JP2010174370A - Pressure-reducing unit and pressure-restoring unit - Google Patents

Pressure-reducing unit and pressure-restoring unit Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pressure-reducing unit for realizing a vacuum film-forming apparatus which can form a film in a vacuum by continuously supplying a sheet substrate into a vacuum chamber, and besides, can be continuously operated without breaking the vacuum. <P>SOLUTION: This pressure-reducing unit has a metal block body 11 comprising: the vacuum chamber 10 provided in the inner part, in which air is discharged and the pressure is reduced; also a flat slit-shaped pass line 12 formed in the inner part, which penetrates the vacuum chamber 10; and further a porous roller 20 and a press roller 22 provided in the inner part. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、減圧ユニット及び圧力復元ユニットに関する。   The present invention relates to a decompression unit and a pressure restoration unit.

従来の真空成膜装置に於て、シート基材の表面に、高真空条件下で蒸着・スパッタリング等を行って薄膜を付着させる方法が多く行われている（特許文献１参照）。   In a conventional vacuum film forming apparatus, a method of depositing a thin film on the surface of a sheet base material by performing vapor deposition, sputtering, or the like under high vacuum conditions is often performed (see Patent Document 1).

国際公開第Ｗ０２００６/ ０８８０２４号International Publication No. W02006 / 0888024

しかし、従来のシート基材の補充方法は真空チャンバを一旦、大気開放し供給（繰り出し）機能を持つリール及び巻き取り機能を持つリールを交換し、再度真空排気作業を経過した後、成膜作業を行う事で対応している。成膜の為の材料や原料ガスの連続供給が可能となり、スパッタリングの為のターゲット材の長寿命化が進んでいる昨今、真空成膜装置には、連続してシート基材が投入出来る機能が強く要望されている。
また、通常の真空装置に使用するゲート式バルブを転用して、連続投入可能なバルブの開発も行われているが、フレキシブルデバイスやフレキシブル太陽電池等のシート基材の成膜部には接触が許されない製品も多く、直接接触して姿勢を保持するために余分な寸法のシート基材が必要となり、無駄が発生するという問題があった。 However, in the conventional sheet base material replenishment method, the vacuum chamber is once opened to the atmosphere, the reel having the supply (feeding out) function and the reel having the winding function are replaced, and after the evacuation operation has passed again, the film forming operation is performed. It corresponds by doing. In recent years, it has become possible to continuously supply materials and source gases for film formation, and the life of target materials for sputtering has been extended. There is a strong demand.
In addition, gate type valves used in ordinary vacuum equipment have been diverted to develop valves that can be continuously charged. However, there is no contact with the film formation part of sheet base materials such as flexible devices and flexible solar cells. There are many unacceptable products, and there is a problem that a sheet base having an extra dimension is required to directly contact and maintain the posture, resulting in waste.

そこで、本発明は、連続して真空成膜を行い、さらに、真空を破壊することなく外部へ搬出する真空成膜装置を実現する上で有効な減圧ユニット及び圧力復元ユニットを提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a decompression unit and a pressure restoration unit that are effective in realizing a vacuum film forming apparatus that continuously performs vacuum film formation and carries out the vacuum without breaking the vacuum. And

上記目的を達成するために、本発明の減圧ユニットは、排気減圧される真空室を内部に有する金属製のブロック体と、上記真空室を貫通する平面スリット状パスラインと、該パスラインを通過する上記シート基材を吸着しつつ接触する多孔ローラと、上記シート基材を上記多孔ローラの反対側から部分的に押圧して挟持する押圧ローラと、を備えているものである。   In order to achieve the above object, a decompression unit of the present invention includes a metal block body having a vacuum chamber to be exhausted and decompressed, a plane slit-like pass line passing through the vacuum chamber, and passing through the pass line. A porous roller that contacts the sheet base material while adsorbing the sheet base material, and a pressure roller that presses and sandwiches the sheet base material partially from the opposite side of the porous roller.

また、上記スリット状パスラインは、通過する上記シート基材と接触しない限度内で最小寸法間隔に設定されている。また、上記シート基材が上記パスライン内を走行するように搬送力を付与する一対の駆動ローラを内部に有している。また、上記多孔ローラは、長円筒状に形成され、排気減圧されている空洞中心部から外周面部に連通する多数の小孔を有している。   In addition, the slit-like pass line is set to a minimum dimension interval within a limit that does not come into contact with the passing sheet base material. Moreover, it has a pair of drive roller which provides a conveyance force so that the said sheet | seat base material may drive | work the said pass line inside. The perforated roller is formed in a long cylindrical shape, and has a large number of small holes that communicate with the outer peripheral surface portion from the hollow central portion that is exhausted and decompressed.

また、上記押圧ローラは、上記シート基材に接触して押圧する両端側円環部と、上記シート基材と接触しない非接触外周面部と、を有し、上記シート基材の成膜部に接触しないように設定されている。また、上記ブロック体は上記平面スリット状パスラインの開口する接続フランジを有し、同一形状のものを複数個接続可能に構成されている。   In addition, the pressing roller has both end-side annular portions that contact and press the sheet base material, and a non-contact outer peripheral surface portion that does not contact the sheet base material. It is set not to touch. The block body has a connection flange opened by the plane slit-like pass line, and a plurality of the same shape can be connected.

そして、本発明に係る圧力復元ユニットは、排気減圧される真空室を内部に有する金属製のブロック体と、上記真空室を貫通する平面スリット状パスラインと、該パスラインを通過する上記シート基材を吸着しつつ接触する多孔ローラと、上記シート基材を上記多孔ローラの反対側から部分的に押圧して挟持する押圧ローラと、を備えているものである。   The pressure restoring unit according to the present invention includes a metal block body having a vacuum chamber to be evacuated and decompressed, a plane slit-like pass line passing through the vacuum chamber, and the sheet base passing through the pass line. A porous roller that contacts the material while adsorbing the material, and a pressing roller that presses and sandwiches the sheet base material partially from the opposite side of the porous roller.

また、上記スリット状パスラインは、通過する上記シート基材と接触しない限度内で最小寸法間隔に設定されている。また、上記シート基材が上記パスライン内を走行するように搬送力を付与する一対の駆動ローラを内部に有している。また、上記多孔ローラは、長円筒状に形成され、排気減圧されている空洞中心部から外周面部に連通する多数の小孔を有している。   In addition, the slit-like pass line is set to a minimum dimension interval within a limit that does not come into contact with the passing sheet base material. Moreover, it has a pair of drive roller which provides a conveyance force so that the said sheet | seat base material may drive | work the said pass line inside. The perforated roller is formed in a long cylindrical shape, and has a large number of small holes that communicate with the outer peripheral surface portion from the hollow central portion that is exhausted and decompressed.

また、上記押圧ローラは、上記シート基材に接触して押圧する両端側円環部と、上記シート基材と接触しない非接触外周面部と、を有し、上記シート基材の成膜部に接触しないように設定されている。また、上記ブロック体は上記平面スリット状パスラインの開口する接続フランジを有し、同一形状のものを複数個接続可能に構成されている。   In addition, the pressing roller has both end-side annular portions that contact and press the sheet base material, and a non-contact outer peripheral surface portion that does not contact the sheet base material. It is set not to touch. The block body has a connection flange opened by the plane slit-like pass line, and a plurality of the same shape can be connected.

