JP2010208699A - Stacked body and substrate housing body - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液晶ディスプレイのカラーフィルタや薄膜トランジスタ(TFT)等に用いるガラス基板などのように、表面に機能層を備えた基板を運搬、保管等のための積重体および基板収納体に関するものである。 The present invention relates to a stack for transporting and storing a substrate having a functional layer on its surface, such as a glass substrate used for a color filter of a liquid crystal display, a thin film transistor (TFT), and the like, and a substrate container. .
カラーフィルタに用いるガラス基板のように、表面に機能層を備えた基板は、その表面で機能層を損傷したり、汚したりすることなく、運搬及び保管することが重要である。そこで、これらの基板の運搬、保管には、基板を1枚ずつ挿入する溝を備えた樹脂製のケースを用いていた。しかしながら、このケースでは、基板間に隙間を生じさせた状態で基板を収納するため、収納効率が悪いという問題があった。そこで、複数のガラス基板と合紙とを交互に重ね、斜め積みパレット上に斜め積みした包装形態(特許文献1参照)、複数のガラス基板とガラス基板の縁部に接触する枠状の離間部材とを交互に重ね、斜め積みパレット上に斜め積みした包装形態(特許文献2参照)、ガラス基板を1個ずつPETフィルムで密封し、これらを積み重ねる包装形態(特許文献3参照)、ガラス基板を1個ずつ、凹凸加工した内壁を有するラミネートフィルムからなる袋状体で包装し、それをケースに詰める包装形態(特許文献4参照)等が提案されている。 It is important to transport and store a substrate having a functional layer on the surface, such as a glass substrate used for a color filter, without damaging or contaminating the functional layer on the surface. Therefore, a resin case provided with a groove for inserting the substrates one by one has been used to transport and store these substrates. However, in this case, since the substrates are stored in a state where a gap is generated between the substrates, there is a problem that the storage efficiency is poor. Therefore, a packaging form in which a plurality of glass substrates and slip sheets are alternately stacked and obliquely stacked on an oblique stacking pallet (see Patent Document 1), a plurality of glass substrates and a frame-shaped separation member that contacts the edges of the glass substrates Are stacked alternately and obliquely stacked on a pallet (see Patent Document 2), glass substrates are sealed with PET film one by one, and these are stacked (see Patent Document 3). There has been proposed a packaging form (see Patent Document 4) and the like, which are packaged one by one in a bag-like body made of a laminated film having an unevenly processed inner wall and packed in a case.
しかしながら、これらにはいずれも問題があった。すなわち、特許文献1,2に示すように斜め積みする方法では、ガラス基板を傾斜した受け面に立てかけるようにして斜め積みした後、ガラス基板の高さ方向の1箇所或いは2箇所をバンド等で受け面に押し付けるように締め付けることで固定しているが、その際、ガラス基板の下部領域を受け面に必要な押圧力で押し付け、固定することが困難である。これは、次の理由による。すなわち、ガラス基板を斜め積みした際、各ガラス基板はその下端が斜め積みパレットの載置面に乗った状態で保持されているため、ガラス基板の下部領域を傾斜した受け面に押し付け、固定しようとすると、そのガラス基板の自重によって斜め積みパレットの載置面に強く押し付けられた状態となっているガラス基板下端縁を載置面上で滑らせて動かさなくてはならず、その際の摩擦力が大きいため、ガラス基板の下端縁を動かすことが困難である。ガラス基板のサイズが小さく、荷重が小さい場合か、重ね合わせた枚数が少ない場合には、斜め積みしたガラス基板の適当な位置をバンド等で締め付けることにより、ガラス基板の下部領域は十分に固定されておらず、輸送中の振動などによってガラス基板が動き、損傷を生じることがあった。更に、特許文献2に示す枠状の離間部材を用いた方法では、離間部材の厚さが、5mm程度と大きく、このため、積載量が少なくなり、しかもガラス基板のサイズが大きい場合には端縁のみを離間部材で拘束した構造ではガラス基板に自重によるたわみを生じ、この点からも損傷を生じることがあった。 However, both of these have problems. That is, in the method of stacking diagonally as shown in Patent Documents 1 and 2, after the glass substrate is stacked diagonally so as to lean against the inclined receiving surface, one or two places in the height direction of the glass substrate are banded or the like. Although it is fixed by tightening so as to be pressed against the receiving surface, it is difficult to press and fix the lower region of the glass substrate to the receiving surface with a necessary pressing force. This is due to the following reason. That is, when the glass substrates are stacked diagonally, each glass substrate is held with its lower end on the mounting surface of the diagonal stacking pallet, so press the lower area of the glass substrate against the inclined receiving surface and fix it. Then, the lower edge of the glass substrate that is strongly pressed against the mounting surface of the oblique stacking pallet by its own weight must be slid and moved on the mounting surface. Since the force is large, it is difficult to move the lower edge of the glass substrate. When the size of the glass substrate is small and the load is small, or the number of stacked sheets is small, the lower area of the glass substrate is sufficiently fixed by tightening the appropriate position of the glass substrate stacked diagonally with a band etc. However, the glass substrate may be moved and damaged due to vibration during transportation. Furthermore, in the method using the frame-shaped separation member shown in Patent Document 2, the separation member has a thickness as large as about 5 mm. Therefore, when the loading amount is small and the size of the glass substrate is large, it is not possible. In the structure in which only the edge is constrained by the spacing member, the glass substrate is bent due to its own weight, which may cause damage from this point.
