JP2010179276A - フィルム表面の異物除去装置及びフィルムの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】フィルム表面のゴミを十分に除去することができ、且つ、サクションロールと接触する側のフィルム表面に傷が付かないフィルム表面の異物除去装置及びフィルムの製造方法を提供すること。
【解決手段】バックアップロールがサクションロールであって、該サクションロールのフィルムと接触する表面の縦弾性率が１．０×１０^１ＭＰａ以上１．５×１０^５ＭＰａ以下であるフィルム表面の異物除去装置。
【選択図】図１

Description

本発明は、シート状のフィルム基材に付着している異物を除去するフィルム表面の異物除去装置及びフィルムの製造方法に関する。

シート状のフィルム基材に塗布層を形成したフィルムとしては、例えば液晶表示装置の偏光板の保護フィルムや光学補償フィルムなどがある。このようなフィルムは、ＴＡＣフィルム（セルローストリアセテートフィルム）等の基材となるフィルムの表面に、表面を保護するためのハードコート層や表面の光の反射を制御するための屈折率を制御する層等を塗布している。

このようなフィルムの製造方法においては、均一な塗布層を形成するために、基材となるフィルム表面の塗布面側に付着している塵埃などのゴミを除去した後に、フィルム表面に塗布層が形成される。ゴミを十分に除去していないと、塗布膜にゴミを起点として、塗布膜厚が薄くなるいわゆるハジキ故障が発生する。

特に液晶表示装置に用いられる偏光板などのフィルムは、近年の表示装置に対する高精細化の要求から、ゴミ除去の要求が大きくなってきている。

基材フィルムの表面のゴミの除去装置としては、回転するバックアップロールに所定の抱き角を持って接触する基材フィルムに向けて、高圧のエアーを吹き付け、そのエアー圧力によりフィルム表面に付着する塵埃などのゴミを除去し、ゴミを含んだエアーは、高圧のエアーを吹き付ける位置のフィルム搬送方向上流側及び下流側に配置された吸引口により吸引する方法が知られている（特許文献１参照。）。また、フィルム表面のゴミ除去を徹底するために、そのエアーの圧力は、一段と高められる方向にある。

しかし、上記のゴミの除去方法において、エアーの圧力を高くしていくと、ゴミを含んだエアーを吸引する吸引力も高くする必要があり、そのため吸引口に対向するフィルムが吸引口側に引き寄せられて、吸引口や吸引口取り付け部周辺の部材とフィルム表面が接触し、フィルム表面に傷をつけるという問題が発生した。

このような問題に対して、バックアップロールにサクションロールを用い、フィルムをサクションロール側に吸着させることで、エアーの吸引力を高くしてもフィルムが吸引口側に引き寄せられないようにする方法が提案されている（特許文献２参照。）。

特開平１０−３０９５５３号公報 特開２００８−２７２６４７号公報

しかしながら、特許文献２の装置では、フィルム表面の異物は除去できるが、高圧エアーを吹き付けることにより、サクションロールと接触する側のフィルム表面にサクションロール表面の吸引開口部の跡が傷として残るという問題が生じた。特に、液晶表示装置に用いる光学フィルムとしての積層フィルムを製造する場合、塗布面の反対側の面に傷が付くと、光学性能が低下し製品にならないという問題があった。

よって、本発明の目的は、フィルム表面のゴミを十分に除去することができ、且つ、サクションロールと接触する側のフィルム表面に傷が付かないフィルム表面の異物除去装置及びフィルムの製造方法を提供することである。

本発明の課題は、以下の手段により解決することができる。

１．フィルムと所定の抱き角をもって接触し、回転するバックアップロールと、
該バックアップロールと接触する前記フィルムに所定の距離を開けて配置されたクリーニングヘッドを備え、
該クリーニングヘッドが、
前記フィルムの表面に付着するゴミを剥離除去するエアーを噴出するエアー噴出口と、
ゴミを含む前記エアー噴出口からのエアーを吸引するエアー吸引口と、
を有するフィルム表面の異物除去装置において、
前記バックアップロールが、表面に開口した吸引部を有するサクションロールであって、
該サクションロールの前記フィルムと接触する表面の縦弾性率が１．０×１０^１ＭＰａ以上１．５×１０^５ＭＰａ以下であることを特徴とするフィルム表面の異物除去装置。

