JP2010226854A - 振動アクチュエータ、それを備えたレンズ鏡筒及びカメラ - Google Patents

Abstract

【課題】小型化可能で、安価で且つ良好な駆動性能を有する振動アクチュエータ及びそれを備えたレンズ鏡筒、カメラを提供する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータ（１０）は、振動波を生じる振動部材（１１）と、前記振動部材と接触する接触面（３０ａ）を有し、前記振動波により前記接触面（３０ａ）が駆動されることにより前記振動部材に対して相対移動する相対移動部材（４０）と、を備える振動アクチュエータであって、前記相対移動部材（４０）は、前記接触面（３０ａ）を含む第１の部分（３０）と、前記第１の部分（３０）よりも剛性が高く、かつ、前記接触面（３０ａ）と交差する第１の面（４１ａ）を有し、前記第１の部分（３０）の少なくとも一部が前記第１の面（４１ａ）と接触するように前記第１の部分（３０）が取り付けられた第２の部分（４０）とを備えたこと、を特徴とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、圧電体の伸縮を利用して移動子を駆動する振動アクチュエータ、それを備えたレンズ鏡筒及びカメラに関する。

振動アクチュエータは、圧電体の伸縮を利用して弾性体の駆動面に進行性振動波（以下、進行波という）を発生させ、この進行波によって駆動面に楕円運動を生じさせることにより楕円運動の波頭に加圧接触した移動子を駆動するものである。このような振動アクチュエータは、低回転でも高トルクを有するという特徴があるため、駆動装置に搭載した場合に、駆動装置のギアの数を減らすことができる。このため、ギアによる騒音を低減することで静寂化が達成可能であり、また位置決め精度が向上されるといった利点もある。

近年、振動アクチュエータにおいて、径を従来の１／３〜１／５倍程度とする小型化、軽量化が進んでいる。小型化された振動アクチュエータは、電磁モータの変わりとしての使用が検討される。しかし、従来の振動アクチュエータは電磁モータと比べて製造コストがかかる。このため、振動アクチュエータの様々な部材、たとえば移動子をプラスチックモールドで製造することが検討されている（特許文献１参照）。

また、振動アクチュエータにおいては、弾性体と移動子との摺動部の磨耗によって駆動性能が低下してくる。このため、耐久性という観点からも摺動部は、耐摩耗性を有するプラスチックで製造することが好ましい。

特開平４−１１７１８２号公報

しかし、移動子を小型化し且つプラスチックで製造すると剛性が小さくなる。移動子は、剛性が小さいと曲げ変形が大きくなり、良好な駆動性能を得ることが困難になる。

本発明の課題は、小型化可能で、安価で且つ良好な駆動性能を有する振動アクチュエータ及びそれを備えたレンズ鏡筒、カメラを提供することである。

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。

請求項１に記載の発明は、振動波を生じる振動部材（１１）と、前記振動部材（１１）と接触する接触面（３０ａ）を有し、前記振動波により前記接触面（３０ａ）が駆動されることにより前記振動部材（１１）に対して相対移動する相対移動部材（４０，２４０，３４０，４４０）と、を備える振動アクチュエータ（１０）であって、前記相対移動部材（４０，２４０，３４０，４４０）は、前記接触面（３０ａ）を含む第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）と、前記第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）よりも剛性が高く、かつ、前記接触面（３０ａ）と交差する第１の面（４１ａ，２４１ａ，３４１ａ，４４１ａ）を有し、前記第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）の少なくとも一部が前記第１の面（４１ａ，２４１ａ，３４１ａ，４４１ａ）と接触するように前記第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）が取り付けられた第２の部分（４０，２４０，３４０，４４０）とを備えたこと、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記第２の部分（４０，２４０，３４０，４４０）は前記接触面（３０ａ）と平行な方向に沿った第２の面（４１ｂ，２４１ｂ，３４０ｂ，４４０ｂ）を備え、前記第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）は、前記第２の部分（４０，２４０，３４０，４４０）の前記第２の面（４１ｂ，２４１ｂ，３４０ｂ，４４０ｂ）の少なくとも一部と接触するようにして前記第２の部分（４０，２４０，３４０，４４０）に取り付けられていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）と前記第２の部分（４０，２４０，３４０，４４０）とは嵌合していること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記嵌合は、前記第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）又は前記第２の部分（４０，２４０，３４０，４４０）のいずれか一方を熱膨張させて他方に嵌め込むことにより行われたものであること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記第２の部分（４０，２４０，３４０，４４０）に凹部（３３０ｂ、４３０ｂ）が形成され、前記第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）は該凹部（３３０ｂ，４３０ｂ）に嵌合されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項６に記載の発明は、請求項３又は４に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記第１の部分（２３０）及び前記第２の部分（２４０）が円環形状を有し、前記第２の部分（２４０）の内周側に段部（２４１ａ，２４１ｂ）が形成され、前記第１の部分（２３０）は前記第２の部分（２４０）における該段部（２４１ａ，２４１ｂ）に嵌合されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項７に記載の発明は、請求項３又は４に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記第１の部分（３０）及び前記第２の部分（４０）が円環形状を有し、前記第２の部分（４０）の外周側に段部（４１ａ，４１ｂ）が形成され、前記第１の部分（３０）は前記第２の部分（４０）における該段部（４１ａ，４１ｂ）に嵌合されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項８に記載の発明は、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０）を有するレンズ鏡筒（３）である。
請求項９に記載の発明は、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０）を有するカメラ（１）である。
なお、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。

