JP2010177520A - 電子回路モジュールおよびその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】シールド構造を工夫した電子回路モジュールを提供する。
【解決手段】基板上に載置された電子部品及び電子部品間が熱硬化性の絶縁性樹脂で充填され、絶縁性樹脂上が金属箔で電子部品の形状および高さに沿うように被覆されており、かつ、金属箔の外縁が基板に配設された接地電極に導電性材料で電気的に接続されていることを特徴とする電子回路モジュール。
【選択図】図1

Description

本発明は、電子回路モジュールに関し、特にシールド構造を工夫した電子回路モジュールに関する。
携帯電話等の電子機器は、近年ますます高機能化および小型化される傾向にある。電子機器に内蔵される電子部品が搭載された電子回路モジュールには、動作の高速化および小型・薄形化が求められている。電子回路モジュールの高速動作においては、電子部品から発せられた電磁ノイズによる動作不良を防ぐためのシールドが重要である。
一般的な電子回路モジュールのシールド方法としては、ノイズ発生源であるCPUなどを金属ケースで覆う手法が提案されている。図6に金属ケースを用いたシールド構造とその組立工程を示す。これは、基板2の一面上に、シールドを施す領域の外縁部に沿って接地電極パッド12と電子部品を載置するためのパッド14を形成し、これら接地電極パッド12およびパッド14上にはんだペースト13を供給するものである(図6(a)参照)。この状態で、電子部品15と金属フレーム16をはんだペースト13上にマウントして、全体を加熱することではんだ付けを行い(図6(b)参照)、金属フレーム16と金属天板18を爪で勘合させて、電子回路モジュールをシールドするものである(図6(c)参照)。
しかしながら、金属ケースで覆うシールド構造では、電子回路モジュールの薄型化を図るには、以下に述べる問題がある。金属天板は形状保持のために、少なくとも凡そ0.2mmの厚さが必要であり、さらなる薄型化は難しい。次に、金属天板の高さは最も背の高い電子部品に合わせて設定されるので、金属天板と電子部品との間には無駄なスペースが発生し、電子機器内の空間を有効に活用できない。また、金属フレームと金属天板を爪で勘合させる構造のため、勘合箇所での接触状態が確実でない場合には、シールド特性が変化してしまう。モジュールに搭載する電子部品の小型化がさらに進んだ場合、電子部品を固定するために必要なはんだ量と、金属フレームを固定するために必要なはんだ量との差が大きくなり、一様なはんだ供給のプロセスでは対応することが難しくなる。
そこで、金属ケースの代わりに、電磁シールド用のフィルムで、シールドする手法が提案されている。これは、図7に示すように、電子部品20に厚さ50〜100μmの絶縁性樹脂21をスプレーコーティングし、さらにその上に厚さ50〜100μmの導電層22をスプレーコーティングし、開口23において接地電極24に接続するものであり(例えば、特許文献1参照。)、あるいは、図8に示すように、導電層25とすでに硬化した絶縁層26から構成される厚さ50μmのシールド用フィルム27で、基板28に搭載された電子部品29を覆い、熱圧着装置30を用いてフィルムの外縁を熱圧着することにより接地電極に接続するものである(例えば、特許文献2参照。)。
特開平11−150391号公報 特開2003−209390号公報
しかしながら、上述したような構成のシールド構造の電子回路モジュールでは、以下に述べるような技術的課題がある。
絶縁性樹脂をスプレーコーティングする例では、配線基板に搭載されている電子部品によって凹凸が生じるが、例えばBGAと0402チップ抵抗では高さの差が0.8mm程度になる。このため、例えば50〜100μmの厚さに成膜することは困難である。膜厚を厚くすると成膜は容易となるが、材料費が高くなってしまう。また、導電性塗料として、例えば銀粒子含有の導電性接着剤を採用すると、低抵抗率タイプの接着剤でも、体積抵抗率が4.5×10-5〜5.0×10-4Ω・cm程度と高く、 例えば銅(1.7×10-6Ω・cm)と比較すると厚い膜が必要となる。
シールド用フィルムでシールドする例では、シールド用フィルムの周縁部の全周を熱圧着するため、熱圧着時のバックアップのための領域を基板に設ける必要があり、電子回路モジュールが大きくなってしまう。また、外部からの衝撃から保護するためにアンダーフィルなど電子部品の接合部補強が別途必要となり、工程数が多くなるという問題がある。
