、すなわち当該光の入射角を適切な値に設定することにより、反射光を所定範囲外に反射させることが可能となる。これにより、駆動手段６０に入射した光による迷光を低減することができる。

また、本実施形態における光学デバイス１によれば、前述の特定法線ベクトルを有する面に、可動板１０に対して所定角度を有する平面が含まれる。ここで、例えば可動板１０と平行な面は、異方性エッチングや、機械などによる切削加工を施すことにより、可動板１０に対して所定角度を有する平面となる。よって、所定角度を適切な値に設定するにより、当該平面を前述の特定法線ベクトルを有する面にすることが可能となる。これにより、駆動手段６０における光の分布範囲Ｂ内の部分は、前述の特定法線ベクトルを有する面を容易に形成することができる。

また、本実施形態における光学デバイス１によれば、駆動手段６０に、永久磁石６１に対向する位置に所定距離離間して配置されるコイル６２と、コイル６２に交流電流信号を印加する交流電流信号発生器６３とが含まれる。ここで、コイル６２は永久磁石６１に対向する位置に配置されるので、永久磁石６１との間に効率よく電磁力を発生させることができる。また、コイル６２は永久磁石６１と所定距離離間して配置されるので、可動板１０に対して所定角度θを有するように、例えばコイル６２の上面６２ａを傾斜させても、可動板１０の揺動を妨げることなく配置することが可能となる。

また、本実施形態における光学デバイス１によれば、コイル６２の上面６２ａが、永久磁石６１の磁界の方向に対して直交する方向に傾斜しているので、コイル６２の上面６２ａ及び永久磁石６１のＮ極間の距離と、コイル６２の上面６２ａ及び永久磁石のＳ極間の距離とがほぼ変化せず、コイル６２が発生する磁界によって永久磁石６１のＮ極及びＳ極に作用させる力（トルク）がほぼ均等になる。これにより、駆動手段６０に入射した光による迷光を低減することができるとともに、少ない消費電力で可動板１０を揺動させることができる。

また、本実施形態における光学デバイス１によれば、前述の特定法線ベクトルを有する基板５１の傾斜面５２上にコイル６２が設置されるので、コイル６２の上面６２ａも前述の特定法線ベクトルを有する平面となる。これにより、コイル６２の上面６２ａにおける光の分布範囲Ｂ内の部分は、前述の特定法線ベクトルを有する平面を容易に形成することができる。

また、本実施形態における光学デバイス１によれば、前述の所定範囲に、可動板１０により反射された光の反射範囲Ｄが含まれるので、駆動手段６０における外部から入射される光の分布範囲Ｂ内の部分への入射光は、可動板１０により反射された光の反射範囲Ｄ外に反射される。言い換えれば、可動板１０により反射された光の反射範囲Ｄと駆動手段６０により反射された光の反射範囲Ｄ１とが重ならない。これにより、駆動手段６０に入射した光が、可動板１０による光の反射範囲Ｄに迷光となって表れるおそれを低減することができる。

（光スキャナー）
前述の光学デバイス１は、図１に示したように金属膜１１を有する可動板１０を備えているため、例えば、レーザープリンター、バーコードリーダー、走査型共焦点レーザー顕微鏡、イメージング用ディスプレイなどの画像形成装置に備える光スキャナーに好適に適用することができる。なお、本発明に係る光スキャナーは、前述した光学デバイス１と同様の構成であるため、その説明を省略する。

このように、本発明に係る光スキャナーによれば、駆動手段６０に入射した光による迷光を低減することができる。これにより、従来の光学デバイスのように、迷光を目立たなくするために解像度を下げたり、外部から入射される光のコントラストを低下させたりする必要がなくなる。よって、従来の光学デバイスと比較して、解像度を上げることができ、外部から入射される光のコントラストを上げることができる優れた光学特性を有する光スキャナーを実現することができる。

（画像形成装置）
次に、図５を参照して本発明に係る画像形成装置について説明する。図５は、本発明に係る光スキャナーを備える画像形成装置の一例を説明する概略図である。