２．前記サクションロールの表面の前記吸引部の開口長さが、１０μｍ以上５０００μｍ以下であることを特徴とする前記１に記載のフィルム表面の異物除去装置。

３．前記エアー噴出口から噴出するエアー圧力が５００ｋＰａ以上１０００ｋＰａ以下であることを特徴とする前記１又は２に記載のフィルム表面の異物除去装置。

４．前記クリーニングヘッドは、
前記エアー噴出口の長手方向が、前記サクションロールの回転する軸と平行な方向であり、
前記エアー吸引口として、
長手方向が前記エアー噴出口と平行に配置された第１のエアー吸引口と、
前記フィルムの両端部に対向し、長手方向が該フィルムの走行方向と平行に配置された第２のエアー吸引口と、を有することを特徴とする前記１から３の何れか１項に記載のフィルム表面の異物除去装置。

５．前記サクションロールの表面に接触し、該サクションロールに付着するゴミを除去する粘着ロールを備えたことを特徴とする前記１から４の何れか１項に記載のフィルム表面の異物除去装置。

６．搬送されるフィルムの表面に高圧エアーを吹き付けることにより、前記フィルムの表面の異物を除去する工程を備えたフィルムの製造方法において、
前記フィルムの表面の異物を除去する工程は、
表面の縦弾性率が１．０×１０^１ＭＰａ以上１．５×１０^５ＭＰａ以下の回転するサクションロールの表面に所定の抱き角をもって接触する前記フィルムの表面に、
エアー噴出口とエアー吸引口とを有するクリーニングヘッドのエアー噴出口から高圧エアーを前記フィルムの表面に噴出して前記フィルムの表面に付着しているゴミを剥離除去し、前記エアー吸引口に前記フィルムの表面から分離除去されたゴミを含むエアーを吸引することを特徴とするフィルムの製造方法。

本発明によれば、フィルム表面のゴミを除去する異物除去装置において、バックアップロールにサクションロールを用い、該サクションロールのフィルムと接触する表面の縦弾性率を所定の範囲にすることにより、フィルム表面に高圧のエアーを吹き付けても、サクションロールの吸引部の形状痕がフィルムに残らず、且つ、フィルム表面のゴミも十分に除去することができる異物除去装置及びフィルムの製造方法を提供できる。

本発明の異物除去装置１０の実施形態を示す概略断面図である。 本実施形態のクリーニングヘッドをバックアップロール側から見た平面図である。 本実施形態のサクションロールの斜視図である。 本実施形態に用いるサクションロールの吸引部の拡大図である。 クリーニングヘッドの別の実施形態を示す平面図である。 サクションロールに粘着ロールと粘着ロールに付着したゴミを除去するブレードを備えた異物除去装置１０の断面図である。 フィルム上に塗布膜を形成するための積層フィルム製造装置の模式図である。

本発明を実施形態を用いて以下に説明するが、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではない。

図１は、本発明のフィルム表面の異物除去装置１０の実施形態を示す概略断面図である。異物除去装置１０は、バックアップロール１とクリーニングヘッド３を有している。バックアップロール１は、フィルム２と所定の抱き角θをもって接触している。クリーニングヘッド３は、バックアップロール１と抱き角θで接触する部分のフィルム２に対向し、その対向する面の形状は、バックアップロールの形状にほぼ沿った形状でフィルム２の表面から所定の距離ｄだけ離れた位置に配置されている。クリーニングヘッド３には、フィルム２の表面に付着するゴミを剥離除去するための高圧エアーを噴出するエアー噴出口３１と、フィルム２の表面から剥離除去されたゴミを含んだ高圧エアーを吸引するエアー吸引口３２とを有している。エアー噴出口３１には、図示していないが高圧エアーを発生するポンプがつながっている。また、エアー吸引口３２には、図示していないがエアーを吸引する吸引ポンプがつながっている。

図２は、クリーニングヘッド３をバックアップロール１側から見た平面図である。クリーニングヘッド３のエアー吸引口３２は、エアー噴出口３１を平行で、フィルムの搬送方向ａに対して上流側と下流側に１つずつ配置されている。エアー吸引口３２の数は、２つである必要はなく、剥離除去されたゴミを含む高圧エアーを効率よく吸引できれば、１つでも２つ以上であっても良い。

