JP2010186799A - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
シート剥離装置及び剥離方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010186799A JP2010186799A JP2009028469A JP2009028469A JP2010186799A JP 2010186799 A JP2010186799 A JP 2010186799A JP 2009028469 A JP2009028469 A JP 2009028469A JP 2009028469 A JP2009028469 A JP 2009028469A JP 2010186799 A JP2010186799 A JP 2010186799A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peeling
- adhesive sheet
- sheet
- peeling tape
- tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】シート剥離装置10は、接着シートSが貼付されたウエハWを支持するテーブル11と、剥離用テープPTを保持する保持手段14と、この保持手段14に保持された剥離用テープPTを接着シートSに押圧して貼付する直動モータ15と、接着シートSに貼付された剥離用テープPTと支持手段11とを相対移動させてウエハWから接着シートSを剥離するための単軸ロボット16とを備えて構成されている。保持手段14は、剥離切っ掛け形成手段27を備え、この剥離切っ掛け形成手段27は、保持手段14に保持された剥離用テープPTを部分的に凹ませて接着シートSの外縁側を剥離可能に設けられている。
【選択図】図2
Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着シートの初期段階の剥離を行い易くすることができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを保持する保持手段と、この保持手段に保持された剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する押圧手段と、接着シートに貼付された剥離用テープと前記支持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する移動手段とを備え、
前記保持手段は、剥離切っ掛け形成手段を備え、この剥離切っ掛け形成手段は、保持手段に保持された剥離用テープを部分的に凹ませて接着シートの外縁側を剥離可能に設けられる、という構成を採っている。
前記被着体を支持する工程と、
前記剥離用テープを保持手段により保持する工程と、
前記保持手段に保持された剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する工程と、
前記保持手段に保持された剥離用テープを、剥離切っ掛け形成手段を介して部分的に凹ませて接着シートの外縁側を剥離する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて接着シートを剥離する工程とを行う、という方法を採っている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
11 テーブル(支持手段)
14 保持手段
14A 吸着面
15 直動モータ(押圧手段)
16 単軸ロボット(移動手段)
17 挟み込み手段
27 剥離切っ掛け形成手段
PT 剥離用テープ
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (4)
- 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを保持する保持手段と、この保持手段に保持された剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する押圧手段と、接着シートに貼付された剥離用テープと前記支持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する移動手段とを備え、
前記保持手段は、剥離切っ掛け形成手段を備え、この剥離切っ掛け形成手段は、保持手段に保持された剥離用テープを部分的に凹ませて接着シートの外縁側を剥離可能に設けられていることを特徴とするシート剥離装置。 - 前記保持手段は、前記剥離用テープを吸引可能な吸着面を備え、この吸着面を部分的に凹み変形可能に設けることで前記剥離切っ掛け形成手段が構成されることを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。
- 前記保持手段は、前記剥離用テープ及び接着シートの少なくとも一方を挟み込む挟み込み手段を有することを特徴とする請求項1又は2記載のシート剥離装置。
- 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記被着体を支持する工程と、
前記剥離用テープを保持手段により保持する工程と、
前記保持手段に保持された剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する工程と、
前記保持手段に保持された剥離用テープを、剥離切っ掛け形成手段を介して部分的に凹ませて接着シートの外縁側を剥離する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記被着体とを相対移動させて接着シートを剥離する工程とを行うことを特徴とするシート剥離方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009028469A JP5209529B2 (ja) | 2009-02-10 | 2009-02-10 | シート剥離装置及び剥離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009028469A JP5209529B2 (ja) | 2009-02-10 | 2009-02-10 | シート剥離装置及び剥離方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010186799A true JP2010186799A (ja) | 2010-08-26 |
JP5209529B2 JP5209529B2 (ja) | 2013-06-12 |
Family
ID=42767298
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009028469A Active JP5209529B2 (ja) | 2009-02-10 | 2009-02-10 | シート剥離装置及び剥離方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5209529B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10120283A (ja) * | 1996-10-15 | 1998-05-12 | Keisuke Ueno | 掴み代付ライナ被覆両面粘着テ−プ供給装置 |
JP2006100728A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Nitto Denko Corp | 保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置 |
JP2007110014A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Lintec Corp | シート剥離装置及び剥離方法 |
-
2009
- 2009-02-10 JP JP2009028469A patent/JP5209529B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10120283A (ja) * | 1996-10-15 | 1998-05-12 | Keisuke Ueno | 掴み代付ライナ被覆両面粘着テ−プ供給装置 |
JP2006100728A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Nitto Denko Corp | 保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置 |
JP2007110014A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Lintec Corp | シート剥離装置及び剥離方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5209529B2 (ja) | 2013-06-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5117934B2 (ja) | マウント装置及びマウント方法 | |
JP6473359B2 (ja) | シート剥離装置 | |
JP6152275B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP4971841B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP6965036B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP3200938U (ja) | シート剥離装置 | |
JP4955629B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP2017163093A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6476027B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置 | |
JP5209529B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5973203B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP5869245B2 (ja) | シート貼付装置及びシート貼付方法並びに転写装置 | |
JP5296604B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP5996347B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法、並びに、シート貼替装置及び貼替方法 | |
JP2011233697A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5570271B2 (ja) | マウント装置およびマウント方法 | |
JP6349195B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP6145326B2 (ja) | 支持装置および支持方法 | |
JP2015082619A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP7009177B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP2015035452A (ja) | シート貼付装置及びシート貼付方法 | |
JP2012244013A (ja) | 貼付装置および貼付方法 | |
JP2010118442A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP4963692B2 (ja) | 半導体ウエハ処理装置及び処理方法 | |
JP4933494B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111111 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121120 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130116 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130221 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160301 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5209529 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |