JP2010165925A - アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【課題】全体サイズの小型化、および製造コストの低廉化を図りながら、ロッドを正確に昇降操作および回転操作することができるアクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明に係るアクチュエータ1は、ロッド2と、該ロッド2をスライド操作するスライド駆動部5と、ロッド2を回転操作する回転駆動部6と、ロッド2のスライド方向の変位量を検出するスライド位置検出部3と、ロッド2の回転角度を検出する角度検出部7とを備える。スライド駆動部5はリニアアクチュエータであり、ロッド2に設けられたムービングマグネット22と、ロッド2の外周面を囲むように非接触状態で配置されたリニアモータコイル21とで構成される。スライド位置検出部3はリニアセンサであり、ロッド2に配置された磁性マーク16と、ロッド2の外周面を囲むように非接触状態で配置された中空筒状のセンサヘッド17とで構成される。
【選択図】図1
【解決手段】本発明に係るアクチュエータ1は、ロッド2と、該ロッド2をスライド操作するスライド駆動部5と、ロッド2を回転操作する回転駆動部6と、ロッド2のスライド方向の変位量を検出するスライド位置検出部3と、ロッド2の回転角度を検出する角度検出部7とを備える。スライド駆動部5はリニアアクチュエータであり、ロッド2に設けられたムービングマグネット22と、ロッド2の外周面を囲むように非接触状態で配置されたリニアモータコイル21とで構成される。スライド位置検出部3はリニアセンサであり、ロッド2に配置された磁性マーク16と、ロッド2の外周面を囲むように非接触状態で配置された中空筒状のセンサヘッド17とで構成される。
【選択図】図1
Description
本発明は、ロッドをスライド駆動および回転駆動させるアクチュエータに関する。このアクチュエータは、搬送対象物をハンドリングするピックアンドプレイス装置に適用できる。
本願発明に係るアクチュエータは、ロッドと、ロッドをスライド操作するスライド駆動部と、ロッドのスライド変位量を検出するスライド位置検出部とを備えるが、同様のアクチュエータは、例えば特許文献1に見ることができる。また、両発明(本願発明と特許文献1に記載の発明)は、リニアセンサでロッドのスライド位置を検出する点でも一致する。
本発明者等は、ユーザーの要請に応えて、ロッドをスライド方向だけでなく、ロッドを軸芯まわりの方向に回転操作させることを考えた。しかし、特許文献1に係る従来例では、ロッドを回転操作することを全く予定しておらず、これに回転機構を付加することは不可能であると言わざるを得ない。すなわち、例えばスライド駆動部がラック−ピニオン機構などで構成されている場合には、ロッドを回転操作するためには、スライド駆動部の全体を回転させる必要があり、装置が大掛かりとなることが避けられず、また、アクチュエータの全体コストが上昇することが避けられない。
本発明の目的は、アクチュエータ全体のサイズの小型化、および製造コストの低廉化を図りながら、ロッドを正確にスライド操作および回転操作することができるアクチュエータを提供することにある。
本発明に係るアクチュエータは、ロッドと、ロッドをスライド操作するスライド駆動部と、軸芯まわりの方向にロッドを回転操作する回転駆動部と、ロッドのスライド方向の変位量を検出するスライド位置検出部と、ロッドの回転角度を検出する角度検出部とを備える。スライド位置検出部は、軸方向に所定のピッチ間隔を置いてロッドに配置された複数個の中空筒状の磁性マークと、ロッドの外周面を囲むように非接触状態で配置された中空筒状のセンサヘッドとで構成されるリニアセンサとする。スライド駆動部は、ロッドに設けられたムービングマグネットと、ロッドの外周面を囲むように非接触状態で配置されて、該ムービングマグネットと協同してロッドをスライドさせるリニアモータコイルとで構成されるリニアアクチュエータとする。
回転駆動部を、ステータコイルを有する中空筒状の外フレームと、該外フレームの内周面に配置されて、円周状にN極、S極を交互に着磁したロータマグネットを有して、ロッドを外嵌状に保持する中空筒状の内フレームとを含む中空モータで構成する。ロッドの外周面には、スライド方向に長く転動突起が形成されており、該転動突起に対応して前記内フレームには係合溝が形成されている。そして、内フレームの回転駆動力が転動突起を介してロッドに伝えられるとともに、ロッドがスライド操作されたとき、転動突起が係合溝内を摺動移動するように構成する。