本発明の減圧ユニット及び圧力復元ユニットは、各々、真空チャンバ内に連続してシート基材を供給して、真空成膜を行なうことが可能な真空成膜装置の実現に大きく貢献できる。さらに、真空を破壊せずに連続的に作業ができる真空成膜装置が実現可能となる。   The decompression unit and the pressure restoration unit of the present invention can greatly contribute to the realization of a vacuum film forming apparatus capable of continuously supplying a sheet base material into a vacuum chamber and performing vacuum film formation. Furthermore, it is possible to realize a vacuum film forming apparatus capable of continuously working without breaking the vacuum.

本発明に係る減圧ユニット・圧力復元ユニットを利用した真空成膜装置の全体図である。1 is an overall view of a vacuum film forming apparatus using a decompression unit / pressure restoration unit according to the present invention. 最上流側の減圧ユニット（最下流側の圧力復元ユニット）の実施の一形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one Embodiment of the pressure reduction unit (most downstream pressure restoration unit) of the most upstream side. 中間及び最下流側の減圧ユニット（最上流側及び中間の圧力復元ユニット）の実施の一形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one Embodiment of the pressure_reduction | reduced_pressure unit (most upstream side and intermediate | middle pressure recovery | restoration unit) of an intermediate | middle and the most downstream. 第１〜第12の真空室を示す説明用略図である。3 is an explanatory schematic diagram showing first to twelfth vacuum chambers. 多孔ローラを示す斜視図である。It is a perspective view which shows a perforated roller. 最上流側の減圧ユニット（最下流側の圧力復元ユニット）を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the pressure-reduction unit on the most upstream side (pressure restoration unit on the most downstream side). 図２のＡ−Ａ拡大断面図である。It is an AA expanded sectional view of FIG. 図２のＢ−Ｂ断面図である。It is BB sectional drawing of FIG. 押圧ローラの別の実施の形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another embodiment of a press roller.

以下、実施の形態を示す図面に基づき本発明を詳説する。
図１〜図４に示すように、本発明に係る減圧ユニット，復元ユニットが適用された真空成膜装置は、真空成膜手段としての真空チャンバ３と、真空チャンバ３の外部の大気圧Ｐ0 側に設置されてシート基材１を繰り出す繰り出しリールＲ1 と、真空チャンバ３の外部の大気圧Ｐ0 側に設置されて成膜後のシート基材１を巻き取る巻き取りリールＲ2 と、繰り出しリールＲ1 と真空チャンバ３の入口側との間に介設され（排気）減圧ユニット100 を複数個順次接続して成る段階的減圧手段４と、真空チャンバ３の出口側と巻き取りリールＲ2 との間に介設され（排気）圧力復元ユニット200 を複数個順次接続して成る段階的圧力復元手段５と、を備えている。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings illustrating embodiments.
As shown in FIGS. 1 to 4, the vacuum film forming apparatus to which the decompression unit and the restoration unit according to the present invention are applied includes a vacuum chamber 3 as a vacuum film forming unit and an atmospheric pressure P 0 outside the vacuum chamber 3. A take-up reel R 1 installed on the side for feeding out the sheet base material 1; a take-up reel R 2 installed on the atmospheric pressure P 0 side outside the vacuum chamber 3 for winding up the sheet base material 1 after film formation; A stepwise pressure reducing means 4 which is provided between the feeding reel R 1 and the inlet side of the vacuum chamber 3 (exhaust) and sequentially connects a plurality of pressure reducing units 100, the outlet side of the vacuum chamber 3 and the take-up reel R and a, a gradual pressure recovery means 5 formed by a plurality sequentially connecting the interposed (exhaust) pressure recovery unit 200 between the two.

シート基材１は、樹脂シート及び金属シート等から成る幅寸法Ｗ1 、厚さ寸法Ｈ1 の長尺の薄いシートである。なお、本発明に於て、シートとは、通常のシートの他に、いわゆるフィルムと呼ばれている極めて薄いもの（100 μｍ以下の薄さ）を全て包含する。
真空チャンバ３は、高真空Ｐ7 の条件下に減圧された真空室内で、連続的に供給されるシート基材１の表面に、蒸着、スパッタリング、化学気相法等の方法により成膜部２を形成する。真空チャンバ３の入口側には入口フランジ３ａが設けられ、出口側には出口フランジ３ｂが設けられている。 The sheet substrate 1 is a long thin sheet having a width dimension W 1 and a thickness dimension H 1 made of a resin sheet, a metal sheet, or the like. In the present invention, the sheet includes not only a normal sheet but also all so-called films (thinness of 100 μm or less) called a film.
The vacuum chamber 3 is formed on the surface of the sheet substrate 1 that is continuously supplied in a vacuum chamber that has been decompressed under the condition of high vacuum P 7 by a method such as vapor deposition, sputtering, or chemical vapor deposition. Form. An inlet flange 3a is provided on the inlet side of the vacuum chamber 3, and an outlet flange 3b is provided on the outlet side.

（排気）減圧ユニット100 は、金属製のブロック体11と、ブロック体11に穿設された排気孔13と、ブロック体11に突設された接続フランジ14と、を有している。ブロック体11の内部には、大気圧Ｐ0 と分離されて排気減圧される真空室10と、真空室10を貫通する平面スリット状パスライン12と、ブロック体11に回転自在に枢着される多孔ローラ20と、ブロック体11に回転自在に枢着される押圧ローラ22と、外部から駆動されて回転する駆動ローラ23，24と、を有している。 The (exhaust) decompression unit 100 includes a metal block body 11, an exhaust hole 13 formed in the block body 11, and a connection flange 14 projecting from the block body 11. Inside the block 11, a vacuum chamber 10 that is separated from the atmospheric pressure P 0 and exhausted and decompressed, a plane slit-like pass line 12 that penetrates the vacuum chamber 10, and a block 11 are rotatably pivoted. It has a perforated roller 20, a pressing roller 22 pivotally attached to the block body 11, and driving rollers 23 and 24 that are driven and rotated from the outside.

ブロック体11は、ＳＵＳ材一体加工も可能であるが鋳造金属（鋳鉄）を用いることで、低コスト化が実現できる。内部面へは、ニッケルメッキ等を実施することで安価な鋳鉄でも、真空性能を維持できる構造となる。
排気孔13は、ブロック体11の多孔ローラ20、押圧ローラ22、駆動ローラ23，24の取着部にそれぞれ設けられ、外部からの負圧によって（排気）減圧ユニット100 内の気体を排気している。 The block body 11 can be integrated with SUS material, but cost can be reduced by using cast metal (cast iron). By applying nickel plating to the inner surface, the structure can maintain the vacuum performance even with inexpensive cast iron.
The exhaust holes 13 are respectively provided in the attachment portions of the perforated roller 20, the pressing roller 22, and the driving rollers 23 and 24 of the block body 11, and exhaust the gas in the decompression unit 100 by an external negative pressure (exhaust). Yes.

