JP2010228965A5 - - Google Patents
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Description
このような窒化アルミニウムからなる被覆膜は、例えば、化学気相成長法により成膜されたＣＶＤ膜であり、該成膜はアルミニウムの有機金属化合物とアンモニアを６００℃〜１２００℃の温度範囲下で反応させて得られたものである。
また、窒化アルミニウムからなるＣＶＤ被覆膜は、アルミニウムの有機金属化合物とアンモニアを６００℃〜１２００℃の温度範囲下で反応させて得ることとしてもよい。
窒化アルミニウム膜１０３は、化学気相成長法により成膜されたＣＶＤ膜であり、アルミニウム含有有機金属化合物や塩化アルミニウムなどとアンモニアを６００℃〜１２００℃の温度範囲下で反応させて得られたもので、その相対密度は５０％以上９８％未満であり、硬度は２ＧＰａ以上１０ＧＰａ以下である。
反応温度は、好ましい成膜温度を探るため、５５０℃から１２５０℃の温度範囲で条件設定し、相対密度と硬度（硬さ）が異なる窒化アルミニウム膜を厚み１００μｍで成膜させて、窒化アルミ焼結体の表面全体を被覆した。
Claims (7)
- 耐熱性部材と該耐熱性部材の表面の少なくとも一部を覆う被覆膜とを備え、前記被覆膜は相対密度が５０％以上９８％未満の窒化アルミニウムである、耐蝕性部材。
- 前記窒化アルミニウムの硬度は、２ＧＰａ以上１０ＧＰａ以下である、請求項１に記載の耐蝕性部材。
- 前記窒化アルミニウムからなる被覆膜は化学気相成長法により成膜されたＣＶＤ膜であり、該成膜はアルミニウムの有機金属化合物とアンモニアを６００℃〜１２００℃の温度範囲下で反応させて得られたものである、請求項１又は２に記載の耐蝕性部材。
- 前記窒化アルミニウムからなる被覆膜は化学気相成長法により成膜されたＣＶＤ膜であり、該成膜は塩化アルミニウムとアンモニアを６００℃〜１２００℃の温度範囲下で反応させて得られたものである、請求項１又は２に記載の耐蝕性部材。
- 前記耐熱性部材は、熱分解窒化硼素、窒化硼素と窒化アルミニウムの混合焼結体、熱分解窒化硼素コートグラファイト、窒化アルミニウム、希土類酸化物、酸化アルミニウム、酸化珪素、ジルコニア、サイアロン、グラファイト、高融点金属の何れかを主成分とする部材である、請求項１乃至４の何れか１項に記載の耐蝕性部材。
- 前記耐熱性部材は、静電チャックである、請求項１乃至５の何れか１項に記載の耐蝕性部材。
- 前記耐熱性部材は、ウエハを加熱するヒータ部を内蔵している、請求項１乃至６の何れか１項に記載の耐蝕性部材。
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