中空モータは、パルスモータとすることができる。
中空モータは、パルスモータとすることができる。
角度検出部は、転動突起に係合する係合凹部を有して、ロッドの回転操作に伴って従動回転する中空筒状の回転体と、該回転体を囲む中空筒状の固定体とを含む中空エンコーダとする。ロッドがスライド操作されたとき、転動突起が係合凹部内を摺動移動するように構成する。
ロッドの先端部に、搬送対象物を着脱自在に保持するためのハンドリング部を設ける。ロッドを中空筒状に形成する。そして、ハンドリング部の制御用コードをロッド内に配線する。ここでいう制御用コードとは、制御信号の送信用のコードだけでなく、電源供給用のコード等も含む概念である。
ロッドの先端部には、搬送対象物を着脱自在に保持するための吸着パッドを設ける。ロッドを中空筒状に形成する。そして、ロッドの基端から該ロッド内の雰囲気を吸引することにより、前記吸着パッドによる搬送対象物に対する吸引力が発揮されるようにする。
ロッドを囲むように、先端から順に、スライド位置検出部と、位置保持用のホルダーと、スライド駆動部と、中空モータからなる回転駆動部とが、フレームに固定された状態で配置されており、ホルダーは、ロッドの外周面に外嵌状に当接する中空筒状の部材であり、該ロッドをスライド方向にスライド変位可能に、しかも回転変位可能な状態で支持しており、少なくとも中空モータとホルダーにより、ロッドが軸芯と直交する方向に遊動不能に保持されている形態を採ることができる。
本願発明においては、スライド駆動部によりロッドをスライド操作できるとともに、回転駆動部によりロッドを回転操作することができるようにしたため、従前と同様のロッドのスライド機能に加えて、ロッドの回転機能をアクチュエータに付与することができる。
加えて、ロッドに設けられたムービングマグネットと、ロッドの外周面を囲むように非接触状態で配置されたリニアモータコイルとで構成されるリニアアクチュエータをスライド駆動部として採用したので、回転駆動部によるロッドの回転角度とは無関係に、ロッドをスライド操作することができる。つまり、ロッドと非接触状態を保ちながら該ロッドをスライド操作できるリニアアクチュエータをスライド駆動部として採用したので、ロッドの回転姿勢状態とは無関係に、ロッドをスライド操作することができる。従って、例えばラック−ピニオン機構からなるスライド駆動部を採用して、当該スライド駆動部自身を回転させるような形態に比べて、装置の簡素化、小型化、およびアクチュエータの全体コストの削減を図ることができる。ラック−ピニオン機構のスライド駆動部に比べて、スライド駆動部自身のコンパクト化を図ることができる点でも優れている。動力ロス無く、ダイレクトにロッドをスライド操作することができるので、アクチュエータの消費電力を抑えて、省エネルギー化に貢献できる。ダイレクトにロッドをスライド操作することができるので、応答速度に優れたアクチュエータを実現できる利点もある。
また、本発明においては、スライド位置検出部として、ロッドに配置された複数個の中空筒状の磁性マークと、ロッドの外周面を囲むように非接触状態で配置された中空筒状のセンサヘッドとで構成されるリニアセンサを採用した。これによれば、実質的にロッドと同軸上にリニアセンサを配置することができるため、ロッドとリニアセンサとをパラレルに配置する形態、すなわち被測定点と測定軸とが異なる場合に不可避となるアッベ誤差の問題を解消して、ロッドのスライド位置の検出精度が格段に向上する。非接触状態でロッドのスライド位置を検出する形態であるため、ロッドの回転姿勢状態とは無関係に、ロッドのスライド位置を検出することができる点でも優れている。
回転駆動部として、ステータコイルを有する外フレームと、ロータマグネットを有して、ロッドを外嵌状に保持する中空筒状の内フレームとで構成される中空モータを採用したので、ギヤ等を含む伝動系の回転駆動部に比べて、回転駆動部自身をコンパクト化して、アクチュエータの省スペース化に貢献できる。動力ロス無く、ダイレクトにロッドを回転操作することができるので、アクチュエータの消費電力を抑えて、省エネルギー化に貢献できる。ダイレクトにロッドを回転操作することができるので、応答速度に優れたアクチュエータを実現できる利点もある。
