JP2010206143A - Cleaning device for inject high-pressure cleaning liquid - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a low-cost cleaning device for inject high-pressure cleaning liquid, having a simplified structure, suppressing vibration of the device in cleaning, and achieving uniform cleaning. <P>SOLUTION: In the cleaning device 1 for inject high-pressure cleaning liquid equipped with a plurality of injection nozzles 3 for injecting high pressure cleaning liquid in the shape of one straight line to clean, the number of nozzle holders 2 is three and the holders are adjacently arranged in parallel mutually. A central nozzle holder 2c and nozzle holders 2b on both sides are linearly reciprocated in reverse directions to each other by a common servo motor 30 via a reciprocating slider-crank mechanism 7, the mass of the central nozzle holder 2c is set to be double of the mass of each of the nozzle holders 2b on the both sides, and an amount r of eccentricity by the reciprocating slider-crank mechanism is made to be same in each of nozzle holders 2b and 2c. The nozzle holders 2b and 2c are reciprocated in the longitudinal direction of the nozzle holders 2b and 2c while an object x to be cleaned is conveyed in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the nozzle holders 2b and 2c, and the high pressure cleaning liquid is injected from each of the injection nozzles 3 for cleaning at the same time. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、主として、液晶パネル、プラズマパネル、太陽電池パネル、有機ＥＬ（エレクトリックルミナンス)パネルなどのＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）や大型板状ガラスや半導体ウエハーなどの平坦な板状物を高圧洗浄液を噴射して洗浄する高圧洗浄液噴射洗浄装置（ウォータジェット洗浄機ともいう）に関する。詳しくは、たとえば、液晶ディスプレイや半導体ウエハーなどの製造工程で、ガラス基板表面の微小な粒子や有機物や金属不純物といった歩留り低下の原因となる汚濁物質を高圧洗浄液(高圧水を含む）を噴射して除去するのに使用でき、構造が簡単で低コスト化が可能な高圧洗浄液噴射洗浄装置に関する。   The present invention mainly applies a high-pressure cleaning liquid to flat plate-like objects such as FPD (flat panel display) such as liquid crystal panels, plasma panels, solar cell panels, organic EL (electric luminance) panels, large plate-like glass, and semiconductor wafers. The present invention relates to a high-pressure cleaning liquid jet cleaning apparatus (also referred to as a water jet cleaning machine) that performs cleaning by spraying. Specifically, for example, in the manufacturing process of liquid crystal displays and semiconductor wafers, high-pressure cleaning liquid (including high-pressure water) is sprayed on pollutants that cause yield reduction such as fine particles on the glass substrate surface, organic matter and metal impurities. The present invention relates to a high-pressure cleaning liquid jet cleaning apparatus that can be used for removal, has a simple structure, and can be reduced in cost.

この種の高圧洗浄液噴射洗浄装置として、複数の高圧液噴射ノズルを並べて装着したノズルホルダーをその支持軸回りに旋回（円運動）させながら若しくは円錐状に揺動させながら、洗浄装置から噴射する高圧洗浄液を洗浄対象物に対し垂直に当てながら直交方向に移動させることで、噴射ノズルから噴射する高圧洗浄液にて洗浄対象物の一面を緻密に洗浄する装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この装置は１本の直線状に高圧洗浄液が噴射する収束型ノズルを備えている。   As this type of high-pressure cleaning liquid jet cleaning apparatus, a high pressure sprayed from the cleaning apparatus while rotating (circularly moving) a nozzle holder around which a plurality of high-pressure liquid injection nozzles are mounted or swinging in a conical shape. There has been proposed an apparatus that precisely cleans one surface of a cleaning target with a high-pressure cleaning liquid sprayed from a spray nozzle by moving the cleaning liquid in an orthogonal direction while being vertically applied to the cleaning target (for example, Patent Document 1). reference). This apparatus is provided with a converging nozzle that ejects a high-pressure cleaning liquid in a straight line.

従来の一般的な洗浄装置で使用されているノズルは、噴射される洗浄液が円錐状に広がるコーン型、若しくは扇状に広がるファン型が多い。これらのノズルであれば、洗浄液の噴流が拡散し、その拡散する幅が広いために、上記特許文献１の洗浄装置のように円運動させたり、揺動させたりする必要がない。   As for the nozzle used in the conventional general cleaning apparatus, there are many cone types in which the sprayed cleaning liquid spreads in a conical shape or a fan type that spreads in a fan shape. If these nozzles are used, the jet of the cleaning liquid diffuses and the width of the diffusion is wide, so that it is not necessary to make a circular motion or swing like the cleaning device of Patent Document 1.

一方、特許文献１の洗浄装置では、洗浄液が拡散しない１本の直線状になって噴射される収束型噴射ノズルを使用しているため、噴射される洗浄液のエネルギー密度がコーン型やファン型に比べて数十倍と非常に高い。したがって、洗浄面での剥離・洗浄効果は非常に優れている。しかし、洗浄対象物に対し洗浄液が当たる領域（面積）が極めて狭く、局所部分しか洗浄できない。いいかえれば、洗浄液が当たっていない箇所が広く、それらの箇所は洗浄されない。   On the other hand, the cleaning device of Patent Document 1 uses a converging spray nozzle that is sprayed in a straight line in which the cleaning liquid does not diffuse, so that the energy density of the sprayed cleaning liquid is a cone type or a fan type. Compared to tens of times, it is very high. Therefore, the peeling / cleaning effect on the cleaning surface is very excellent. However, the region (area) where the cleaning liquid hits the object to be cleaned is extremely narrow, and only the local portion can be cleaned. In other words, the areas where the cleaning liquid is not applied are wide, and those areas are not cleaned.

これを解決するために、本願の発明者らは、洗浄対象物を一定速度で移動させながら多数の高圧液噴射ノズルから洗浄液を前記洗浄対象物に対し一直線状に噴射させて洗浄する高圧液噴射洗浄システムで、各高圧液噴射ノズルを洗浄対象物に向けかつ相互に間隔をあけて共通のノズルホルダーに配列し、前記各高圧液噴射ノズルの向きを揃え、前記各高圧液噴射ノズルを前記ノズルホルダーを介して一体的に水平面内で旋回円運動させながら各高圧液噴射ノズルから洗浄対象物に対し高圧液を噴射させるようにした洗浄方法と同洗浄装置を開発し、特許出願(2007−281322）している。   In order to solve this problem, the inventors of the present application perform high-pressure liquid injection that performs cleaning by injecting cleaning liquid from a number of high-pressure liquid injection nozzles in a straight line while moving the object to be cleaned at a constant speed. In the cleaning system, the high-pressure liquid injection nozzles are directed to the object to be cleaned and are arranged in a common nozzle holder with a space between each other, the directions of the high-pressure liquid injection nozzles are aligned, and the high-pressure liquid injection nozzles are aligned with the nozzles. A cleaning method and a cleaning device were developed, in which high-pressure liquid was sprayed from the high-pressure liquid spray nozzles onto the object to be cleaned while swirling circularly in a horizontal plane through a holder, and a patent application (2007-281322) was developed. )is doing.

この種の洗浄装置に関する他の先行技術に、洗浄対象物の表面内の他の領域より付着物が多い特定領域を検出する検出手段と、前記洗浄対象物をその搬送方向に沿って傾斜させた状態で保持する保持手段と、前記洗浄対象物を前記保持手段により保持されたままで前記搬送方向に沿って搬送する搬送手段と、前記洗浄対象物の表面に洗浄液を吐出する吐出手段と、前記表面の面内方向であり、かつ前記搬送方向に直交する方向である前記洗浄対象物の幅方向に沿って前記吐出手段を移動させる移動手段とを備え、前記特定領域に選択的に前記吐出手段から前記洗浄液を吐出する洗浄装置が提案されている（たとえば、特許文献２参照）。   In other prior art relating to this type of cleaning apparatus, a detection means for detecting a specific region having more deposits than other regions in the surface of the cleaning target, and the cleaning target is inclined along the conveying direction Holding means for holding in a state; conveying means for conveying the object to be cleaned along the conveying direction while being held by the holding means; discharging means for discharging a cleaning liquid onto the surface of the object to be cleaned; and the surface Moving means for moving the discharge means along the width direction of the object to be cleaned, which is a direction perpendicular to the transport direction, and selectively from the discharge means to the specific region A cleaning apparatus that discharges the cleaning liquid has been proposed (see, for example, Patent Document 2).

特許２７０５７１９号公報Japanese Patent No. 2705719 特開２００６−１０９４７号公報JP 2006-10947 A

・上記したように、ホルダーをその支持軸回りで旋回円運動させる際の回転速度を上げれば上げるほど、洗浄の緻密性（洗浄対象物に対し噴射洗浄液が当たる単位体積当たりの割合）が高まるが、一方でホルダーまたはホルダーを含む装置全体の振動が増大する。すなわち、この振動加速度は回転速度の２乗で増大するから、特許文献１に記載のような手持ち式洗浄装置にあっては、作業者が手で持った状態で洗浄作業を継続するのが困難になる。また、ホルダーに装着されるノズルの数を２倍〜３倍に増やすと、ホルダーの全長が延びるだけでなく、ホルダーの外径が大幅に大きくなるから、手持ち式洗浄装置としては不的確である。   As described above, the higher the rotational speed when the holder is swiveled around the support shaft, the higher the cleaning precision (the ratio per unit volume that the sprayed cleaning liquid hits the object to be cleaned). On the other hand, the vibration of the holder or the entire apparatus including the holder is increased. That is, since this vibration acceleration increases with the square of the rotational speed, it is difficult for the hand-held cleaning apparatus as described in Patent Document 1 to continue the cleaning operation with the hand held by the operator. become. Further, if the number of nozzles mounted on the holder is increased to 2 to 3 times, not only will the overall length of the holder be increased, but the outer diameter of the holder will be greatly increased, which is inaccurate as a hand-held cleaning device. .

・特許文献２に記載の装置は、洗浄対象物上の付着物が多い特定流域を集中的に洗浄する装置であり、洗浄対象物の全体を均一に洗浄する装置ではない。   -The device described in Patent Document 2 is a device that intensively cleans a specific basin where there are many deposits on the object to be cleaned, and is not a device that uniformly cleans the entire object to be cleaned.

・先願にかかる上記特許出願の洗浄装置７０は、図１０に示すように多数の高圧水噴射ノズル７２が配列されたノズルホルダー７１を、両側の駆動軸７４を偏心回転させて水平面内で旋回円運動しながら洗浄する構造からなる。このため、図１０においてＹ方向への加振時に二等辺三角形状の曲げモーメントがノズルホルダー７１に作用する。したがって、ノズルホルダー７１にはその曲げモーメントに打ち勝つだけの断面強度を持たせる必要があり、ノズルホルダー７１の剛性を上げるために大型化し、重量が増大する。それに伴って、両側の偏心回転駆動部７３および駆動モータも増強しなければならず、コストアップの要因になるほか、外部振動の増大につながる。また、密閉した洗浄室７６を確保するためには、旋回円運動するノズルホルダー７１から両側方に延びる支持部７５と洗浄室７６の両側壁７７とに所定の隙間（図１０のＧ部）を設けた上で、洗浄対象物（図示せず）の搬送方向前後部の隙間をシールしなければならない。このため、シール装置が複雑になる。   In the cleaning device 70 of the above-mentioned patent application relating to the prior application, as shown in FIG. 10, a nozzle holder 71 in which a number of high-pressure water injection nozzles 72 are arranged is swung in a horizontal plane by rotating eccentrically the drive shafts 74 on both sides. It consists of a structure that cleans while circularly moving. Therefore, an isosceles triangular bending moment acts on the nozzle holder 71 when vibrating in the Y direction in FIG. 10. Therefore, the nozzle holder 71 needs to have a cross-sectional strength sufficient to overcome the bending moment, and the nozzle holder 71 is increased in size and weight in order to increase the rigidity of the nozzle holder 71. Along with this, the eccentric rotation drive units 73 and the drive motors on both sides must be increased, leading to an increase in cost and increasing external vibration. In order to secure the sealed cleaning chamber 76, a predetermined gap (G portion in FIG. 10) is provided between the support portion 75 that extends from the nozzle holder 71 that moves in a circular motion on both sides and the side walls 77 of the cleaning chamber 76. In addition, the gap between the front and rear portions of the object to be cleaned (not shown) in the transport direction must be sealed. This complicates the sealing device.