特許文献3、4に示すように各ガラス基板を、PETフィルムで密封するとか、ラミネートフィルムからなる袋状体で包装する包装形態では、ガラス基板の包装に多大な工数がかかり、包装コストが高くなるという問題がある。また、PETフィルムや包装体で包装したガラス基板を、単に積み重ねるか、或いはケースに詰めているのみであるので、運搬中にガラス基板が動くことがあり、その際にガラス基板とそれを包装しているPETフィルムやラミネートフィルムと擦れ合って、ガラス基板の機能層に損傷を与えるおそれもある。
As shown in
これらの問題点を解決する方法として、本出願人は、ガラス基板を離間体を介して水平に積み重ねて積重体とし、押圧固定して、収納容器に収納し、保管、運搬する方法を見出し、先に出願したが、先の出願では、基板の側部を保護するため、または、収納容器に収納した際の収納容器側板と積重体との間の隙間による収納容器内での動きを拘束するため、積重体側部すなわち収納容器と積重体との隙間にクッション材等を挿入する必要があった。 As a method for solving these problems, the present applicant has found a method of stacking glass substrates horizontally through a separating body to form a stack, pressing and fixing, storing in a storage container, storing and transporting, In the previous application, in order to protect the side portion of the substrate, or in the previous application, the movement in the storage container is restrained by the gap between the storage container side plate and the stack when stored in the storage container. Therefore, it has been necessary to insert a cushioning material or the like into the stack side, that is, the gap between the storage container and the stack.
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたもので、液晶ディスプレイのカラーフィルタや薄膜トランジスタ(TFT)等に用いるガラス基板などの基板を、大量に且つコンパクトに収納すると共に、輸送中に動くことがないように拘束でき、基板を損傷することなく運搬、保管を行うことの可能な積重体および基板収納体を提供するものである。 The present invention has been made in view of such problems, and can accommodate a large amount of a substrate such as a glass substrate used for a color filter or a thin film transistor (TFT) of a liquid crystal display in a compact manner and can move during transportation. It is possible to provide a stack body and a substrate storage body that can be restrained so that they can be transported and stored without damaging the substrate.
本発明の第1の発明は、基板と離間体とを交互に積み重ねた積重体を基板収納容器に収納した収納体であって、前記基板収納容器は、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段とを有し、前記離間体はクッション性を有する材質であり、前記離間体の周縁部は前記基板より延び出しており、前記離間体の前記基板との接触部は、前記押圧手段により押圧されて圧縮され、前記基板が上下の離間体に埋没し、前記離間体の前記基板との非接触部が前記基板の側部クッション材として具備されることを特徴とする基板収納体である。 1st invention of this invention is the storage body which accommodated the stacking body which piled up the board | substrate and the separate body alternately in the board | substrate storage container, Comprising: The said board | substrate storage container made the said stacking body horizontal. A support base having a support surface that can be placed in a state, and a pressing unit that applies a uniform pressing force to the entire upper surface of the stack placed on the support stand and presses and fixes the stack to the support base. The spacing member is made of a cushioning material, the peripheral portion of the spacing member extends from the substrate, and the contact portion of the spacing member with the substrate is pressed by the pressing means. The substrate container is characterized in that the substrate is buried in upper and lower spaced bodies, and a non-contact portion of the spaced body with the substrate is provided as a side cushion material of the substrate.