ロッドの外周面にスライド方向に長く転動突起を形成し、該転動突起に対応して内フレームに係合溝を形成する。そして、内フレームの回転駆動力が転動突起を介してロッドに伝えられるとともに、ロッドがスライド操作されたとき、転動突起が係合溝内を摺動移動するように構成する。これによれば、ロッドがスライド方向に変位された場合でも、常に転動突起と係合溝との係合状態を確保して、スライド位置とは無関係にロッドを回転操作することができる。従って、例えば回転駆動部をスライド移動させる形態に比べて、アクチュエータの全体構造を簡素化し、さらにアクチュエータの低コスト化、コンパクト化に貢献できる。
回転モータの内フレームと外フレームとのクリアランスは極めて小さく、内フレームが水平方向にガタ付くおそれは少ない。このことは、回転モータにより、ロッドをその軸芯と直交する方向に遊動不能に保持することができることを意味し、結果として、回転モータにロッドの軸芯と直交する方向の姿勢保持機構を兼用させることができる。これにより、専用の姿勢保持機構の個数を減じることができるので、アクチュエータの全体構造を簡素化して、さらにアクチュエータのコンパクト化、低コスト化に貢献できる。
角度検出部として、転動突起に係合する係合凹部を有して、ロッドの回転操作に伴って従動回転する回転体と、該回転体を囲む固定体とを含む中空エンコーダを採用して、ロッドがスライド操作されたとき、転動突起が係合凹部内を摺動移動するように構成する。これによれば、ロッドがスライド方向に変位された場合でも、常に転動突起と係合凹部との係合状態を確保して、スライド位置とは無関係にロッドの回転角度を検出することができる。従って、例えば角度検出部をスライド移動させる形態に比べて、アクチュエータの全体構造を簡素化し、さらにアクチュエータの低コスト化、コンパクト化に貢献できる。先の中空モータの場合と同様に、中空エンコーダに、ロッドの軸芯と直交する方向の姿勢保持機構を兼用させることができ、この点でもアクチュエータの全体構造を簡素化して、さらにアクチュエータのコンパクト化、低コスト化に貢献できる。
なお、中空モータとしてパルスモータを採用することができる。この場合には、中空モータに角度検出機能を付与することができるので、別途、先の中空エンコーダなどの角度検出部を設ける形態に比べて、アクチュエータの全体構造を簡素化することができる。アクチュエータ全体のコンパクト化にも貢献できる。
ロッドの外側に制御用コードを配線した場合には、該コードにロッドが接触して、ロッドの正確な動きが阻害されるおそれがある。これに対して本願発明のように、中空筒状に形成したロッド内に、ハンドリング部の制御用コードを配線していると、コードとロッドとが接触するおそれがなく、結果として信頼性に優れたアクチュエータを得ることができる。
同様に、中空筒状に形成したロッド内の雰囲気を吸引することで、吸着パッドの吸引力が発揮されるようにしていると、アクチュエータの信頼性が向上する。すなわち、吸着パッドにホースを直結した場合には、ホースとロッドとが接触するおそれがあるが、本発明においては、かかる不具合は一切生じず、信頼性に優れたアクチュエータを得ることができる。
フレームに、先端から順に、スライド位置検出部と、位置保持用のホルダーと、スライド駆動部と、中空モータからなる回転駆動部とが固定されており、少なくとも中空モータとホルダーにより、ロッドを水平方向に遊動不能に保持する形態を採ることができる。これによれば、先端寄りに配置されたホルダーと、基端寄りに配置された中空モータの二点支持により、確実にロッドを軸芯方向と直交する方向に遊動不能に保持することができる。また、中空モータに姿勢保持機構を兼用させたため、ホルダーのような専用の姿勢保持機構の個数を最小限化することができる。従って、アクチュエータの全体構造を簡素化して、アクチュエータのコンパクト化、低コスト化に貢献できる。
図1乃至図4に、本発明に係るアクチュエータを、被対象物であるワークをハンドリングするピックアンドプレイス装置に適用した実施形態を示す。図2に示すように、アクチュエータ1は、縦長のロッド2のまわりに、ロッド2の上下方向(スライド方向)の変位量(Z変位量)を検出するスライド位置検出部3と、姿勢保持用のホルダー4と、ロッド2を上下方向に昇降操作(スライド操作)するスライド駆動部5と、軸芯まわりの方向にロッド2を回転操作する回転駆動部6と、ロッド2の回転角度(角度θ)を検出する角度検出部7とが、下方より記載順に設けられている。