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、体積抵抗率が低く、低背化したシールド構造の電子回路モジュール及びその製造方法を提供するものである。
本発明の一態様によれば、基板上に載置された電子部品及び電子部品間が熱硬化性の絶縁性樹脂で充填され、前記絶縁性樹脂上が金属箔で前記電子部品の形状および高さに沿うように被覆されており、かつ、前記金属箔の外縁が前記基板に配設された接地電極に導電性材料で電気的に接続されていることを特徴とする電子回路モジュールが提供される。
また、本発明の別の一態様によれば、基板上に電子部品を取り付け、軟化点の範囲内にあって半硬化状態の絶縁性樹脂と金属箔を積層して成るシートの、前記絶縁性樹脂層を前記電子部品に当接させてから、前記シートの金属箔が前記電子部品の形状及び高さに沿うように加圧して前記絶縁性樹脂層を流動させる工程と、前記シートを前記絶縁性樹脂の硬化点以上に加熱する工程と、を具備することを特徴とする電子回路モジュールの製造方法が提供される。
本発明によれば、体積抵抗率が低く、低背化したシールド構造の電子回路モジュールが得られる。
本発明の実施形態に係る電子回路モジュールの略断面図である。 電子回路モジュールのシールド構造部分を示す平面図である。 第1の実施形態に係る電子回路モジュールの製造方法を工程順に示したものである。 第2の実施形態に係る電子回路モジュールの略断面図である。 第2の実施形態に係る電子回路モジュールの製造方法を工程順に示したものである。 従来のシールド構造を採用した電子回路モジュールの断面図である。 従来のシールド構造を採用した電子回路モジュールの断面図である。 従来のシールド構造を採用した電子回路モジュールの断面図である。
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照して説明する。尚、各図において同一箇所については同一の符号を付すとともに、重複した説明は省略する。図1は、本発明の実施形態に係る電子回路モジュールの略断面図である。図1に示すように、電子回路モジュール100において、基板2上には、電子部品3であるBGA3aとチップ部品3bが所定の位置に載置して取り付けられている。BGA3aとチップ部品3bの周囲は、それらの上面も含めて絶縁性樹脂4で充填されている。絶縁性樹脂4としては、例えば熱硬化性のエポキシ系樹脂が好適である。半硬化状態である軟化点の範囲内では流動性が良好であり、BGA3aとチップ部品3bの間に流れていくので、電子部品3の保持のためのアンダーフィルが不要になるからである。また、加熱による硬化後は、電子部品3の保持が堅固なものとなる。絶縁性樹脂4の外側、すなわち絶縁性樹脂4が基板2と接している側の反対側は金属箔5で被覆されている。したがって、金属箔5は基板2上に載置された電子部品3等の高さや形状に沿うようにして、絶縁性樹脂4の外側を覆っている。
本実施形態では、BGA3aとチップ部品3bの間も含めて電子部品3の周囲が絶縁性樹脂4で充填されているので、金属フレームのように形状を維持するための板厚を要せず、極薄い金属箔5でシールド性能を確保することができる。金属箔5は、シールド性能があること、破れにくいこと、電子回路モジュール100の低背化が図られること等から、例えば厚さ5μm乃至20μmの銅箔が好適である。さらに、金属箔5を銅箔で形成する場合、圧延銅箔が好適である。電解銅箔では、作業中のアウトガスの発生の虞があるが、圧延銅箔ではその虞がないからである。
本実施形態において、金属箔5は圧延銅箔に限られることはない。圧延銅箔の体積抵抗率と近い体積抵抗率の金属であれば、例えば、ベリリウム、アルミニウム、クロム、鉄、コバルト、ニッケル、亜鉛、ニオブ、モリブデン、テクネチウム、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、銀、カドミウム、インジウム、スズ、レニウム、オスミウム、イリジウム、白金、金、タリウム、トリウム、プロトアクチニウムのいずれか、あるいはその金属を含む合金を素材とする箔であってもよい。
絶縁性樹脂4と金属箔5は略全面で密着しているのが望ましい。極薄い箔厚で十分にシールド効果を確保するためであり、またモジュール全体の低背化のためである。
金属箔5の外縁は導電性接着剤6によって基板2の接地電極パッド7に電気的に接続されている。導電性材料は、導電性接着剤6の代わりに、例えば錫-銀-銅等のはんだ材料でもよい。また、金属箔5の少なくとも導電性材料と接続する領域に、金、白金、パラジウム、銀、あるいはこれら金属を含む合金を成膜してもよい。
