JP2010163357A

JP2010163357A - Magnesium oxide fine powder and production method thereof

Info

Publication number: JP2010163357A
Application number: JP2009287272A
Authority: JP
Inventors: Akira Ueki; 明植木; Yuzo Kato; 裕三加藤
Original assignee: Ube Material Industries Ltd
Current assignee: Ube Material Industries Ltd
Priority date: 2008-12-19
Filing date: 2009-12-18
Publication date: 2010-07-29
Anticipated expiration: 2029-12-18
Also published as: JP5014411B2; CN101811708A; KR101388362B1; KR20100071921A

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for industrially advantageously producing a fine magnesium powder which emits ultraviolet light having a peak wavelength in the range of 200-300 nm wavelength when excited with electron beams. <P>SOLUTION: Magnesium is oxidized by bringing magnesium vapor into contact with an oxygen-containing gas under a gaseous atmosphere including halogen in the range of 0.01-500 g based on 1 kg of the magnesium vapor. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、酸化マグネシウム微粉末、特に電子線によって励起されると波長が２００〜３００ｎｍの範囲にピーク波長を有する紫外光を発光する酸化マグネシウム微粉末及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a magnesium oxide fine powder, particularly a magnesium oxide fine powder that emits ultraviolet light having a peak wavelength in the range of 200 to 300 nm when excited by an electron beam, and a method for producing the same.

交流型プラズマディスプレイパネル（以下、ＡＣ型ＰＤＰともいう）は、一般に、放電ガスが充填された放電空間を挟んで対向配置された前面板と背面板とからなる。前面板は、前面ガラス基板、前面ガラス基板の上に形成された一対の放電電極、放電電極を被覆するように形成された誘電体層、そして誘電体層の表面に形成された誘電体保護層からなる。背面板は、背面ガラス基板、背面ガラス基板の上に形成されたアドレス電極と放電空間を区画するための隔壁、そして隔壁によって区画された領域の表面に形成された赤、緑、青の蛍光体層からなる。 An AC type plasma display panel (hereinafter also referred to as AC type PDP) is generally composed of a front plate and a back plate which are arranged to face each other with a discharge space filled with a discharge gas. The front plate includes a front glass substrate, a pair of discharge electrodes formed on the front glass substrate, a dielectric layer formed so as to cover the discharge electrodes, and a dielectric protective layer formed on the surface of the dielectric layer Consists of. The back plate is a back glass substrate, address electrodes formed on the back glass substrate, barrier ribs for partitioning the discharge space, and red, green and blue phosphors formed on the surface of the region partitioned by the barrier ribs. Consists of layers.

放電ガスとしては、一般にキセノンガスとネオンガスとの混合ガスが利用されている。
誘電体保護層の材料には、二次電子放出係数が高く、耐スパッタ性に優れる酸化マグネシウムが広く利用されている。 As the discharge gas, a mixed gas of xenon gas and neon gas is generally used.
As a material for the dielectric protective layer, magnesium oxide having a high secondary electron emission coefficient and excellent sputter resistance is widely used.

ＡＣ型ＰＤＰでは前面板の放電電極に電圧を印加すると、放電ガス中に存在するイオン・電子が誘電体保護層に衝突して、誘電体保護層が二次電子を放出する工程と、放出された二次電子がイオン化していない放電ガス原子に衝突して、放電ガス原子がイオン化する工程とを繰り返すことによって、放電空間中の荷電粒子が増加して、放電を開始する。そして、放電により生成した紫外光により、背面板の蛍光体層を構成する蛍光体が励起されて発光した青色、緑色、赤色の可視光を前面板から取り出して画像を表示する。 In the AC type PDP, when a voltage is applied to the discharge electrode on the front plate, ions and electrons present in the discharge gas collide with the dielectric protective layer, and the dielectric protective layer emits secondary electrons, The secondary electrons collide with the discharge gas atoms that are not ionized and the discharge gas atoms are ionized, thereby increasing the number of charged particles in the discharge space and starting the discharge. Then, the ultraviolet light generated by the discharge excites the phosphors constituting the phosphor layer of the back plate and emits blue, green, and red visible light emitted from the front plate to display an image.

このような機構により画像を表示するＡＣ型ＰＤＰでは画像の高精密化に伴い、前面板の放電電極に電圧を印加してから放電が開始するまでの時間を短くすること、いわゆる放電遅れを減少することが重要となる。 In the AC type PDP that displays an image by such a mechanism, along with the higher precision of the image, the time from when a voltage is applied to the discharge electrode of the front plate until the start of discharge is shortened, so-called discharge delay is reduced. It is important to do.