ロッド2の下端部(先端部)には、ワーク8を吸着保持するための吸着パッド9が装着されている。ロッド2の上端部(基端部)には、吸着パッド9に吸着力を与えるための不図示の真空ポンプに至るホース10が連結されている。これら、スライド位置検出部3、ホルダー4、スライド駆動部5、回転駆動部6、および角度検出部7は、縦長のフレーム11に固定されている。フレーム11は、例えばロボットアーム12に連結して、アクチュエータ1の全体を可動させることができる。尤もフレーム11は固定であってもよい。
図1において、符号13はアクチュエータ1の全体を制御するコントローラを示す。コントローラ13は、スライド位置検出部3および角度検出部7からの検出信号を受信するとともに、該検出信号に基づいて、スライド駆動部5、回転駆動部6および真空ポンプに制御信号を送信して、これらスライド駆動部5等を駆動制御する。
図1に示すように、ロッド2は中空円筒状に形成されており、真空ポンプによりホース10を介してロッド2内の雰囲気を吸引することにより、吸着パッド9によるワーク8に対する吸引力が発揮される。ロッド2は、下方側に設けられた小径筒部2aと、上方側に設けられて、該小径筒部2aよりも外径寸法の大きな大径筒部2bとからなる段付き状に形成されている。両筒部2a・2bは、金属成形品であり、大径筒部2bの下端に設けられた雌ねじ部に、小径筒部2aの上端に設けられた雄ねじ部をねじ込むことにより、両筒部2a・2bは連結されている。
図1および図3に示すように、スライド位置検出部3は、ロッド2の小径筒部2aに配置された磁性マーク16と、小径筒部2aの外周面を囲むように所定間隔を置いて非接触状態で配置された中空円筒状のセンサヘッド17とで構成されるリニアセンサである。磁性マーク16は、軸方向に交互に配置されたリング状の磁性体16aと非磁性体16bで構成されており、これら磁性体16a、非磁性体16bの外周面により、小径筒部2aの外周面の大部分が構成されている。つまり、小径筒部2aの長さ方向の略全長にわたって、磁性マーク16が配置されている。そして、センサヘッド17に内蔵された電磁コイルと、ロッド2側の磁性マーク16との磁気結合を用いて、ロッド2の上下方向の変位量(Z変位量)を検出する。
図4に示すように、ホルダー4は、内周面にベアリング19を有する中空筒状の部材であり、ロッド2の大径筒部2bの外周面に外嵌状に当接して、軸芯と直交する方向、すなわち水平方向(図示例では左右方向)にロッド2を遊動不能に保持している。また、ホルダー4は、ベアリングの働きにより、ロッド2を上下方向にスライド変位可能に、しかも回転変位可能な状態で支持している。
図1および図4に示すように、スライド駆動部5は、上下にロッド2の挿通を許す開口を有する円筒容器状のハウジング20と、ハウジング20の筒壁内面に固定されたリング状のリニアモータコイル21と、ロッドの外周面に設けられた円筒状のムービングマグネット22とで構成されるリニアアクチュエータである。ムービングマグネット22の外周面と、リニアモータコイル21の内周面との間には、僅かなクリアランスが形成されており、これらムービングマグネット22とリニアモータコイル21とが協同することで、ロッド2を昇降させる(Z変位させる)。符号23は、ロッド2の大径筒部2bの外周面に装着されて、ハウジング20の空隙内で上下方向にスライド変位可能に構成された支持筒を示しており、この支持筒23の外周面にムービングマグネット22が固定されている。支持筒23の下端がハウジング20の底面に当接することで、ロッド2の下方への抜け止めが図られるとともに、ロッド2の下方への移動限界が規制される。また、支持筒23の上端がハウジング20の上面に当接することで、ロッド2の上方への移動限界が規制される。
図2および図4に示すように、回転駆動部6は、ステータコイルを有する中空円筒状の外フレーム25と、外フレーム25の内周面に配置された中空円筒状の内フレーム26とで構成される中空モータである。内フレーム26はロッド2を外嵌状に保持しており、その内部に円周状にN極、S極を交互に積層状に着磁したロータマグネットが内蔵されている。これら外フレーム25のステータコイルと内フレーム26のロータマグネットとが協同して、内フレーム26を介してロッド2を縦軸まわりに回転操作する(θ変位させる)。