図2は、基板2上に電子部品3を載置し、絶縁性樹脂4および金属箔5で被覆する前の平面図を示している。シールドを施す領域の外縁部に沿って接地電極パッド7が配設されている。接地電極パッド7は、例えば厚さ18μmの銅箔から成り、表面にはニッケル/金めっきがそれぞれ厚さ3μm、0.1μm施されており、幅は1.0mmが好適である。電子回路モジュールの小型化のためである。
次に、上記したシールド構造の電子回路モジュール100の製造方法について説明する。
図3は、本実施形態に係るシールド構造の電子回路モジュールの製造方法を工程順に示したものである。まず、配線基板2上に表面実装技術により電子部品3を搭載する(図3(a)参照)。次に、シールドシート10を用意する(図3(b)参照)。このシールドシート10は、軟化点の範囲内では半硬化状の樹脂シートと金属箔を予め貼り合わせたものである。例えば、シールドシート10は、厚さ100μmの絶縁性樹脂4と厚さ10μmの金属箔から成るシールド層5を貼り合わせて構成する。絶縁性樹脂4は、熱硬化するまでは流動性が良好なエポキシ系熱硬化性樹脂である。シールド層5は圧延銅箔で構成する。
シールドシート10は、接地電極パッド7の略外側までを覆う大きさに合わせて切断加工する。そのシールドシート10を電子部品3の上面から供給し、約1MPaの圧力で貼り付けて電子部品3を被覆する(図3(c)参照)。軟化する温度範囲に加熱することにより絶縁性樹脂4は軟化し、そして加圧により絶縁性樹脂4は流動し、電子部品3の周囲にも充填されていく。次いで、導電性接着剤6を図中に示すようにシールド層5と接地電極パッド7を接続するように塗布する。次に、シールドシート10の絶縁性樹脂4と導電性接着剤6とを150℃で10分間加熱する(図3(d)参照)。尚、加熱の際、基板2も併せて加熱してもよい。加熱により、絶縁性樹脂4は硬化していき、電子部品3の基板2上での保持は堅固となり、金属箔から成るシールド層5と接地電極パッド7は電気的に接続され、シールド構造が形成される。
例えば、導電層として体積抵抗率4.5×10-5Ω・cmの導電性接着剤を用いた場合に、銅箔10μmと同じ電気抵抗を得るには約270μmの厚さが必要であり、約260μmの低背化を実現することができた。
以上述べたように、本実施形態に係る電子回路モジュールでは、従来と比較して低背化可能であり、絶縁性樹脂の充填とシールド形成を一括して行うことができ、生産性を高めることができる。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図4は、第2の実施形態に係る電子回路モジュールの略断面図である。図4に示すように、電子回路モジュール200において、基板2上には、電子部品であるBGA3aとチップ部品3bが所定の位置に載置して取り付けられている。BGA3aとチップ部品3bの周囲は、それぞれ第1の絶縁性樹脂4で充填されている。第1の絶縁性樹脂4としては、例えば熱硬化性のエポキシ系樹脂が好適である。軟化点の範囲内では、言わば半硬化状であって流動性が良好であり、BGA3aとチップ部品3bの間に流れていくので、電子部品3の保持のためのアンダーフィルが不要になるからである。また、加熱による硬化後は、電子部品3の保持が堅固なものとなる。第1の絶縁性樹脂4の上面全体には、第2の絶縁性樹脂1が被覆されている。したがって、第2の絶縁性樹脂1は基板2上に載置された電子部品3等の高さや形状に沿うようにして、第1の絶縁性樹脂4の外側を覆っている。第2の絶縁性樹脂1としては、例えばポリイミド系絶縁性樹脂が好適である。可撓性に富み、柔軟に変形可能であることによる。第2の絶縁性樹脂1の厚さとしては、約50μmが好適である。
第2の絶縁性樹脂1の外側の全面は金属箔5で被覆されている。したがって、金属箔5は基板2上に載置された電子部品3等の高さや形状に沿うようにして、第2の絶縁性樹脂1の外側を覆っている。このため、充填の際に、柔らかい第1の絶縁性樹脂4が流動しすぎても、電子部品3と金属箔5との間には第2の絶縁性樹脂1が介在しているので、電子部品3と金属箔5とが直ちに接触して、短絡する虞をなくすことができる。
本実施形態では、BGA3aとチップ部品3bの上面及びそれらの間も含めて電子部品3の周囲が第1の絶縁性樹脂4で充填され、さらに第1の絶縁性樹脂4の上面が第2の絶縁性樹脂1で被覆されているので、金属フレームのように形状を維持するための板厚を要せず、極薄い金属箔5でシールド性能を確保することができる。金属箔5は、シールド性能があること、破れにくいこと、電子回路モジュール200の低背化が図られること等から、例えば厚さ5μm乃至20μmの圧延銅箔が好適である。