また第2の発明は、基板と離間体とを交互に積み重ねた積重体であって、前記離間体はクッション性を有する材質であり、前記離間体の周縁部は前記基板より延び出しており、前記離間体の前記基板との接触部は圧縮され、前記基板が上下の離間体に埋没し、前記離間体の前記基板との非接触部が前記基板の側部クッション材として作用することを特徴とする積重体である。 Further, the second invention is a stacked body in which the substrate and the separation body are alternately stacked, the separation body is a material having a cushioning property, and the peripheral portion of the separation body extends from the substrate, The contact portion of the spacer with the substrate is compressed, the substrate is buried in the upper and lower spacers, and the non-contact portion of the spacer with the substrate acts as a side cushion material of the substrate. Is a stack.
本発明の積重体によれば、基板より延び出した離間体の周縁部が、積重体の側部クッション材として作用するので、基板を運搬、保管する際に、簡易な包装で運搬することが可能である。また収納容器に収納する際、収納容器と積重体との隙間に、積重体を拘束するためのクッション材を新たに設ける必要が無く、簡易な工程で、基板を運搬、保管することが可能である。 According to the stacked body of the present invention, since the peripheral edge portion of the separating body extending from the substrate acts as a side cushion material of the stacked body, it can be transported with simple packaging when transporting and storing the substrate. Is possible. In addition, when storing in the storage container, there is no need to newly provide a cushioning material for restraining the stack in the gap between the storage container and the stack, and the substrate can be transported and stored in a simple process. is there.
本発明の基板収納体によれば、支持台を水平に配置した状態で、その支持台の支持面上に基板の積重体を、基板を水平とした状態で載置し(或いは支持台上で基板を水平に積み重ねて積重体を形成し)、その積重体の上面全域に、押圧手段によって均一な押圧力を作用させることで、その積重体を支持台に押し付け、固定することができ、更に、基板より延び出した離間体の周縁部が、積重体の側部クッション材として作用するので、収納容器と積重体との隙間に、積重体を拘束するためのクッション材を新たに設ける必要が無く、固定が確実で運搬中などに基板が動いて損傷を生じることなく、基板を運搬、保管することができる。 According to the substrate storage body of the present invention, the substrate stack is placed on the support surface of the support table in a state where the support table is horizontally disposed (or on the support table). By stacking the substrates horizontally to form a stacked body, and by applying a uniform pressing force to the entire upper surface of the stacked body by pressing means, the stacked body can be pressed against the support base and fixed. The peripheral edge of the separating body extending from the substrate acts as a side cushion material for the stacking body, so it is necessary to newly provide a cushioning material for restraining the stacking body in the gap between the storage container and the stacking body. The substrate can be transported and stored without being fixed and without causing damage due to movement of the substrate during transportation.
複数の基板は水平に積み重ねられており且つその上面全域に均一な押圧力を作用させているので、基板サイズが大きい場合でも、或いは収納枚数が多い場合でも、各基板がその全域において均一な圧力で締め付けられており、従来、バンド等によって局部的に締め付ける場合には、局部的に押圧力の大きい部分が生じ、その部分に損傷を生じるおそれがあるが、本発明では基板全域に均一な押圧力を作用させることができるので、単位面積当たりの押圧力を小さく設定しても、基板を動かないように拘束でき、この点からも基板の損傷を防止できる。 Since multiple boards are stacked horizontally and a uniform pressing force is applied to the entire upper surface, even if the board size is large or the number of stored sheets is large, each board has a uniform pressure over the entire area. Conventionally, when locally tightening with a band or the like, there is a possibility that a portion with a large pressing force is locally generated, and that portion may be damaged. Since the pressure can be applied, even if the pressing force per unit area is set to be small, the substrate can be restrained so as not to move, and also from this point, the substrate can be prevented from being damaged.
このようにして、本発明の収納体は、大量の且つサイズの大きい基板をコンパクトに収納すると共に、基板に損傷を生じることなく安全に運搬、保管することができ、基板の運搬コストを下げることができる。 Thus, the storage body of the present invention can store a large number of large-sized substrates in a compact manner, and can safely transport and store the substrates without damaging the substrates, thereby reducing the cost of transporting the substrates. Can do.