本発明によれば、小型化可能で、安価で且つ良好な駆動性能を有する振動アクチュエータ、それを備えたレンズ鏡筒及びカメラを提供することができる。

第１実施形態のカメラを説明する図である。 第１実施形態の超音波モータの断面図である。 超音波モータの駆動装置を説明するブロック図である。 弾性体で発生する進行波と振動子との様子を説明する図である。 移動子の剛性が低い場合における移動子で発生する進行波と振動子との様子を説明する図である。 第２実施形態の超音波モータにおける移動子の断面図である。 第３実施形態の超音波モータにおける移動子の断面図である。 第４実施形態の超音波モータにおける移動子の断面図である。

以下、本発明にかかる振動アクチュエータの実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の実施形態では、振動アクチュエータとして、超音波の振動域を利用した超音波モータを例にして説明する。

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態にかかる超音波モータ１０を備えるカメラ１を説明する図である。カメラ１は、撮像素子を有するカメラボディ２と、レンズ７を有するレンズ鏡筒３とを備える。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒３は、交換レンズである例を示すが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。

レンズ鏡筒３は、レンズ７、カム筒６、ギア４，５、超音波モータ１０等を備える。本実施形態では、超音波モータ１０はφ１５以下の小型振動波モータである。超音波モータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ７を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ１０から得られた駆動力は、ギア４，５を介してカム筒６に伝えられる。レンズ７は、カム筒６に保持されており、超音波モータ１０の駆動力により、光軸方向Ｌに略平行に移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。

図１において、レンズ鏡筒３内に設けられたレンズ群（レンズ７を含む）によって、撮像素子８の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子８によって、結像された被写体像は電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。

図２は、第１実施形態の超音波モータ１０の断面図である。超音波モータ１０は、振動子１１、移動子１５、出力軸１８、加圧部材１９等を備え、振動子１１側を固定とし、移動子１５を回転駆動する形態となっている。

振動子１１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子や電歪素子等の電気一機械変換素子（以下、圧電体と称する）１３と、圧電体１３が接合された弾性体１２とを有する略円環形状の部材である。

弾性体１２は、共振先鋭度が大きな金属材料によって形成され、その形状は、略円環形状である。この弾性体１２は、櫛歯部１２ａと、ベース部１２ｂと、フランジ部１２ｃとを有する。

櫛歯部１２ａは、弾性体１２における圧電体１３が接合される面とは反対側の面に、複数の溝を切って形成され、この櫛歯部１２ａの先端面は、移動子１５に加圧接触され、移動子１５を駆動する駆動面１２ｄとなる。この駆動面には、Ｎｉ−Ｐ（ニッケル−リン）メッキ等の潤滑性の表面処理が施されている。櫛歯部１２ａを設ける理由は、圧電体１３の伸縮により駆動面１２ｄに生じる進行波の中立面をできる限り圧電体１３側へ近づけ、これにより駆動面１２ｄの進行波の振幅を増幅させるためである。

ベース部１２ｂは、弾性体１２の周方向に連続した部分である。ベース部１２ｂにおける櫛歯部１２ａとは反対側の面に、圧電体１３が接合されている。フランジ部１２ｃは、弾性体１２の内径方向に突出した鍔状の部分である。このフランジ部１２ｃにより、振動子１１は、固定部材１６に固定されている。