金属箔5の外縁は導電性接着剤6によって基板2の接地電極パッド7に電気的に接続されている。接地電極パッド7は、例えば厚さ18μmの銅箔から成り、表面にはニッケル/金めっきがそれぞれ厚さ3μm、0.1μm施されており、幅は1.0mmが好適である。電子回路モジュールの小型化のためである。
次に、上記したシールド構造の電子回路モジュール200の製造方法について説明する。
図5は、本実施形態に係るシールド構造の電子回路モジュールの製造方法を工程順に示したものである。まず、配線基板2上に表面実装技術により電子部品3を搭載する(図5(a)参照)。次に、シールドシート11を用意する(図5(b)参照)。このシールドシート11は、第1の絶縁性樹脂から成るシート、第2の絶縁性樹脂から成るシート及び金属箔を予め貼り合わせたものである。例えば、シールドシート11は、厚さ50μmの第1の絶縁性樹脂シート4と厚さ50μmの第2の絶縁性樹脂シート1と厚さ10μmの金属箔から成るシールド層5を貼り合わせて構成する。第1の絶縁性樹脂シート4は、熱硬化するまでは流動性が良好なエポキシ系熱硬化性樹脂である。第2の絶縁性樹脂シート1は、柔軟性のあるポリイミド系絶縁性樹脂である。金属箔から成るシールド層5は圧延銅箔で構成する。
シールドシート11は、接地電極パッド7の略外側までを覆う大きさに合わせて切断加工する。そのシールドシート11を電子部品3の上面から供給し、約1MPaの圧力で貼り付けて電子部品3を被覆する(図5(c)参照)。加圧により、第1の絶縁性樹脂シート4は軟化して変形し、電子部品3の周囲に充填されていく。シールドシート貼り付け時には、BGA3aとチップ部品3b間を充填するために、シールドシート11を被せて貼り付ける領域を約80℃に加熱し、半硬化状態の第1の絶縁性樹脂シート4を溶融させる。加熱時には、第1の絶縁性樹脂シート4の粘度は2.0×10Pa・sとなる。第1の絶縁性樹脂シート4は粘度が低いため電子部品3を覆いかつ電子部品間を充填する。第2の絶縁性樹脂シート1は圧延銅箔5と略全面で密着されているため、チップ部品3bの部品電極12と圧延銅箔5との接触を防止する。
次いで、導電性接着剤6を金属箔から成るシールド層5と接地電極パッド7を接続するように塗布する。
次に、シールドシート11の第1の絶縁性樹脂シート4と導電性接着剤6とを150℃で10分間加熱する(図5(d)参照)。尚、加熱の際、基板2も併せて加熱してもよい。加熱により、第1の絶縁性樹脂シート4は硬化していき、電子部品3の基板2上での保持は堅固となり、シールド層(圧延銅箔)5と接地電極パッド7は電気的に接続され、シールド構造が形成される。
例えば、導電層として体積抵抗率4.5×10-5Ω・cmの導電性接着剤を用いた場合に、銅箔10μmと同じ電気抵抗を得るには約270μmの厚さが必要であり、約260μmの低背化を実現することができた。
本実施形態によれば、従来と比較して低背化可能であり、金属箔と電子部品電極との短絡を回避し、かつ、樹脂充填とシールド形成を一括して行うことができ、生産性を高めることができる。
なお、本発明は上記の実施形態のそのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記の実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
1…第2の絶縁性樹脂層、2…基板、3…電子部品、4…絶縁性樹脂、5…金属箔、
6…導電性接着剤、7…接地電極パッド、10、11…シールドシート、
100,200・・・電子回路モジュール。

Claims (6)

  1. 基板上に載置された電子部品及び電子部品間が熱硬化性の絶縁性樹脂で充填され、前記絶縁性樹脂上が金属箔で前記電子部品の形状および高さに沿うように被覆されており、かつ、前記金属箔の外縁が前記基板に配設された接地電極に導電性材料で電気的に接続されていることを特徴とする電子回路モジュール。
  2. 前記金属箔は、圧延銅箔であることを特徴とする請求項1に記載の電子回路モジュール。
  3. 前記圧延銅箔は、厚さが5μm乃至20μmであることを特徴とする請求項2に記載の電子回路モジュール。
  4. 前記絶縁性樹脂は、熱硬化性エポキシ系樹脂から成る第1の絶縁性樹脂層と、ポリイミド系樹脂から成る第2の絶縁性樹脂層とで構成され、前記第2の絶縁性樹脂層上が前記金属箔で密着して被覆されて成ることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電子回路モジュール。
  5. 基板上に電子部品を取り付け、