スリット状パスライン12は、ブロック体11内を貫通して同一平面状に形成されている。スリット状パスライン12は、通過するシート基材１と接触しない限度内でコンダクタンスＣが極小となるように最小寸法間隔に設定されている。図７に示すように、最小寸法間隔は、パスライン12の高さ寸法Ｈ12と使用するシート基材の厚さ寸法Ｈ1 の差を１ｍｍ〜４ｍｍ程度に設定し、スリット状パスライン12の横幅寸法Ｗ12と使用するシート基材の幅Ｗ1 の差を２ｍｍ〜８ｍｍ程度に設定したものである。
パスライン12の高さ寸法Ｈ12と使用するシート基材の厚さ寸法Ｈ1 の差を１ｍｍより小さく設定し、スリット状パスライン12の横幅寸法Ｗ12と使用するシート基材の幅Ｗ1 の差を２ｍｍより小さく設定した場合は、スリット状パスライン12を通過するシート基材１がブロック体11に接触する虞れがある。
また、パスライン12の高さ寸法Ｈ12と使用するシート基材の厚さ寸法Ｈ1 の差を４ｍｍより大きく設定すると、十分な圧力勾配が得られず、最終的に真空チャンバ３の高真空状態を達成困難となる。
なお、コンダクタンスＣとは、パスライン12の気体の通り抜けやすさを示す係数であり、気体の流量Ｑ、パスライン12両端の圧力差ΔＰとすると、Ｃ＝Ｑ/ ΔＰで表される。 The slit-like pass line 12 penetrates the block body 11 and is formed in the same plane. The slit-like pass line 12 is set to a minimum dimension interval so that the conductance C is minimized within a limit where the slit-like pass line 12 does not come into contact with the passing sheet base material 1. As shown in FIG. 7, the minimum dimension interval is set such that the difference between the height dimension H 12 of the pass line 12 and the thickness dimension H 1 of the sheet base material to be used is about 1 mm to 4 mm. The difference between the width W 12 and the width W 1 of the sheet base to be used is set to about 2 mm to 8 mm.
The thickness difference between the dimension H 1 of the sheet substrate used as the height H 12 of the pass line 12 is set smaller than 1 mm, the width W 1 of the sheet substrate used as the width dimension W 12 of the slit-shaped pass line 12 If the difference is set to be smaller than 2 mm, the sheet base material 1 passing through the slit-like pass line 12 may come into contact with the block body 11.
Further, when the thickness difference between the dimension H 1 of the sheet substrate used as the height H 12 of the pass line 12 is set larger than 4 mm, a sufficient pressure gradient is obtained, finally high vacuum of the vacuum chamber 3 It becomes difficult to achieve the state.
The conductance C is a coefficient indicating the ease of gas passing through the pass line 12, and is expressed by C = Q / ΔP, where the gas flow rate Q and the pressure difference ΔP at both ends of the pass line 12 are used.

図５は、多孔ローラ20を示す斜視図である。
多孔ローラ20は、取付フランジ26，27を介してブロック体11に取外し自在に取着されている。多孔ローラ20は、長円筒状に形成され、空洞中心部から外周面部に連通する多数の小孔21を有している。空洞中心部は、ロータリー継手28に外部から付与された負圧により排気され減圧している。多孔ローラ20は、ドリル等で穿孔して小孔21をラジアル方向に多数形成しても良いが、焼結金属等の連通気孔を有する材料を用いて製作するのが好ましい。 FIG. 5 is a perspective view showing the perforated roller 20.
The perforated roller 20 is detachably attached to the block body 11 via mounting flanges 26 and 27. The perforated roller 20 is formed in a long cylindrical shape, and has a large number of small holes 21 communicating from the center of the cavity to the outer peripheral surface. The hollow central portion is evacuated and decompressed by a negative pressure applied to the rotary joint 28 from the outside. The perforated roller 20 may be drilled with a drill or the like to form a large number of small holes 21 in the radial direction, but is preferably manufactured using a material having continuous air holes such as sintered metal.

図８は、図２のＢ−Ｂ断面図である。
押圧ローラ22は、長円筒状に形成され、両端縁にシート基材１に接触して押圧する両端側円環部22ａと、胴部にシート基材１と接触しない非接触外周面部22ｂと、を有している。
駆動ローラ23は、円柱状又は長円筒状に形成されている。駆動ローラ24は、円柱状又は長円筒状に形成され、図８に示した押圧ローラ22の外周面形状と同様に、両端縁にシート基材１に接触して押圧する両端側円環ガイド部と、胴部にシート基材１と接触しない非接触胴部と、を有している。 8 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG.
The pressing roller 22 is formed in a long cylindrical shape, both end side annular portions 22a that contact and press the sheet base material 1 at both end edges, a non-contact outer peripheral surface portion 22b that does not contact the sheet base material 1 at the body portion, have.
The drive roller 23 is formed in a columnar shape or a long cylindrical shape. The driving roller 24 is formed in a columnar shape or a long cylindrical shape, and is similar to the outer peripheral surface shape of the pressing roller 22 shown in FIG. And a non-contact body portion that does not contact the sheet base material 1 at the body portion.

段階的減圧手段４は、上流側から順に最上流側の減圧ユニット 100ａ，中間の減圧ユニット 100ｂ，最下流側の減圧ユニット 100ｃとして３個の減圧ユニット100 を連結して構成している。最上流側ユニット 100ａを除いた中間の減圧ユニット100ｂと最下流側の減圧ユニット 100ｃとは同一形状に形成されている。   The stepwise pressure reducing means 4 is configured by connecting three pressure reducing units 100 in order from the upstream side as the most upstream pressure reducing unit 100a, the intermediate pressure reducing unit 100b, and the most downstream pressure reducing unit 100c. The intermediate decompression unit 100b excluding the most upstream unit 100a and the decompression unit 100c on the most downstream side are formed in the same shape.

図２と図６に示すように、最上流側の減圧ユニット 100ａは、入口側から１段目に、多孔ローラ20と押圧ローラ22を一対に配置した真空室10を備え、排気孔13と多孔ローラ20の空洞中心部から排気して減圧している。２段目に、一対に配置した駆動ローラ23，24を備え、排気孔13から排気して減圧している。３段目には、１段目と同様に、多孔ローラ20と押圧ローラ22を備え、４段目には、２段目と同様に、駆動ローラ23，24を備えている。同一平面状のスリット状パスライン12が、入口側から出口側まで貫通している。最上流側ユニット 100ａの入口側は、スリット状パスライン開口端縁12ａが外方拡大状に面取り11ａが形成されている。最上流側の減圧ユニット 100ａの出口側は、真空チャンバ３の入口フランジ14ａ及び出口フランジ14ｂと同一寸法・同一形状の接続フランジ14が形成されている。   As shown in FIGS. 2 and 6, the most upstream decompression unit 100a includes a vacuum chamber 10 in which a porous roller 20 and a pressure roller 22 are disposed in a first stage from the inlet side, and includes an exhaust hole 13 and a porous hole. The pressure is reduced by exhausting from the center of the cavity of the roller 20. In the second stage, a pair of drive rollers 23 and 24 are provided, and exhausted from the exhaust hole 13 to reduce the pressure. The third stage includes the perforated roller 20 and the pressing roller 22 as in the first stage, and the fourth stage includes the driving rollers 23 and 24 as in the second stage. A coplanar slit-like pass line 12 penetrates from the entrance side to the exit side. On the inlet side of the most upstream unit 100a, a chamfer 11a is formed so that the slit-like pass line opening edge 12a expands outward. A connection flange 14 having the same size and shape as the inlet flange 14a and the outlet flange 14b of the vacuum chamber 3 is formed on the outlet side of the decompression unit 100a on the most upstream side.