積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させる押圧手段として、エアバッグを用いることにより、広い面積に容易に均一な押圧力を作用させることができると共にエアバッグに供給する空気圧の調整で容易に押圧力を調整できる。 By using an airbag as a pressing means that applies a uniform pressing force to the entire upper surface of the stack, it is possible to easily apply a uniform pressing force to a large area and easily adjust the air pressure supplied to the airbag. The pressing force can be adjusted.
また、積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させる押圧手段として、弾性板材を用いることにより、弾性板材を介して積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、基板が動かないように拘束できる。 In addition, by using an elastic plate as a pressing means that applies a uniform pressing force to the entire upper surface of the stack, the uniform pressing force is applied to the entire upper surface of the stack via the elastic plate so that the substrate does not move. Can be restrained.
また、押圧手段と積重体との間、及び積重体と支持台の間のいずれか一方もしくは双方に、平坦な補強板材を配置することにより、基板をその平坦な補強部材で支持或いは押圧することができ、基板の損傷を一層防止できるという効果が得られる。 Further, by placing a flat reinforcing plate between the pressing means and the stack and between the stack and the support base or both, the substrate is supported or pressed by the flat reinforcing member. As a result, the substrate can be further prevented from being damaged.
また、前記支持台をパレットにすることにより、フォークリフト等を用いた運搬が容易となる効果が得られる。更に、そのパレットに、パレット上に載置された積重体を包囲するように蓋体を脱着可能に取り付け、その蓋体の天板を前記した荷重支持板として作用させる構成とすることにより、蓋体で荷重支持板を兼用することができ、構造を簡単としながら、蓋体によって積重体を覆って、基板に対するごみ、ほこり等の付着を防止できるといった効果が得られる。 Moreover, the effect which becomes easy to convey using a forklift etc. is acquired by making the said support stand into a pallet. Furthermore, the lid is detachably attached to the pallet so as to surround the stacked body placed on the pallet, and the top plate of the lid is configured to act as the load support plate described above. The body can also be used as a load support plate, and while the structure is simple, the stack body is covered with the lid body, and the effect of preventing adhesion of dust, dust and the like to the substrate can be obtained.
また、前記パレットとそれに取り付けられる蓋体で形成される内箱を収納する第2のパレット及び第2の蓋体からなる外箱を有する構成としておくと、その外箱に収納された内箱にごみ、ほこり等が付着されることなく、この内箱を基板を使用する工場内に搬入した際に、工場内にごみ、ほこり等を同伴することがなく、工場内を清潔に保てるという効果が得られる。
Moreover, when it is set as the structure which has the 2nd pallet which accommodates the inner pallet formed with the said pallet and the cover attached to it, and the outer box which consists of a 2nd cover body, in the inner box accommodated in the outer box When this inner box is carried into a factory that uses a substrate without dust, dust, etc., the factory can be kept clean without being accompanied by dust, dust, etc. can get.