本発明は上記の点に鑑みなされたもので、上記の先願に係る洗浄装置に比べて構造を簡略化でき、小型・軽量化を図れ、低コスト化を達成でき、また洗浄時の装置の振動を抑制し、均一で効率的な洗浄を可能にする高圧洗浄液噴射式洗浄装置を提供することを課題としている。   The present invention has been made in view of the above points, and can be simplified in structure as compared with the cleaning device according to the above-mentioned prior application, can be reduced in size and weight, can be reduced in cost, and can be used for a device during cleaning. It is an object to provide a high-pressure cleaning liquid jet type cleaning device that suppresses vibration and enables uniform and efficient cleaning.

上記の課題を解決するために本発明の高圧洗浄液噴射式洗浄装置は、高圧洗浄液を洗浄対象物に対し一本の直線状に噴射させて洗浄する多数の高圧洗浄液噴射ノズルを備えた高圧洗浄液噴射式洗浄装置であって、多数の前記噴射ノズルをノズルホルダーの長手方向に沿って一定の間隔をあけて配列するとともに、少なくとも２本の前記ノズルホルダーを相互に平行に隣接して配置しそれぞれ長手方向に直進往復移動可能に支持し、前記洗浄対象物を前記ノズルホルダーの長手方向に直交する方向に搬送しながら、隣接する前記ノズルホルダー同士を駆動装置により前記ノズルホルダー長手方向に対し相互に逆向きに直進往復移動させると同時に、各噴射ノズルから高圧洗浄液を前記洗浄対象物に対し噴射させて洗浄することを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problems, the high-pressure cleaning liquid jet type cleaning apparatus of the present invention is a high-pressure cleaning liquid jet equipped with a number of high-pressure cleaning liquid jet nozzles for cleaning a target object by spraying the high-pressure cleaning liquid into a single straight line. In this type of cleaning device, a large number of the injection nozzles are arranged at regular intervals along the longitudinal direction of the nozzle holder, and at least two of the nozzle holders are arranged adjacent to each other in parallel to each other. While supporting the object to be cleaned in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the nozzle holder, the adjacent nozzle holders are reversed with respect to the longitudinal direction of the nozzle holder by a driving device. At the same time, the high-pressure cleaning liquid is sprayed from the spray nozzles onto the object to be cleaned.

上記の構成を有する請求項１に係る高圧洗浄液噴射式洗浄装置によれば、多数の高圧洗浄液噴射ノズルがノズルホルダーとともにノズルホルダーの長手方向(左右方向）に所定距離内で直線状に往復移動すると同時に、多数の噴射ノズルから高圧洗浄液が一直線状に噴射されるから、高い洗浄強度が得られる。また、隣接する少なくとも２本のノズルホルダーが駆動装置により相互に逆方向に往復移動して洗浄作業を行うから、全体としての重心位置が移動しないために容易に重量バランスおよびモーメントバランスが取れた状態で往復移動させられるので、振動が少なくノズルホルダーがスムーズに移動し、また２本以上のノズルホルダーを相互に隣接した状態で洗浄対象物の幅方向にわたってほぼ隙間なく高圧洗浄液を均一に噴射させられ、洗浄ムラが生じにくい。さらに、洗浄の高速化を図るために洗浄対象物の移動速度を速めたり、往復移動時間を短縮したり、往復するノズルホルダーの移動速度を速めたりしても、ノズルホルダーあるいはノズルホルダーを含む装置全体の振動加速度が増大することがなく、振動が抑制される。   According to the high pressure cleaning liquid jet type cleaning apparatus according to claim 1 having the above configuration, when a large number of high pressure cleaning liquid jet nozzles reciprocate linearly within a predetermined distance in the longitudinal direction (left and right direction) of the nozzle holder together with the nozzle holder. At the same time, since the high-pressure cleaning liquid is sprayed in a straight line from a large number of spray nozzles, a high cleaning strength can be obtained. In addition, since at least two adjacent nozzle holders are reciprocally moved in opposite directions by the drive device to perform the cleaning operation, the center of gravity as a whole does not move, so that the weight balance and moment balance can be easily achieved. The nozzle holder moves smoothly with little vibration, and the high-pressure cleaning liquid can be sprayed uniformly with almost no gap across the width of the object to be cleaned with two or more nozzle holders adjacent to each other. Uneven cleaning is less likely to occur. Furthermore, even if the moving speed of the object to be cleaned is increased to speed up cleaning, the reciprocating time is shortened, or the moving speed of the reciprocating nozzle holder is increased, the apparatus including the nozzle holder or nozzle holder The vibration acceleration is suppressed without increasing the overall vibration acceleration.

請求項２に記載のように、前記ノズルホルダーが３本で、相互に平行に隣接させて配置し、ピストンクランク機構や往復スライダクランク機構などの各種クランク機構を介して共通の駆動用モータにより中央のノズルホルダーと両側方のノズルホルダーとを同時に逆向きに直進往復移動させるとともに、中央の前記ノズルホルダーの質量を両側方の前記ノズルホルダーの質量の２倍に設定し、かつ前記往復スライダ・クランク機構による偏心量を前記各ノズルホルダーについて同一にすることが望ましい。   According to a second aspect of the present invention, there are three nozzle holders, which are arranged adjacent to each other in parallel, and are centered by a common drive motor via various crank mechanisms such as a piston crank mechanism and a reciprocating slider crank mechanism. The nozzle holders on both sides and the nozzle holders on both sides are moved back and forth simultaneously in the opposite direction, and the mass of the nozzle holder in the center is set to twice the mass of the nozzle holders on both sides, and the reciprocating slider / crank It is desirable that the amount of eccentricity by the mechanism be the same for each nozzle holder.

このようにすれば、洗浄作業時に中央のノズルホルダーとこのノズルホルダーを挟んで両側方のノズルホルダーとが力Ｆおよび運動モーメントＭ（Ｆ×ｒ）においてそれぞれバランスした状態で往復移動するから、たとえば偏心量（ｒ）１０ｍｍで８００〜１０００ｒｐｍ程度の高回転速度で各ノズルホルダーを往復移動させても、振動が生じずスムーズに移動する。   In this way, the central nozzle holder and the nozzle holders on both sides sandwiching the nozzle holder are reciprocally moved in a balanced state in the force F and the moment of movement M (F × r) during the cleaning operation. Even if each nozzle holder is reciprocated at a high rotation speed of about 800 to 1000 rpm with an eccentricity (r) of 10 mm, the nozzle holder moves smoothly without vibration.

請求項３に記載のように、前記ノズルホルダーの下面に前記各噴射ノズルを長手方向に沿って等間隔に配列するとともに、前記ノズルホルダーの長手方向に沿って高圧洗浄液供給路を前記各噴射ノズルに連通させて設け、前記高圧洗浄液供給路の端部に可撓性の高圧洗浄液供給管の一端を接続することができる。   As described in claim 3, the spray nozzles are arranged on the lower surface of the nozzle holder at equal intervals along the longitudinal direction, and the high pressure cleaning liquid supply path is arranged along the longitudinal direction of the nozzle holder. And one end of a flexible high-pressure cleaning liquid supply pipe can be connected to the end of the high-pressure cleaning liquid supply path.

このようにすれば、ノズルホルダーの一端部に可撓性の高圧洗浄液供給管を接続して洗浄液をノズルホルダーに供給するので、クランク機構やモータなどを介してノズルホルダーを往復移動させることができる。また、ノズルホルダーは長手方向（左右方向）に直線状に往復移動するので、ノズルホルダーの往復移動時に可撓性の高圧洗浄液供給管が屈曲変形してノズルホルダー端部の変位を吸収する。そして、高圧洗浄液供給管を通じて高圧洗浄液供給路内に供給される高圧の洗浄液は高圧洗浄液供給路内に臨む（連通する）各噴射ノズルからほぼ均等に洗浄液が高圧下で噴射される。   In this way, a flexible high-pressure cleaning liquid supply pipe is connected to one end of the nozzle holder and the cleaning liquid is supplied to the nozzle holder, so that the nozzle holder can be reciprocated via a crank mechanism, a motor, or the like. . Further, since the nozzle holder reciprocates linearly in the longitudinal direction (left-right direction), the flexible high-pressure cleaning liquid supply pipe bends and absorbs the displacement of the end of the nozzle holder when the nozzle holder reciprocates. Then, the high-pressure cleaning liquid supplied into the high-pressure cleaning liquid supply path through the high-pressure cleaning liquid supply pipe is jetted under a high pressure from each of the injection nozzles facing (communicating) the high-pressure cleaning liquid supply path.

請求項４に記載のように、前記各ノズルホルダーをその長手方向に直進往復移動可能に支持するとともに、その長手方向の軸回りに回転可能に支持し、前記各ノズルホルダーをその長手方向に所定距離内で往復移動させながら、同時に長手方向に直交する方向に所定回転角度内で往復回転させるようにすることができる。   According to a fourth aspect of the present invention, each nozzle holder is supported so as to be linearly reciprocable in the longitudinal direction, and is supported so as to be rotatable around its longitudinal axis. The nozzle holders are predetermined in the longitudinal direction. While reciprocating within the distance, it can be reciprocated within a predetermined rotation angle in a direction orthogonal to the longitudinal direction at the same time.

このようにすれば、多数の噴射ノズルから高圧下で洗浄液を噴射しながら各ノズルホルダーをその長手方向（左右方向）に往復移動させると同時に、各ノズルホルダーの長手方向に直交する方向（前後方向）に往復回転させることができる。このため、ノズルホルダーの長手方向に直交する方向（前後方向）における方向転換点とホルダーの長手方向における方向転換点とで時間的なずれがあるので、高圧の洗浄液が洗浄対象物上の特定箇所に集中して噴射されることがない。また、ノズルホルダーを長手方向に往復移動させながら長手方向に直交する方向にも所定の回転角度内で往復回転させられるから、円形状だけでなく任意の楕円形状を描くように高圧洗浄液を洗浄対象物に噴射して洗浄でき、洗浄の均一性を確保する上で自由度が拡がる。   In this way, each nozzle holder is reciprocated in the longitudinal direction (left-right direction) while spraying cleaning liquid from a number of ejection nozzles under high pressure, and at the same time, the direction orthogonal to the longitudinal direction of each nozzle holder (front-rear direction) ). For this reason, there is a time lag between the direction change point in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the nozzle holder (front-rear direction) and the direction change point in the longitudinal direction of the holder. It is not sprayed concentrating on. In addition, while the nozzle holder is reciprocated in the longitudinal direction, the nozzle holder can be reciprocated within a predetermined rotation angle in a direction orthogonal to the longitudinal direction. It can be sprayed onto an object for cleaning, which increases the degree of freedom in ensuring the uniformity of cleaning.

請求項５に記載のように、共通のモーターにより前記ノズルホルダーに対し長手方向の往復移動を許容しつつ前記ノズルホルダーの長手方向軸回りに往復回転可能な回転力を付与するとともに、前記ノズルホルダーの長手方向軸回りの回転を許容しつつ長手方向に往復移動可能な直動力を付与することができる。   6. The nozzle holder according to claim 5, wherein a rotational force capable of reciprocating around the longitudinal axis of the nozzle holder is applied to the nozzle holder while allowing a common motor to reciprocate in the longitudinal direction. It is possible to apply a linear power capable of reciprocating in the longitudinal direction while allowing rotation around the longitudinal axis of the shaft.

このようにすれば、前記ノズルホルダーを長手方向に一定のピッチで直線状にスムーズに往復移動させながら長手方向の軸回り（前後方向）に往復回転させられるから、円形状だけでなく任意の楕円形状を描くように高圧洗浄液を洗浄対象物に噴射して洗浄でき、洗浄の均一性を確保する上で自由度が拡がる。しかも、共通のモーターにより前記ノズルホルダーの長手方向への往復移動とそれに直交する方向への往復回転とを同時に行わせるので、構造が簡単で二つの動作の連動(同期)が容易になる。   In this way, the nozzle holder can be reciprocally rotated around the longitudinal axis (front-rear direction) while smoothly reciprocating linearly at a constant pitch in the longitudinal direction. The high pressure cleaning liquid can be sprayed onto the object to be cleaned so as to describe the shape, and the degree of freedom is expanded in ensuring the uniformity of the cleaning. In addition, since the reciprocating movement of the nozzle holder in the longitudinal direction and the reciprocating rotation in the direction orthogonal thereto are simultaneously performed by a common motor, the structure is simple and the two operations can be easily linked (synchronized).