図３に示すように、中間の減圧ユニット 100ｂと最下流側の減圧ユニット 100ｃとは、入口側から１段目に、一対に配置した駆動ローラ23，24を備え、排気孔13から排気して減圧している。２段目に、多孔ローラ20と押圧ローラ22を一対に配置した真空室10を備え、排気孔13と多孔ローラ20の空洞中心部から排気して減圧している。３段目、５段目には、１段目と同様に、駆動ローラ23，24を備え、４段目には、２段目と同様に、多孔ローラ20と押圧ローラ22を備えている。中間の減圧ユニット 100ｂの入口・出口側と、最下流側の減圧ユニット 100ｃの入口・出口側と、は全て真空チャンバ３の入口フランジ３ａ及び出口フランジ３ｂと同一寸法・同一形状の接続フランジ14が形成されている。   As shown in FIG. 3, the intermediate decompression unit 100b and the most downstream decompression unit 100c are provided with a pair of drive rollers 23, 24 on the first stage from the inlet side, and exhaust air from the exhaust hole 13. The pressure is reduced. The vacuum chamber 10 in which the porous roller 20 and the pressing roller 22 are arranged in a pair is provided in the second stage, and the pressure is reduced by exhausting from the exhaust hole 13 and the hollow central portion of the porous roller 20. Similarly to the first stage, the third and fifth stages are provided with driving rollers 23 and 24, and the fourth stage is provided with a porous roller 20 and a pressing roller 22 as in the second stage. The inlet / outlet side of the intermediate decompression unit 100b and the inlet / outlet side of the most downstream decompression unit 100c are all connected flanges 14 having the same dimensions and shape as the inlet flange 3a and outlet flange 3b of the vacuum chamber 3. Is formed.

圧力復元ユニット200 は、金属製のブロック体11と、ブロック体11に穿設された排気孔13と、ブロック体11に突設された接続フランジ14と、を有している。ブロック体11の内部には、大気圧Ｐ0 と分離されて排気減圧される真空室10と、真空室10を貫通するスリット状パスライン12と、ブロック体11に回転自在に枢着される多孔ローラ20と、ブロック体11に回転自在に枢着される押圧ローラ22と、外部から駆動されて回転する駆動ローラ23，24と、を有している。 The pressure restoring unit 200 includes a metal block body 11, an exhaust hole 13 formed in the block body 11, and a connection flange 14 projecting from the block body 11. Inside the block body 11, a vacuum chamber 10 that is separated from the atmospheric pressure P 0 and exhausted and depressurized, a slit-like pass line 12 that penetrates the vacuum chamber 10, and a porous body that is pivotally attached to the block body 11. It has a roller 20, a pressing roller 22 pivotally attached to the block body 11, and driving rollers 23 and 24 that are driven and rotated from the outside.

段階的圧力復元手段５は、上流側から順に最上流側の圧力復元ユニット 200ｃ，中間の圧力復元ユニット 200ｂ，最下流側の圧力復元ユニット 200ａとして３個の圧力復元ユニット200 を連結して構成している。最下流側ユニット 200ａを除いた中間の圧力復元ユニット 200ｂと最上流側の圧力復元ユニット 200ｃとは、図３の減圧ユニット 100ｂ， 100ｃと同一形状に形成されている。   The stepwise pressure restoring means 5 is constituted by connecting three pressure restoring units 200 in order from the upstream side as a most upstream pressure restoring unit 200c, an intermediate pressure restoring unit 200b, and a most downstream pressure restoring unit 200a. ing. The intermediate pressure restoring unit 200b excluding the most downstream unit 200a and the most upstream pressure restoring unit 200c are formed in the same shape as the decompression units 100b and 100c of FIG.

最下流側の圧力復元ユニット 200ａは、図２の最上流側の減圧ユニット 100ａと左右対称の同一形状に形成されている。つまり、入口側から１段目に、一対に配置した駆動ローラ23，24を備え、排気孔13から排気して減圧している。２段目に、多孔ローラ20と押圧ローラ22を一対に配置した真空室10を備え、排気孔13と多孔ローラ20の空洞中心部から排気して減圧している。３段目には、１段目と同様に、駆動ローラ23，24を備え、４段目には、２段目と同様に、多孔ローラ20と押圧ローラ22を備えている。圧力復元ユニット 200ａの入口側は、真空チャンバ３の入口フランジ３ａ及び出口フランジ３ｂと同一寸法・同一形状の接続フランジ14が形成されている。圧力復元ユニット 200ａの出口側は、スリット状パスライン開口端縁12ａが外方拡大状に面取り11ａが形成されている。   The pressure recovery unit 200a on the most downstream side is formed in the same shape that is symmetrical with the pressure reduction unit 100a on the most upstream side in FIG. That is, a pair of drive rollers 23 and 24 are provided in the first stage from the inlet side, and are exhausted from the exhaust hole 13 to reduce the pressure. The vacuum chamber 10 in which the porous roller 20 and the pressing roller 22 are arranged in a pair is provided in the second stage, and the pressure is reduced by exhausting from the exhaust hole 13 and the hollow central portion of the porous roller 20. The third stage is provided with drive rollers 23 and 24 as in the first stage, and the fourth stage is provided with a perforated roller 20 and a pressing roller 22 as in the second stage. A connection flange 14 having the same size and shape as the inlet flange 3a and outlet flange 3b of the vacuum chamber 3 is formed on the inlet side of the pressure restoring unit 200a. On the outlet side of the pressure restoring unit 200a, a chamfer 11a is formed so that the slit-like pass line opening edge 12a expands outward.

段階的減圧手段４を真空チャンバ３の入口側に接続し、真空チャンバ３の出口側に段階的圧力復元手段５を接続する。図４に示すように、真空室10が真空チャンバ３を中心として対称にそれぞれ６個配置される。この際、全ての真空室10は、同一平面状のスリット状パスライン12によって連通状に接続されている。   The stepped pressure reducing means 4 is connected to the inlet side of the vacuum chamber 3, and the stepped pressure restoring means 5 is connected to the outlet side of the vacuum chamber 3. As shown in FIG. 4, six vacuum chambers 10 are arranged symmetrically around the vacuum chamber 3. At this time, all the vacuum chambers 10 are connected in a continuous manner by slit-like pass lines 12 on the same plane.

段階的減圧手段４では、上流側から複数段階的に大気圧Ｐ0 から高真空Ｐ7 へ順次減圧するように圧力Ｐ1 の第１真空室10〜圧力Ｐ6 の第６真空室10が設けられている。第１〜第６の真空室10を経て、大気圧Ｐ0 から高真空Ｐ7 まで減圧される。言い換えると、各真空室の圧力Ｐ1 〜Ｐ7 は、Ｐ0 ＞Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞Ｐ3 ＞Ｐ4 ＞Ｐ5 ＞Ｐ6 ＞Ｐ7 となる。
段階的圧力復元手段５では、上流側から複数段階的に高真空Ｐ7 から大気圧Ｐ0 へ順次複数段階的に圧力を復元するように圧力Ｐ6 の第７真空室10〜圧力Ｐ1 の第12真空室10が設けられている。第７〜第12の真空室10を経て、高真空Ｐ7 から大気圧Ｐ0 まで復元される。 In staged pressure reducing means 4, sixth vacuum chamber 10 of the first vacuum chamber 10 to the pressure P 6 in the pressure P 1 to sequentially reduced pressure from multiple stepwise atmospheric pressure P 0 from the upstream side to the high vacuum P 7 is provided It has been. The pressure is reduced from the atmospheric pressure P 0 to the high vacuum P 7 through the first to sixth vacuum chambers 10. In other words, the pressures P 1 to P 7 in each vacuum chamber are P 0 > P 1 > P 2 > P 3 > P 4 > P 5 > P 6 > P 7 .
In the stepwise pressure restoring means 5, the pressures of the seventh vacuum chamber 10 to the pressure P 1 of the pressure P 6 are gradually restored from the high pressure P 7 to the atmospheric pressure P 0 sequentially in a plurality of steps from the upstream side. A twelfth vacuum chamber 10 is provided. Through the vacuum chamber 10 of the seventh to 12, it is recovered from the high vacuum P 7 to the atmospheric pressure P 0.