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る基板収納体の概略断面図であり、図2は、本発明の積重体の説明図であり、また、図3は、図1に示す基板収納体の斜視図である。図1は、本発明の積重体9を、収納容器に収納した基板収納体1である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a substrate storage body according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an explanatory view of a stack of the present invention, and FIG. 3 is shown in FIG. It is a perspective view of a board | substrate storage body. FIG. 1 shows a substrate storage body 1 in which a
第1の実施の形態において、収納の対象とする基板3は、液晶ディスプレイのカラーフィルタや薄膜トランジスタ(TFT)等に用いるガラス基板などであり、その代表的な構造を図6に概略的に示している。
In the first embodiment, the
図6において、基板3は、ガラス板等の基板本体3aの片面に、機能層3b(例えば、カラーフィルタ用の基板の場合には、ブラックマトリックス、着色画素、ITO電極などを備えた層)を備え、更にその上に、保管、運搬中等における損傷を防止するための保護膜3cを形成している。
In FIG. 6, the
この保護膜3cは容易に形成でき且つ容易に除去可能な材料で作られるものであり、水溶性の樹脂(例えば、ポリビニルアルコール)が用いられることが多い。膜厚としては、10〜20μm程度が用いられる。通常、機能層3b、保護膜3cは、基板本体3aの周縁の数mmを除いた全領域に形成されている。本明細書では、機能層3b及びその上に保護膜3cを形成した領域を有効領域という。
The
基板3の平面サイズは、特に限定されず、例えば、幅1800mm×長さ2000mmといった大きいサイズとすることも可能である。また、基板の厚さも制限されるものではないが、0.3〜1.0mm程度において好適に使用可能である。
The planar size of the
基板3を多数枚積み重ね、積重体9を形成する際、各基板3の機能層3b、保護膜3cを保護することができるよう、各基板3間に離間体5を挟んでいく。
When a large number of
離間体5は、基板3より大きく、離間体5の周縁部が基板より延び出すように、基板3が離間体5を介して水平に、積み重ねられ積重体を形成させる(図2(a))。積重体9の形態は、図2(a)に示すように基板3よりも大きい離間体5を、交互に挟み込み、離間体5の周縁部が全周にわたり基板3の外側に延び出すように配置する形態である。
The
離間体5は、基板3を保護し、クッション性を有する材質であり好ましい材料としては、独立気泡を有する樹脂の発泡シートであり、特に好ましくは、発泡ポリプロピレンのシートである。例えば、株式会社JSP製の商品名「Pマット」を挙げることができる。
The
独立気泡を有する樹脂の発泡シートは、適度なクッション性を有するので、積重体9とした際、後に述べるように周縁部が側部クッション材を良好に形成し、また、そのやわらかさから基板表面の機能層3bの保護が確実であり、且つ通気性がないので保護膜3cが吸湿することを防止できる。
Since the foamed sheet of resin having closed cells has an appropriate cushioning property, when the
離間体5の厚さとしては、あまり薄いと側部クッション材の形成ができず、また、保護効果が低下し、一方あまり厚いとコスト高となると共に嵩張るという欠点を生じるので、これらを考慮して、0.5〜3mm程度に選定することが好ましい。
If the thickness of the
離間体5の大きさは、前述のように基板3より大きければ特に制限するものではないが、好ましくは長短変が基板のそれぞれより10mm〜80mm長いものである。
The size of the
特に好ましい基板および離間体の厚さの組み合わせは、基板の厚みが0.5mm〜1.1mmであり、離間体の厚みが0.5mm〜3mmである。また、1平方cmあたり30gf〜300gfの押圧力で、基板が上下の離間体に埋没する程度の硬さを有する離間体が好ましい。 A particularly preferable combination of the thickness of the substrate and the spacer is that the thickness of the substrate is 0.5 mm to 1.1 mm, and the thickness of the spacer is 0.5 mm to 3 mm. Further, a spacing member having a hardness such that the substrate is buried in the upper and lower spacing members with a pressing force of 30 gf to 300 gf per 1 cm 2 is preferable.
