JP2010181716A - 観察装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高速に変化または移動する観察対象であっても精度よく厚さ寸法を測定する。
【解決手段】所定の波長の光を出射する光源3と、該光源3から出射された光を観察対象Aに照射する照明光学系4と、該照明光学系4により観察対象Aに照射された光の観察対象Aにおける透過光を集光する集光光学系5と、透過光を複数の光路に分岐する光路分岐手段6と、該光路分岐手段6により複数の光路に分岐された透過光を撮影する複数の撮像素子7A,7B,7Cとを備え、該撮像素子7A,7B,7Cが、集光光学系5による焦点位置と撮像素子7A,7B,7Cの撮像面7a,7b,7cとの距離を光軸方向に異ならせて配置されている観察装置1を提供する。
【選択図】図1
【解決手段】所定の波長の光を出射する光源3と、該光源3から出射された光を観察対象Aに照射する照明光学系4と、該照明光学系4により観察対象Aに照射された光の観察対象Aにおける透過光を集光する集光光学系5と、透過光を複数の光路に分岐する光路分岐手段6と、該光路分岐手段6により複数の光路に分岐された透過光を撮影する複数の撮像素子7A,7B,7Cとを備え、該撮像素子7A,7B,7Cが、集光光学系5による焦点位置と撮像素子7A,7B,7Cの撮像面7a,7b,7cとの距離を光軸方向に異ならせて配置されている観察装置1を提供する。
【選択図】図1
Description
本発明は、観察装置に関するものである。
従来、観察対象に対して焦点位置をずらした複数の画像から観察対象の厚さ寸法を測定する技術が知られている(例えば、特許文献1参照。)。観察対象に対して焦点位置をずらした複数の画像を取得する場合には、観察対象を搭載したステージ、あるいは、該ステージに対向する対物レンズを光軸方向に移動させる必要がある。
しかしながら、厚さ寸法を測定するためにずらす焦点位置のずれ量は、数μmと非常に小さいため、ステージや対物レンズを光軸方向に精度よく移動させる必要がある。顕微鏡においては、手動式の粗動ハンドルや微動ハンドルを用いて焦点位置を合わせることが行われるが、焦点位置をずらすために手動により正確に数μm移動させることは困難である。
また、ステージや対物レンズの移動をステッピングモータやピエゾアクチュエータにより行う方法も考えられるが、光軸方向に送りをかけるための送り機構のバックラッシュやステッピングモータの脱調、あるいはピエゾアクチュエータのヒステリシス等により、焦点位置を繰り返し精度よく移動させることが困難であるという不都合がある。
さらに、従来の技術では、焦点位置をずらした複数の画像の取得を同時に行うことができず、ステージあるいは対物レンズを光軸方向に移動させる動作と撮像動作とを繰り返さなければならないので、短時間内に変化または移動する観察対象の厚さ寸法を測定することはできないという不都合がある。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、高速に変化または移動する観察対象であっても精度よく厚さ寸法を測定することができことができる観察装置を提供することを目的としている。
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、所定の波長の光を出射する光源と、該光源から出射された光を観察対象に照射する照明光学系と、該照明光学系により観察対象に照射された光の観察対象における透過光を集光する集光光学系と、前記透過光を複数の光路に分岐する光路分岐手段と、該光路分岐手段により複数の光路に分岐された透過光を撮影する複数の撮像素子とを備え、該撮像素子が、前記集光光学系による焦点位置と前記撮像素子の撮像面との距離を光軸方向に異ならせて配置されている観察装置を提供する。
本発明は、所定の波長の光を出射する光源と、該光源から出射された光を観察対象に照射する照明光学系と、該照明光学系により観察対象に照射された光の観察対象における透過光を集光する集光光学系と、前記透過光を複数の光路に分岐する光路分岐手段と、該光路分岐手段により複数の光路に分岐された透過光を撮影する複数の撮像素子とを備え、該撮像素子が、前記集光光学系による焦点位置と前記撮像素子の撮像面との距離を光軸方向に異ならせて配置されている観察装置を提供する。