請求項６に記載のように、前記ノズルホルダーの長手方向（左右方向）への往復移動ストローク距離と前記ノズルホルダーの長手方向に直交する方向（前後方向）への往復回転ストローク距離と前記を一致させることができる。   The reciprocating stroke distance in the longitudinal direction (left-right direction) of the nozzle holder and the reciprocating rotational stroke distance in the direction orthogonal to the longitudinal direction (front-rear direction) of the nozzle holder are the same as described in claim 6. Can be made.

このようにすれば、洗浄対象物に対し洗浄液を真円形状の円を描くように噴射させることができる。しかも、上記した先願の高圧洗浄液噴射式洗浄装置に比べて構造が簡単で、ほぼ同様の洗浄作用を得られる。また、ノズルホルダー前後方向の加速度のバランスは、先願の高圧洗浄液噴射式洗浄装置に比べて取りやすいので、取り扱いが容易になる。   In this way, the cleaning liquid can be sprayed onto the object to be cleaned so as to draw a perfect circle. In addition, the structure is simpler than that of the above-described high-pressure cleaning liquid jet type cleaning apparatus, and almost the same cleaning action can be obtained. Further, since the balance of acceleration in the longitudinal direction of the nozzle holder is easier to take than the high pressure cleaning liquid jet type cleaning device of the prior application, handling becomes easy.

請求項７に記載のように、２本の前記ノズルホルダーを対として複数組を平行に、前記洗浄対象物の搬送方向に沿って配列することができる。   As described in claim 7, a plurality of sets of two nozzle holders can be arranged in parallel along the conveying direction of the object to be cleaned.

このようにすれば、たとえば請求項１に記載の少なくとも２本のノズルホルダーを対として複数組配列することにより、洗浄の緻密性を向上させられる。   In this case, for example, by arranging a plurality of sets of at least two nozzle holders according to claim 1 as a pair, the denseness of cleaning can be improved.

請求項８に記載のように、２本のノズルホルダーの組を１の列とし、上方より見て２つの前記列の境に対して鏡面対象となる構成および動作をするように、前記各列のノズルホルダーの組を相互に隣接させて配置することができる。   The group of two nozzle holders is set as one row as defined in claim 8, and each row is configured so as to be configured and operated as a mirror surface with respect to the boundary between the two rows as viewed from above. The nozzle holders can be arranged adjacent to each other.

このようにすれば、たとえば請求項１に記載の２本のノズルホルダーの駆動反力により生ずる小さな偶力の振動を、必要に応じて対称になる配置で２組設けることにより解消することができる。   In this way, for example, the vibration of the small couple caused by the driving reaction force of the two nozzle holders according to claim 1 can be eliminated by providing two sets in a symmetrical arrangement as necessary. .

請求項９に記載のように、前記複数本のノズルホルダーのうちの一部を、高圧水洗浄機構を具備しないダミーホルダーとすることができる。   According to a ninth aspect of the present invention, a part of the plurality of nozzle holders can be a dummy holder that does not include a high-pressure water cleaning mechanism.

このようにすれば、重量バランスを図るために多数本配置されるノズルホルダーについて、洗浄の緻密性を必要としない場合には一部のノズルホルダーの噴射ノズル数を減らしたり、重量バランス専用のダミーのノズルホルダーを設けることによって構造を簡略化できる。   In this way, with a large number of nozzle holders arranged to balance the weight, if the precision of cleaning is not required, the number of spray nozzles in some nozzle holders can be reduced, or a dummy dedicated to weight balance can be used. The structure can be simplified by providing the nozzle holder.

請求項１０に記載のノズルホルダー駆動装置は、高圧洗浄液を洗浄対象物に対し一本の直線状に噴射させて洗浄する多数の噴射ノズルを備えた高圧洗浄液噴射式洗浄装置であって、多数の前記高圧洗浄液噴射ノズルをノズルホルダーの長手方向に沿って一定の間隔をあけて配列するとともに、少なくとも２本の前記ノズルホルダーを相互に平行に隣接して配置しそれぞれ長手方向に直進往復移動可能に支持し、前記洗浄対象物を前記ノズルホルダーの長手方向に直交する方向に搬送しながら、隣接する前記ノズルホルダーを相互に逆向きに直進往復移動させると同時に、各噴射ノズルから高圧洗浄液を前記洗浄対象物に対し噴射させて洗浄する高圧洗浄液噴射式洗浄装置における前記各ノズルホルダーの駆動装置で、前記ノズルホルダーをその長手方向の軸回りに所定回転角度内で往復回転させるとともに、前記ノズルホルダーの直進往復移動の周期と長手方向軸回りの往復回転の周期とを同期させ、前記ノズルホルダーの前記噴射ノズルから噴射される洗浄液による洗浄軌跡が円形または楕円形にすることを特徴とする。   The nozzle holder driving device according to claim 10 is a high-pressure cleaning liquid jet type cleaning device provided with a plurality of injection nozzles for cleaning by spraying a high-pressure cleaning liquid in a single straight line on an object to be cleaned. The high-pressure cleaning liquid spray nozzles are arranged at regular intervals along the longitudinal direction of the nozzle holder, and at least two nozzle holders are arranged adjacent to each other in parallel so that each of them can move back and forth in the longitudinal direction. While supporting and transporting the object to be cleaned in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the nozzle holder, the adjacent nozzle holders are reciprocally moved back and forth in opposite directions, and at the same time, the high-pressure cleaning liquid is washed from each spray nozzle. The nozzle holder is driven by a drive device for each nozzle holder in a high pressure cleaning liquid jet type cleaning device that sprays and cleans an object. The nozzle holder is reciprocated within a predetermined rotation angle around the longitudinal axis, and the period of rectilinear reciprocation of the nozzle holder is synchronized with the period of reciprocation rotation around the longitudinal axis, and is ejected from the ejection nozzle of the nozzle holder. The cleaning locus by the cleaning liquid is circular or elliptical.

上記の構成を有するノズルホルダー駆動装置によれば、ノズルホルダーごとにこの駆動装置を用いて駆動させることにより、各ノズルホルダーの噴射ノズルから噴射される洗浄液による洗浄軌跡を円形または楕円形にすることができる。   According to the nozzle holder driving device having the above-described configuration, the cleaning locus by the cleaning liquid sprayed from the spray nozzle of each nozzle holder is made circular or elliptical by driving each nozzle holder using this driving device. Can do.

本発明に係る高圧洗浄液噴射式洗浄装置は上記の構成を有するから、下記のような優れた効果を奏する。すなわち、
多数の噴射ノズルが少なくとも２本のノズルホルダーとともにその長手方向に所定の速度で往復移動し、この往復移動時に多数の噴射ノズルから洗浄液が洗浄対象物に対して高圧下で噴射され、洗浄作業が行われる。ノズルホルダーを長手方向に往復移動させる場合に、図１に示すように洗浄軌跡がジグザグ（蛇腹状）になるから、洗浄対象物の幅方向（搬送方向に直交する方向）にわたって一定幅の洗浄領域が形成される。したがって、洗浄対象物をその洗浄領域を横切るように一定速度で搬送することにより、洗浄対象物の全面に対して高圧下で洗浄液を均一にかつ洗浄密度を高く保って噴射させられるので、高い洗浄力が得られ、洗浄ムラが生じにくい。 Since the high-pressure cleaning liquid jet cleaning apparatus according to the present invention has the above-described configuration, the following excellent effects can be obtained. That is,
A large number of injection nozzles reciprocate at a predetermined speed in the longitudinal direction together with at least two nozzle holders, and during this reciprocation, the cleaning liquid is injected from a large number of injection nozzles to the object to be cleaned under high pressure, and the cleaning operation is performed. Done. When the nozzle holder is reciprocated in the longitudinal direction, the cleaning locus becomes zigzag (as shown in FIG. 1), so that the cleaning region has a constant width in the width direction of the object to be cleaned (direction perpendicular to the conveying direction). Is formed. Therefore, since the cleaning object is transported at a constant speed across the cleaning region, the cleaning liquid can be sprayed uniformly over the entire surface of the cleaning object under a high pressure and with a high cleaning density. Power is obtained and cleaning unevenness is less likely to occur.

また、ノズルホルダーをその長手方向(左右方向）に往復移動させて洗浄し、隣接配置した少なくとも２本のノズルホルダーを相互に逆向きに移動させる構造からなるから、高速化を図っても振動加速度が増大せず振動が抑制され、洗浄密度の高い優れた洗浄効果が得られる。そして、何よりも本発明の洗浄装置は、先願の、ホルダーを水平面内で旋回させて洗浄する構造の洗浄装置に比べて、ホルダーの剛性を低減でき、軸受などの回転支持構造を軽量化でき、振動が低減されるとともに、製造コストを大幅に低減できる。   In addition, the nozzle holder is reciprocated in the longitudinal direction (left and right direction) and cleaned, and at least two adjacent nozzle holders are moved in opposite directions. Does not increase, vibration is suppressed, and an excellent cleaning effect with a high cleaning density is obtained. Above all, the cleaning device of the present invention can reduce the rigidity of the holder and reduce the weight of the rotary support structure such as the bearing, compared to the cleaning device of the prior application that rotates the holder in a horizontal plane for cleaning. The vibration can be reduced and the manufacturing cost can be greatly reduced.

さらに、本発明の洗浄装置はクリーン室と呼ばれる密閉された洗浄室内に設置する場合に、図１０に示すような隙間（ノズルホルダー７５と洗浄室側壁７７との間隔）を最小限に抑えることができ、シール機構を簡素化できる。   Furthermore, when the cleaning apparatus of the present invention is installed in a sealed cleaning chamber called a clean chamber, the gap as shown in FIG. 10 (interval between the nozzle holder 75 and the cleaning chamber side wall 77) can be minimized. This can simplify the sealing mechanism.

また、ノズルホルダーの長手方向の往復直線運動に加えてノズルホルダーの長手方向に直交する方向への往復揺動（回転）運動を同時に行わせることにより、洗浄対象物に対し洗浄液を真円形や楕円形状の軌跡を描くように噴射させて洗浄することができるから、先願の洗浄装置に比べて遜色のない洗浄性能が得られ、しかも、構造が簡単で大幅なコストダウンが図れる。また、ノズルホルダーの往復直線運動のタイミングやストローク距離を調整することにより、真円形の洗浄軌跡だけでなく、任意の楕円形状の洗浄軌跡も描けるので、洗浄の均一性を確保する上で自由度が大きくなる。   Also, in addition to the reciprocating linear motion of the nozzle holder in the longitudinal direction, the cleaning liquid is made to be a perfect circle or ellipse by simultaneously performing a reciprocating rocking (rotating) motion in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the nozzle holder. Since cleaning can be carried out by spraying to draw a locus of the shape, cleaning performance comparable to that of the prior application cleaning apparatus can be obtained, and the structure is simple and significant cost reduction can be achieved. In addition, by adjusting the timing and stroke distance of the reciprocating linear movement of the nozzle holder, it is possible to draw not only a perfect circular cleaning trajectory but also an arbitrary elliptical cleaning trajectory. Becomes larger.

ノズルホルダーの長手方向における往復移動時のストロークや往復移動回数を変更したり、スタンドオフを変更したりすることにより、洗浄幅（軌跡）を容易に変更でき、条件設定の自由度が広い。とくに請求項２に記載のように３連のノズルホルダーとすることにより、一層緻密な洗浄軌跡の制御が可能になる。また、ノズルホルダーの応力や固有振動数を配慮する必要がなく、つまり撓みと座屈を考慮するだけで済み、ノズルホルダーの小型軽量化が図れる。   By changing the stroke and number of reciprocating movements in the longitudinal direction of the nozzle holder in the longitudinal direction, or changing the stand-off, the cleaning width (trajectory) can be easily changed, and the degree of freedom of setting conditions is wide. In particular, by using a triple nozzle holder as described in claim 2, it is possible to control the cleaning path more precisely. Further, it is not necessary to consider the stress and natural frequency of the nozzle holder, that is, it is only necessary to consider bending and buckling, and the nozzle holder can be reduced in size and weight.

本発明の高圧洗浄液噴射式洗浄装置の第１実施例を示す平面図である。1 is a plan view showing a first embodiment of a high-pressure cleaning liquid jet type cleaning apparatus of the present invention. 図１に示す高圧洗浄液噴射式洗浄装置１の正面図である。FIG. 2 is a front view of the high-pressure cleaning liquid jet cleaning device 1 shown in FIG. 1. ノズルホルダー２の往復移動用クランク機構の他の実施例を示す概念図（原理を表す図）である。It is a conceptual diagram (figure showing a principle) which shows the other Example of the crank mechanism for the reciprocating movement of the nozzle holder. ノズルホルダー２の実施例を示すもので、図４（ａ）は図４（ｂ）のａ−ａ断図、図４（ｂ）は図４（ａ）のｂ−ｂ断面図である。FIG. 4A shows an embodiment of the nozzle holder 2, and FIG. 4A is a sectional view taken along the line aa in FIG. 4B, and FIG. 4B is a sectional view taken along the line bb in FIG. 図５（ａ）は洗浄液供給管９をホルダー２の一端に接続した状態の正面を示す説明図、図５（ｂ）（ｃ）は洗浄液供給管９の他の実施例を示すもので、図５（ｂ）は高圧ホースからなる洗浄液供給管９’を接続した状態の正面を示す説明図、図５（ｃ）は螺旋状に形成した金属製の洗浄液供給管９”を下から上向きに接続した状態の正面を示す説明図、図５（ｄ）は螺旋状に形成した金属製の洗浄液供給管９”を側方から横向きに接続した状態の正面を示す説明図である。FIG. 5A is an explanatory view showing the front of the cleaning liquid supply pipe 9 connected to one end of the holder 2, and FIGS. 5B and 5C show another embodiment of the cleaning liquid supply pipe 9. FIG. 5 (b) is an explanatory view showing the front of the state where the cleaning liquid supply pipe 9 ′ made of a high-pressure hose is connected, and FIG. 5 (c) is a spiral connection of the metal cleaning liquid supply pipe 9 ″ formed upward from below. FIG. 5 (d) is an explanatory view showing the front in a state in which a metal cleaning liquid supply pipe 9 ″ formed in a spiral shape is connected laterally from the side. 本発明の第２実施例に係る高圧洗浄液噴射式洗浄装置１’を示す図面で、図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）の正面方向より見た断面図である。6A and 6B are views showing a high-pressure cleaning liquid jet type cleaning apparatus 1 ′ according to a second embodiment of the present invention, in which FIG. 6A is a plan view and FIG. 6B is a cross-sectional view as viewed from the front direction of FIG. It is. 本発明の高圧洗浄液噴射洗浄装置における長手方向の往復直線運動と前後方向の往復回転とを組み合わせた第３実施例にかかる洗浄装置１”を示す図面で、（ａ）は平面図で、（ｂ）は往復回転用駆動機構を概略的に表した正面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is drawing which shows the washing | cleaning apparatus 1 '' concerning 3rd Example which combined the reciprocating linear motion of the longitudinal direction and the reciprocating rotation of the front-back direction in the high-pressure-cleaning-liquid injection washing apparatus of this invention, (a) is a top view, (b ) Is a front view schematically showing a reciprocating drive mechanism. 図８および図９は上記第３実施例にかかる高圧洗浄液噴射式洗浄装置１”の、とくに駆動機構の別の実施例を詳細に示す図面で、図８（ａ）は図８（ｃ）のＡ−Ａ断面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＢ−Ｂ断面図、図８（ｃ）は図８（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。FIGS. 8 and 9 are drawings showing in detail another embodiment of the high-pressure cleaning liquid jet type cleaning apparatus 1 ″ according to the third embodiment, in particular, another embodiment of the drive mechanism. FIG. 8 (a) is a view of FIG. 8 (c). 8A is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 8A, and FIG. 8C is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. 8A. 図９（ｄ）は図８（ａ）の左側面図、図９（ｅ）は図９（ｄ）のＥ方向矢視図、図９（ｆ）は図８（ｃ）のＦ部を拡大して示す詳細図である。9 (d) is a left side view of FIG. 8 (a), FIG. 9 (e) is a view taken in the direction of arrow E in FIG. 9 (d), and FIG. 9 (f) is an enlarged view of the F portion of FIG. 8 (c). FIG. 多数の高圧水噴射ノズル７２が配列されたノズルホルダー７１を、両側の駆動軸７４を偏心回転させて水平面内で旋回円運動しながら洗浄する構造の、先願にかかる洗浄装置７０を示す平面図である。The top view which shows the washing | cleaning apparatus 70 concerning a prior application of the structure which wash | cleans the nozzle holder 71 in which many high-pressure water-injection nozzles 72 were arranged, rotating the drive shaft 74 of both sides eccentrically, and rotating circularly within a horizontal surface. It is.

以下に、本発明に係る高圧洗浄液噴射式洗浄装置の実施の形態について説明する。   Embodiments of a high-pressure cleaning liquid jet cleaning apparatus according to the present invention will be described below.

図１に示すように、本実施例の高圧洗浄液噴射式洗浄装置１は 直動式（直進往復移動方式とも称される）の洗浄装置で、多数の高圧洗浄液噴射ノズル３を下面に配列した２本のノズルホルダー２・２を相互に平行に隣接させて備えている。各ノズルホルダー２は、上方より見て長方形状の角筒状体からなり、その下面の長手方向に等間隔に多数の高圧洗浄液噴射ノズル３を配列している。各ノズルホルダー２の長さは洗浄対象物ｘの幅よりやや長く、また洗浄対象物ｘの幅を十分にカバーできるように噴射ノズル３がノズルホルダー２の下面に装着されている。   As shown in FIG. 1, the high-pressure cleaning liquid jet type cleaning device 1 of this embodiment is a direct-acting type (also referred to as a straight-forward reciprocating type) cleaning device. Two nozzle holders 2 and 2 are provided adjacent to each other in parallel. Each nozzle holder 2 is formed of a rectangular tube that is rectangular when viewed from above, and a number of high-pressure cleaning liquid spray nozzles 3 are arranged at equal intervals in the longitudinal direction of the lower surface thereof. The length of each nozzle holder 2 is slightly longer than the width of the object to be cleaned x, and the injection nozzle 3 is mounted on the lower surface of the nozzle holder 2 so as to sufficiently cover the width of the object to be cleaned x.

本実施例の高圧洗浄液噴射式洗浄装置１は、図１に示すように長方形の薄板状の洗浄対象物ｘを洗浄する装置である。洗浄対象物ｘは図２に示すように洗浄室１０内において、ローラコンベヤ１１により前後方向に沿って搬送される。洗浄室１０の両側方に一対の支持台１２が洗浄室１０を挟むように設置されている。両側の支持台１２上に支柱１３・１４が立設され、各支柱１３・１４の上端部間にノズルホルダー２・２が独立して直線状に往復移動可能に支持されている。詳しくは、各ノズルホルダー２・２の支柱１３・１４側端部は、それぞれリニアガイド１５によりそれぞれ長手方向に摺動自在に支柱１３または支柱１４に対し支持されている。また、支柱１４側では、共通のピストン・クランク機構６により隣接するノズルホルダー２・２が相互の逆方向に往復移動する。すなわち、回転軸１８ａを中心に回転可能で、各ノズルホルダー２・２の一端とそれぞれピン１９ｂ・２０ｂを介して連接棒１９・２０の一端が接続され、連接棒１９・２０の他端とクランクピン１９ａ・２０ａで接続された円板１８が、駆動用モータ１６により一方向に回転する。円板１８はモータ１６の駆動軸と回転軸１８ａで一体回転可能に接続されている。   The high-pressure cleaning liquid jet cleaning device 1 according to the present embodiment is a device that cleans a rectangular thin plate-shaped cleaning object x as shown in FIG. As shown in FIG. 2, the object to be cleaned x is transported along the front-rear direction by the roller conveyor 11 in the cleaning chamber 10. A pair of support tables 12 are installed on both sides of the cleaning chamber 10 so as to sandwich the cleaning chamber 10. Supports 13 and 14 are erected on the support tables 12 on both sides, and the nozzle holders 2 and 2 are supported between the upper ends of the supports 13 and 14 so as to be able to reciprocate linearly independently. Specifically, the ends of the nozzle holders 2 and 2 on the support pillars 13 and 14 side are supported by the linear guides 15 so as to be slidable in the longitudinal direction. On the support 14 side, the adjacent nozzle holders 2 and 2 are reciprocated in the opposite directions by the common piston / crank mechanism 6. That is, it can rotate around the rotation shaft 18a, and one end of each nozzle holder 2 and 2 is connected to one end of the connecting rods 19 and 20 via pins 19b and 20b, respectively, and the other end of the connecting rods 19 and 20 and the crank The disk 18 connected by the pins 19a and 20a is rotated in one direction by the driving motor 16. The disc 18 is connected to a drive shaft of the motor 16 and a rotary shaft 18a so as to be integrally rotatable.

図３はノズルホルダー２の往復移動用クランク機構の他の実施例を示す概念図で、円板１８上のクランクピン２１・２２が共通のモータ１６により一方向に半径ｒで回転し、クランクピン２１で一端が連結された連接棒２３の他端にピン２５ａで接続されたスライダ２５およびクランクピン２２で一端が連結された連接棒２４の他端にピン２６ａで接続されたスライダ２６がそれぞれガイド２７またはガイド２８に沿って直線状に相互に逆向きに往復移動する。各ノズルホルダー２の質量は同一で、一方はスライダ２５に他方はスライダ２６にそれぞれ一体的に移動可能に連結されている。なお、本例では往復スライダ・クランク機構７が用いられ、円板１８上におけるクランクピン２１・２２の半径ｒはそれぞれ１０ｍｍに設定されている。   FIG. 3 is a conceptual diagram showing another embodiment of a crank mechanism for reciprocating movement of the nozzle holder 2. The crank pins 21 and 22 on the disk 18 are rotated by a common motor 16 with a radius r in one direction. The slider 25 connected to the other end of the connecting rod 23 connected at one end 21 by a pin 25a and the slider 26 connected to the other end of the connecting rod 24 connected one end by a crank pin 22 to each other by a pin 26a are respectively guided. 27 or linearly reciprocate in opposite directions along the guide 28. Each nozzle holder 2 has the same mass, and one is connected to the slider 25 and the other to the slider 26 so as to be integrally movable. In this example, the reciprocating slider / crank mechanism 7 is used, and the radii r of the crank pins 21 and 22 on the disc 18 are each set to 10 mm.

これらの構成により、隣接する２本のノズルホルダー２が洗浄対象物ｘの幅方向に±１０ｍｍの範囲内で水平状態に保たれ、相互に逆方向に直線状に往復移動する。図１・図２の実施例１では、ノズルホルダー２を往復回転させる機構としてピストン・クランク機構６を用いており、図３の実施例では往復スライダ・クランク機構７を用いており、いずれの実施例でもモータ１６の一方向への回転により行われる。すなわち、ノズルホルダー２は、ピストン・クランク機構６または往復スライダ・クランク機構７により直線状に往復移動する。   With these configurations, the two adjacent nozzle holders 2 are maintained in a horizontal state within a range of ± 10 mm in the width direction of the cleaning object x, and reciprocate linearly in opposite directions. 1 and 2 uses a piston / crank mechanism 6 as a mechanism for reciprocatingly rotating the nozzle holder 2, and the embodiment shown in FIG. 3 uses a reciprocating slider / crank mechanism 7. In the example as well, this is performed by rotating the motor 16 in one direction. That is, the nozzle holder 2 is reciprocated linearly by the piston / crank mechanism 6 or the reciprocating slider / crank mechanism 7.

上記の各噴射ノズル３から噴射される洗浄液（洗浄水を含む）は、高圧下で１本の直線状になって噴射されるようになっている。各噴射ノズル３から噴射される洗浄液は１本の直線状で洗浄能力（洗浄力）が大きい。また、各噴射ノズル３から噴射される洗浄液は１本の直線状であるが、洗浄対象物ｘの幅方向に沿って２本のノズルホルダー２が相互に逆方向に往復移動するとともに、洗浄対象物ｘをローラコンベヤ１１などの搬送機構によって所定の速度で搬送するので、両者の速度を調整することにより、洗浄対象物ｘの全面をほぼ隙間なく洗浄することができる。   The cleaning liquid (including cleaning water) sprayed from each of the spray nozzles 3 is sprayed in a straight line under high pressure. The cleaning liquid sprayed from each spray nozzle 3 is a single straight line and has a large cleaning ability (cleaning power). In addition, the cleaning liquid sprayed from each spray nozzle 3 is a single straight line, but the two nozzle holders 2 reciprocate in the opposite directions along the width direction of the cleaning target x, and the cleaning target Since the object x is transported at a predetermined speed by a transport mechanism such as the roller conveyor 11, the entire surface of the cleaning object x can be cleaned with almost no gap by adjusting both speeds.