積重体9は、押圧手段により押圧力が加えられることにより、離間体5の基板3と接する部分は圧縮され、離間体5の基板3との非接触部(周縁部)は、圧縮されぬまま、図2(b)に示すように、側部クッション材を形成する。
In the stacking
前記押圧手段による押圧力は、離間体の基板3との接触部が圧縮され、離間体5の周縁部が側部クッション材を形成すれば、特に限定するものではないが、1平方cmあたり30gf〜300gf程度が好ましい。
The pressing force by the pressing means is not particularly limited as long as the contact portion of the spacing member with the
離間体5を剥がす際には、離間体5の端部が基板3の外側に延び出しているので、この延び出している部分をつかめば、確実に剥がすことができる。
When peeling off the
図1において、収納容器は、積重体9を支持する支持面11aを備えた支持台を構成するパレット11と、パレット11上に載置された積重体9を包囲するように、前記パレット11に脱着可能に取り付けられる蓋体13を備えている。
In FIG. 1, the storage container surrounds the
パレット11の支持面11aは、積重体9を、基板3が支持面11aに対して平行となる状態で支持可能なよう、基板3の面積より大きい面積に作られている。蓋体13は、パレット11に取り付けた状態で支持面11aに平行となる天板13aと、支持面11aに垂直となる4面の側板13bを備えた箱状のものである。
The
蓋体13を、パレット11に対する所定位置に位置決めするため、パレット11の上面の複数箇所に、蓋体13の側板13bの内面に嵌合する突起11bが形成されている。なお、パレット11に対して蓋体13の位置決めする手段は突起11bを用いたものに限らず、適宜変更可能である。
In order to position the
蓋体13の天板13aは、後述するように、エアバッグ15によって積重体9の上面に押圧力を作用させた際の反力を支持する荷重支持板として作用するものであり、蓋体13はその反力に耐えうる剛性を備えた構造としている。また、蓋体13は、パレット11に対してその反力を支えうる強度を備えた連結手段で連結されるようになっている。本実施形態では、蓋体13をパレット11に対して必要な強度で連結できるため、複数のパチン錠25を用いている。パチン錠25はワンタッチで開閉できるので、作業性がよいと共に大きい引張力に耐えることができる。なお、蓋体13をパレット11に連結する連結手段はパチン錠に限らず、ボルト、ナットを用いたもの、連結ピンを用いたもの等任意である。
As will be described later, the
パレット11の支持面11a上には、平面精度の高い補強板材23が置かれ、その上に積重体9が載置されている。そして、積重体9の上には表面精度の高い補強板材21が置かれ、その上にエアバッグ17が配置されている。
On the
エアバッグ15は、その内部に加圧エアを供給することにより膨らみ、上面位置が蓋体13の天板(荷重支持板)13aで拘束されることにより、積重体9の上面全域を補強板材21を介して均一に押圧できるように配置されている。従って、エアバッグ15とそれを支える天板13等は、積重体9の上面全域に、均一な押圧力を作用させ、該積重体を支持台に押し付け、固定する押圧手段を構成する。
The
また、エアバッグ15には、蓋体13をパレット11に取り付けた状態で、エアバッグ15内に加圧エアを供給できるよう、蓋体13の外側に延び出すようにエア供給用チューブ17が連結されており、その先端には弁19が取り付けられている。
In addition, an
積重体9の上下に配置される補強板材21、23は積重体9の基板を極力、平坦な状態で支持或いは押圧することができるよう設けたものである。補強板材21、23としては、平面精度に優れた軽量な板材が用いられ、具体的には、ハニカムパネル或いは発泡体をコアとしFRP板をスキンとした積層板等を用いることが好ましい。
The reinforcing
補強板材21、23は積重体9の全面を支持或いは押圧できるよう、基板3と同一もしくはそれよりも大きい面積のものが用いられる。補強部材21、23の平面精度としては、表面粗さは、100μmRmax程度以下、平面度は、最小曲率半径が700m程度とすることが好ましい。
The reinforcing
次に、収納容器に積重体9を収納する方法を説明する。図1に示すように、パレット11上に補強板材23を乗せ、次いでその上に基板3と離間体5とを交互に積み重ねて積重体9を形成する。なお、別の場所で積重体9を形成しておき、それをパレット11上に載置するように変更してもよい。
Next, a method for storing the
パレット11上に積重体9を載置した後は、その上に補強部材21及びエアバッグ15を乗せ、その上から蓋体13をかぶせ、蓋体13をパレット11に固定する。その後、エアバッグ15に連結されているエア供給用チューブ17にコンプレッサ等の加圧エア供給装置(図示せず)を連結して、エアバッグ15に加圧エアを供給する。これにより、エアバッグ15が膨らんで、積重体9の上面を補強板材21を介して押圧し、離間体5の基板との接触部は圧縮され、積重体9をパレット11に押し付けて固定する。この時、離間体の周縁部により側部クッション材7が形成される。