図３は、本実施形態のバックアップロール１として用いるサクションロール１の斜視図である。サクションロール１は、その表面に設けられた穴である吸引部１１を多数有し、軸端部にはサクションロール１の表面にフィルム２を吸着させるために、サクションロール１の内部を減圧する減圧口１２を有している。減圧口１２には、図示していないが減圧ポンプがつながっている。

図４は、本実施形態に用いるサクションロール１の吸引部１１の拡大図を示している。図４（ａ）は、吸引部１１の平面図、（ｂ）はその断面図、（ｃ）は別の形状を有する吸引部１１の平面図を示している。図４（ａ）における吸引部１１は、直径Ｌの円形の穴であり、穴の空いた円筒状の基材１３の表面に縦弾性率調整層１４が形成されている。

本発明におけるサクションロール１の表面の縦弾性率は、１．０×１０^１ＭＰａ以上１．５×１０^５ＭＰａ以下である。基材１３の縦弾性率がこの範囲であれば、特に縦弾性率調整層１４を形成しなくても良い。

吸引部１１の形状は、図４（ａ）のように円形でもよいが、サクションロール１の内部の減圧により、その表面にフィルム２を吸着できればよいので、図４（ｃ）のように矩形形状であってもよく特に限定するものではない。

次に、図１を用いて本実施形態の異物除去装置１０により、フィルム２の表面のゴミを除去する方法について説明する。サクションロール１に所定の抱き角θをもって接触するフィルム２は、一定の張力で矢印ａ方向に搬送される。フィルム２の搬送と同じ速度でサクションロール１は、図中ｂ方向に回転する。サクションロール２の駆動は、サクションロール１の表面速度とフィルム２の移動速度とが同じであれば、フィルム２とつれ回る従動回転でも良いし、フィルム２を回転駆動させる駆動源を有する駆動ロールであっても良い。

サクションロール１と所定の距離ｄだけ離れて、抱き角θに対応する位置に配置されたクリーニングヘッド３は、搬送されるフィルム２の表面のゴミを除去するために、エアー噴出口３１から高圧のエアーを噴出する。この高圧エアーにより、フィルム２の表面のゴミは剥離除去される。高圧エアーの圧力は、５００ｋＰａ〜１０００ｋＰａが好ましい。高圧エアーの圧力は、高いほどゴミの除去能力が上がり、好ましいが、高すぎると、高圧エアーの圧力により、フィルム２のサクションロール１と接触する面に吸引部１１の形状痕がつきやすくなる。よって、上記範囲が好ましい。

剥離除去されたゴミを含むエアーは、エアー噴出口３１と平行で、フィルム２の搬送方向上流側及び下流側に配置された２つのエアー吸引口３２により吸引される。エアー吸引口３２よる吸引力は、エアー噴出口３１から噴出されゴミを含んだエアーを吸引し、異物除去装置１０外にゴミを含んだエアーを出さないようにするのが好ましい。このようにすることで、フィルム２の表面から除去されたゴミは、異物除去装置１０の外に出ることなく除去することができる。

この時、サクションロール１は、その内部が減圧口１２につながれた減圧ポンプにより減圧されている。この減圧により、サクションロール１の表面に形成された穴である吸引部１１にその表面のフィルム２が吸着される。そのため、従来、エアー吸引口３２により吸引されるエアーとともにフィルムがクリーニングヘッド３側に引っ張られて、エアー吸引口３２の付近にフィルムが接触して、傷を生じるという問題があったが、サクションロール１によりフィルム２をその表面に吸着させているので、クリーニングヘッド３との接触が起こらずにフィルム２の表面のゴミを十分に除去することができる。

また、サクションロール１の表面の縦弾性率は、１．０×１０^１ＭＰａ以上１．５×１０^５ＭＰａ以下である。

縦弾性率が、１．５×１０^５ＭＰａを越えるとフィルム２の表面が高圧エアーを吹き付けた時にサクションロール１の吸引部１１の穴に押しつけられ、その結果、吸引部１１の形状痕がフィルム２の表面に残り、製品として問題となる。特に液晶表示装置などに用いる光学フィルムとしては、吸引部１１の形状痕のところで光の屈折が生じて、表示ムラの原因となる。また１．０×１０^１ＭＰａ未満の場合にも、フィルム２の表面が吸引部１１に食い込み、吸引部１１の形状痕が生じることになる。