図５に示す画像形成装置（イメージングディスプレイ）１１９は、光スキャナーである光学デバイス１と、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の光源１９１、１９２、１９３と、クロスダイクロイックプリズム（Ｘプリズム）１９４と、ガルバノミラー１９５と、固定ミラー１９６と、スクリーン１９７とを備えている。

このような画像形成装置１１９にあっては、光源１９１、１９２、１９３からクロスダイクロイックプリズム１９４を介して光学デバイス１（の可動板１０）に各色の光が照射される。このとき、光源１９１からの赤色の光と、光源１９２からの緑色の光と、光源１９３からの青色の光とが、クロスダイクロイックプリズム１９４にて合成される。そして、可動板１０で反射した光（３色の合成光）は、ガルバノミラー１９５で反射した後に、固定ミラー１９６で反射し、スクリーン１９７上に照射される。

その際、光学デバイス１の動作（可動板１０の軸線Ｘ周りの揺動）により、可動板１０で反射した光は、スクリーン１９７の横方向に走査（主走査）される。また、可動板１０以外の部分に入射した光は、所定範囲外、すなわちガルバノミラー１９５及びスクリーン１９７を外して反射される。これにより、図３に示す駆動手段６０に入射した光が、ガルバノミラー１９５及びスクリーン１９７に迷光となって表れるおそれを低減することができる。

一方、ガルバノミラー１９５の軸線Ｙ周りの回動により、可動板１０で反射した光は、スクリーン１９７の縦方向に走査（副走査）される。また、各色の光源１９１、１９２、１９３から出力される光の強度は、図示しないホストコンピュータから受けた画像情報に応じて変化する。

このように、本発明に係る画像形成装置１１９によれば、前述した本発明に係る光スキャナーを備えるので、従来の光学デバイスと比較して、解像度を上げることができ、外部から入射される光のコントラストを上げることができる。これにより、高解像度でハイコントラストの画像を形成することができる優れた描画特性を有する画像形成装置１１９を実現することができる。

なお、前述の各実施形態の構成を組み合わせたり或いは一部の構成部分を入れ替えたりしてもよい。また、本発明の構成は、前述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えてもよい。

１…光学デバイス、１０…可動板、２０…軸部材、５１…基板、５２…傾斜面、６０…駆動手段、６１…永久磁石、６２…コイル、６２ａ…上面、６３…交流電流信号発生器（電源）、１１９…画像形成装置、１９５…ガルバノミラー、１９７…スクリーン。

Claims (8)

1. 外部から入射される光の分布範囲内に配置され、該光を反射する光反射面を有する可動板と、
   前記可動板を所定軸周りに揺動可能に支持する軸部材と、
   前記可動板に設けられる強磁性体と、
   該強磁性体との間に電磁力を発生させ、前記可動板を揺動させるように構成された駆動手段とを備え、
   該駆動手段における前記光の分布範囲内に含まれる部分が、前記光を所定範囲外に反射させるような法線ベクトルを有する面で構成されている
   ことを特徴とする光学デバイス。
2. 前記法線ベクトルを有する面は、前記可動板に対して所定角度を有する平面を含む
   ことを特徴とする請求項１に記載の光学デバイス。
3. 前記強磁性体は永久磁石であり、
   前記駆動手段は、該永久磁石に対向する位置に所定距離離間して配置されるコイルと、該コイルに交流電流信号を供給する交流電流信号発生器とを含む
   ことを特徴とする請求項２に記載の光学デバイス。
4. 前記所定角度を有する前記平面が、前記永久磁石の磁界の方向に対して直交する方向に傾斜している
   ことを特徴とする請求項３に記載の光学デバイス。
5. 前記法線ベクトルを有する平面を含む基板をさらに備え、
   該平面上に前記コイルが設置される
   ことを特徴とする請求項３又は４に記載の光学デバイス。
6. 前記所定範囲は、前記可動板により反射された光の反射範囲を含む
   ことを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の光学デバイス。
7. 請求項１乃至６の何れかに記載の光学デバイスを備える
   ことを特徴とする光スキャナー。
8. 請求項７に記載の光スキャナーを備える
   ことを特徴とする画像形成装置。

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