圧電体１３は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子である。本実施形態では、圧電体１３として圧電素子を用いたが、電歪素子等を用いてもよい。圧電体１３は、略円環形状の部材であり、弾性体１２の周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）の電気信号が入力される範囲に分かれている。各相には、１／２波長毎に分極が交互となった要素が並べられている。Ａ相とＢ相との間には、１／４波長分の間隔が空けられている。この圧電体１３は、接着材等を用いて弾性体１２と接合されている。

フレキシブルプリント基板１４は、その配線が圧電体１３の各相の電極に接続されている。フレキシブルプリント基板１４には、後述の増幅部１０４，１０５（図３参照）から駆動信号が供給され、この駆動信号によって、圧電体１３が伸縮する。振動子１１には、この圧電体１３の伸縮により、弾性体１２の駆動面に進行波が発生する。本実施形態では、４波の進行波が発生している。

移動子１５は、後述するが、弾性体１２の駆動面１２ｄに生じる進行波によって回転駆動される部材である。出力軸１８は、略円柱形状の部材である。出力軸１８は、一方の端部がゴム部材２３を介して移動子１５に接しており、移動子１５と一体に回転するように設けられている。ゴム部材２３は、ゴムにより形成された略円環形状の部材である。このゴム部材２３は、ゴムによる粘弾性で移動子１５と出力軸１８とを一体に回転可能とする機能と、移動子１５からの振動を出力軸１８へ伝えないように振動を吸収する機能とを有しており、ブチルゴム、シリコンゴム、プロピレンゴム等が用いられている。

加圧部材１９は、振動子１１と移動子１５とを加圧接触させる加圧力を発生する部材であり、ギア４とベアリング受け部材２１との間に設けられている。本実施形態では、加圧部材１９は、圧縮コイルバネを用いているが、これに限定されるものではない。ギア４は、出力軸１８のＤカットに嵌まるように挿入され、Ｅリング等のストッパ２２で固定され、回転方向及び軸方向に出力軸１８と一体となるように設けられている。ギア４は、出力軸１８の回転と共に回転することにより、ギア５（図１参照）に駆動力を伝達する。

また、ベアリング受け部材２１は、ベアリング１７の内径側に配置され、ベアリング１７は、固定部材１６の内径側に配置された構造となっている。加圧部材１９は、振動子１１を移動子１５側へ、出力軸１８の軸方向に加圧しており、この加圧力によって、移動子１５は、振動子１１の駆動面に加圧接触し、回転駆動される。なお、加圧部材１９とベアリング受け部材２１との間には、加圧力調整ワッシャーを設けて、超音波モータ１０の駆動に適正な加圧力が得られるようにしてもよい。

図３は、第１実施形態の超音波モータ１０の駆動装置１００を説明するブロック図である。超音波モータ１０の駆動装置１００は、発振部１０１と、制御部１０２と、移相部１０３と、増幅部１０４，１０５と、検出部１０６とを有する。発振部１０１は、制御部１０２の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する部分である。移相部１０３は、発振部１０１で発生した駆動信号を、９０°位相の異なる２つの駆動信号に分ける部分である。

増幅部１０４，１０５は、移相部１０３によって分けられた２つの駆動信号を、それぞれ所望の電圧に昇圧する部分である。増幅部１０４，１０５からの駆動信号は、超音波モータ１０に伝達され、この駆動信号の印加により振動子１１に進行波が発生し、移動子１５が駆動される。

検出部１０６は、光学式エンコーダや磁気エンコーダ等により構成され、移動子１５の駆動によって駆動されたレンズ７の位置や速度を検出する部分である。制御部１０２は、カメラボディ２に設けられた不図示のＣＰＵからの駆動指令を基に、超音波モータ１０の駆動を制御する部分である。制御部１０２は、検出部１０６からの検出信号を受け、その値を基に、位置情報と速度情報を得て、目標位置に位置決めされるように発振部１０１が発生する駆動信号の駆動周波数を制御する。