上記範囲内の縦弾性率を有する材料としては、ゴム、テフロン（登録商標）、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタラート、ポリスチレン、ナイロン、マグネシウム、アルミ合金、チタン、強化繊維プラスチック等がある。縦弾性率は、超音波法を用いて測定した。超音波法とは、固体中に伝わる超音波（横波と縦波）の伝わる速度より、縦波音速と横波音速から縦弾性定数とポアソン比、横波音速から横弾性定数を求める。測定装置にはマテック社製ＭＢＳ８０００型音速測定装置を使用し、平行平面をもつ試料（１６ｍｍφ×１０ｍｍ厚さ）を作製し、その一面から超音波パルスを入射し、試料の両端面を多重反射させて超音波エコーを発生させる。これをセンサーで受け、パルスエコー間の時間間隔と試料両面間の距離から超音波の音速、縦波の速度Ｖ_ｌと横波の速度Ｖ_Ｓを求め、下記式から縦弾性率Ｅを算出する。

また、サクションロール１の表面の吸引部１１の開口長さＬが、１０μｍ以上５０００μｍ以下であることが好ましい。図４（ａ）の円形の穴である場合は、開口長さＬは直径であり、図４（ｃ）のような矩形の穴である場合は、その対角線の長さとなる。また、穴の形状は、上記の他、多角形であっても良い。多角形の場合は、その対角線の中で最も長い対角線の長さが開口長さＬとなる。

吸引部１１の開口長さＬを上記範囲にすることで、フィルム２を十分にサクションロール１側に吸引できると共に、フィルム２が吸引部１１の穴に押圧されて変形することもなく、より形状痕の発生が抑えられて、好ましい。

サクションロール１に用いる基材１３としては、エッチング処理などにより穴を形成した金属円筒や、金属ワイヤーを編み込んだメッシュ状の円筒などを用いることができる。

また、基材１３の表面に形成する縦弾性率調整層１４には、一般的なゴム層を用いることができる。上記材料以外でも、フィルムを吸着して安定して搬送できるものであれば良い。特に、寸法安定性や加工性の面からＮｉやＣｒ等を用いた円筒にエッチング処理により穴を開けたものが好ましい。

また、本実施形態では、エアー噴出口３１の長手方向がサクションロール１の回転軸の方向と平行に配置され、エアー吸引口３２は、その長手方向が、エアー噴出口３１の長手方向と平行に配置しているが、フィルム２の幅方向両端部に対向する位置で、その長手方向がフィルム２の走行方向と平行に配置されたエアー吸引口も備えるのが好ましい。

図５は、クリーニングヘッド３が、エアー吸引口として、その長手方向がエアー噴出口３１の長手方向と平行に配置された第１のエアー吸引口３２と、フィルム２の両端部に対向し、その長手方向が該フィルム２の走行方向ａと平行に配置された第２のエアー吸引口３３とを備えたものをサクションロール１側から見た平面図である。このように第２のエアー吸引口３３を設けることにより、クリーニングヘッド３のフィルム２の両端部付近から異物除去装置外へ漏れるエアーを無くすことができる。よって、異物除去装置で除去したゴミを全てエアー吸引口３２、３３により吸引することができ、再度フィルム２の表面に付着することがない。

サクションロール１の表面や吸引部１１の穴内壁などに付着したゴミを除去するために、粘着ロールをサクションロール１の表面に接触させることが好ましい。

図６は、サクションロール１に粘着ロール４と粘着ロール４に付着したゴミを除去するゴミ取りロール４１を備えた異物除去装置１０の断面図である。このようにサクションロール１に粘着ロール４を接触させることにより、サクションロール１の表面に付着したゴミや吸引部１１の穴に付着しているゴミを除去することができ、サクションロール１のフィルム２を吸着させる吸着力の低下を長期にわたって防止することができ、また、フィルム２の表面に再付着するゴミを低減することができる。ゴミ取りロール４１は、粘着性のフィルムを巻いたロールで、粘着ロール４の表面のゴミを所定量付着させた後は、表面のフィルムを除去して、新しい粘着面を持つフィルムが露出するようにしている。