After the
エアバッグ15の押圧力は、そのエアバッグ15に供給するエア圧力を調整することで、所望の値に調整できる。なお、積重体9の高さが不足し、エアバッグ15で積重体9に押圧力を付与できない場合には、補強板材21とエアバッグ15との間に適当なスペーサを挿入しておけばよい。
The pressing force of the
エアバッグ15に所望圧力の加圧エアを供給した後は、弁19を閉じ、加圧エア供給装置を取り外す。
After the pressurized air of a desired pressure is supplied to the
また、収納容器に基板を収納する際には、パレット11を水平状態とし、基板を水平にした状態で積み重ねていくが、形成した収納体1を運搬する際には、パレット11を水平状態に保つ場合に限らず、必要に応じ、パレット11を傾斜させるとか、垂直に立ててもよい。この場合でも、基板3が全面に渡って均一な圧力で締め付けられ、パレット11に押し付けられているので、基板3が動くことはなく、基板3に損傷を生じることなく安全に運搬することができる。
Further, when storing the substrate in the storage container, the
開梱に当たっては、エアバッグ15の空気を抜いた後、蓋体13をパレット11から取り外し、エアバッグ15、補強板材21を取り外した後、積重体9の上面側から基板3、離間体5を交互に取り出せばよい。
In unpacking, after removing air from the
本実施の形態によれば、離間体5の周縁部が側部クッション材を形成することにより、新たに側部クッション材を充填しなくても、基板が動いて損傷を生じることがなく運搬することができる。また、エアバッグ15が積重体9の上面全域に均一な押圧力を作用させるので、基板サイズが大きい場合でも、また収納枚数が多いばあいでも、各基板3をその全域において均一な圧力で締め付けて固定することができ、エアバッグ15は、基板全面に均一な押圧力を作用させているので、単位面積当たりの押圧力を小さく設定しても、基板が動かないように拘束でき、この点からも基板の損傷を防止できる。
According to the present embodiment, the peripheral portion of the
次に、第2の実施形態に係る基板収納体について説明する。
図4は、第2の実施形態に係る基板収納体31の概略断面図を示す。図4において、第1の実施の形態で説明した構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
Next, a substrate storage body according to the second embodiment will be described.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the
基板収納体31は、基板収納体1を収納する外箱を備えた二重構造となっている。基板収納体1がパレット33とこれに脱着可能に取り付けられる蓋体35で形成される外箱に収納される。蓋体35は、内箱の蓋体13と同様な形状であり、パチン錠25によってパレット33に脱着可能となっている。なお、図示しないが、外箱のパレット33には、内箱のパレット11を所定位置に位置決めして固定するための手段が設けられている。
The
開梱に当たっては、外箱の蓋体35を外し、中に収納されている内箱を取り出し、所望の場所に搬入する。その後、エアバッグ15の空気を抜いた後、蓋体13をパレット11から取り外し、エアバッグ15、補強板材21を取り外した後、積重体9の上面側から基板3、離間体5を交互に取り出せばよい。
In unpacking, the
本実施の形態によれば、第1の実施の形態と同様に、離間体5の周縁部が側部クッション材7を形成することにより、新たに側部クッション材を充填しなくても、基板が動いて損傷を生じることなく、運搬することが可能である。また、エアバッグ15が積重体9の上面全域に均一な押圧力を作用させるので、基板サイズが大きい場合でも、また収納枚数が多いばあいでも、各基板3をその全域において均一な圧力で締め付けて固定することができ、エアバッグ15は、基板全面に均一な押圧力を作用させているので、単位面積当たりの押圧力を小さく設定しても、基板が動かないように拘束でき、この点からも基板の損傷を防止できる。更に、内箱が外箱で覆われていたため、ごみ、ほこりが付着しておらず、基板を使用する工場内等の清浄さを要求される場所に内箱を搬入してもトラブルを生じることがない。
According to the present embodiment, similarly to the first embodiment, the peripheral portion of the separating
次に、第3の実施形態に係る基板収納体について説明する。
上記実施形態では、積重体の上面に均一な押圧力を付与する押圧手段としてエアバッグ15を用いたものを用いているが、押圧手段はこれに限らず、他の構造としてもよい。図5は他の構造の押圧手段を用いた基板収納体41の概略断面図を示す。図5において、第1及び第2の実施形態で説明した構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
Next, a substrate storage body according to a third embodiment will be described.