図2および図4に示すように、角度検出部7は、ロッド2の回転操作に伴って従動回転する中空円筒状の回転体30と、回転体30を囲む中空円筒状の固定体31とで構成される中空エンコーダであり、回転体30側のマグネットと固定体31側の電磁コイルとの磁気結合に基づいて、ロッド2の回転角度(θ)を検出する。図1および図4に示すように、これら回転駆動部6と角度検出部7とは、リング状の支持体33に組み付けられて、ユニット部品化された状態で、フレーム11に固定されている。
スライド駆動部5によるロッド2のZ変位とは無関係に常にロッド2を確動回転させること、および、ロッド2のZ変位とは無関係に常にロッド2の回転角度を検出することを目的として、回転駆動部6および角度検出部7と、ロッド2との間にスプライン機構が設けられている。かかるスプライン機構は、ロッド2の大径筒部2bの上端外周面に上下方向に長く形成された転動突起35と、回転駆動部6の内フレーム26の内周面に刻設された係合溝36と、角度検出部7の回転体30の内周面に刻設された係合凹部37とで構成される。本実施形態では、ロッド2の上端が8本の転動突起35が放射状に突設されたスプラインシャフトとされており、内フレーム26および回転体30とは、該スプラインシャフトの外形形状と一致する内形形状を有するスプラインナットとされている。以上より、ロッド2が昇降操作(スライド操作)されたとき、転動突起35は、係合溝36および係合凹部37との係合状態を維持したまま、これら係合溝36および係合凹部37内を摺動移動する。従って、ロッドのZ変位とは無関係に、常にロッド2と内フレーム26との間の係合状態が維持され、回転駆動部6によりロッド2を確動させることができる。また、ロッド2のZ変位とは無関係に、常にロッド2と回転体30との係合状態が維持され、角度検出部7による確実な回転角度(θ)の検知がなされる。
ロッド2の上端開口を防ぐようにキャップ40が装着される。ロッド2の回転に伴うホース10の従動を防ぐため、キャップ40はカップリング機構を備えるものとなっている。
以上のような構成からなるアクチュエータ1においては、スライド駆動部5により、ロッド2が引き上げられた図1に示す待機位置と、ロッド2が引き下げられて吸着パッド9がワーク2に接触する図4に示すハンドリング位置との間で、上下方向にロッド2を昇降操作することができる(Z変位させることができる)。かかるZ変位に伴うロッド2の変位量は、リニアセンサからなるスライド位置検出部3により正確に検知される。
図4に示すハンドリング位置において、ポンプを駆動させてホース10を介してロッド2内の雰囲気を吸引することにより、吸着パッド9によるワーク8に対する吸引力が発揮され、ワーク8を吸着保持することができる。また、ワーク8を吸着保持した状態で、スライド駆動部5を駆動させることにより、図3に示すように、ロッド2を引き上げて、ワーク8を持ち上げることができる。
ワーク8を持ち上げた状態で、回転駆動部6によりロッド2を回転操作することにより、ワーク8の向きを変えることができる。かかる回転駆動部6によるロッド2の回転量は、中空エンコーダである角度検出部7により正確に検知される。ワーク8の向きが所定方向に変更されると、再びロッド2を降ろしてワーク8を載置する。このときのロッド2のZ変位量もスライド位置検出部3により検知される。
以上のように、本実施形態においては、スライド駆動部5によりロッド2を昇降操作できるとともに、回転駆動部6によりロッド2を回転操作することができるようにしたため、従前と同様のロッド2の昇降機能(Z変位)に加えて、回転機能(θ変位)をアクチュエータ1に与えることができる。
また、ロッド2と非接触状態を保ちながらロッド2を昇降操作することができるリニアアクチュエータをスライド駆動部5として採用したので、ロッド2の回転姿勢状態とは無関係に、ロッド2を昇降操作することができる。従って、例えばラック−ピニオン機構からなるスライド駆動部を採用して、当該スライド駆動部自身を回転させるような形態に比べて、装置の簡素化、小型化、およびアクチュエータ1の全体コストの削減を図ることができる。換言すれば、回転機能を付与したことに伴うアクチュエータ1の複雑化、大型化、或いは全体コストの上昇などを抑えて、装置の簡素化および小型化を図り、全体コストを削減できる。