上述した本発明の真空成膜装置の使用方法（作用）について説明する。
図１に示すように、大気圧Ｐ0 中に設置された繰り出しリールＲ1 から供給されたシート基材１は、段階的減圧手段４に供給される。漏斗状に形成されたスリット状パスライン開口端縁12ａから最上流側の減圧ユニット 100ａに挿入されたシート基材１は、スリット状パスライン12内を平面帯状を保ちつつ走行する。減圧ユニット 100ａには、大気圧Ｐ0 から分離された圧力Ｐ1 の第１の真空室10が形成されている。 The use method (action) of the vacuum film forming apparatus of the present invention described above will be described.
As shown in FIG. 1, the sheet base material 1 supplied from the feeding reel R 1 installed in the atmospheric pressure P 0 is supplied to the stepwise pressure reducing means 4. The sheet base material 1 inserted in the decompression unit 100a on the most upstream side from the slit-like pass line opening edge 12a formed in a funnel shape travels in the slit-like pass line 12 while maintaining a flat belt shape. A first vacuum chamber 10 having a pressure P 1 separated from the atmospheric pressure P 0 is formed in the decompression unit 100a.

第１の真空室10内に設けられた多孔ローラ20と押圧ローラ22は、進入したシート基材１を挟持して、その姿勢を維持する。多孔ローラ20は、シート基材１に接触して小孔21の排気作用でシート基材１を吸着すると共に真空室10内を減圧している。押圧ローラ22は、両端の両端側円環部22ａのみシート基材１に接触して、押圧している。第１の真空室10を通過したシート基材１は、再びスリット状パスライン12内に挿入される。   The perforated roller 20 and the pressure roller 22 provided in the first vacuum chamber 10 sandwich the sheet base material 1 that has entered and maintain the posture. The perforated roller 20 comes into contact with the sheet base material 1 to adsorb the sheet base material 1 by the exhausting action of the small holes 21 and depressurizes the inside of the vacuum chamber 10. The pressing roller 22 is in contact with and presses the sheet base material 1 only at both end-side annular portions 22a at both ends. The sheet base material 1 that has passed through the first vacuum chamber 10 is inserted into the slit-shaped pass line 12 again.

次に、回転する駆動ローラ23，24によって、シート基材１を挟持すると共にシート基材１がパスライン12内を走行するように搬送力を付与する。駆動ローラ23，24は、シート基材１にシワやたるみが発生することがないよう、所定の張力をもって搬送を行なう。この際、駆動ローラ23，24によってシート基材１に張力が与えられ平面帯状姿勢を維持するため、ブロック体11に接触させることなくスリット状パスライン12内を走行する。   Next, the rotating drive rollers 23 and 24 sandwich the sheet base material 1 and apply a conveying force so that the sheet base material 1 travels in the pass line 12. The drive rollers 23 and 24 convey the sheet base material 1 with a predetermined tension so that wrinkles and sagging do not occur. At this time, tension is applied to the sheet base material 1 by the drive rollers 23 and 24 to maintain the flat belt-like posture, so that the sheet travels in the slit-like pass line 12 without contacting the block body 11.

平面状（平面帯状）に保持されたままスリット状パスライン12内を搬送されるシート基材１は、第２〜第６の真空室10を通過し、真空チャンバ３に搬入される。高真空Ｐ7 に減圧された真空チャンバ３内で、シート基材１の表面に成膜部２を形成する。その後、成膜後のシート基材１は、段階的圧力復元手段５に送られる。 The sheet base material 1 that is conveyed in the slit-like pass line 12 while being held in a flat shape (plane belt shape) passes through the second to sixth vacuum chambers 10 and is carried into the vacuum chamber 3. The film forming unit 2 is formed on the surface of the sheet substrate 1 in the vacuum chamber 3 decompressed to a high vacuum P 7 . Thereafter, the sheet base material 1 after film formation is sent to the stepwise pressure restoring means 5.

段階的圧力復元手段５の最上流側の圧力復元ユニット 200ｃには、圧力Ｐ6 の第７の真空室10が形成されている。第７の真空室10内に設けられた多孔ローラ20と押圧ローラ22は、進入したシート基材１を挟持して、その姿勢を維持する。多孔ローラ20は、シート基材１に接触して小孔21の排気作用でシート基材１を吸着すると共に真空室10内の圧力を復元する。押圧ローラ22は、両端の両端側円環部22ａのみ成膜後のシート基材１に接触して、成膜部２を傷つけることなく押圧している。第７の真空室10を通過したシート基材１は、再びスリット状パスライン12内に挿入される。 The pressure recovery unit 200c of the most upstream stage pressure recovery section 5, the seventh vacuum chamber 10 of the pressure P 6 is formed. The perforated roller 20 and the pressure roller 22 provided in the seventh vacuum chamber 10 sandwich the sheet base material 1 that has entered and maintain its posture. The perforated roller 20 comes into contact with the sheet substrate 1 and adsorbs the sheet substrate 1 by the exhaust action of the small holes 21 and restores the pressure in the vacuum chamber 10. The pressure roller 22 is in contact with the sheet base material 1 after film formation only at both end side annular portions 22a at both ends, and presses the film formation unit 2 without damaging it. The sheet base material 1 that has passed through the seventh vacuum chamber 10 is inserted into the slit-shaped pass line 12 again.

次に、回転する駆動ローラ23，24によって、成膜部２に接触しないようシート基材１を挟持すると共にシート基材１がパスライン12内を走行するように搬送力を付与する。駆動ローラ23，24は、シート基材１にシワやたるみが発生することがないよう、所定の張力をもって搬送を行なう。この際、駆動ローラ23，24によってシート基材１に張力が与えられ平面帯状姿勢を維持するため、ブロック体11に接触させることなくスリット状パスライン12内を走行する。   Next, the rotating driving rollers 23 and 24 sandwich the sheet base material 1 so as not to contact the film forming unit 2 and apply a conveying force so that the sheet base material 1 travels in the pass line 12. The drive rollers 23 and 24 convey the sheet base material 1 with a predetermined tension so that wrinkles and sagging do not occur. At this time, tension is applied to the sheet base material 1 by the drive rollers 23 and 24 to maintain the flat belt-like posture, so that the sheet travels in the slit-like pass line 12 without contacting the block body 11.