以上のように異物除去装置１０を用いることにより、走行するフィルム表面に付着するゴミを確実に除去できると共に、フィルムの表面、裏面ともに傷等をつけることがない。

次に、本実施形態の異物除去装置を積層フィルムの製造装置に用いた場合を例として説明する。

図７は、フィルムとして、基材フィルム上に塗布膜を形成しハードコートフィルムを製造するためのフィルムの製造装置の模式図である。

図中、１００は積層フィルム製造装置を示す。積層フィルム製造装置１００を用いたハードコートフィルムの製造装置は、被塗布物の供給部２００と、塗布部３００と、乾燥部４００と、冷却部５００と、活性エネルギー線照射部７００と、回収部６００とを有している。供給部２００は、フィルム２０１がコア３に巻かれた元巻き４を繰り出す繰り出し装置（不図示）を有している。

供給部２００と塗布部３００との間には、異物除去装置１０が配置されている。

異物除去装置１０は、供給部２００から連続搬送されるフィルム２の塗布面側の表面に付着しているゴミをクリーニングヘッド３が備えるエアー噴出口からの高圧エアーで剥離除去し、同じくクリーニングヘッド３が備えるエアー吸引口によりゴミを含むエアーを吸引する。除去方法の詳細については先に説明したのでここでは省く。

異物除去装置１０により塗布面のゴミが除去されたフィルム２は、塗布部でハードコート層が塗布される。

塗布部３００は、フィルム２を保持するバックアップロール３０１と、バックアップ用ロール３０１で保持された連続搬送されてくるフィルム２に塗布液を塗布する塗布ヘッド３０２と、塗布時に塗布ヘッド３０２からの塗布液とフィルム２との間に形成されるビード（塗布液の溜まり）を安定化するために塗布ヘッド３０２の上流側に設けられた減圧室３０３とを有する。

塗布ヘッド３０２から吐出する塗布液は、活性エネルギー線硬化型樹脂と溶媒を含み、その流量は、不図示のポンプにより調整可能となっている。塗布ヘッド３０２から吐出する塗布液の流量は、予め調整した塗布ヘッド３０２の条件で連続塗布したときに、安定して所定の膜厚の塗布層を形成できる量に決めている。

また、減圧室３０３は減圧度を調整することが可能となっている。減圧室３０３は減圧ブロワ（不図示）に接続されており内部が減圧状態になる。減圧室３０３は空気漏れがない状態になっており、かつ、バックアップロールとの間隙も狭く調整され、安定した塗布液のビードを形成するようにしている。

乾燥部４００は、塗布部３００で被塗布物２０１の上に塗布された湿潤塗布膜を乾燥する。

冷却部５００は、乾燥部４００で乾燥された塗布膜を有するフィルム２０１の温度を冷却し、適切な温度に調整する。

フィルム２上に一定の膜厚に塗布された塗布膜は、乾燥部４００を経て、残留溶媒の含有量が所定量になるように調整される。

このように調整した後に塗布膜に活性エネルギー線照射部７００で活性エネルギー線を照射し、塗布膜を硬化する。

回収部６００は、塗布膜が形成された被塗布物２を巻き取る。

上記のようにして、塗布工程の前の基材となるフィルム表面に付着するゴミがほとんどない状態で、塗布膜としてハードコート層を形成した、ハードコートフィルムを製造することができ、また、製造したフィルムには、塗布時にゴミが起因となるハジキ故障や、裏面の形状痕のない、品質の高いフィルムを製造することができる。

以下、本発明を実施例にて具体的に説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。
（実施例１〜１０、比較例１、２）
実施例１〜１０と比較例１、２のフィルムを以下のように作製した。

《基材となるフィルムの作製》
（ドープ組成物）
セルローストリアセテート（アセチル置換度２．８８） １００質量部
エチルフタリルエチルグリコレート ５質量部
チヌビン１０９（チバ・ジャパン（株）製） １質量部
チヌビン１７１（チバ・ジャパン（株）製） １質量部
酸化珪素微粒子（アエロジル２００Ｖ） ０．１質量部
メチレンクロライド ４３０質量部
メタノール ９０質量部
上記組成物を密閉容器に投入し、加圧下で８０℃に保温し撹伴しながら完全に溶解した。