特許文献１には、ＡＣ型ＰＤＰの放電遅れを減少する方法として、誘電体保護層を、電子線によって励起されて波長が２００〜３００ｎｍの範囲にピーク波長を有する紫外光の発光（カソード・ルミネッセンス発光）を行う酸化マグネシウム結晶体で形成することが開示されている。この特許文献１によれば、カソード・ルミネッセンス発光を行う酸化マグネシウム結晶体は、カソード・ルミネッセンス発光で発光する紫外光のピーク波長に対応したエネルギー準位によって電子を長時間トラップすることができ、この電子が電界によって取り出されることにより、放電開始に必要な初期電子が得られるため放電遅れが減少する。すなわち、特許文献１には、カソード・ルミネッセンス発光を行う酸化マグネシウム結晶体がプライミング粒子放出材料として作用することが記載されている。なお、この特許文献１の図７に記載されているデータによれば、カソード・ルミネッセンス発光を行う酸化マグネシウム結晶体は、粒子径が２０００オングストローム以上の気相酸化法で合成した酸化マグネシウム結晶体である。 In Patent Document 1, as a method for reducing the discharge delay of an AC type PDP, the dielectric protective layer is excited by an electron beam and emits ultraviolet light having a peak wavelength in the range of 200 to 300 nm (cathode luminescence). It is disclosed that it is formed of a magnesium oxide crystal that emits light. According to this Patent Document 1, the magnesium oxide crystal that performs cathode luminescence emission can trap electrons for a long time by the energy level corresponding to the peak wavelength of ultraviolet light emitted by the cathode luminescence emission. Since electrons are extracted by an electric field, initial electrons necessary for the start of discharge are obtained, so that the discharge delay is reduced. That is, Patent Document 1 describes that a magnesium oxide crystal that performs cathodoluminescence emission acts as a priming particle emitting material. According to the data described in FIG. 7 of Patent Document 1, the magnesium oxide crystal that performs cathodoluminescence emission is a magnesium oxide crystal synthesized by a gas phase oxidation method having a particle diameter of 2000 angstroms or more. is there.

特許文献２には、ＡＣ型ＰＤＰの放電遅れを減少する方法として、誘電体保護層を、蒸着又はスパッタリングによって形成される薄膜酸化マグネシウム層と、電子線によって励起されて波長が２００〜３００ｎｍの範囲にピーク波長を有する紫外光の発光を行う酸化マグネシウム結晶体からなる結晶酸化マグネシウム層とが積層した構造とすることが開示されている。なお、この特許文献２の図８に記載されているデータでも、カソード・ルミネッセンス発光が見られるのは、粒子径が２０００オングストローム以上の気相酸化法で合成した酸化マグネシウム結晶体である。 In Patent Document 2, as a method of reducing the discharge delay of an AC type PDP, a dielectric protective layer, a thin film magnesium oxide layer formed by vapor deposition or sputtering, and a wavelength range of 200 to 300 nm excited by an electron beam are disclosed. It is disclosed that a crystal magnesium oxide layer made of a magnesium oxide crystal that emits ultraviolet light having a peak wavelength is laminated. In the data described in FIG. 8 of Patent Document 2, cathode luminescence emission is observed in a magnesium oxide crystal synthesized by a gas phase oxidation method having a particle diameter of 2000 angstroms or more.

特許文献３には、電子線によって励起されて波長が２００〜３００ｎｍの範囲にピーク波長を有する紫外光の発光を行う酸化マグネシウム結晶体を二次電子放出材として、蛍光体層を構成する蛍光体に混合する、もしくはその酸化マグネシウム結晶体からなる層を蛍光体層の放電空間に接する側の表面に積層することによって、ＡＣ型ＰＤＰの放電遅れが改善することが記載されている。なお、この特許文献３の図７に記載されているデータでも、カソード・ルミネッセンス発光が見られるのは、粒子径が２０００オングストローム以上の気相酸化法で合成した酸化マグネシウム結晶体である。 Patent Document 3 discloses a phosphor that forms a phosphor layer using a magnesium oxide crystal that emits ultraviolet light having a peak wavelength in the range of 200 to 300 nm as excited by an electron beam as a secondary electron emission material. It is described that the delay in the discharge of the AC type PDP is improved by laminating a layer made of the magnesium oxide crystal on the surface of the phosphor layer on the side in contact with the discharge space. In the data described in FIG. 7 of Patent Document 3, the cathode luminescence emission is observed in the magnesium oxide crystal synthesized by the vapor phase oxidation method having a particle diameter of 2000 angstroms or more.

