JP2010185790A - 試験装置および校正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを試験するための試験信号をそれぞれ出力する複数の試験信号出力部と、試験信号に応じて被試験デバイスが出力する応答信号をそれぞれ取得する複数の応答信号取得部と、当該試験装置を校正する場合に、基準となる試験信号出力部が出力した試験信号の電圧レベルに応じた論理信号を複数の応答信号取得部のそれぞれへと出力する基準ドライバ部を備える校正用デバイスを、被試験デバイスの代わりに搭載するデバイス搭載部と、校正用デバイスが搭載された状態で、基準ドライバ部が出力した論理信号を調整対象の応答信号取得部が取得した結果に基づき、調整対象の応答信号取得部が論理信号を取得するタイミングを調整する調整部と、を備える試験装置を提供する。
【選択図】図2
Description
Claims (10)
- 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを試験するための試験信号をそれぞれ出力する複数の試験信号出力部と、
試験信号に応じて前記被試験デバイスが出力する応答信号をそれぞれ取得する複数の応答信号取得部と、
当該試験装置を校正する場合に、基準となる前記試験信号出力部が出力した試験信号の電圧レベルに応じた論理信号を前記複数の応答信号取得部のそれぞれへと出力する基準ドライバ部を備える校正用デバイスを、前記被試験デバイスの代わりに搭載するデバイス搭載部と、
前記校正用デバイスが搭載された状態で、前記基準ドライバ部が出力した前記論理信号を調整対象の前記応答信号取得部が取得した結果に基づき、調整対象の前記応答信号取得部が前記論理信号を取得するタイミングを調整する調整部と、
を備える試験装置。 - 前記校正用デバイスは、2以上の前記試験信号出力部がそれぞれ出力した試験信号の論理値を取得する基準コンパレータ部を更に備え、
前記調整部は、前記校正用デバイスが搭載された状態で、調整対象の前記試験信号出力部から出力させた試験信号を前記基準コンパレータ部により取得した結果に基づき、調整対象の前記試験信号出力部から試験信号を出力するタイミングを更に調整する
請求項1に記載の試験装置。 - 前記被試験デバイスに試験信号を出力するタイミングを指定するタイミング信号を少なくとも1つの前記試験信号出力部に供給するタイミング発生部を更に備え、
前記基準ドライバ部は、前記校正用デバイスの端子を介して前記タイミング信号を受け取って、前記タイミング信号により指定されたタイミングにおいて前記論理信号を出力し、
前記基準コンパレータ部は、前記校正用デバイスの端子を介して前記タイミング信号を受け取って、前記タイミング信号により指定されたタイミングにおいて前記試験信号を取得する、
請求項2に記載の試験装置。 - 前記被試験デバイスに供給する電源電圧を出力する電源部を更に備え、
前記基準ドライバ部は、前記校正用デバイスの端子を介して前記電源部から前記電源電圧を受け取って、出力する論理信号の電圧レベルを設定し、
前記基準コンパレータ部は、前記校正用デバイスの端子を介して前記電源部から前記電源電圧を受け取って、受け取った試験信号の論理値を決定するためのしきい値を設定する
請求項2または3に記載の試験装置。 - 前記校正用デバイスは、前記基準ドライバ部および前記基準コンパレータ部を、いずれの前記応答信号取得部および前記試験信号出力部に接続するかを切り替える外部接続スイッチを更に備え、
前記調整部は、前記基準ドライバ部および前記基準コンパレータ部をいずれの前記応答信号取得部および前記試験信号出力部に接続するかを指定する信号を、少なくとも1つの前記試験信号出力部から前記外部接続スイッチへと供給する
請求項2から4のいずれかに記載の試験装置。 - 前記校正用デバイスは、
複数の前記基準ドライバ部および複数の前記基準コンパレータ部と、
一の前記基準ドライバ部をいずれの前記基準コンパレータ部に接続するかを切り替える内部接続スイッチと、
を備え、
前記調整部は、前記校正用デバイスが搭載された状態で、前記一の基準ドライバ部を、それぞれの前記基準コンパレータ部に接続させて前記一の基準ドライバ部から出力した信号を接続先の前記基準コンパレータ部が取得した結果に基づき、前記複数の基準コンパレータ部が試験信号を取得するタイミングを更に調整する
請求項2から5のいずれかに記載の試験装置。 - 前記基準ドライバ部が出力した論理信号を前記応答信号取得部が取得できない場合に、外部のハンドラ装置を制御して、前記校正用デバイスを前記デバイス搭載部に搭載し直させる制御部を更に備える請求項1から6のいずれかに記載の試験装置。
- 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを試験するための試験信号をそれぞれ出力する複数の試験信号出力部と、
試験信号に応じて前記被試験デバイスが出力する応答信号をそれぞれ取得する複数の応答信号取得部と、
当該試験装置を校正する場合に、2以上の前記試験信号出力部がそれぞれ出力した試験信号の論理値を取得して基準となる前記応答信号取得部へと出力する基準コンパレータ部を備える校正用デバイスを、前記被試験デバイスの代わりに搭載するデバイス搭載部と、
前記校正用デバイスが搭載された状態で、調整対象の前記試験信号出力部から出力させた試験信号を前記基準コンパレータ部により取得した結果に基づき、調整対象の前記試験信号出力部から試験信号を出力するタイミングを調整する調整部と、
を備える試験装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置を校正する校正方法であって、
前記試験装置は、
前記被試験デバイスを試験するための試験信号をそれぞれ出力する複数の試験信号出力部と、
試験信号に応じて前記被試験デバイスが出力する応答信号をそれぞれ取得する複数の応答信号取得部と、
当該試験装置を校正する場合に、基準となる前記試験信号出力部が出力した試験信号の電圧レベルに応じた論理信号を前記複数の応答信号取得部のそれぞれへと出力する基準ドライバ部を備える校正用デバイスを、前記被試験デバイスの代わりに搭載するデバイス搭載部と
を備え、
前記校正用デバイスが搭載された状態で、前記基準ドライバ部が出力した前記論理信号を調整対象の前記応答信号取得部が取得した結果に基づき、調整対象の前記応答信号取得部が前記論理信号を取得するタイミングを調整する
校正方法。 - 被試験デバイスを試験する試験装置を校正する校正方法であって、
前記試験装置は、
前記被試験デバイスを試験するための試験信号をそれぞれ出力する複数の試験信号出力部と、
試験信号に応じて前記被試験デバイスが出力する応答信号をそれぞれ取得する複数の応答信号取得部と、
当該試験装置を校正する場合に、2以上の前記試験信号出力部がそれぞれ出力した試験信号の論理値を取得して基準となる前記応答信号取得部へと出力する基準コンパレータ部を備える校正用デバイスを、前記被試験デバイスの代わりに搭載するデバイス搭載部と、
を備え、
前記校正用デバイスが搭載された状態で、調整対象の前記試験信号出力部から出力させた試験信号を前記基準コンパレータ部により取得した結果に基づき、調整対象の前記試験信号出力部から試験信号を出力するタイミングを調整する
校正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009030313A JP2010185790A (ja) | 2009-02-12 | 2009-02-12 | 試験装置および校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009030313A JP2010185790A (ja) | 2009-02-12 | 2009-02-12 | 試験装置および校正方法 |
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JP2010185790A true JP2010185790A (ja) | 2010-08-26 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009030313A Ceased JP2010185790A (ja) | 2009-02-12 | 2009-02-12 | 試験装置および校正方法 |
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2009
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