図４は多数の噴射ノズル３を下面に配列したノズルホルダー２の実施例を示す図面で、本例のノズルホルダー２は、図４（ａ）・図４（ｂ）に示すように、断面四角形状の長尺なノズルホルダー２の上部に高圧洗浄液供給路３２が長手方向に沿って設けられている。また、多数の噴射ノズル３を一定ピッチで装着したノズル部４がノズルホルダー２の下部に設けられ、ノズル部４には各噴射ノズル３の下方に臨む下端を開放した開口４ｃが形成されている。さらに、ノズルホルダー２の下部の一端部には、高圧洗浄液供給路３２に連通する接続孔４ｄが設けられ、この接続孔４ｄに高圧洗浄液供給路３２の一端が接続されている。なお、本例の場合、可撓性を有する金属製やゴム製で外周面に金属ブレード（ワイヤー）を巻装して強化した高圧ホースなどの洗浄液供給管９（図５（ａ）参照）を高圧洗浄液供給路３２の一端部に接続する。   FIG. 4 is a view showing an embodiment of a nozzle holder 2 in which a large number of injection nozzles 3 are arranged on the lower surface. The nozzle holder 2 of this example has a square cross section as shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b). A high-pressure cleaning liquid supply path 32 is provided along the longitudinal direction above the long nozzle holder 2 having a shape. In addition, a nozzle portion 4 on which a large number of injection nozzles 3 are mounted at a constant pitch is provided in the lower portion of the nozzle holder 2, and the nozzle portion 4 is formed with an opening 4 c that opens a lower end facing below each injection nozzle 3. . Further, a connection hole 4d communicating with the high-pressure cleaning liquid supply path 32 is provided at one end of the lower portion of the nozzle holder 2, and one end of the high-pressure cleaning liquid supply path 32 is connected to the connection hole 4d. In the case of this example, a cleaning liquid supply pipe 9 (refer to FIG. 5A) such as a high-pressure hose which is made of metal or rubber having flexibility and is reinforced by winding a metal blade (wire) on the outer peripheral surface. Connected to one end of the high-pressure cleaning liquid supply path 32.

金属製供給管９の他端は、高圧洗浄液貯留タンク（図示せず）に接続され、この高圧洗浄液貯留タンクから金属製供給管９を介してノズルホルダー２の高圧水供給路３２の一端に接続され、その高圧水供給路３２から各噴射ノズル３へ高圧下で洗浄液が供給され、各噴射ノズル３から一直線状に高圧の洗浄液が噴射される。なお、金属製の高圧洗浄液供給管９は可撓性を備えていれば螺旋状にしなくてもよく、たとえば直線状にして供給管９の全体が湾曲するようにしてもよい。また、図５（ｂ）（ｃ）は洗浄液供給管９の他の実施例を示すもので、図５（ｂ）は高圧ホースからなる洗浄液供給管９’を示し、図５（ｃ）は螺旋状に形成した金属製の洗浄液供給管９”を下から上向きに接続した状態を示し、図５（ｄ）は螺旋状に形成した金属製の洗浄液供給管９”を側方から横向きに接続した状態を示している。   The other end of the metal supply pipe 9 is connected to a high-pressure cleaning liquid storage tank (not shown), and is connected from this high-pressure cleaning liquid storage tank to one end of the high-pressure water supply path 32 of the nozzle holder 2 through the metal supply pipe 9. Then, the cleaning liquid is supplied from the high-pressure water supply path 32 to each spray nozzle 3 under high pressure, and the high-pressure cleaning liquid is sprayed from each spray nozzle 3 in a straight line. The metal high-pressure cleaning liquid supply pipe 9 need not be spiral as long as it is flexible. For example, the supply pipe 9 may be curved in a straight line. 5 (b) and 5 (c) show another embodiment of the cleaning liquid supply pipe 9, FIG. 5 (b) shows a cleaning liquid supply pipe 9 'composed of a high pressure hose, and FIG. 5 (c) shows a spiral. FIG. 5D shows a state in which the metal cleaning liquid supply pipe 9 ″ formed in a shape is connected from the bottom upward, and FIG. 5D shows the metal cleaning liquid supply pipe 9 ″ formed in a spiral shape connected laterally from the side. Indicates the state.

上記実施例にかかる高圧洗浄液噴射式洗浄装置１によれば、図１に示すように洗浄対象物ｘの搬送方向（矢印）に対して直交し、２本のノズルホルダー２・２の各噴射ノズル３から１本の直線状に高圧下で洗浄液を噴射しながら洗浄対象物ｘの幅方向に揺動（往復回転）する。すなわち、本実施例にかかる高圧洗浄液噴射洗浄装置１によれば、ノズルホルダー２下面に等間隔に配列された各噴射ノズル３から噴射される洗浄液が洗浄対象物ｘの幅方向に往復移動し、矢印方向に搬送される洗浄対象物ｘは、多数の噴射ノズル３から噴射される高圧洗浄液の軌跡が重なり合って構成される洗浄領域を横切るように移動することになるから、洗浄対象物ｘ上の全面がほぼ隙間なく洗浄液にて洗浄されることになる。   According to the high pressure cleaning liquid jet type cleaning apparatus 1 according to the above embodiment, as shown in FIG. 1, each spray nozzle of the two nozzle holders 2 and 2 is orthogonal to the transport direction (arrow) of the cleaning object x. The cleaning object is swung (reciprocatingly rotated) in the width direction of the cleaning object x while jetting the cleaning liquid under high pressure in a straight line. That is, according to the high-pressure cleaning liquid jet cleaning apparatus 1 according to the present embodiment, the cleaning liquid sprayed from the spray nozzles 3 arranged at equal intervals on the lower surface of the nozzle holder 2 reciprocates in the width direction of the cleaning object x, The cleaning object x conveyed in the direction of the arrow moves so as to cross the cleaning region in which the trajectories of the high-pressure cleaning liquid ejected from the numerous ejection nozzles 3 overlap each other. The entire surface is cleaned with the cleaning liquid with almost no gap.

以上に、本発明にかかる高圧洗浄液噴射式洗浄装置について実施例を示したが、この実施例に限定されるものではなく、たとえば、下記のように実施することができる。   As mentioned above, although the Example was shown about the high-pressure washing | cleaning liquid injection type washing | cleaning apparatus concerning this invention, it is not limited to this Example, For example, it can implement as follows.

図６は本発明の高圧洗浄液噴射式洗浄装置の実施例２を示す図面で、図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）の正面方向より見た断面図である。   FIG. 6 is a drawing showing a second embodiment of the high-pressure cleaning liquid jet type cleaning apparatus of the present invention, FIG. 6 (a) is a plan view, and FIG. 6 (b) is a sectional view seen from the front direction of FIG. 6 (a). is there.

図６に示すように、本実施例にかかる洗浄装置１’は、ノズルホルダーが３本で、相互に隣接させて平行に配置し、各ノズルホルダー２はそれぞれ両端面をバネ板８でノズルホルダー２・２の長手方向に移動可能に支持し、各ノズルホルダー２をそれぞれ独立してその長手方向に往復移動できるように構成する。中央のノズルホルダー２ｃの質量を両側のノズルホルダー２ｂの質量の２倍にしている。本例では、３本のノズルホルダー２の一側方（図の左側）にサーボモータ３０を設置し、図６（ｂ）に示すように駆動軸３０ａの一端側に３つのクランク３３・３４・３３が一連に連結され、一体回転可能に連結される。３連のクランク３３・３４・３３を挟むようにその両端の駆動軸３０ａが軸受３５により回転可能に支持される。中央のクランク３４のクランクピン３４ａとその両側のクランク３３のクランクピン３３ａとは１８０°位相をずらしている。また、両側のノズルホルダー２ｂにピン３６ａで一端が連結された連接棒３６の他端がクランク３３にクランクピン３３ａで連結されるとともに、中央のノズルホルダー２ｃにピン３７ａで一端が連結された連接棒３７の他端がクランク３４にクランクピン３４ａで連結されている。なお、各クランク３３・３４の他端側（クランクピン３３ａ・３４ａの反対側）には、カウンタウエイト（図示せず）が一体に形成されている。また、３つのクランク３３・３４・３３におけるクランクピン３３ａ・３４ａ・３３ａまでの回転中心からの偏心量ｒは全て同一にする。   As shown in FIG. 6, the cleaning apparatus 1 ′ according to the present embodiment has three nozzle holders and is arranged adjacent to each other in parallel, and each nozzle holder 2 is provided with a spring plate 8 at both end faces. The nozzle holders 2 are supported so as to be movable in the longitudinal direction 2 and 2, and each nozzle holder 2 can be independently reciprocated in the longitudinal direction. The mass of the central nozzle holder 2c is set to be twice the mass of the nozzle holders 2b on both sides. In this example, a servo motor 30 is installed on one side of the three nozzle holders 2 (the left side in the figure), and as shown in FIG. 6B, three cranks 33, 34,. 33 are connected in series and connected so as to be integrally rotatable. The drive shafts 30a at both ends of the three cranks 33, 34 and 33 are rotatably supported by bearings 35 so as to sandwich the three cranks 33, 34 and 33. The crankpin 34a of the center crank 34 and the crankpins 33a of the cranks 33 on both sides thereof are out of phase by 180 °. The other end of the connecting rod 36, one end of which is connected to the nozzle holder 2b on both sides by a pin 36a, is connected to the crank 33 by a crank pin 33a, and the other end is connected to the central nozzle holder 2c by a pin 37a. The other end of the rod 37 is connected to the crank 34 by a crank pin 34a. A counterweight (not shown) is integrally formed on the other end side (the opposite side of the crankpins 33a, 34a) of the cranks 33, 34. The eccentric amounts r of the three cranks 33, 34, 33 from the center of rotation to the crank pins 33a, 34a, 33a are all the same.

この構成により、サーボモータ３０により各クランク３３・３４・３３が一方向（たとえば時計方向）に回転することにより、各ノズルホルダー２は基準位置を中心にその長手方向に±１０ｍｍ、合計２０ｍｍの範囲内で直線状に往復移動する。この状態で、中央に位置するノズルホルダー２ｃとその両側のノズルホルダー２ｂとは、移動方向が相互に逆向きになる。このように、共通のモータ３０により中央のノズルホルダー２ｃと両側方のノズルホルダー２ｂとを逆向きに移動させるとともに、中央のノズルホルダー２ｃの質量を両側方の前記ノズルホルダー２ｂの質量の２倍にし、かつクランク３３・３４による偏心量ｒを各ノズルホルダー２について同一にしているので、洗浄作業時の３本のノズルホルダー２ｃ+２×２ｂに作用する力の和がＦ＝０となり、同モーメントの和もＦ×ｒ＝０となる。したがって、サーボモータ３０の回転速度を、たとえば８００〜１０００ｒｐｍあるいはそれ以上の高回転速度に上げても、ノズルホルダー２の駆動系やノズルホルダー２を初め洗浄装置１’全体には振動等が生じず、安定している。   With this configuration, each of the cranks 33, 34, and 33 is rotated in one direction (for example, clockwise) by the servo motor 30, so that each nozzle holder 2 has a range of ± 10mm in the longitudinal direction around the reference position and a total of 20mm. It moves back and forth in a straight line. In this state, the movement directions of the nozzle holder 2c located at the center and the nozzle holders 2b on both sides thereof are opposite to each other. In this manner, the central nozzle holder 2c and the nozzle holders 2b on both sides are moved in opposite directions by the common motor 30, and the mass of the center nozzle holder 2c is twice the mass of the nozzle holders 2b on both sides. In addition, since the amount of eccentricity r by the cranks 33 and 34 is the same for each nozzle holder 2, the sum of the forces acting on the three nozzle holders 2c + 2 × 2b during the cleaning operation is F = 0. The sum of moments is also F × r = 0. Therefore, even if the rotational speed of the servo motor 30 is increased to a high rotational speed of, for example, 800 to 1000 rpm, vibration or the like does not occur in the drive system of the nozzle holder 2 and the entire cleaning apparatus 1 ′ including the nozzle holder 2. ,stable.

本実施例では、図６に示すように洗浄室３８を設けて同洗浄室３８内で洗浄対象物ｘを洗浄するようにしている。３本のノズルホルダー２ｂ・２ｃは洗浄室３８の幅よりも長くし、洗浄室３８内を横切ってノズルホルダー２ｂ・２ｃの両側部分を洗浄室３８の両側方に張り出させ、各ノズルホルダー２を洗浄室３８の幅方向に貫通させた状態で長手方向に往復移動できるようにしている。洗浄室３８内の下部にローラコンベヤ４０を配備し、各ノズルホルダー２の下方において、その長手方向に直交する方向に洗浄対象物ｘを搬送するようにしている。洗浄室３８の両側壁と各ノズルホルダー２との間にわずかに隙間を設け、この隙間をシール機構３９で密封するとともに、ノズルホルダー２の往復移動時に洗浄室３８内で発生する空気流をシール機構３９の上端部に排気口３９ａを設けて外部（大気中）へ排出できるようにしている。また、各ノズルホルダー２の一端部上面に可撓性を有する高圧洗浄液供給管９の一端を接続し、洗浄液貯留タンク（図示せず）からノズルホルダー２の下面の各噴射ノズル３に供給できるようにしている。   In this embodiment, as shown in FIG. 6, a cleaning chamber 38 is provided, and the cleaning object x is cleaned in the cleaning chamber 38. The three nozzle holders 2b and 2c are longer than the width of the cleaning chamber 38, and both side portions of the nozzle holders 2b and 2c are projected to both sides of the cleaning chamber 38 across the cleaning chamber 38. Is allowed to reciprocate in the longitudinal direction in a state of being penetrated in the width direction of the cleaning chamber 38. A roller conveyor 40 is provided in the lower part of the cleaning chamber 38, and the object x to be cleaned is conveyed below each nozzle holder 2 in a direction perpendicular to the longitudinal direction thereof. A slight gap is provided between the both side walls of the cleaning chamber 38 and each nozzle holder 2, and the gap is sealed by the sealing mechanism 39, and the air flow generated in the cleaning chamber 38 when the nozzle holder 2 reciprocates is sealed. An exhaust port 39a is provided at the upper end of the mechanism 39 so that it can be discharged to the outside (in the atmosphere). Further, one end of a flexible high-pressure cleaning liquid supply pipe 9 is connected to the upper surface of one end of each nozzle holder 2 so that it can be supplied to each spray nozzle 3 on the lower surface of the nozzle holder 2 from a cleaning liquid storage tank (not shown). I have to.

つぎに、図７は本発明の高圧洗浄液噴射式洗浄装置における実施例３の原理図を示すものである。本実施例にかかる洗浄装置１”は、図１の直進往復移動式洗浄装置１に２本の各ノズルホルダー２の長手方向に直交する方向への、いいかえれば長手方向の軸回りにおける往復回転を付加することにより、各噴射ノズル３からの洗浄液を円形や楕円形を描くように洗浄対象物ｘに対し噴射させることができる。このため、各ノズルホルダー２の両側部を両側方の支柱１３・１４に対し軸受装置１５’を介して、各ノズルホルダー２の長手方向への移動が可能なように支持するとともに、各ノズルホルダー２を長手方向軸回りに回転可能に支持している。   Next, FIG. 7 shows a principle diagram of Embodiment 3 in the high-pressure cleaning liquid jet type cleaning apparatus of the present invention. The cleaning apparatus 1 ″ according to the present embodiment performs reciprocal rotation around the axis in the longitudinal direction in the direction orthogonal to the longitudinal direction of each of the two nozzle holders 2 in the linear reciprocating cleaning apparatus 1 of FIG. By adding, it is possible to inject the cleaning liquid from each injection nozzle 3 onto the object to be cleaned x so as to draw a circular shape or an oval shape. 14, the nozzle holder 2 is supported via a bearing device 15 'so that the nozzle holder 2 can move in the longitudinal direction, and the nozzle holder 2 is supported so as to be rotatable about a longitudinal axis.

図７（ａ）に示すように、各ノズルホルダー２に対し長手方向に一定のピッチで往復直線運動を付与する駆動機構には、往復スライダ・クランク機構４１が用いられている。この機構４１によりサーボモータ４２の一方向への回転力を後述の円筒体状伝達部４６・４６をガイドとして各ノズルホルダー２の長手方向への往復駆動力に変換し、各ノズルホルダー２に対し相互に逆向きに往復移動可能な直動力（直線方向の往復駆動力）を付与する。モータ４２で回転する円板４３の外周部において、回転軸４３ａを中心に対向する位置に連接棒４４・４５の一端がクランクピン４４ａ・４５ａで接続され、連接棒４４・４５の他端が各ノズルホルダー２の一端に一体に連結されたスプライン軸２ｄにピン４４ｂ・４５ｂで接続されている。   As shown in FIG. 7A, a reciprocating slider / crank mechanism 41 is used as a drive mechanism for applying a reciprocating linear motion to each nozzle holder 2 at a constant pitch in the longitudinal direction. This mechanism 41 converts the rotational force in one direction of the servo motor 42 into a reciprocating driving force in the longitudinal direction of each nozzle holder 2 using a cylindrical body transmission portion 46 and 46 described later as a guide. A direct power (a reciprocating driving force in a linear direction) capable of reciprocating in opposite directions is applied. At the outer periphery of the disk 43 rotated by the motor 42, one end of the connecting rods 44 and 45 are connected by crank pins 44a and 45a at positions facing the rotating shaft 43a as the center, and the other ends of the connecting rods 44 and 45 are connected to the respective ends. The spline shaft 2d integrally connected to one end of the nozzle holder 2 is connected by pins 44b and 45b.

各伝達部４６の内周面にはノズルホルダー２の一端のスプライン軸２ｄに噛合するスプライン歯４６ｃが形成され、各スプライン軸２ｄの周囲に配置され、スプライン機構を介して軸方向に摺動可能にかつ軸回りの回転力を伝達可能に接続されている。一方、図７（ｂ）に示すように、別のサーボモータ４８の一方向への回転力を、ピストン・クランク機構４７により一対の円筒体状伝達部４６・４６の一方に伝達する。各伝達部４６にはレバー４６ａが一体回転可能に連結され、２つのレバー４６ａの先端部間が連接棒４６ｂで接続されている。モータ４８で回転する円板４９の外周部において、連接棒４７ａの一端がクランクピン４７ｂで接続され、他端が一方のレバー４６ａの先端部に接続されている。各ノズルホルダー２・２のスプライン軸２ｄが伝達部４６内に挿入され、各スプライン軸２ｄに対しスプライン機構を介して軸方向の移動を許容するように接続されている。モータ４８で円板４９が一方向に回転することにより、レバー４６ａを介して一対の伝達部４６が同時に所定角度θの範囲内で左右に往復回転する。このようして、ノズルホルダー２の長手方向の軸回りに往復回転力が付与される。これにより、２本のノズルホルダー２は、駆動機構４１によりその長手方向に相互に逆方向に往復移動すると同時に、駆動機構４７により長手方向に直交する方向において同一方向に往復回転する。   Spline teeth 46c meshing with the spline shaft 2d at one end of the nozzle holder 2 are formed on the inner peripheral surface of each transmission portion 46, arranged around each spline shaft 2d, and slidable in the axial direction via the spline mechanism. In addition, it is connected so as to be able to transmit the rotational force around the axis. On the other hand, as shown in FIG. 7B, the rotational force in one direction of another servo motor 48 is transmitted to one of the pair of cylindrical transmission portions 46 and 46 by the piston / crank mechanism 47. A lever 46a is coupled to each transmission portion 46 so as to be integrally rotatable, and the tip portions of the two levers 46a are connected by a connecting rod 46b. At the outer periphery of the disk 49 rotated by the motor 48, one end of the connecting rod 47a is connected by a crank pin 47b, and the other end is connected to the tip of one lever 46a. The spline shafts 2d of the nozzle holders 2 and 2 are inserted into the transmission portion 46, and are connected to the spline shafts 2d via the spline mechanism so as to allow axial movement. When the disk 49 is rotated in one direction by the motor 48, the pair of transmission portions 46 are simultaneously reciprocated to the left and right within the range of the predetermined angle θ via the lever 46a. In this way, a reciprocating rotational force is applied around the longitudinal axis of the nozzle holder 2. As a result, the two nozzle holders 2 are reciprocated in the opposite directions in the longitudinal direction by the drive mechanism 41, and at the same time, are reciprocated in the same direction in the direction orthogonal to the longitudinal direction by the drive mechanism 47.

以上の構成により、本実施例にかかる洗浄装置１”では、多数の噴射ノズル３から高圧下で洗浄液を噴射しながら、サーボモータ４２・４８の回転により各ノズルホルダー２を相互に逆向きに長手方向に往復移動させると同時に、各ノズルホルダー２を長手方向軸回り（前後方向）に往復回転させることができる。また、ノズルホルダー２の長手方向への往復移動と長手方向軸回り（前後方向）の往復回転とを同期させることによって、洗浄液を真円形状ないし楕円形状の円を描くように噴射させられるので、洗浄対象物ｘに対し隙間なく均一に洗浄液を噴射でき、洗浄密度の高い優れた洗浄効果が得られる。しかも、ノズルホルダー２（噴射ノズル３）の前後方向における方向変換位置とノズルホルダー２の長手方向における方向変換位置とに時間的なずれがあるので、洗浄液が洗浄対象物ｘ上の特定箇所に集中して噴射されることがない。さらに、ノズルホルダー２の長手方向への往復移動ストローク距離とノズルホルダー２の前後方向への揺動ストローク距離とを一致させることもでき、この場合には、洗浄対象物ｘに対し洗浄液を真円形状の円を描くように噴射させることができる。また、両方のストローク距離を調整することで、真円形状だけでなく任意の楕円形状を描くように洗浄液を噴射させることができ、洗浄の均一性を確保する上で自由度が拡がる。その他の構成については、上記実施例１にかかる高圧洗浄液噴射式洗浄装置１と共通するので、共通の部材については同一の符号を用いて図面に示し、説明を省略する。なお、図示は省略するが、上記第２実施例における３連のノズルホルダー２についても、上記の図７に示す駆動機構４１・４７を適用することにより、各ノズルホルダー２を相互に逆向きに長手方向に往復移動させると同時に、各ノズルホルダー２を長手方向軸回り（前後方向）に往復回転させることができる。   With the above configuration, in the cleaning apparatus 1 ″ according to the present embodiment, the nozzle holders 2 are elongated in opposite directions by rotating the servo motors 42 and 48 while injecting the cleaning liquid from a large number of injection nozzles 3 under high pressure. At the same time as reciprocating in the direction, each nozzle holder 2 can be reciprocated around the longitudinal axis (front-rear direction), and reciprocating in the longitudinal direction of the nozzle holder 2 and around the longitudinal axis (front-rear direction). By synchronizing the reciprocating rotation of the cleaning liquid, it is possible to spray the cleaning liquid in a perfect circle shape or an elliptical circle, so that the cleaning liquid can be sprayed uniformly to the object to be cleaned x without a gap, and the cleaning density is excellent. A cleaning effect is obtained, and the direction changing position in the front-rear direction of the nozzle holder 2 (jet nozzle 3) and the direction changing position in the longitudinal direction of the nozzle holder 2 are obtained. Since there is a time lag, the cleaning liquid is not concentrated and sprayed at a specific location on the object x to be cleaned, and the reciprocating stroke distance in the longitudinal direction of the nozzle holder 2 and the front and rear of the nozzle holder 2 In this case, the cleaning liquid can be sprayed onto the object to be cleaned x so as to draw a perfect circle, and both stroke distances can be made equal to each other. By adjusting, the cleaning liquid can be sprayed so as to draw not only a perfect circular shape but also an arbitrary elliptical shape, and the degree of freedom increases in ensuring the uniformity of cleaning. 1, the same reference numerals are used to denote the same members in the drawings, and the description thereof is omitted, although the illustration is omitted, the second embodiment described above is omitted. Also for the three nozzle holders 2 in the above, by applying the drive mechanisms 41 and 47 shown in FIG. 7, the nozzle holders 2 are reciprocated in the longitudinal direction in opposite directions, and at the same time, Can be reciprocally rotated around the longitudinal axis (front-rear direction).