本発明によれば、光源から発せられた所定の波長の光が、照明光学系により観察対象に照射され、観察対象における透過光が集光光学系により集光されるとともに光路分岐手段によって複数の光路に分岐されて、複数の撮像素子により撮影される。この場合において、集光光学系による各光路における焦点位置が、当該光路に配置された各撮像素子の撮像面に対する距離を異ならせて配置されているので、光軸方向に精度よく合焦位置をずらした複数の画像を取得することができる。そして、このようにして取得された複数の画像から位相差画像を取得することができる。
本発明によれば、合焦位置のずれた複数の画像を順次取得するのではなく、光路を複数に分岐して撮影することで同時に取得することができ、高速に変化または移動する観察対象であっても精度よく厚さ寸法を測定することができことができる。
また、上記発明においては、前記集光光学系が、観察対象を透過した透過光を集光して略平行光にする対物レンズと、該対物レンズにより集光された透過光を集光して結像させる結像レンズとを備えていてもよい。
このようにすることで、観察対象を透過した透過光が対物レンズによって略平行光にされた後、結像レンズによって所定の焦点位置に結像させられる。結像レンズを通過した後に光路分岐手段によって光路を分岐する場合、結像レンズから複数の撮像素子の撮像面までの距離を異ならせることで、合焦位置のずれ量を異ならせ、光軸方向に精度よく合焦位置をずらした複数の画像を取得することができる。
このようにすることで、観察対象を透過した透過光が対物レンズによって略平行光にされた後、結像レンズによって所定の焦点位置に結像させられる。結像レンズを通過した後に光路分岐手段によって光路を分岐する場合、結像レンズから複数の撮像素子の撮像面までの距離を異ならせることで、合焦位置のずれ量を異ならせ、光軸方向に精度よく合焦位置をずらした複数の画像を取得することができる。
また、上記発明においては、前記光路分岐手段が、前記対物レンズと前記結像レンズとの間に配置されていてもよい。
このようにすることで、対物レンズによって略平行光にされた無限遠の光路において透過光を光路分岐手段によって分岐することができ、光路分岐手段の構成を結像レンズからの距離に捕らわれることなく自由に設定することができる。
このようにすることで、対物レンズによって略平行光にされた無限遠の光路において透過光を光路分岐手段によって分岐することができ、光路分岐手段の構成を結像レンズからの距離に捕らわれることなく自由に設定することができる。
また、上記発明においては、前記光路分岐手段が、分岐される透過光の光量を略均等にすることが好ましい。
このようにすることで、光路分岐手段により分岐され撮像素子により撮像された画像をそのまま使用して観察対象の厚さ寸法を精度よく計測することができる。
このようにすることで、光路分岐手段により分岐され撮像素子により撮像された画像をそのまま使用して観察対象の厚さ寸法を精度よく計測することができる。
本発明によれば、高速に変化または移動する観察対象であっても精度よく厚さ寸法を測定することができことができるという効果を奏する。
本発明の一実施形態に係る観察装置1について、図面を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る観察装置1は、図1に示されるように、試料(観察対象)Aを搭載するステージ2と、該ステージ2の鉛直上方に配置され、所定の波長の光、例えば、近赤外光を発生する光源3と、該光源3から発せられた近赤外光を鉛直方向に配される光軸Cに沿って試料Aに照射する照明光学系4と、試料Aを下方に透過した透過光を集光する集光光学系5と、透過光を複数の光路に分岐する光路分岐光学系(光路分岐手段)6と、分岐された透過光をそれぞれ撮影するCCDのような複数の撮像素子7A,7B,7Cとを備えている。
本実施形態に係る観察装置1は、図1に示されるように、試料(観察対象)Aを搭載するステージ2と、該ステージ2の鉛直上方に配置され、所定の波長の光、例えば、近赤外光を発生する光源3と、該光源3から発せられた近赤外光を鉛直方向に配される光軸Cに沿って試料Aに照射する照明光学系4と、試料Aを下方に透過した透過光を集光する集光光学系5と、透過光を複数の光路に分岐する光路分岐光学系(光路分岐手段)6と、分岐された透過光をそれぞれ撮影するCCDのような複数の撮像素子7A,7B,7Cとを備えている。