特許文献４には、ＡＣ型ＰＤＰのプライミング粒子放出材料に、ハロゲンが１〜１００００ｐｐｍ添加されたハロゲン含有酸化マグネシウム結晶体を用いることが記載されている。特許文献４には、ハロゲン含有酸化マグネシウム結晶体は平均粒子径が０．０５〜２０μｍの範囲にあることが好ましいと記載されている。特許文献４には、ハロゲン含有酸化マグネシウム結晶体の製造方法として、酸化マグネシウム結晶体とハロゲン含有物質を混合して、焼成し、解砕することによって製造する方法が記載されている。 Patent Document 4 describes that a halogen-containing magnesium oxide crystal added with 1 to 10,000 ppm of halogen is used as a priming particle emitting material for AC type PDP. Patent Document 4 describes that the halogen-containing magnesium oxide crystal preferably has an average particle size in the range of 0.05 to 20 μm. Patent Document 4 describes a method for producing a halogen-containing magnesium oxide crystal by mixing a magnesium oxide crystal and a halogen-containing substance, firing, and crushing.

特開２００６−５９７７９号公報JP 2006-59779 A 特開２００６−５９７８０号公報JP 2006-59780 A 特開２００８−６６１７６号公報JP 2008-66176 A 特開２００８−２８２６２３号公報JP 2008-282623 A

上記特許文献１及び２に開示されているように、ＡＣ型ＰＤＰの放電遅れを減少させるために、誘電体保護層を電子線に励起されて波長が２００〜３００ｎｍの範囲にピーク波長を有する紫外光を発光する酸化マグネシウム結晶体で形成することは有効である。一方、ＡＣ型ＰＤＰは前面板から可視光を取り出すため、誘電体保護層の材料として用いる酸化マグネシウム結晶体層は可視光透過性が高いことが望まれる。また蛍光体層を構成する蛍光体に混合する、もしくは蛍光体層の放電空間に接する側の表面に積層する層を形成する二次電子放出材として用いる酸化マグネシウム結晶体についても可視光透過性が高いことが望まれる。しかしながら、特許文献１〜３に記載されているカソード・ルミネッセンス発光を行うとされる酸化マグネシウム結晶体は、粒子径が２０００オングストローム（２００ｎｍ）以上と大きいため、可視光透過性が低いという問題がある。 As disclosed in Patent Documents 1 and 2 above, in order to reduce the discharge delay of the AC type PDP, the dielectric protective layer is excited by an electron beam and has a peak wavelength in the range of 200 to 300 nm. It is effective to form a magnesium oxide crystal that emits light. On the other hand, since AC type PDP extracts visible light from the front plate, it is desirable that the magnesium oxide crystal layer used as the material of the dielectric protective layer has high visible light transmittance. Further, the magnesium oxide crystal used as a secondary electron emission material mixed with the phosphor constituting the phosphor layer or forming a layer laminated on the surface of the phosphor layer on the side in contact with the discharge space also has visible light transmittance. High is desired. However, the magnesium oxide crystal described in Patent Documents 1 to 3 that emits cathode luminescence has a problem of low visible light transmittance because the particle diameter is as large as 2000 angstroms (200 nm) or more. .

一方、特許文献４には、平均粒子径が０．０５μｍ（５０ｎｍ）の微細なハロゲン含有酸化マグネシウム結晶体が記載されている。しかしながら、本発明者の検討によると、酸化マグネシウム結晶体とハロゲン含有物質との混合物を焼成すると、焼成時に酸化マグネシウム結晶体同士が焼結して、粗大な粒子が生成し易く、微細なハロゲン含有酸化マグネシウムの粉末は得られないことが判明した。 On the other hand, Patent Document 4 describes a fine halogen-containing magnesium oxide crystal having an average particle diameter of 0.05 μm (50 nm). However, according to the study of the present inventor, when a mixture of magnesium oxide crystals and a halogen-containing substance is fired, the magnesium oxide crystals are sintered with each other at the time of firing, so that coarse particles are easily generated, and a fine halogen-containing material is obtained. It has been found that magnesium oxide powder cannot be obtained.

従って、本発明の目的は、電子線に励起されると波長２００〜３００ｎｍの範囲にピーク波長を有する紫外光を発光する微細なハロゲン含有酸化マグネシウム粉末、及びその製造方法を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a fine halogen-containing magnesium oxide powder that emits ultraviolet light having a peak wavelength in a wavelength range of 200 to 300 nm when excited by an electron beam, and a method for producing the same.