図２に戻り、本実施形態の移動子１５は、移動子本体４０と、振動体１１の駆動面１２ｄと接触する接触面３０ａを有する摺動部材３０とを備える。移動子本体４０は、ステンレス鋼で製造された円環状で、移動子１５の剛性の向上に寄与する補強部材であり、摺動部材３０よりも剛性が高い部材で構成される。移動子本体４０の中心には出力軸１８が挿入されている。また移動子本体４０の外径側は、振動子１１側に筒状に延び、その延在部４１の外径は、移動子本体４０の上部側（振動子１１が設けられている側と反対側）の外径よりも径が小さくなっている。すなわち、移動子本体４０は、接触面３０ａと交差する方向に沿った第１の面４１ａと、接触面３０ａと平行な方向に沿った第２の面４１ｂとを備える。また、第１の面４１ａと第２の面４１ｂとにより、移動体本体４０の外周側には段部が形成されている。

摺動部材３０は、高分子材を主成分として製造された円環形状を有する。高分子材料としては、ポリイミド、ポリアセタール、ポリカーボネート、ＰＥＳ、ＰＥＥＫ等の射出成形が可能なモールド樹脂材が好適である。摺動部材３０は、モールド樹脂材であり、熱膨張係数は移動子本体４０より大きい。この両材料の温度変形量の違いを利用し、摺動部材３０を膨張させて摺動部材３０の内径を膨張させ、この状態で、摺動部材３０を移動子本体４０の延在部分４１の第１の面４１ａに沿わせて第２の面４１ｂに当接するまではめ込む。そして自然冷却することにより摺動部材３０は、移動子本体４０の外周の段部４１ａ，４１ｂに固定される。

また、摺動部材３０の厚みは、移動子本体４０の延在部分４１における外径が小さくなった部分の厚みより厚い。このため、摺動部材３０の接触面３０ａ（振動子１１側の面）は、移動子本体４０の第３の面である下面４１ｃ（振動子１１側の面）よりもさらに振動子１１側に突出する。この突出した接触面３０ａは、ラッピング工程等の研磨工程により高い平面度で形成されている。これにより、振動子に発生した進行波の楕円運動が、効率的に摩擦伝達される。

本実施形態の超音波モータ１０は、以下のように動作する。まず、制御部１０２に目標位置が伝達される。発振部１０１からは、駆動信号が発生し、その信号から、移相部１０３により９０°位相の異なる２つの駆動信号が生成され、増幅部１０４，１０５により所望の電圧に増幅される。

駆動信号は、超音波モータ１０の圧電体１３に印加され、圧電体１３が励振され、その励振によって、弾性体１２には、４次の曲げ振動が発生する。駆動信号は、それぞれ圧電体１３のＡ相とＢ相とに印加される。Ａ相から発生する４次曲げ振動とＢ相から発生する４次曲げ振動とは、位置的な位相が１／４波長ずれるようになっており、また、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号とは、９０°位相がずれているため、２つの曲げ振動は、合成され、４波の進行波となる。

図４は、弾性体１２で発生する進行波と振動子１１との様子を説明する図である。図示するように、圧電体１３によって弾性体１２に進行波が発生すると、進行波の波頭には、楕円運動Ａが生じる。弾性体１２の駆動面１２ｄと摺動部材３０の接触面３０ａは加圧接触されているので、移動子１５は、この楕円運動によって摩擦駆動されて回転する。移動子１５が回転すると、その回転はゴム部材２３により出力軸１８に伝達され、出力軸１８が回転する。出力軸１８の回転よりギア４が回転され、ギア４，５を介してカム筒６が回転し、レンズ７が移動される。

光学式エンコーダ等の検出部１０６は、移動子１５の駆動により駆動されたカム筒６の位置や速度を検出し、電気パルスとして、制御部１０２に伝達する。制御部１０２は、この信号を基に、レンズ７の現在の位置と現在の速度とを得ることが可能となり、発振部１０１が発生する駆動周波数は、これらの位置情報、速度情報及び目標位置情報を基に制御される。

以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
（１）図５は、図４と同様に、振動子１１２で発生する進行波と移動子１１５との様子を説明する図であり、移動子１１５の剛性が本実施形態よりも小さい比較形態を示す。比較形態によると、移動子１１５の剛性が小さいため、移動子１１５の曲げ変形が大きくなり、進行波の波底においても移動子１１５と弾性体１１２とは接触している。波底では波頭の楕円運動と逆方向の楕円運動が発生している。このように、移動子１１５の剛性が小さいと移動子１１５の良好な駆動が困難となる。