次に、このドープ組成物を濾過、冷却して３３℃に保ちステンレスバンド上に均一に流延し、剥離が可能になるまで溶媒を蒸発させたところで、ステンレスバンド上から剥離後、テンターによって幅把持しながら乾燥させ、幅手方向で１．１倍となるように延伸し、更に多数のロールで搬送させながら乾燥を終了させ、コアに巻き、膜厚４０μｍ、幅１．５ｍ、長さ２０００ｍのフィルムロールを得た。

得られたフィルムロールを図７のフィルム製造装置に取り付けた。

《異物除去装置の条件》
異物除去装置として、図１の異物除去装置１０を用いた。

サクションロール１には、ＳＵＳ製の厚さ１０ｍｍ、直径１５０ｍｍの円筒（基材１３）を用い、表１に示す縦弾性率の異なるものを作製した。この表で表面材質がＣＦＲＰ１、ＣＦＲＰ２、ウレタン１、ウレタン２とあるのは、ＳＵＳの基材にＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック）及びウレタンを縦弾性率調整層１４として形成したもので、それぞれ表１に示す縦弾性率になるように、ウレタンは材質を、ＣＦＲＰは炭素繊維と樹脂の比率を調整した。縦弾性率調整層１４の厚さは、５ｍｍとした。また、サクションロール１の表面に形成した吸引部１１の形状は、円形とした。表１に直径を示す。

また、フィルムの抱き角θは、３０°とした。クリーニングヘッドとの離間距離ｄ、エアー噴出口におけるエアー圧力、エアー吸引口における吸引圧力を表１に示す値とした。

フィルムの搬送速度は、１５ｍ／分として、塗布前のフィルム表面のゴミの除去を行った。

《ハードコート層の塗布》
異物除去装置１０で表面のゴミを除去したフィルムの表面にハードコート層を塗布した。

ハードコート層としては、
（クリアハードコート層（ＣＨＣ層）塗布組成物）
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート単量体 ６０質量部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート２量体 ２０質量部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート３量体以上の成分 ２０質量部
イルガキュア１８４（チバ・ジャパン（株）製） ２質量部
イソプロピルアルコール ５０質量部
酢酸エチル ５０質量部
メチルエチルケトン ５０質量部
上記作製したフィルムの表面に、上記クリアハードコート層塗布組成物（粘度５．９ｍＰａ・ｓ）を押し出しコートし（コータの種類：ダイ、減圧度：−１０００Ｐａ、塗布液吐出量：２１ｇ／ｍ^２、塗布速度：５０ｍ／ｍｉｎ）、次いで乾燥工程で熱風温度及び風量を調整し乾燥した。乾燥工程で乾燥した後、冷却装置で冷却し、その後、紫外線照射設備を使用して紫外線を照射して、ハードコートフィルムを作製した。

《評価》
作製した実施例１〜１０と比較例１、２のフィルム（ハードコートフィルム）の全長に渡り、サクションロール１と接触する面の吸引部１１の形状痕を目視により観察した。１００ｍ^２当たりの個数を算出して次のように判定した。４個／１００ｍ^２以上では、製品として問題がある。

ランク１：０個／１００ｍ^２
ランク２：１〜３個／１００ｍ^２
ランク３：４〜１０個／１００ｍ^２
ランク４：１０個以上／１００ｍ^２
また、作製したハードコートフィルムのハードコート層側の塗膜を観察し、１００μｍ以上のハジキ故障を数え、１００ｍ^２当たりの個数を算出し、次のように判定した。４個／１００ｍ^２以上では、製品として問題がある。