本発明者は、マグネシウム蒸気１ｋｇに対して、フッ素や塩素などのハロゲンが０．０１〜５００ｇの範囲にて存在する気体雰囲気下で、マグネシウム蒸気と酸素含有気体とを接触させて、マグネシウムを酸化させる方法により、ハロゲンを０．００１〜１０質量％の範囲にて含有し、ＢＥＴ比表面積が３４〜３５０ｍ²／ｇの範囲、すなわちＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径が５ｎｍ以上で５０ｎｍ未満の微細なハロゲン含有酸化マグネシウム粉末を得ることができることを見出し、そして、そのハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末が電子線に励起されると波長２００〜３００ｎｍの範囲にピーク波長を有する紫外光を発光することを確認して本発明を完成した。 The present inventors oxidize magnesium by contacting magnesium vapor with an oxygen-containing gas in a gas atmosphere in which halogen such as fluorine and chlorine is present in a range of 0.01 to 500 g with respect to 1 kg of magnesium vapor. The halogen is contained in the range of 0.001 to 10% by mass and the BET specific surface area is in the range of 34 to 350 m ² / g, that is, the average particle size determined from the BET specific surface area is 5 nm or more and less than 50 nm. It has been found that a fine halogen-containing magnesium oxide powder can be obtained, and that when the halogen-containing magnesium oxide fine powder is excited by an electron beam, it emits ultraviolet light having a peak wavelength in the range of 200 to 300 nm. The present invention was completed after confirmation.

従って、本発明は、マグネシウム蒸気１ｋｇに対して、ハロゲンが０．０１〜５００ｇの範囲の量にて存在する気体雰囲気下で、マグネシウム蒸気と酸素含有気体とを接触させることを特徴とするハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末の製造方法にある。 Accordingly, the present invention is a halogen-containing product characterized by contacting magnesium vapor and an oxygen-containing gas in a gas atmosphere in which halogen is present in an amount in the range of 0.01 to 500 g with respect to 1 kg of magnesium vapor. It exists in the manufacturing method of a magnesium oxide fine powder.

上記本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末の製造方法において、ハロゲンは、フッ素及び塩素からなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンであることが好ましい。 In the above method for producing a halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention, the halogen is preferably at least one halogen selected from the group consisting of fluorine and chlorine.

本発明はまた、ハロゲンを０．００１〜１０質量％の範囲にて含有し、ＢＥＴ比表面積が３４〜３５０ｍ²／ｇの範囲にあるハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末にある。 The present invention also resides in a halogen-containing magnesium oxide fine powder containing halogen in the range of 0.001 to 10% by mass and having a BET specific surface area in the range of 34 to 350 m ² / g.

上記本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末の好ましい態様は次の通りである。
（１）ハロゲンがフッ素及び／又は塩素である。
（２）一次粒子の粒子形状が立方体である。
（３）電子線で励起されて波長２００〜３００ｎｍの範囲にピーク波長を有する紫外光を発光する。 Preferred embodiments of the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention are as follows.
(1) The halogen is fluorine and / or chlorine.
(2) The particle shape of the primary particles is a cube.
(3) Emits ultraviolet light having a peak wavelength in a wavelength range of 200 to 300 nm when excited by an electron beam.

本発明はまた、上記本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末からなる交流型プラズマディスプレイパネルの誘電体保護層にもある。 The present invention also resides in a dielectric protective layer for an AC type plasma display panel comprising the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention.

本発明はまた、上記本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末を含む交流型プラズマディスプレイパネルの蛍光体層にもある。 The present invention also resides in a phosphor layer of an alternating current plasma display panel containing the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention.

本発明はさらに、上記本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末からなる、交流型プラズマディスプレイパネルの蛍光体層の放電空間に接する側の表面に積層される二次電子放出層にもある。 The present invention also resides in a secondary electron emission layer formed on the surface of the phosphor layer of the AC type plasma display panel that is in contact with the discharge space, which is made of the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention.