スライド位置検出部3として、ロッド2の外周面に固定された磁性マーク16と、ロッド2の外周面を囲むように非接触状態で配置されたセンサヘッド17とからなるリニアセンサを採用してあると、ロッド2と同軸上にリニアセンサを配置することができるため、アッベ誤差の問題を解消して、ロッド2のZ変位をより正確に検出することができる。先のスライド駆動部5の場合と同様に、ロッドの回転姿勢状態とは無関係に、ロッドのZ変位を検出することができる点でも優れている。非接触状態2でロッドのZ変位を検出する形態であるため、ロッド2の回転姿勢状態とは無関係に、Z変位を確実に検出できる点でも優れている。
回転駆動部6として中空モータを採用したので、ギヤ等を含む伝動系の回転駆動部に比べて、回転駆動部自身のコンパクト化を図ることができる。動力ロス無く、ダイレクトにロッド2を回転操作することもできる。ダイレクトにロッド2を回転操作することができるため、応答速度にも優れる。
角度検出部7として、ロッド2の回転操作に伴って従動回転する回転体30と、該回転体を囲む固定体31とを含む中空エンコーダを採用したので、ダイレクトにロッド2の回転角度を検出することができ、検出精度に優れる。
ロッド2と回転駆動部6との間に、転動突起35(スプラインシャフト)と、係合溝36を有する内フレーム26(スプラインナット)からなるスプライン機構を設けて、転動突起35が係合溝36内で摺動できるように構成したので、ロッド2がZ方向に上下動した場合でも、常に係合溝36と転動突起35との係合状態が維持される。従って、ロッド2のZ変位とは無関係に、常にロッド2を確動回転させることができる。
同様に、ロッド2と角度検出部7との間に、転動突起35(スプラインシャフト)と、係合凹部37を有する回転体30(スプラインナット)からなるスプライン機構を設けて、転動突起35が係合凹部37内で摺動できるように構成したので、ロッド2がZ方向に上下動した場合でも、常に係合凹部37と転動突起35との係合状態が維持される。従って、ロッド2のZ変位とは無関係に、常にロッド2の回転角度(θ変位)を検出することができる。
回転駆動部6である中空モータは、内フレーム26と外フレーム25とのクリアランスは極めて小さく、中空モータにロッド2の水平方向の姿勢保持機構を兼用させることができる。これにより、専用の水平方向の姿勢保持機構の個数を減じることができるので、アクチュエータ1の全体構造を簡素化して、アクチュエータ1のコンパクト化、低コスト化に貢献できる。本実施形態では、下方寄りにホルダー4を配置し、上方寄りに回転駆動部6の中空モータを配置したので、二点支持により、確実にロッド2を水平方向に遊動不能に保持することができる。
中空筒状に形成したロッド2内の雰囲気を吸引することで、吸着パッド9の吸引力が発揮されるようにしたので、アクチュエータ1の信頼性が向上する。すなわち、吸着パッド9にホース10を直結した場合には、ホース10とロッド2とが接触するおそれがあるが、本実施形態に係るアクチュエータ1においては、かかる不具合は一切生じず、アクチュエータ1の信頼性が向上する。
図5に本発明に係るアクチュエータ1の別実施形態を示す。そこでは、先の吸着パッド9に替えて、ロッド2の下端にアームタイプのハンドリング部50を装着した点が、先の図1乃至図4に示す実施形態と相違する。ロッド2は中空筒状とし、その内部にハンドリング部50の制御用コード51を配線してある。それ以外の点は、先の第1実施形態と同様である。
以上のように制御用コード51をロッド2内に配線してあると、ロッド2にコード51が接触して、ロッド2の動きが阻害される問題は生じず、アクチュエータ1の信頼性が向上する。
図6に、さらに本発明の別実施形態に係るアクチュエータを示す。そこでは、磁性体16aと非磁性体16bとが交互に積層してなる磁性マーク16が、ロッド2の小径筒部2aの筒壁内に埋設状に配されている点が、先の図1乃至図4に示す実施形態と相違する。それ以外の点は、先の実施形態と同様であるので、同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。