◎：０個／１００ｍ^２
○：１〜３個／１００ｍ^２
△：４〜１０個／１００ｍ^２
×：１０個以上／１００ｍ^２
結果を表１に記載した。

表１の結果から、サクションロールの表面の縦弾性率が、１．０×１０^１ＭＰａ以上１．５×１０^５ＭＰａ以下であると、フィルムに形状痕が抑制され、好ましいことがわかる。また、実施例７〜１０を比較すると、サクションロールの表面の吸引部の開口長さが、１０μｍ以上５０００μｍ以下であることが、フィルム表面の形状痕抑制の面から好ましいことがわかる。また、実施例１〜４を比較すると、エアー噴出口の圧力は、５００ｋＰａ〜１０００ｋＰａが、ハジキ故障の個数からゴミの除去効果が高く、且つ、フィルムへの形状痕も抑制されて、好ましいことがわかる。
（実施例１１）
実施例１１としては、実施例１の条件のうち、クリーニングヘッドを図５のものに変更した他は、実施例１と同様にフィルムを作製し、評価した。その結果、ハジキ故障が、◎評価になり、塗布前のフィルムに付着するゴミが更に少なくなっていることがわかった。このことから、クリーニングヘッドのエアー吸引口として、エアー噴出口と平行に配置された第１のエアー吸引口と、フィルムの両端部に対向し、該フィルムの走行方向と平行に配置された第２のエアー吸引口とを有することが、ゴミ除去効果の面から好ましいといえる。
（実施例１２）
実施例１２としては、実施例１の条件のうち、サクションロールの表面をクリーニングするための粘着ロールを配置した他は、実施例１と同様にフィルムを作製し、評価した。その結果、ハジキ故障が、◎評価になり、塗布前のフィルムに付着するゴミが更に少なくなっていることがわかった。このことから、サクションロールの表面のゴミを除去する粘着ロールを配置することが好ましいといえる。

１０ 異物除去装置
１ バックアップロール、サクションロール
２ フィルム
３ クリーニングヘッド
３１ エアー噴出口
３２、３３ エアー吸引口
１１ 吸引部
１２ 減圧口
１３ 基材
１４ 縦弾性率調整層
４ 粘着ロール
４１ ゴミ取りロール
１００ 積層フィルム製造装置
２００ 供給部
３００ 塗布部
３０１ バックアップ用ロール
３０２ 塗布ヘッド
３０３ 減圧室
３０４ 塗布装置
４００ 乾燥部
５００ 冷却部
６００ 回収部
７００ 活性エネルギー線照射部

Claims (6)

1. フィルムと所定の抱き角をもって接触し、回転するバックアップロールと、
   該バックアップロールと接触する前記フィルムに所定の距離を開けて配置されたクリーニングヘッドを備え、
   該クリーニングヘッドが、
   前記フィルムの表面に付着するゴミを剥離除去するエアーを噴出するエアー噴出口と、
   ゴミを含む前記エアー噴出口からのエアーを吸引するエアー吸引口と、
   を有するフィルム表面の異物除去装置において、
   前記バックアップロールが、表面に開口した吸引部を有するサクションロールであって、
   該サクションロールの前記フィルムと接触する表面の縦弾性率が１．０×１０^１ＭＰａ以上１．５×１０^５ＭＰａ以下であることを特徴とするフィルム表面の異物除去装置。
2. 前記サクションロールの表面の前記吸引部の開口長さが、１０μｍ以上５０００μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載のフィルム表面の異物除去装置。
3. 前記エアー噴出口から噴出するエアー圧力が５００ｋＰａ以上１０００ｋＰａ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルム表面の異物除去装置。
4. 前記クリーニングヘッドは、
   前記エアー噴出口の長手方向が、前記サクションロールの回転する軸と平行な方向であり、
   前記エアー吸引口として、
   長手方向が前記エアー噴出口と平行に配置された第１のエアー吸引口と、
   前記フィルムの両端部に対向し、長手方向が該フィルムの走行方向と平行に配置された第２のエアー吸引口と、を有することを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載のフィルム表面の異物除去装置。
5. 前記サクションロールの表面に接触し、該サクションロールに付着するゴミを除去する粘着ロールを備えたことを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載のフィルム表面の異物除去装置。
6. 搬送されるフィルムの表面に高圧エアーを吹き付けることにより、前記フィルムの表面の異物を除去する工程を備えたフィルムの製造方法において、
   前記フィルムの表面の異物を除去する工程は、
   表面の縦弾性率が１．０×１０^１ＭＰａ以上１．５×１０^５ＭＰａ以下の回転するサクションロールの表面に所定の抱き角をもって接触する前記フィルムの表面に、
   エアー噴出口とエアー吸引口とを有するクリーニングヘッドのエアー噴出口から高圧エアーを前記フィルムの表面に噴出して前記フィルムの表面に付着しているゴミを剥離除去し、前記エアー吸引口に前記フィルムの表面から分離除去されたゴミを含むエアーを吸引することを特徴とするフィルムの製造方法。

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