平面状（平面帯状）に保持されたままスリット状パスライン12内を搬送されるシート基材１は、第７〜第12の真空室10を通過し、大気圧Ｐ0 に復元される。その後、圧力復元ユニット 200ａの出口側の漏斗状に形成されたスリット状パスライン開口端縁12ａから巻き取りリールＲ2 に搬出され、巻き取られていく。 The sheet base material 1 conveyed in the slit-like pass line 12 while being held in a flat shape (plane belt shape) passes through the seventh to twelfth vacuum chambers 10 and is restored to the atmospheric pressure P 0 . Then it is transported to the take-up reel R 2 from the outlet side of the funnel-shaped to form a slit-shaped pass line opening edge 12a of the pressure recovery unit 200a, will be taken up.

なお、本発明は、設計変更可能であって、例えば、減圧ユニット100 及び圧力復元ユニット200 の個数は 3個に限定されるものではなく、目的とする真空度によって増減自在に個数を設定してもよい。また、減圧ユニット100 及び圧力復元ユニット200 の個数が、同数である必要はなく、真空室の個数が相違しているものでもよい。
また、図９に示すように、押圧ローラ22は、非接触外周面部22ｂの中央部に中央円環部22ｃを付加したものでもよい。 In the present invention, the design can be changed.For example, the number of the decompression unit 100 and the pressure restoration unit 200 is not limited to three, and the number can be set to be increased or decreased depending on the target degree of vacuum. Also good. Further, the number of the decompression units 100 and the pressure restoration units 200 need not be the same, and the number of vacuum chambers may be different.
Further, as shown in FIG. 9, the pressing roller 22 may have a central annular portion 22c added to the central portion of the non-contact outer peripheral surface portion 22b.

以上のように、本発明に係る減圧ユニット，圧力復元ユニットを真空成膜装置に利用することにより、連続的に供給される連続帯状のシート基材１に高真空Ｐ7 の条件下にて真空成膜を行なう真空チャンバ３と、真空チャンバ３の外部の大気圧Ｐ0 側に設置されてシート基材１を繰り出す繰り出しリールＲ1 と、繰り出しリールＲ1 と真空チャンバ３の入口側との間に介設されると共に複数段階的に大気圧Ｐ0 から高真空Ｐ7 へ順次複数段階的に減圧する段階的減圧手段４と、真空チャンバ３の外部の大気圧Ｐ0 側に設置されて成膜後のシート基材１を巻き取る巻き取りリールＲ2 と、真空チャンバ３の出口側と巻き取りリールＲ2 との間に介設されると共に複数段階的に高真空Ｐ7 から大気圧Ｐ0 へ順次複数段階的に復元する段階的圧力復元手段５と、を備えるように構成可能となり、これによって、大気圧Ｐ0 側の繰り出しリールＲ1 から連続してシート基材１を供給しつつ真空成膜を行うことができる。また、高真空Ｐ7 を保ったままで大気圧Ｐ0 側の巻き取りリールＲ2 へ搬出することができる。巻設したシート基材１が繰り出しリールＲ1 から無くなれば、次の繰り出しリールＲ1 を搬送してセットすれば引き続いて作業ができるので、従来のような真空破壊を行わないで済む。 As described above, pressure reduction unit according to the present invention, a vacuum by utilizing a pressure recovery unit to a vacuum deposition apparatus, under conditions of high vacuum P 7 on the sheet substrate 1 of a continuous strip which is continuously fed A vacuum chamber 3 for forming a film; a delivery reel R 1 installed on the atmospheric pressure P 0 side outside the vacuum chamber 3 to feed out the sheet substrate 1; and between the delivery reel R 1 and the inlet side of the vacuum chamber 3 And a stepwise pressure-reducing means 4 for depressurizing stepwise from the atmospheric pressure P 0 to the high vacuum P 7 in a plurality of steps, and a pressure reducing means 4 installed on the atmospheric pressure P 0 side outside the vacuum chamber 3. The take-up reel R 2 that winds up the sheet base material 1 after film formation, and is interposed between the outlet side of the vacuum chamber 3 and the take-up reel R 2, and from the high vacuum P 7 to the atmospheric pressure P in multiple steps. Stepwise pressure restoring means 5 for restoring to 0 in a stepwise manner. Thus, vacuum film formation can be performed while continuously supplying the sheet base material 1 from the feeding reel R 1 on the atmospheric pressure P 0 side. Further, it can be carried out to the take-up reel R 2 on the atmospheric pressure P 0 side while maintaining the high vacuum P 7 . If vanishes from the reel R 1 feeding is wound around the sheet substrate 1, since it is working subsequently be set to convey the following supply reel R 1, need not perform a vacuum break as in the prior art.

また、段階的減圧手段４は、排気減圧される真空室10を内部に有する金属製のブロック体11と、真空室10を貫通する平面スリット状パスライン12と、パスライン12を通過するシート基材１を吸着しつつ接触する多孔ローラ20と、シート基材１を多孔ローラ20の反対側から部分的に押圧して挟持する押圧ローラ22と、を備えた減圧ユニット100 を、複数個順次接続してシート基材１を平面状に保持したまま真空チャンバ３の入口側に供給し、さらに、段階的圧力復元手段５は、排気減圧される真空室10を内部に有する金属製のブロック体11と、真空室10を貫通するスリット状パスライン12と、パスライン12を通過するシート基材１を吸着しつつ接触する多孔ローラ20と、シート基材１を多孔ローラ20の反対側から部分的に押圧して挟持する押圧ローラ22と、を備えた圧力復元ユニット200 を、複数個順次接続してシート基材１を平面状に保持したまま真空チャンバ３の出口側から搬出しているので、大気圧Ｐ0 から高真空Ｐ7 へ複数段にて減圧することができ、目的とする真空度に応じて減圧ユニット100 の増減が簡単に行える。シート基材１を連続的に供給しつつ真空雰囲気を形成できるため、シート基材１に無駄が発生するのを防ぎ、かつ、作業効率が向上する。 Further, the stepwise pressure reducing means 4 includes a metal block body 11 having a vacuum chamber 10 to be evacuated and decompressed, a plane slit-like pass line 12 that passes through the vacuum chamber 10, and a sheet base that passes through the pass line 12. A plurality of pressure-reducing units 100 each having a porous roller 20 that adsorbs and contacts the material 1 and a pressing roller 22 that partially presses and holds the sheet substrate 1 from the opposite side of the porous roller 20 are sequentially connected. Then, the sheet substrate 1 is supplied to the inlet side of the vacuum chamber 3 while being held flat, and the stepwise pressure restoring means 5 is a metal block body 11 having a vacuum chamber 10 in which the pressure is reduced and exhausted. A slit-like pass line 12 that passes through the vacuum chamber 10, a porous roller 20 that contacts the sheet base material 1 that passes through the pass line 12, and a part of the sheet base material 1 from the opposite side of the porous roller 20. A pressing roller 22 that presses against and clamps, The pressure recovery unit 200 having, since a plurality sequentially connections are unloaded from the outlet side of the vacuum chamber 3 while holding the base sheet 1 in a plane, a plurality of stages from the atmospheric pressure P 0 to a high vacuum P 7 The pressure reduction unit 100 can be easily increased or decreased according to the target degree of vacuum. Since the vacuum atmosphere can be formed while continuously supplying the sheet base material 1, waste is prevented from occurring in the sheet base material 1, and the work efficiency is improved.