回転駆動部6を構成する中空モータは、パルスモータとすることができ、この場合には、角度検出部7を省略することができる。転動突起35としては、図2のごとく、複数本の転動突起35がロッド2の外周面に放射状に突設されている形態に限られず、1本の転動突起35がロッド2の外周面に突設されている形態であってもよく、その場合には、内フレーム26および回転体30には、一個の係合溝36および係合凹部37を形成すれば足り、要は転動突起35と係合溝36等の確実な係合状態を維持しながら、ロッド2のZ変位に伴って転動突起35が係合溝36および係合凹部37内を摺動できればよい。
1 アクチュエータ
2 ロッド
3 スライド位置検出部
4 ホルダー
5 スライド駆動部
6 回転駆動部
7 角度検出部
8 被対象物(ワーク)
9 吸着パッド
10 ホース
11 フレーム
16 磁性マーク
17 センサヘッド
25 外フレーム
26 内フレーム
30 回転体
31 固定体
35 転動突起
36 係合溝
37 係合凹部
50 ハンドリング部
51 制御用コード
2 ロッド
3 スライド位置検出部
4 ホルダー
5 スライド駆動部
6 回転駆動部
7 角度検出部
8 被対象物(ワーク)
9 吸着パッド
10 ホース
11 フレーム
16 磁性マーク
17 センサヘッド
25 外フレーム
26 内フレーム
30 回転体
31 固定体
35 転動突起
36 係合溝
37 係合凹部
50 ハンドリング部
51 制御用コード
Claims (6)
- ロッドと、前記ロッドをスライド操作するスライド駆動部と、軸芯まわりの方向に前記ロッドを回転操作する回転駆動部と、前記ロッドのスライド方向の変位量を検出するスライド位置検出部と、前記ロッドの回転角度を検出する角度検出部とを備えており、
前記スライド位置検出部が、前記ロッドに配置された複数個の磁性マークと、前記ロッドの外周面を囲むように非接触状態で配置された中空筒状のセンサヘッドとで構成されるリニアセンサであり、
前記スライド駆動部が、前記ロッドに設けられたムービングマグネットと、前記ロッドの外周面を囲むように非接触状態で配置されて、該ムービングマグネットと協同してロッドをスライドさせるリニアモータコイルとで構成されるリニアアクチュエータであることを特徴とするアクチュエータ。 - 前記回転駆動部は、ステータコイルを有する中空筒状の外フレームと、該外フレームの内周面に配置されて、円周状にN極、S極を交互に着磁したロータマグネットを有して、ロッドを外嵌状に保持する中空筒状の内フレームとを含む中空モータで構成されており、
前記ロッドの外周面には、スライド方向に長く転動突起が形成されており、該転動突起に対応して前記内フレームには係合溝が形成されており、
前記内フレームの回転駆動力が前記転動突起を介して前記ロッドに伝えられるとともに、前記ロッドがスライド操作されたとき、前記転動突起が前記係合溝内を摺動移動するように構成されている請求項1記載のアクチュエータ。 - 前記角度検出部が、前記転動突起に係合する係合凹部を有して、前記ロッドの回転操作に伴って従動回転する中空筒状の回転体と、該回転体を囲む中空筒状の固定体とを含む中空エンコーダであり、
前記ロッドがスライド操作されたとき、前記転動突起が前記係合凹部内を摺動移動するように構成されている請求項2記載のアクチュエータ。 - 前記ロッドの先端部には、搬送対象物を着脱自在に保持するためのハンドリング部が設けられており、
前記ロッドが中空筒状に形成されており、
前記ハンドリング部の制御用コードが前記ロッド内に配線されている請求項1乃至3のいずれかに記載のアクチュエータ。 - 前記ロッドの先端部には、搬送対象物を着脱自在に保持するための吸着パッドが設けられており、
前記ロッドが中空筒状に形成されており
前記ロッドの上端から該ロッド内の雰囲気を吸引することにより、前記吸着パッドによる搬送対象物に対する吸引力が発揮されるようになっている請求項1乃至3のいずれかに記載のアクチュエータ。 - 前記ロッドを囲むように、先端から順に、前記スライド位置検出部と、位置保持用のホルダーと、前記スライド駆動部と、前記中空モータからなる回転駆動部とが、フレームに固定された状態で配置されており、
前記ホルダーは、前記ロッドの外周面に外嵌状に当接する中空筒状の部材であり、該ロッドをスライド方向にスライド変位可能に、しかも回転変位可能な状態で支持しており、
少なくとも前記中空モータと前記ホルダーにより、前記ロッドが軸芯と直交する方向に遊動不能に保持されている請求項2乃至5のいずれかに記載のアクチュエータ。
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