図中、符号8は、撮像素子7A,7B,7Cに接続され、取得された輝度情報を処理して2次元的な画像を形成する画像処理部、符号9は、形成された画像を表示するモニタ、符号10は、形成された画像を記憶する記憶部である。
試料Aは、例えば、透明なシャーレ11の底面に接着して培養されている細胞群である。
ステージ2は、図示しない粗動ハンドルおよび微動ハンドルにより上下方向に移動可能に設けられている。
ステージ2は、図示しない粗動ハンドルおよび微動ハンドルにより上下方向に移動可能に設けられている。
照明光学系4は、コンデンサレンズであって、光源3から発せられた近赤外光を略平行光にして試料Aの鉛直上方から試料Aに照射するようになっている。
集光光学系5は、図1に示されるように、試料Aを透過した透過光を集光して略平行光にする対物レンズ5aと、該対物レンズ5aにより集光された透過光をさらに集光して結像させる結像レンズ5bとを備えている。
集光光学系5は、図1に示されるように、試料Aを透過した透過光を集光して略平行光にする対物レンズ5aと、該対物レンズ5aにより集光された透過光をさらに集光して結像させる結像レンズ5bとを備えている。
光路分岐光学系6は、透過光をそれぞれ2つの光路に分岐させる2つのビームスプリッタ6a,6bによって構成されている。第1のビームスプリッタ6aは、透過率66.6%であり、入射した透過光の内の33.3%の光量を反射させ、66.6%の光量を透過させるようになっている。第2のビームスプリッタ6bは、透過率50%であり、第1のビームスプリッタ6aを透過してきた66.6%の光量の透過光を、その50%、すなわち、33.3%の光量の2つの光路に分岐させるようになっている。
撮像素子7A,7B,7Cは、第1のビームスプリッタ6aの反射光路および第2のビームスプリッタ6bにより分岐された2つの光路にそれぞれ1つずつ、合計3箇所に配置されている。また、各撮像素子7A,7B,7Cは、結像レンズ5bの焦点位置に対して、光軸方向に異なる距離だけあけて配置されている。具体的には、第1の撮像素子7Aは、結像レンズ5bの焦点位置に精度良く一致する位置に撮像面7aを配置し、第2の撮像素子7Bは、結像レンズ5bの焦点位置に対して+δだけ離れた位置に撮像面7bを配置し、第3の撮像素子7Cは、結像レンズ5bの焦点位置に対して−δだけ離れた位置に撮像面7cを配置している。
このように構成された本実施形態に係る観察装置1の作用について説明する。
本実施形態に係る観察装置1を用いて試料Aの観察を行うには、底面に試料Aを接着させたシャーレ11をステージ2上に載置し、光源3からの近赤外光を照明光学系4を介して試料Aに上方から照射し、試料Aをステージ2の下方に透過した光を対物レンズ5aおよび結像レンズ5bによって集光する。
本実施形態に係る観察装置1を用いて試料Aの観察を行うには、底面に試料Aを接着させたシャーレ11をステージ2上に載置し、光源3からの近赤外光を照明光学系4を介して試料Aに上方から照射し、試料Aをステージ2の下方に透過した光を対物レンズ5aおよび結像レンズ5bによって集光する。
照明光学系4を介して照射された近赤外光は、略平行光とされてシャーレ11内の試料Aに照射される。
試料Aに照射された近赤外光は試料Aを透過して集光光学系5により集光され、撮像素子7A,7B,7Cにより撮影される。これにより、撮影された試料A各部の輝度信号が画像処理部8において処理されて試料Aの2次元的な画像が形成され、モニタ9に表示される。
試料Aに照射された近赤外光は試料Aを透過して集光光学系5により集光され、撮像素子7A,7B,7Cにより撮影される。これにより、撮影された試料A各部の輝度信号が画像処理部8において処理されて試料Aの2次元的な画像が形成され、モニタ9に表示される。
ユーザはモニタ9を見ながら図示しない粗動ハンドルおよび微動ハンドルにより、ステージ2を上下動させて、シャーレ11の底面に存在する試料Aの所望の(光軸C方向の)観察位置に、対物レンズ5aの焦点位置を一致させる。
これにより、所望の観察位置に対して、結像レンズ5bの焦点位置を精度良く一致させた1枚の画像と、光軸Cに沿う方向にずれた焦点位置による異なる2枚の画像を取得することができ、取得された画像は記憶部10に記憶される。