また、複数の減圧ユニット100 は、最上流側の減圧ユニット 100ａを除いて同一形状として増減自在に接続され、かつ、複数の圧力復元ユニット200 は、最下流側の圧力復元ユニット 200ａを除いて同一形状として増減自在に接続され、全てのスリット状パスライン12が同一平面状としたので、簡単に減圧ユニット100 の個数を増減することができ、かつ、簡単に圧力復元ユニット200 の個数を増減することができる。   Further, the plurality of pressure reducing units 100 are connected so as to be adjustable in the same shape except for the pressure reducing unit 100a on the most upstream side, and the plurality of pressure restoring units 200 are the same except for the pressure restoring unit 200a on the most downstream side. Since the slit-shaped pass lines 12 are connected to each other in a shape that is freely adjustable, the number of the decompression units 100 can be easily increased or decreased, and the number of the pressure restoring units 200 can be easily increased or decreased. be able to.

また、最上流側ユニット 100ａは、スリット状パスライン開口端縁12ａが外方拡大状に面取り11ａが形成され、最下流側ユニット 200ａは、スリット状パスライン開口端縁12ａが外方拡大状に面取り11ａが形成されているので、繰り出しリールＲ1 から挿入されるシート基材１を、容易に最上流側ユニット 100ａのスリット状パスライン12内に案内することができる。また、最下流側ユニット 200ａのスリット状パスライン12内から搬出されるシート基材１を、容易に巻き取りリールＲ2 に案内することができる。 Further, the uppermost stream side unit 100a has a chamfer 11a formed so that the slit-shaped pass line opening edge 12a is expanded outward, and the most downstream unit 200a has a slit-shaped pass line opening edge 12a expanded outward. because chamfers 11a are formed, a sheet substrate 1, which is inserted from a feed reel R 1, can easily be guided to the most upstream-side unit 100a slit-shaped pass line 12 of. Further, it is possible to guide the sheet substrate 1, which is carried out of the slit-shaped pass line 12 within the most downstream side unit 200a, to readily take-up reel R 2.

また、真空チャンバ３の入口側には入口フランジ３ａが設けられ、出口側には出口フランジ３ｂが設けられ、段階的減圧手段４における最上流側の減圧ユニット 100ａの出口側と、中間の減圧ユニット 100ｂの入口・出口側と、最下流側の減圧ユニット100ｃの入口・出口側と、段階的圧力復元手段５における最下流側の圧力復元ユニット 200ａの入口側と、中間の圧力復元ユニット 200ｂの入口・出口側と、最上流側の圧力復元ユニット 200ｃの入口・出口側と、が全て入口フランジ３ａ及び出口フランジ３ｂと同一寸法・同一形状に形成されているので、全ての真空チャンバ３には全ての減圧ユニット100 及び圧力復元ユニット200 が接続可能となり、確実に密封することができる。   In addition, an inlet flange 3a is provided on the inlet side of the vacuum chamber 3, and an outlet flange 3b is provided on the outlet side. The outlet side of the most upstream decompression unit 100a in the stepwise decompression means 4 and an intermediate decompression unit. The inlet / outlet side of 100b, the inlet / outlet side of the most downstream decompression unit 100c, the inlet side of the most downstream pressure restoring unit 200a in the stepped pressure restoring means 5, and the inlet of the intermediate pressure restoring unit 200b The outlet side and the inlet / outlet side of the most upstream pressure restoring unit 200c are all formed in the same size and shape as the inlet flange 3a and outlet flange 3b, so all the vacuum chambers 3 are all The pressure reducing unit 100 and the pressure restoring unit 200 can be connected, and can be reliably sealed.

そして、本発明に係る減圧ユニット 100， 200は、排気減圧される真空室10を内部に有する金属製のブロック体11と、上記真空室10を貫通する平面スリット状パスライン12と、該パスライン12を通過する上記シート基材１を吸着しつつ接触する多孔ローラ20と、上記シート基材１を上記多孔ローラ20の反対側から部分的に押圧して挟持する押圧ローラ22と、を備えているので、シート基材１はシワやたるみを生ずることなく平面帯状を維持しつつ走行する。しかも、（図８，図９に示すように）シート基材１の成膜部２が傷付くことなく非接触のままで搬送される。   The decompression units 100 and 200 according to the present invention include a metal block body 11 having a vacuum chamber 10 that is evacuated and decompressed, a plane slit-like pass line 12 that penetrates the vacuum chamber 10, and the pass line. A porous roller 20 that makes contact while adsorbing the sheet base material 1 passing through 12, and a pressing roller 22 that presses the sheet base material 1 partially from the opposite side of the porous roller 20 and holds it. Therefore, the sheet substrate 1 travels while maintaining a flat belt shape without causing wrinkles or sagging. Moreover, as shown in FIGS. 8 and 9, the film forming unit 2 of the sheet base material 1 is conveyed without being damaged without being damaged.

また、スリット状パスライン12は、通過するシート基材１と接触しない限度内で最小間隔寸法Ｄに設定されているので、コンダクタンスＣが極小となり、効率のよい排気減圧が可能となる。   Further, since the slit-like pass line 12 is set to the minimum distance dimension D within the limit that does not contact the sheet base material 1 that passes through, the conductance C is minimized, and efficient exhaust pressure reduction is possible.

また、シート基材１がパスライン12内を走行するように搬送力を付与する一対の駆動ローラ23，24を内部に有しているので、スリット状パスライン12内を走行するシート基材１を正確に保持することができ、かつ、シート基材１にシワやたるみの発生するのを防止できる。   Further, since the sheet base material 1 has a pair of drive rollers 23 and 24 that apply conveyance force so that the sheet base material 1 travels in the pass line 12, the sheet base material 1 travels in the slit-shaped pass line 12. Can be accurately held, and generation of wrinkles and sagging in the sheet base material 1 can be prevented.

また、多孔ローラ20は、長円筒状に形成され、排気減圧されている空洞中心部から外周面部に連通する多数の小孔21を有しているので、真空室10を排気減圧すると共に多孔ローラ20に接触したシート基材１を負圧によって吸着することができる。また、シート基材１表面の水分を排出し、排気効率が向上する。   The perforated roller 20 is formed in a long cylindrical shape and has a large number of small holes 21 communicating with the outer peripheral surface portion from the hollow central portion that is exhausted and decompressed. The sheet base material 1 in contact with 20 can be adsorbed by negative pressure. Further, the moisture on the surface of the sheet substrate 1 is discharged, and the exhaust efficiency is improved.

また、押圧ローラ22は、シート基材１に接触して押圧する両端側円環部22ａと、シート基材１と接触しない非接触外周面部22ｂと、を有し、シート基材１の成膜部２に接触しないように設定されているので、成膜部２を傷つけることなくシート基材１の搬送が可能である。   Further, the pressing roller 22 has both end-side annular portions 22 a that come into contact with and press the sheet base material 1, and a non-contact outer peripheral surface portion 22 b that does not come into contact with the sheet base material 1. Since it is set so as not to contact the part 2, the sheet base 1 can be conveyed without damaging the film forming part 2.