さらにまた、本例の高圧洗浄液噴射式洗浄装置１”は上記した先願の洗浄装置に比べて構造が簡単で、ほぼ同様の洗浄作用を得られる。また、ノズルホルダー２の前後方向の加速度バランスは、先願の洗浄装置よりも取りやすいので、取り扱いが容易になる。   Furthermore, the high-pressure cleaning liquid jet type cleaning device 1 ″ of this example has a simpler structure and can obtain substantially the same cleaning action as compared with the above-mentioned prior application cleaning device. Since it is easier to take than the cleaning device of the previous application, handling becomes easier.

図８および図９は上記の高圧洗浄液噴射式洗浄装置１”の、とくに駆動機構の他の実施例を詳細に示す図面である。   FIGS. 8 and 9 are drawings showing in detail another embodiment of the high-pressure cleaning liquid jet type cleaning apparatus 1 ″, in particular, a drive mechanism.

これらの図面に示すように、本例の駆動機構５０では共通のモータ６１によりギヤ機構６２・６３を介してノズルホルダー２の長手方向への直動往復運動とノズルホルダー２の長手方向軸回りの往復回転とを、それぞれピストンクランク機構５１・５２を介して行うようにしている。図８に示すようにノズルホルダー２（図１参照）の一端部には、スプライン機構５３を介してノズルホルダー２の長手方向への往復直線運動を可能にする一方、スプライン機構５３の一部周囲を覆う円筒体状の外筒部５３ａに隣接（図８（ｃ）では外筒部５３ａの右側方に隣接）する回転連結部５４において、図９（ｆ）に示すように軸受５４ａおよび細径支持棒２ｅを介してノズルホルダー２を回転可能に連結している。細径支持棒２ｅは、図１に示すノズルホルダー２の一端に連結した回転軸２ｂに一体回転可能に固定されている。また、回転連結部５４が一端を開口したコの字状カバー体５５内に遊嵌され、この状態で支軸５５ａおよび軸受５５ｂを介して支軸５５ａを中心に折曲可能に連結されている。また、図９（ｆ）に示すように、コの字状カバー体５５の他端側中心部とピストンクランク機構５２のピストン部５２ａとが連結杆５６で連結されている。つまり、外筒部５３ａはスプライン機構５３によりノズルホルダー２の長手方向への往復移動を許容しつつ、ノズルホルダー２の軸回りに所定角度θずつ往復回転する（図９（ｄ）ではθ＝３０°）。なお、外筒部５３ａは軸受５３ｂを介して装置本体のケーシングに回転可能に支持されている。   As shown in these drawings, in the drive mechanism 50 of this example, a common motor 61 causes a linear motion reciprocating motion in the longitudinal direction of the nozzle holder 2 via the gear mechanisms 62 and 63, and the longitudinal axis of the nozzle holder 2. The reciprocating rotation is performed via the piston crank mechanisms 51 and 52, respectively. As shown in FIG. 8, at one end of the nozzle holder 2 (see FIG. 1), the reciprocating linear movement of the nozzle holder 2 in the longitudinal direction is enabled via the spline mechanism 53, As shown in FIG. 9 (f), the bearing 54a and the small diameter of the rotary connecting portion 54 adjacent to the cylindrical outer cylinder portion 53a that covers the outer cylinder portion 53a (adjacent to the right side of the outer cylinder portion 53a in FIG. 8C). The nozzle holder 2 is rotatably connected via the support bar 2e. The small-diameter support rod 2e is fixed to a rotary shaft 2b connected to one end of the nozzle holder 2 shown in FIG. In addition, the rotary connecting portion 54 is loosely fitted in a U-shaped cover body 55 having one end opened, and in this state, the rotary connecting portion 54 is connected to the support shaft 55a via the support shaft 55a and the bearing 55b so as to be bent. . Further, as shown in FIG. 9 (f), the center portion on the other end side of the U-shaped cover body 55 and the piston portion 52 a of the piston crank mechanism 52 are connected by a connecting rod 56. That is, the outer cylinder portion 53a reciprocates around the axis of the nozzle holder 2 by a predetermined angle θ while allowing the spline mechanism 53 to reciprocate in the longitudinal direction of the nozzle holder 2 (θ = 30 in FIG. 9D). °). In addition, the outer cylinder part 53a is rotatably supported by the casing of the apparatus main body via the bearing 53b.

まず、モーター６１の回転がギヤ機構６２(ギヤ６２ａ・６２ｂ）を介して減速され、第１回転駆動軸６７に伝達されて回転する。駆動回転軸６７の先端にクランク６８の一端が軸受６８ａを介して軸回りに回転可能に接続され、クランク６８の他端のピストン部６８ｂはレバー６９の一端に軸着にて接続されている。また、レバー６９の他端は外筒部５３ａに一体回転可能に接続され、長手方向の軸回りに往復回転する。さらに、第１回転駆動軸６７に直交して第２駆動回転軸６０が配置され、第１駆動回転軸６７の回転がベベルギヤ６３ａ・６３ｂを介して第２駆動回転軸６０に伝達され、第２駆動回転軸６０が同時に回転する。また、第２駆動回転軸６０と平行に第３駆動回転軸６４が配置され、第２駆動回転軸６０の回転がギヤ６０ａ・６４ａを介して第３駆動回転軸６４に伝達される。第３駆動回転軸６４の一方向への回転より先端の、対向的に配置されたクランク６５が回転し、各クランク６５先端のピストン部６５ａおよび連結杆５６および回転連結部５４を介してノズルホルダー２がその長手方向へ直動往復移動する。なお、連結杆５６のピストン部６５ａ側の各クランク６５による往復回転は、回転連結部５４における支軸５５ａを中心に連結杆５６の他端側が折れ曲がり運動することにより吸収される。また、第１駆動回転軸６７は連結杆５６と平行に配置される。   First, the rotation of the motor 61 is decelerated via the gear mechanism 62 (gears 62a and 62b), and is transmitted to the first rotation drive shaft 67 to rotate. One end of a crank 68 is connected to the tip of the drive rotary shaft 67 so as to be rotatable around a shaft via a bearing 68 a, and a piston portion 68 b at the other end of the crank 68 is connected to one end of a lever 69 by shaft attachment. The other end of the lever 69 is connected to the outer cylinder portion 53a so as to be integrally rotatable, and reciprocates around a longitudinal axis. Further, a second drive rotary shaft 60 is disposed orthogonal to the first rotary drive shaft 67, and the rotation of the first drive rotary shaft 67 is transmitted to the second drive rotary shaft 60 via the bevel gears 63a and 63b, and the second The drive rotating shaft 60 rotates simultaneously. A third drive rotary shaft 64 is arranged in parallel with the second drive rotary shaft 60, and the rotation of the second drive rotary shaft 60 is transmitted to the third drive rotary shaft 64 via gears 60a and 64a. The crank 65 disposed opposite to the tip of the third drive rotating shaft 64 in one direction rotates, and the nozzle holder is connected via the piston portion 65a, the connecting rod 56, and the rotating connecting portion 54 at the tip of each crank 65. 2 reciprocates linearly in the longitudinal direction. The reciprocating rotation by the respective cranks 65 on the piston portion 65a side of the connecting rod 56 is absorbed by bending movement of the other end side of the connecting rod 56 around the support shaft 55a in the rotary connecting portion 54. Further, the first drive rotating shaft 67 is disposed in parallel with the connecting rod 56.

このように構成される本実施例にかかる高圧洗浄液噴射式洗浄装置１”について、１本のノズルホルダー２について動作を説明する。   The operation of one nozzle holder 2 will be described for the high-pressure cleaning liquid jet cleaning apparatus 1 ″ according to the present embodiment configured as described above.

図８・図９に示すように、モーター６１の回転を開始することにより、ギヤ機構６２を介して第１駆動回転軸６７が回転し、同時にベベルギヤ機構６３を介して第２駆動回転軸６０が回転し、さらにギヤ６０ａ・６４ａを介して第３駆動回転軸６４に伝達され、第３駆動回転軸６４が回転する。駆動回転軸６４の回転でクランク６５が回転し、クランク６５先端のピストン部６５ａおよび連結杆５６を介して回転連結部５４で支軸５５ａを中心に連結杆５６の他端（ピストン部６５ａ）側が図８（ｃ）のように連結杆５６の軸線に対し直交する方向に往復回転しながら、ノズルホルダー２が長手方向に沿って往復直線移動する。また、第１駆動回転軸６７が同時に回転することにより、クランク６８が回転してその先端のピストン部６８ｂが所定角度ずつ往復回転し、レバー６９および外筒部５３ａを介してノズルホルダー２を長手方向軸回りに往復回転させる。なお、回転連結部５４によるノズルホルダー２の長手方向への直線往復移動はスプライン機構５３で許容され、外筒部５３ａの往復回転には支障を来さない。一方、回転連結部５４の往復回転は軸受５４ａ(図９（ｆ））で許容されるので、ノズルホルダー２の直線往復移動には支障を来さない。したがって、ノズルホルダー２は共通（１台）のモーター６１の回転により長手方向への往復直線移動と軸回りの往復回転とを同時に行うことができる。なお、上記の駆動機構５０を各ノズルホルダー２ごとに用いて電気的に同期させることにより、複数本のノズルホルダー２について各ノズルホルダー２を相互に逆向きに長手方向に往復移動させると同時に、各ノズルホルダー２を長手方向軸回りに往復回転させることができる。   As shown in FIGS. 8 and 9, by starting the rotation of the motor 61, the first drive rotary shaft 67 rotates via the gear mechanism 62, and at the same time the second drive rotary shaft 60 moves via the bevel gear mechanism 63. Then, the rotation is further transmitted to the third drive rotation shaft 64 via the gears 60a and 64a, and the third drive rotation shaft 64 rotates. The crank 65 is rotated by the rotation of the drive rotating shaft 64, and the other end (piston portion 65a) side of the connecting rod 56 is centered on the support shaft 55a at the rotary connecting portion 54 via the piston portion 65a and the connecting rod 56 at the tip of the crank 65. The nozzle holder 2 reciprocates linearly along the longitudinal direction while reciprocatingly rotating in the direction orthogonal to the axis of the connecting rod 56 as shown in FIG. Further, when the first drive rotating shaft 67 rotates at the same time, the crank 68 rotates, and the piston portion 68b at the tip thereof reciprocates by a predetermined angle, and the nozzle holder 2 is elongated through the lever 69 and the outer cylinder portion 53a. Reciprocate around the direction axis. In addition, the linear reciprocation of the nozzle holder 2 in the longitudinal direction by the rotation connecting portion 54 is allowed by the spline mechanism 53, and does not hinder the reciprocating rotation of the outer cylinder portion 53a. On the other hand, since the reciprocating rotation of the rotary connecting portion 54 is allowed by the bearing 54a (FIG. 9 (f)), the linear reciprocating movement of the nozzle holder 2 is not hindered. Therefore, the nozzle holder 2 can simultaneously perform the reciprocating linear movement in the longitudinal direction and the reciprocating rotation around the axis by the rotation of the common (one) motor 61. In addition, by using the drive mechanism 50 for each nozzle holder 2 to electrically synchronize, the nozzle holders 2 of the plurality of nozzle holders 2 are reciprocated in the longitudinal direction in opposite directions, Each nozzle holder 2 can be reciprocated around the longitudinal axis.

他の実施例Other examples

・請求項７に記載のように
・上記実施例１・２では、ノズルホルダー２の下面に噴射ノズル３を一定間隔で直線状に配列したが、千鳥状に等間隔に２列〜３列を配列することができる。 In the first and second embodiments, the injection nozzles 3 are linearly arranged at regular intervals on the lower surface of the nozzle holder 2, but two to three rows are arranged at regular intervals in a staggered manner. Can be arranged.

・上記実施例１・２では、ノズルホルダー２が２本と３本の場合について説明したが、４本あるいは５本以上に増やすこともできる。   In the first and second embodiments, the case where there are two and three nozzle holders 2 has been described. However, the number of nozzle holders can be increased to four or five or more.

・ノズルホルダー２を長手方向に往復移動させる駆動機構として、オフセットクランク機構やクランクにクランクの幅ｒの１／２の小歯車を用いたリニアクランク機構を使用することができる。   As a drive mechanism for reciprocating the nozzle holder 2 in the longitudinal direction, an offset crank mechanism or a linear crank mechanism using a small gear having a half of the crank width r for the crank can be used.

・上記実施例３ではノズルホルダー２が２本の場合を例示したが、たとえば３本であっても同様に実施できることは言うまでもない。   In the third embodiment, the case where there are two nozzle holders 2 is exemplified. Needless to say, for example, three nozzle holders 2 can be similarly implemented.

・上記各実施例では、ノズルホルダー２を洗浄対象物ｘの上面側にのみ配置したが、洗浄対象物ｘの上下両面に配置することができる。   In each of the above embodiments, the nozzle holder 2 is disposed only on the upper surface side of the cleaning object x, but can be disposed on both upper and lower surfaces of the cleaning object x.

本発明は、主に、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）や大型板状ガラスや半導体ウエハーなどの平坦な板状物を高圧洗浄液を噴射して洗浄する高圧洗浄液噴射洗浄装置として利用される。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is mainly used as a high-pressure cleaning liquid jet cleaning apparatus for cleaning a flat plate-like object such as an FPD (flat panel display), a large plate glass, or a semiconductor wafer by spraying a high-pressure cleaning liquid.

１・１’・１”高圧洗浄液噴射式洗浄装置
２・２ｂ・２ｃノズルホルダー
２ａ回転軸
２ｄスプライン軸
３ 噴射ノズル
４ ノズル部
４ｃ開口
４ｄ接続孔
６ ピストン・クランク機構
７ 往復スライダ・クランク機構
８ バネ板
９・９’・９”高圧洗浄液供給管
１０ 洗浄室
１１ ローラコンベヤ
１２ 支持台
１３・１４ 支柱
１５ リニアガイド
１５’軸受
１６ 駆動用モータ
１７ 無端ベルト
１８ 円板
１８ａ回転軸
１９・２０ 連接棒
１９ａ・２０ａクランクピン
１９ｂ・２０ｂピン
２１・２２ クランクピン
２３・２４ 連接棒
２５・２６ スライダ
２５ａ・２６ａピン
２７・２８ ガイド
３０ サーボモータ
３０ａモータ３０の駆動軸
３２ 高圧洗浄液供給路
３３・３４ クランク
３３ａ・３４ａ クランクピン
３５ 軸受
３８ 洗浄室
３９ シール機構
３９ａ排気口
４０ ローラコンベヤ
４１ 往復スライダ・クランク機構
４２・４８ サーボモータ
４３・４９ 円板
４４・４５ 連接棒
４６ 円筒体状伝達部
４７ ピストン・クランク機構
４６ｃスプライン機構（スプライン歯）
ｘ 洗浄対象物 1, 1 ', 1 "high pressure cleaning liquid jet type cleaning device 2, 2b, 2c nozzle holder 2a rotating shaft 2d spline shaft 3 injection nozzle 4 nozzle part 4c opening 4d connection hole 6 piston / crank mechanism 7 reciprocating slider / crank mechanism 8 spring Plate 9, 9 ′, 9 ”High pressure cleaning liquid supply pipe 10 Cleaning chamber 11 Roller conveyor 12 Support base 13, 14 Support 15 Linear guide 15 ′ bearing 16 Driving motor 17 Endless belt 18 Disc 18a Rotating shaft 19/20 Connecting rod 19a 20a crank pin 19b / 20b pin 21/22 crank pin 23/24 connecting rod 25/26 slider 25a / 26a pin 27/28 guide 30 servo motor 30a motor 30 drive shaft 32 high pressure cleaning liquid supply path 33/34 crank 33a / 34a Crank pin 35 Bearing 38 Cleaning chamber 39 Seal mechanism 39a Exhaust 40 roller conveyor 41 reciprocating slider-crank mechanism 42, 48 a servo motor 43 · 49 disc 44, 45 connecting rod 46 cylinder-shaped transmitting portion 47 the piston-crank mechanism 46c spline mechanism (spline teeth)
x Object to be cleaned

Claims (10)

高圧洗浄液を洗浄対象物に対し一本の直線状に噴射させて洗浄する多数の噴射ノズルを備えた高圧洗浄液噴射式洗浄装置であって、
多数の前記高圧洗浄液噴射ノズルをノズルホルダーの長手方向に沿って一定の間隔をあけて配列するとともに、少なくとも２本の前記ノズルホルダーを相互に平行に隣接して配置しそれぞれ長手方向に直進往復移動可能に支持し、
前記洗浄対象物を前記ノズルホルダーの長手方向に直交する方向に搬送しながら、隣接する前記ノズルホルダーを相互に逆向きに直進往復移動させると同時に、各噴射ノズルから高圧洗浄液を前記洗浄対象物に対し噴射させて洗浄することを特徴とする高圧洗浄液噴射式洗浄装置。 A high-pressure cleaning liquid jet type cleaning device provided with a number of injection nozzles for cleaning by spraying a high-pressure cleaning liquid into a single straight line on an object to be cleaned,
A number of the high-pressure cleaning liquid spray nozzles are arranged at regular intervals along the longitudinal direction of the nozzle holder, and at least two of the nozzle holders are arranged adjacent to each other in parallel, and each of them is linearly reciprocated in the longitudinal direction. Support possible,
While conveying the object to be cleaned in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the nozzle holder, the adjacent nozzle holders are moved back and forth in opposite directions, and at the same time, high-pressure cleaning liquid from each spray nozzle is transferred to the object to be cleaned. A high-pressure cleaning liquid jet type cleaning apparatus, wherein the cleaning is performed by spraying. 前記ノズルホルダーが３本で、相互に平行に隣接させて配置し、ピストン・クランク機構を介して共通のモータにより中央のノズルホルダーと両側方のノズルホルダーとを逆向きに直進往復移動させるとともに、中央の前記ノズルホルダーの質量を両側方の前記ノズルホルダーの質量の２倍に設定し、かつ前記ピストン・クランク機構による偏心量を前記各ノズルホルダーについて同一にしたことを特徴とする請求項１記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。   Three nozzle holders are arranged adjacent to each other in parallel, and the central nozzle holder and the nozzle holders on both sides are moved back and forth in a reverse direction by a common motor via a piston / crank mechanism, The mass of the nozzle holder in the center is set to be twice the mass of the nozzle holders on both sides, and the eccentric amount by the piston / crank mechanism is the same for each nozzle holder. High pressure cleaning liquid jet type cleaning device. 前記ノズルホルダーの下面に前記各噴射ノズルを長手方向に沿って等間隔に配列するとともに、前記ノズルホルダーの長手方向に沿って高圧洗浄液供給路を前記各噴射ノズルに連通させて設け、
前記高圧洗浄液供給路の端部に可撓性の高圧洗浄液供給管の一端を接続したことを特徴とする請求項１または２に記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。 The spray nozzles are arranged on the lower surface of the nozzle holder at regular intervals along the longitudinal direction, and a high-pressure cleaning liquid supply path is provided in communication with the spray nozzles along the longitudinal direction of the nozzle holder,
The high-pressure cleaning liquid jet cleaning apparatus according to claim 1 or 2, wherein one end of a flexible high-pressure cleaning liquid supply pipe is connected to an end of the high-pressure cleaning liquid supply path. 前記各ノズルホルダーをその長手方向に直進往復移動可能に支持するとともに、その長手方向の軸回りに回転可能に支持し、
前記各ノズルホルダーをその長手方向に所定距離内で往復移動させながら、同時に長手方向に直交する方向に所定回転角度内で往復回転させるようにしたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。 Each nozzle holder is supported so as to be capable of linear reciprocation in the longitudinal direction, and supported so as to be rotatable around its longitudinal axis.
4. The nozzle holder according to claim 1, wherein each nozzle holder is reciprocated within a predetermined distance in the longitudinal direction and simultaneously reciprocated within a predetermined rotation angle in a direction orthogonal to the longitudinal direction. The high-pressure cleaning liquid jet type cleaning device described in 1. 共通のモーターにより前記ノズルホルダーの回転軸に対し長手方向の往復移動を許容しかつ前後方向に往復回転可能な回転力を付与するとともに、前記ノズルホルダーの回転軸に対し前後方向の回転を許容しかつ長手方向に往復移動可能な直動力を付与することを特徴とする請求項４に記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。   A common motor allows a reciprocating movement in the longitudinal direction to the rotation axis of the nozzle holder and a rotational force capable of reciprocating in the front-rear direction, and allows a rotation in the front-rear direction to the rotation axis of the nozzle holder. 5. The high-pressure cleaning liquid jet cleaning apparatus according to claim 4, wherein a direct power capable of reciprocating in the longitudinal direction is applied. 前記ノズルホルダーの前後方向への往復回転ストローク距離と前記ノズルホルダーの長手方向への往復移動ストローク距離とを一致させたことを特徴とする請求項４または５に記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。   6. The high-pressure cleaning liquid jet cleaning apparatus according to claim 4, wherein a reciprocating rotational stroke distance in the front-rear direction of the nozzle holder and a reciprocating stroke distance in the longitudinal direction of the nozzle holder are matched. ２本の前記ノズルホルダーを対として複数組を平行に、前記洗浄対象物の搬送方向に沿って配列したことを特徴とする請求項１に記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。   2. The high-pressure cleaning liquid jet type cleaning apparatus according to claim 1, wherein a plurality of sets of two nozzle holders are arranged in parallel along a conveying direction of the object to be cleaned. ２本のノズルホルダーの組を１の列とし、上方より見て２つの前記列の境に対して鏡面対象となる構成および動作をするように、前記各列のノズルホルダーの組を相互に隣接させて配置したことを特徴とする請求項１に記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。   The set of two nozzle holders is set as one row, and the set of nozzle holders in each row is adjacent to each other so as to perform a configuration and operation as a mirror surface with respect to the boundary between the two rows as viewed from above. The high-pressure cleaning liquid jet type cleaning apparatus according to claim 1, wherein the cleaning apparatus is arranged so as to be arranged. 前記複数本のノズルホルダーのうちの一部を、高圧水洗浄機構を具備しないダミーホルダーとしたことを特徴とする請求項１，２，７および８のいずれかに記載の高圧洗浄液噴射式洗浄装置。   9. A high-pressure cleaning liquid jet cleaning apparatus according to claim 1, wherein a part of the plurality of nozzle holders is a dummy holder that does not include a high-pressure water cleaning mechanism. . 高圧洗浄液を洗浄対象物に対し一本の直線状に噴射させて洗浄する多数の噴射ノズルを備えた高圧洗浄液噴射式洗浄装置であって、多数の前記高圧洗浄液噴射ノズルをノズルホルダーの長手方向に沿って一定の間隔をあけて配列するとともに、少なくとも２本の前記ノズルホルダーを相互に平行に隣接して配置しそれぞれ長手方向に直進往復移動可能に支持し、前記洗浄対象物を前記ノズルホルダーの長手方向に直交する方向に搬送しながら、隣接する前記ノズルホルダーを相互に逆向きに直進往復移動させると同時に、各噴射ノズルから高圧洗浄液を前記洗浄対象物に対し噴射させて洗浄する高圧洗浄液噴射式洗浄装置における前記各ノズルホルダーの駆動装置で、
前記ノズルホルダーをその長手方向の軸回りに所定回転角度内で往復回転させるとともに、前記ノズルホルダーの直進往復移動の周期と長手方向軸回りの往復回転の周期とを同期させ、前記ノズルホルダーの前記噴射ノズルから噴射される洗浄液による洗浄軌跡が円形または楕円形にすることを特徴とするノズルホルダー駆動装置。 A high-pressure cleaning liquid jet type cleaning device provided with a number of injection nozzles for spraying and cleaning a high-pressure cleaning liquid in a straight line with respect to an object to be cleaned, wherein the plurality of high-pressure cleaning liquid injection nozzles are arranged in the longitudinal direction of the nozzle holder. And at least two nozzle holders arranged adjacent to each other in parallel and supported so as to be able to move back and forth in the longitudinal direction, and the object to be cleaned is disposed on the nozzle holder. High-pressure cleaning liquid injection for cleaning by jetting high-pressure cleaning liquid from each spray nozzle to the object to be cleaned while simultaneously transporting the nozzle holders adjacent to each other in a direction orthogonal to the longitudinal direction. In the drive device of each nozzle holder in the type cleaning device,
The nozzle holder is reciprocated around a longitudinal axis within a predetermined rotation angle, and the period of the linear reciprocation of the nozzle holder is synchronized with the period of reciprocal rotation about the longitudinal axis. A nozzle holder driving device characterized in that a cleaning locus by a cleaning liquid sprayed from a spray nozzle is circular or elliptical.

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