ここで、移動子１１５を全て金属で製造すれば、大型化せずに高い剛性を確保することができるが、コストがかかる。また、磨耗による耐久性も低くなる。これに対し、移動子をプラスチックで製造すると、安価であるが、所望の剛性を得るには、大型化する。弾性率を金属とプラスチックで比較すると、アルミニウムが約７０ＧＰａ（≒７０万ｋｇｆ／ｃｍ^２）に対して、剛性が大きいといわれているエンジニアプラスチックでも５〜１０ＧＰａと、約１／１０程度である。したがってアルミニウムと同等の曲げ剛性をプラスチックで確保するためには、幅で約１０倍（剛性は幅に比例）、又は、厚さで２倍以上（剛性は厚さの３乗に比例）の大きさが必要となる。

本実施形態によると、移動子１５において移動子本体１５が金属材料で製造されているため、剛性が確保される。したがって、図４に示すように、移動子１５の摺動部材３０と弾性体１２との接触は進行波の波頭のみとなり、十分な駆動性能が確保できるようになる。

（２）本実施形態によると、上述のように移動子本体１５は金属材料で製造されているが、移動子１５の接触面３０ａはプラスチックで製造されている。プラスチックは良好な耐摩耗性を有するため、移動子１５と弾性体１２との間の磨耗が低減し、超音波モータ１０として耐久性が向上するとともに良好な駆動性能が確保される。

（３）移動子１５の一部である摺動部材３０がプラスチックで製造されているため、全体を金属材料で製造するよりも安価で製造することができる。また、移動子１５の一部である移動子本体４０が金属材料で製造されているため、全体をプラスチックで製造するよりも小さな形状で、必要な剛性が確保できる。

（４）また、本実施形態のように小径型の振動波モータ１０は、移動子１５の回転数が高い使用方法が多く、この場合、移動子１５の接触面３０ａには摩擦駆動により摩擦熱が発生し、これをすばやく放熱する必要がある。すばやく放熱できない場合には、駆動面の温度が極端に上昇し、駆動信号を一定周波数として定速駆動させようとしても、雰囲気温度よりも高い温度で駆動された場合と同じとなり、回転数が下がってくる現象が生じ、駆動制御に影響することが生じる。本実施形態は、移動子本体４０が接触面３０ａの近傍に配置されているので、接触面３０ａに発生した摩擦熱を、金属部に素早く放熱でき、接触面３０ａの温度上昇を抑制でき、駆動制御への影響を低減できる。

（第２実施形態）
図６は、本発明の第２実施形態を示した図である。第２実施形態において第１実施形態と同様な部分の説明は省略する。第２実施形態が第１実施形態と異なる点は、移動子本体２４０の延在部分２４１において、内径側の径が大きくなっている点である。すなわち、移動子本体２４０は、接触面２３０ａと交差する方向に沿った第１の面２４１ａと、接触面３０ａと平行な方向に沿った第２の面２４１ｂとを備える。また、第１の面２４１ａと第２の面２４１ｂとにより、移動体本体４０の内周側には段部が形成されている。

第２実施形態において摺動部材２３０は、移動子本体２４０の温度を上昇させて移動子本体２４０を膨張させ、この状態で、摺動部材２３０を移動子本体２４０の延在部分２４１の第１の面４２１ａに沿わせて第２の面２４１ｂに当接するまではめ込む。そして自然冷却させることにより摺動部材２３０は移動子本体２４０の内周の段部２４１ａ，２４１ｂに固定される。以上、第２実施形態においても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

（第３実施形態）
図７は、本発明の第３実施形態を示した図である。第３実施形態において第１実施形態と同様な部分の説明は省略する。第３実施形態が第１実施形態と異なる点は、移動子本体３４０の延在部分３４１において、摺動面３３０ａ側から円周に沿って凹部３３０ｂが設けられている点である。その凹部３３０ｂに円環状の摺動部材３３０が挿入されている。すなわち、移動子本体３４０は、接触面３３０ａと交差する方向に沿った２つの第１の面３４１ａと、接触面３３０ａと平行な方向に沿った第２の面３４１ｂとを備える。第１の面３４１ａと第２の面３４１ｂとにより、移動体本体３４０の凹部３３０ｂが形成されている。

そして、凹部３３０ｂに挿入された摺動部材３３０を移動子３１５に固定するため、延在部分３４１にはねじ穴３５１が設けられ、延在部分３４１の外周側から、そのねじ穴３４１を挿通してねじ３５０が摺動部材３３０まで挿入されている。ねじ３５０の個数は本実施形態では円周に沿って２箇所であるが、これに限定されず１以上のいずれの個数であってもよい。以上、第３実施形態においても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