そして、上記ブロック体11は上記平面スリット状パスライン12の開口する接続フランジ14，14を有し、同一形状のものを複数個接続可能としたので、図１に例示したように所望の段数（個数）を次々と接続が可能となり、しかも、その接続個数を（真空圧力に対応して）増減容易となる。   The block body 11 has connection flanges 14 and 14 in which the planar slit-like pass line 12 is opened, and a plurality of members having the same shape can be connected. Therefore, as illustrated in FIG. The number of connections can be made one after another, and the number of connections can be easily increased or decreased (corresponding to the vacuum pressure).

１ シート基材
２ 成膜部
３ 真空チャンバ
４ 段階的減圧手段
５ 段階的圧力復元手段
10 真空室
11 ブロック体
12 スリット状パスライン
20 多孔ローラ
21 小孔
22 押圧ローラ
22ａ 両端側円環部
22ｂ 非接触外周面部
23 駆動ローラ
24 駆動ローラ
100 （排気）減圧ユニット
200 （排気）圧力復元ユニット
Ｐ7 高真空 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sheet | seat base material 2 Film-forming part 3 Vacuum chamber 4 Gradual decompression means 5 Gradual pressure restoration means
10 Vacuum chamber
11 blocks
12 Slit pass line
20 Perforated roller
21 small hole
22 Press roller
22a Rings on both ends
22b Non-contact outer peripheral surface
23 Drive roller
24 Drive roller
100 (exhaust) decompression unit
200 (Exhaust) Pressure restoration unit P 7 High vacuum

Claims (12)

排気減圧される真空室（10）を内部に有する金属製のブロック体（11）と、上記真空室（10）を貫通する平面スリット状パスライン（12）と、該パスライン（12）を通過する上記シート基材（１）を吸着しつつ接触する多孔ローラ（20）と、上記シート基材（１）を上記多孔ローラ（20）の反対側から部分的に押圧して挟持する押圧ローラ（22）と、を備えていることを特徴とする減圧ユニット。   A metal block body (11) having a vacuum chamber (10) to be evacuated and decompressed, a plane slit-like pass line (12) passing through the vacuum chamber (10), and passing through the pass line (12) A porous roller (20) that contacts the sheet base material (1) while adsorbing the sheet base material (1), and a pressure roller that partially presses and sandwiches the sheet base material (1) from the opposite side of the porous roller (20). And 22). 上記スリット状パスライン（12）は、通過する上記シート基材（１）と接触しない限度内で最小寸法間隔に設定されている請求項１記載の減圧ユニット。   The decompression unit according to claim 1, wherein the slit-like pass line (12) is set to a minimum dimension interval within a limit not to contact the sheet base material (1) that passes therethrough. 上記シート基材（１）が上記パスライン（12）内を走行するように搬送力を付与する一対の駆動ローラ（23)(24）を内部に有している請求項１又は２記載の減圧ユニット。   The pressure-reducing pressure according to claim 1 or 2, further comprising a pair of drive rollers (23) and (24) for applying a conveying force so that the sheet base material (1) travels in the pass line (12). unit. 上記多孔ローラ（20）は、長円筒状に形成され、排気減圧されている空洞中心部から外周面部に連通する多数の小孔（21）を有している請求項１，２又は３記載の減圧ユニット。   The said perforated roller (20) is formed in the shape of a long cylinder, and has many small holes (21) connected to the outer peripheral surface part from the cavity center part by which exhaust pressure reduction is carried out, The claim 1, 2 or 3 Decompression unit. 上記押圧ローラ（22）は、上記シート基材（１）に接触して押圧する両端側円環部（22ａ）と、上記シート基材（１）と接触しない非接触外周面部（22ｂ）と、を有し、上記シート基材（１）の成膜部（２）に接触しないように設定されている請求項１，２，３又は４記載の減圧ユニット。   The pressing roller (22) includes a circular ring portion (22a) on both ends that contacts and presses the sheet base material (1), a non-contact outer peripheral surface portion (22b) that does not contact the sheet base material (1), The decompression unit according to claim 1, 2, 3, or 4, wherein the decompression unit is set so as not to contact the film forming section (2) of the sheet base material (1). 上記ブロック体（11）は上記平面スリット状パスライン（12）の開口する接続フランジ (14)(14) を有し、同一形状のものを複数個接続可能とした請求項１，２，３，４又は５記載の減圧ユニット。   The block body (11) has a connection flange (14) (14) in which the planar slit-like pass line (12) opens, and a plurality of the same shape can be connected. The decompression unit according to 4 or 5. 排気減圧される真空室（10）を内部に有する金属製のブロック体（11）と、上記真空室（10）を貫通する平面スリット状パスライン（12）と、該パスライン（12）を通過する上記シート基材（１）を吸着しつつ接触する多孔ローラ（20）と、上記シート基材（１）を上記多孔ローラ（20）の反対側から部分的に押圧して挟持する押圧ローラ（22）と、を備えていることを特徴とする圧力復元ユニット。   A metal block body (11) having a vacuum chamber (10) to be evacuated and decompressed, a plane slit-like pass line (12) passing through the vacuum chamber (10), and passing through the pass line (12) A porous roller (20) that contacts the sheet base material (1) while adsorbing the sheet base material (1), and a pressure roller that partially presses and sandwiches the sheet base material (1) from the opposite side of the porous roller (20). 22) and a pressure restoring unit. 上記スリット状パスライン（12）は、通過する上記シート基材（１）と接触しない限度内で最小寸法間隔に設定されている請求項７記載の圧力復元ユニット。   The pressure restoration unit according to claim 7, wherein the slit-like pass line (12) is set to a minimum dimension interval within a limit not to contact with the sheet base material (1) passing therethrough. 上記シート基材（１）が上記パスライン（12）内を走行するように搬送力を付与する一対の駆動ローラ（23)(24）を内部に有している請求項７又は８記載の圧力復元ユニット。   The pressure according to claim 7 or 8, further comprising a pair of drive rollers (23) and (24) for applying a conveying force so that the sheet base material (1) travels in the pass line (12). Restore unit. 上記多孔ローラ（20）は、長円筒状に形成され、排気減圧されている空洞中心部から外周面部に連通する多数の小孔（21）を有している請求項７，８又は９記載の圧力復元ユニット。   The said perforated roller (20) is formed in the shape of a long cylinder, and has many small holes (21) connected to the outer peripheral surface part from the cavity center part by which exhaust pressure reduction was carried out, The claim 7, 8 or 9 Pressure restoration unit. 上記押圧ローラ（22）は、上記シート基材（１）に接触して押圧する両端側円環部（22ａ）と、上記シート基材（１）と接触しない非接触外周面部（22ｂ）と、を有し、上記シート基材（１）の成膜部（２）に接触しないように設定されている請求項７，８，９又は10記載の圧力復元ユニット。   The pressing roller (22) includes a circular ring portion (22a) on both ends that contacts and presses the sheet base material (1), a non-contact outer peripheral surface portion (22b) that does not contact the sheet base material (1), The pressure restoring unit according to claim 7, wherein the pressure restoring unit is set so as not to contact the film forming part (2) of the sheet base material (1). 上記ブロック体（11）は上記平面スリット状パスライン（12）の開口する接続フランジ (14)(14) を有し、同一形状のものを複数個接続可能とした請求項７，８，９，10又は11記載の圧力復元ユニット。   The block body (11) has a connection flange (14) (14) opened in the planar slit-like pass line (12), and a plurality of the same shape can be connected. The pressure restoring unit according to 10 or 11.
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