これにより、所望の観察位置に対して、結像レンズ5bの焦点位置を精度良く一致させた1枚の画像と、光軸Cに沿う方向にずれた焦点位置による異なる2枚の画像を取得することができ、取得された画像は記憶部10に記憶される。
したがって、焦点位置を一致させた画像によって鮮明な画像による観察を行うことができ、焦点位置のずれた2枚の画像を用いて、公知の方法により、試料Aの厚さ寸法を精度よく測定することができる。
その結果、従来、対物レンズ5aやステージ2を光軸C方向に移動させることで焦点位置をずらしていた場合と比較して、極めて短時間で精度よく焦点位置を5μm程度にずらした画像を撮影することができ、観察作業を容易にすることができる。
その結果、従来、対物レンズ5aやステージ2を光軸C方向に移動させることで焦点位置をずらしていた場合と比較して、極めて短時間で精度よく焦点位置を5μm程度にずらした画像を撮影することができ、観察作業を容易にすることができる。
また、本実施形態に係る観察装置1によれば、焦点位置のずれた3枚の画像を取得するために、結像レンズ5bの焦点位置と撮像素子7A,7B,7Cの撮像面7a,7b,7cとの距離をずらしながら撮影を繰り返すことなく、3枚の画像を同時に取得することができる。これにより、短時間内に変化または移動する観察対象の厚さ寸法を精度よく測定することができるという利点がある。
なお、本実施形態においては、結像レンズ5bの後段に光路分岐光学系6を配置したが、これに代えて、図2に示されるように、対物レンズ5aと結像レンズ5bとの間に光路分岐光学系6を配置してもよい。このようにすることで、対物レンズ5aにより略平行光とされた透過光の光路上において光路を分岐することができる。したがって、光路分岐光学系6を構成する各ビームスプリッタ6a,6bの配置を比較的自由に選択することができる。
また、本実施形態においては、光路分岐光学系6を構成する各ビームスプリッタ6a,6bの透過率を調節することによって、3つの撮像素子7A,7B,7Cに到達する透過光の光量が同等となるように設定したが、これに代えて、図3に示されるように、ビームスプリッタ7A後に配置したNDフィルタ12のような減光フィルタによって、3つの撮像素子7A,7B,7Cに到達する透過光の光量を同等にすることにしてもよい。
例えば、図3に示される例では、第1のビームスプリッタ6aおよび第2のビームスプリッタ6bの透過率をいずれも50%とし、NDフィルタ12の減光率を50%とすることにより、全ての撮像素子7A,7B,7Cに到達する光量を、等しく試料透過直後の光量の25%にすることができる。
この場合、透過率の設定は任意でよい。
また、NDフィルタ12の配置も第1の撮像素子7Aへの光路に代えて、あるいはこれに加えて、他の1以上の撮像素子7B,7Cへの光路に配置してもよい。
また、NDフィルタ12の配置も第1の撮像素子7Aへの光路に代えて、あるいはこれに加えて、他の1以上の撮像素子7B,7Cへの光路に配置してもよい。
また、NDフィルタ12を使用することなく、画像処理によって、全ての撮像素子7A,7B,7Cにより取得された画像信号のレベルを一致させることにしてもよい。この場合、画像信号に含まれる暗ノイズのレベルを一致させる必要があるため、予め暗ノイズのみ取得しておき、撮像素子7A,7B,7Cにより取得された画像信号から暗ノイズを減算した後に、信号レベルを調節し、その後、再度暗ノイズを加算することにすることが好ましい。
また、3つの撮像素子7A,7B,7Cにより取得された3枚の画像を試料Aの厚さ寸法測定に使用するのではなく、その内の2枚の画像のみを厚さ寸法測定に使用する場合には、焦点位置が撮像面7aに一致する撮像素子7Aへの透過光の光量のみを他の撮像素子7B,7Cへの透過光の光量に対して異ならせてもよい。すなわち、図1に示す例では、2つのビームスプリッタ6a,6bの透過率を、例えば、50%に設定しておくことで、第1の撮像素子7Aへの透過光の光量を50%に、第2,第3への撮像素子7B,7Cへの透過光の光量を25%ずつに設定することにしてもよい。
A 試料(観察対象)
1 観察装置
3 光源
4 照明光学系
5 集光光学系
5a 対物レンズ
5b 結像レンズ
6 光路分岐光学系(光路分岐手段)
6a,6b ビームスプリッタ
7A,7B,7C 撮像素子
7a,7b,7c 撮像面
1 観察装置
3 光源