    軟化点の範囲内にあって半硬化状態の絶縁性樹脂と金属箔を積層して成るシートの、前記絶縁性樹脂層を前記電子部品に当接させてから、前記シートの金属箔が前記電子部品の形状及び高さに沿うように加圧して前記絶縁性樹脂層を流動させる工程と、
    前記シートを前記絶縁性樹脂の硬化点以上に加熱する工程と、
    を具備することを特徴とする電子回路モジュールの製造方法。
  6. 前記絶縁性樹脂は熱硬化性エポキシ系樹脂から成り、前記金属箔と前記絶縁性樹脂との間に第2のポリイミド系樹脂から成る第2の絶縁性樹脂層が介装されていることを特徴とする請求項5に記載の電子回路モジュールの製造方法。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012186371A (ja) * 2011-03-07 2012-09-27 Taiyo Yuden Co Ltd 電子回路装置の製造方法
JP2016092275A (ja) * 2014-11-07 2016-05-23 信越化学工業株式会社 電磁波シールド性支持基材付封止材及び封止後半導体素子搭載基板、封止後半導体素子形成ウエハ並びに半導体装置
JP2017045931A (ja) * 2015-08-28 2017-03-02 東洋インキScホールディングス株式会社 電子部品モジュールの製造方法
WO2021251219A1 (ja) * 2020-06-11 2021-12-16 株式会社村田製作所 モジュール
CN114242654A (zh) * 2022-02-23 2022-03-25 威海嘉瑞光电科技股份有限公司 一种无引线磁性封装结构及其制造方法
JP2022119735A (ja) * 2021-02-04 2022-08-17 株式会社村田製作所 内部遮蔽を有する電子部品

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011088256A1 (de) * 2011-12-12 2013-06-13 Zf Friedrichshafen Ag Multilayer-Leiterplatte sowie Anordnung mit einer solchen
US8867231B2 (en) * 2012-01-13 2014-10-21 Tyco Electronics Corporation Electronic module packages and assemblies for electrical systems
JP6528850B2 (ja) * 2015-09-11 2019-06-12 株式会社村田製作所 高周波モジュール
US10349565B2 (en) * 2016-09-06 2019-07-09 Apple Inc. Electronic assembly architectures using multi-cable assemblies
JP6705509B2 (ja) * 2016-10-25 2020-06-03 株式会社村田製作所 回路モジュール
CN117158117A (zh) * 2021-08-30 2023-12-01 苏宪强 可屏蔽及散热的电路板构造及其制造方法
US20230345687A1 (en) * 2022-04-26 2023-10-26 Microsoft Technology Licensing, Llc Conformal electromagnetic interference shielding film

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04139799A (ja) * 1990-09-29 1992-05-13 Nippon Mektron Ltd シールド型可撓性回路基板及びその製造法
JPH11238993A (ja) * 1998-02-20 1999-08-31 Sony Corp 部品実装プリント基板及び部品実装プリント基板の実装方法
JP2002334954A (ja) * 2001-05-08 2002-11-22 Tdk Corp 電子装置およびその製造方法ならびに電子部品保護用キャップおよびその製造方法
JP2003273571A (ja) * 2002-03-18 2003-09-26 Fujitsu Ltd 素子間干渉電波シールド型高周波モジュール
JP2005276873A (ja) * 2004-03-23 2005-10-06 Tatsuta System Electronics Kk プリント配線板用シールドフィルム及びその製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5285619A (en) * 1992-10-06 1994-02-15 Williams International Corporation Self tooling, molded electronics packaging