（第４実施形態）
図８は、本発明の第４実施形態を示した図である。第４実施形態は摺動部材４３０の固定方法が異なる以外、第３実施形態と同様である。移動子本体４４０の延在部分４４１において、摺動面４３０ａ側から円周に沿って凹部４３０ｂが設けられている点である。その凹部４３０ｂに円環状の摺動部材４３０が挿入されている。すなわち、移動子本体４４０は、接触面４３０ａと交差する方向に沿った２つの第１の面４４１ａと、接触面４３０ａと平行な方向に沿った第２の面４４１ｂとを備える。第１の面４４１ａと第２の面４４１ｂとにより、移動体本体４４０の凹部３３０ｂが形成されている。

そして、摺動部材４３０は、移動子本体４４０の凹部４３０ｂに挿入されて接着剤で固定されている。以上、第４実施形態においても、第３実施形態と同様の効果を得ることができる。

（変形形態）
（１）本実施形態では、移動子本体をステンレス鋼としたが、高分子材料より縦弾性係数が大きい材料なら、例えば、鉄鋼材、アルミニウム材、真鍮材でもよい。
（２）縦振動−ねじり振動といった定在波を組み合わせた振動波モータでも、移動子又は相対運動部材の剛性が必要な場合には、本実施形態を同様に適応でき、小型化や低コスト化といった同様の効果が得られる。
（３）また、上述の実施形態では、φ１５以下の小型の超音波モータ振動アクチュエータを例にして説明したが、例えば、φ３０〜８０位の円環状の進行波型振動アクチュエータでも同様に適用でき、小型化や低コスト化といった同様の効果が得られる。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。

１：カメラ、３：レンズ鏡筒、１０：振動アクチュエータ、１１：振動体、３０，２３０，３３０，４３０：摺動部材、４０，２４０，３４０，４４０：移動子本体、４１ａ，２４１ａ，３４１ａ，４４１ａ：第１の面、４１ｂ，２４１ｂ，３４０ｂ，４４０ｂ：第２の面、３３０ｂ，４３０ｂ：凹部、２４１ａ，２４１ｂ：段部、４１ａ，４１ｂ：段部

Claims (9)

1. 振動波を生じる振動部材と、
   前記振動部材と接触する接触面を有し、前記振動波により前記接触面が駆動されることにより前記振動部材に対して相対移動する相対移動部材と、
   を備える振動波アクチュエータであって、
   前記相対移動部材は、前記接触面を含む第１の部分と、前記第１の部分よりも剛性が高く、かつ、前記接触面と交差する第１の面を有し、前記第１の部分の少なくとも一部が前記第１の面と接触するように前記第１の部分が取り付けられた第２の部分とを備えたこと、を特徴とする振動アクチュエータ。
2. 請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
   前記第２の部分は前記接触面と平行な方向に沿った第２の面を備え、
   前記第１の部分は、前記第２の部分の前記第２の面の少なくとも一部と接触するようにして前記第２の部分に取り付けられていること、を特徴とする振動アクチュエータ。
3. 請求項２に記載の振動アクチュエータであって、
   前記第１の部分と前記第２の部分とは嵌合していること、を特徴とする振動アクチュエータ。
4. 請求項３に記載の振動アクチュエータであって、
   前記嵌合は、前記第１の部分又は前記第２の部分のいずれか一方を熱膨張させて他方に嵌め込むことにより行われたものであること、を特徴とする振動アクチュエータ。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
   前記第２の部分に凹部が形成され、前記第１の部分は該凹部に嵌合されていること、を特徴とする振動アクチュエータ。
6. 請求項３又は４に記載の振動アクチュエータであって、
   前記第１の部分及び前記第２の部分が円環形状を有し、前記第２の部分の内周側に段部が形成され、
   前記第１の部分は前記第２の部分における該段部に嵌合されていること、を特徴とする振動アクチュエータ。
7. 請求項３又は４に記載の振動アクチュエータであって、
   前記第１の部分及び前記第２の部分が円環形状を有し、前記第２の部分の外周側に段部が形成され、
   前記第１の部分は前記第２の部分における該段部に嵌合されていること、を特徴とする振動アクチュエータ。
8. 請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータを有するレンズ鏡筒。
9. 請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータを有するカメラ。

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