4 照明光学系
5 集光光学系
5a 対物レンズ
5b 結像レンズ
6 光路分岐光学系(光路分岐手段)
6a,6b ビームスプリッタ
7A,7B,7C 撮像素子
7a,7b,7c 撮像面
Claims (4)
- 所定の波長の光を出射する光源と、
該光源から出射された光を観察対象に照射する照明光学系と、
該照明光学系により観察対象に照射された光の観察対象における透過光を集光する集光光学系と、
前記透過光を複数の光路に分岐する光路分岐手段と、
該光路分岐手段により複数の光路に分岐された透過光を撮影する複数の撮像素子とを備え、
該撮像素子が、前記集光光学系による焦点位置と前記撮像素子の撮像面との距離を光軸方向に異ならせて配置されている観察装置。 - 前記集光光学系が、観察対象を透過した透過光を集光して略平行光にする対物レンズと、該対物レンズにより集光された透過光を集光して結像させる結像レンズとを備える請求項1に記載の観察装置。
- 前記光路分岐手段が、前記対物レンズと前記結像レンズとの間に配置されている請求項2に記載の観察装置。
- 前記光路分岐手段が、分岐される透過光の光量を略均等にする請求項1に記載の観察装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009026173A JP2010181716A (ja) | 2009-02-06 | 2009-02-06 | 観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009026173A JP2010181716A (ja) | 2009-02-06 | 2009-02-06 | 観察装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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ID=42763308
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---|---|---|---|
JP2009026173A Withdrawn JP2010181716A (ja) | 2009-02-06 | 2009-02-06 | 観察装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2420879A1 (en) | 2010-08-16 | 2012-02-22 | Sony Corporation | Driving unit, lens module, and image pickup device |
CN103874917A (zh) * | 2011-10-12 | 2014-06-18 | 文塔纳医疗***公司 | 多焦点干涉图像获取 |
JP2019204027A (ja) * | 2018-05-24 | 2019-11-28 | 横河電機株式会社 | 顕微鏡用光学システム及び処理装置 |
-
2009
- 2009-02-06 JP JP2009026173A patent/JP2010181716A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
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US9429743B2 (en) | 2011-10-12 | 2016-08-30 | Ventana Medical Systems, Inc. | Systems and methods of polyfocal hyperspectral imaging having a beam splitter with optical channels respectively corresponding to plural image planes |
JP2019204027A (ja) * | 2018-05-24 | 2019-11-28 | 横河電機株式会社 | 顕微鏡用光学システム及び処理装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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