US20010033478A1 (en) * 2000-04-21 2001-10-25 Shielding For Electronics, Inc. EMI and RFI shielding for printed circuit boards
US6900383B2 (en) * 2001-03-19 2005-05-31 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Board-level EMI shield that adheres to and conforms with printed circuit board component and board surfaces
JP4096605B2 (ja) * 2002-04-23 2008-06-04 日本電気株式会社 半導体装置および半導体装置のシールド形成方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04139799A (ja) * 1990-09-29 1992-05-13 Nippon Mektron Ltd シールド型可撓性回路基板及びその製造法
JPH11238993A (ja) * 1998-02-20 1999-08-31 Sony Corp 部品実装プリント基板及び部品実装プリント基板の実装方法
JP2002334954A (ja) * 2001-05-08 2002-11-22 Tdk Corp 電子装置およびその製造方法ならびに電子部品保護用キャップおよびその製造方法
JP2003273571A (ja) * 2002-03-18 2003-09-26 Fujitsu Ltd 素子間干渉電波シールド型高周波モジュール
JP2005276873A (ja) * 2004-03-23 2005-10-06 Tatsuta System Electronics Kk プリント配線板用シールドフィルム及びその製造方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012186371A (ja) * 2011-03-07 2012-09-27 Taiyo Yuden Co Ltd 電子回路装置の製造方法
JP2016092275A (ja) * 2014-11-07 2016-05-23 信越化学工業株式会社 電磁波シールド性支持基材付封止材及び封止後半導体素子搭載基板、封止後半導体素子形成ウエハ並びに半導体装置
US9865518B2 (en) 2014-11-07 2018-01-09 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Electromagnetic wave shielding support base-attached encapsulant, encapsulated substrate having semicondutor devices mounted thereon, encapsulated wafer having semiconductor devices formed thereon, and semiconductor apparatus
JP2017045931A (ja) * 2015-08-28 2017-03-02 東洋インキScホールディングス株式会社 電子部品モジュールの製造方法
WO2021251219A1 (ja) * 2020-06-11 2021-12-16 株式会社村田製作所 モジュール
JP2022119735A (ja) * 2021-02-04 2022-08-17 株式会社村田製作所 内部遮蔽を有する電子部品
JP7283589B2 (ja) 2021-02-04 2023-05-30 株式会社村田製作所 内部遮蔽を有する電子部品
CN114242654A (zh) * 2022-02-23 2022-03-25 威海嘉瑞光电科技股份有限公司 一种无引线磁性封装结构及其制造方法
CN114242654B (zh) * 2022-02-23 2022-05-13 威海嘉瑞光电科技股份有限公司 一种无引线磁性封装结构及其制造方法

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