In the above-described embodiment, the pressing means using the
基板収納体41は、パレット11に載置された積重体9と蓋体13の天板13aの間に、ゴム、スポンジ、樹脂発泡体等で形成された弾性板材43を圧縮した状態で配置している。すなわち、弾性板材43は、圧縮しない状態では、天板13aと補強板材21との間隔よりも厚い厚さを有しており、補強板材21の上に弾性板材43を乗せ、その上から蓋体13の天板13aを押し当て、適当な加圧手段で蓋体13をパレット11に向かって押し付け、その状態でパレット11に連結することにより、天板13aが弾性板材43を加圧して弾性変形させ、それにより、弾性変形した弾性板材43が積重体9の上面全域に均一な押圧力を作用させることができる。
The
本実施の形態によれば、離間体5の周縁部が側部クッション材を形成することにより、新たに側部クッション材を充填しなくても、基板が動いて損傷を生じることがなく運搬中することができる。また、エアバッグ15が積重体9の上面全域に均一な押圧力を作用させるので、基板サイズが大きい場合でも、また収納枚数が多いばあいでも、各基板3をその全域において均一な圧力で締め付けて固定することができ、エアバッグ15は、基板全面に均一な押圧力を作用させているので、単位面積当たりの押圧力を小さく設定しても、基板が動かないように拘束でき、この点からも基板の損傷を防止できる。更に、内箱が外箱で覆われていたため、ごみ、ほこりが付着しておらず、基板を使用する工場内等の清浄さを要求される場所に内箱を搬入してもトラブルを生じることがない。
According to the present embodiment, the peripheral portion of the
更に、上記実施形態ではいずれも、蓋体13の天板13aを、エアバッグ15や弾性板材43を支える荷重支持板としているが、エアバッグ15や弾性板材43を支える荷重支持板は、必ずしも蓋体13の天板13aの形態とする必要はなく、単に平板上の荷重支持板を用い、この荷重支持板を連結用の棒、パイプ、平板等を用いてパレット11に連結する構造としてもよい。
Furthermore, in any of the above embodiments, the
上記第1〜3の実施形態では、エアバッグ等を用いて積重体の上面に均一な押圧力を付与する構造であるが、押圧手段を特に用いることなく、積層体9を単に箱体中に収納し、箱体と積重体との隙間にスペーサを挿入して基板収納体とすることもできる。
これによれば、積重体9の自重により離間体5の周縁部が側部クッション材を形成し、基板3を離間体5が包囲することにより、新たに側部クッション材を充填しなくても、基板が動いて損傷を生じることがなく運搬中することができる。
In the first to third embodiments, the air bag or the like is used to apply a uniform pressing force to the upper surface of the stack, but the
According to this, the peripheral part of the separating
なお、本発明において、押圧手段が積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させる構成としているが、請求項の記載における「上面全域」とは、必ずしも厳密な意味での上面全域に限らず、多少は全域より少ない領域であっても、その領域に均一な荷重を加えることによって基板を動かないように拘束できるものであればよく、具体的には、上面全域の80%程度以上の領域を意味するものとする。 In the present invention, the pressing means is configured to apply a uniform pressing force to the entire upper surface of the stack. However, the “upper surface” in the claims is not necessarily limited to the entire upper surface. Even if the area is somewhat smaller than the entire area, it may be any area as long as the substrate can be restrained from moving by applying a uniform load to the area. Specifically, the area is about 80% or more of the entire upper surface. Means.
以上に、本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明は実施の形態に示す構造に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載範囲内で適宜変更可能であることは言うまでもない。 The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the structures shown in the embodiments, and can be appropriately changed within the scope of the claims. Yes.
1………基板収納体
3………基板
3a………基板本体
3b………機能層
3c………保護膜
5………離間体
7………側部クッション材
9………積重体
11………パレット
11b………突起
13………蓋体
13a………天板
13b………側板
15………エアバッグ
17………エア供給用チューブ
19………弁
21………補強板材
23………補強板材
25………パチン錠
31………基板収納体
33………パレット
35………蓋体
41………基板収納体
43………弾性板材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 .........
Claims (9)
前記基板収納容器は、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段とを有し、
前記離間体はクッション性を有する材質であり、前記離間体の周縁部は前記基板より延び出しており、前記離間体の前記基板との接触部は、前記押圧手段により押圧されて圧縮され、前記基板が上下の離間体に埋没し、前記離間体の前記基板との非接触部が前記基板の側部クッション材として具備されることを特徴とする基板収納体。 A storage body in which a stack of alternately stacked substrates and separate bodies is stored in a substrate storage container,
The substrate storage container has a support base having a support surface on which the stacked body can be placed in a horizontal state, and a uniform pressing force over the entire upper surface of the stack mounted on the support base. And a pressing means that presses and fixes the stack to the support base,
The spacer is a cushioning material, and a peripheral portion of the spacer extends from the substrate, and a contact portion of the spacer with the substrate is pressed and compressed by the pressing means, A substrate storage body, wherein a substrate is buried in upper and lower separation bodies, and a non-contact portion of the separation body with the substrate is provided as a side cushion material of the substrate.
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