本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末は、電子線に励起されて波長２００〜３００ｎｍの範囲にピーク波長を有する紫外光を発光するにもかかわらず、従来の電子線に励起されて波長２００〜３００ｎｍの範囲にピーク波長を有する紫外光を発光する酸化マグネシウム粉末と比較して、粒子径が小さく、可視光透過性が高い。このため、本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末を用いて形成した誘電体保護層を備えたＡＣ型ＰＤＰは、放電遅れなどの放電特性が向上すると共に、従来の酸化マグネシウム粉末を用いて形成した誘電体保護層を備えたＡＣ型ＰＤＰと比較して輝度が向上する。また、このような本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末を用いて形成した誘電体保護層を備えたＡＣ型ＰＤＰは、電子線に励起されて紫外光を発光する、従来の粒子径の大きい酸化マグネシウム粉末を用いて形成した誘電体保護層を備えたＡＣ型ＰＤＰよりも放電開始電圧を低下させることができる。また、本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末を蛍光体に混合して蛍光体層を形成したＡＣ型ＰＤＰや、蛍光体層の放電空間に接する側の表面に本発明の酸化マグネシウム微粉末からなる層を積層したＡＣ型ＰＤＰもまた、放電遅れなどの放電特性が向上すると共に、輝度が高くなる。 Although the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention emits ultraviolet light having a peak wavelength in the wavelength range of 200 to 300 nm when excited by an electron beam, it is excited by a conventional electron beam and has a wavelength of 200 to 300 nm. Compared with magnesium oxide powder that emits ultraviolet light having a peak wavelength in the range, the particle diameter is small and the visible light transmittance is high. For this reason, the AC type PDP provided with the dielectric protective layer formed using the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention has improved discharge characteristics such as discharge delay and is formed using the conventional magnesium oxide powder. The luminance is improved as compared with an AC type PDP provided with a dielectric protective layer. Further, the AC type PDP provided with the dielectric protective layer formed using the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention emits ultraviolet light when excited by an electron beam. The discharge start voltage can be lowered as compared with the AC type PDP having a dielectric protective layer formed using magnesium powder. Also, the AC type PDP in which the phosphor layer is formed by mixing the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention with a phosphor, or the surface of the phosphor layer on the side in contact with the discharge space is composed of the magnesium oxide fine powder of the present invention. The AC type PDP in which the layers are laminated also improves the discharge characteristics such as discharge delay and increases the luminance.

また、本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末の製造方法を利用することによって、上記のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末を工業的に有利に製造することが可能となる。 Moreover, by using the method for producing a halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention, the above-mentioned halogen-containing magnesium oxide fine powder can be produced industrially advantageously.

本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末の製造方法に有利に用いることができる酸化マグネシウム微粉末製造装置の一例の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of an example of the magnesium oxide fine powder manufacturing apparatus which can be advantageously used for the manufacturing method of the halogen-containing magnesium oxide fine powder of this invention. 実施例１で製造したフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルである。2 is an emission spectrum of ultraviolet light by electron beam excitation of the fluorine-containing magnesium oxide fine powder produced in Example 1.

本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末は、ハロゲンを０．００１〜１０質量％の範囲にて含有する。ハロゲンの含有量は、好ましくは０．０１〜１０質量％の範囲、より好ましくは０．０３〜５質量％の範囲、更に好ましくは０．０３〜３質量％の範囲、特に好ましくは０．１〜１質量％の範囲である。本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末に含まれるハロゲンは、フッ素、塩素、臭素及びヨウ素のうちのいずれか一種であってもよいし、二種以上であってもよい。ハロゲンはフッ素及び塩素であることが好ましく、フッ素であることが更に好ましい。 The halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention contains halogen in the range of 0.001 to 10% by mass. The halogen content is preferably in the range of 0.01 to 10% by mass, more preferably in the range of 0.03 to 5% by mass, still more preferably in the range of 0.03 to 3% by mass, particularly preferably 0.1. It is in the range of ˜1% by mass. The halogen contained in the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention may be any one of fluorine, chlorine, bromine and iodine, or may be two or more. Halogen is preferably fluorine and chlorine, more preferably fluorine.

本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末は、ＢＥＴ比表面積が３４ｍ²／ｇ以上、好ましくは３４〜３５０ｍ²／ｇの範囲、より好ましくは４８〜３５０ｍ²／ｇの範囲にあり、更に好ましくは５５〜３５０ｍ²／ｇの範囲にあり、ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径が５０ｎｍ未満、好ましくは５〜４９ｎｍの範囲、より好ましくは５〜３５ｎｍの範囲、更に好ましくは５〜３０ｎｍの範囲にある極めて微細な粉末である。 Halogen-containing magnesium oxide powder of the present invention, BET specific surface area of 34m ² / g or more, there preferably from 34~350m ² / g, more preferably in the range of 48~350m ² / g, more preferably 55 in the range of ~350m ² / g, an average particle diameter determined from BET specific surface area is less than 50 nm, preferably in the range of 5～49Nm, more preferably in the range of 5～35Nm, more preferably in the range of 5~30nm Very fine powder.

なお、平均粒子径は下記の式（Ｉ）を用いて算出した値である。
Ｄ＝Ａ／（Ｓ×ρ）・・・（Ｉ）
式（Ｉ）において、Ｄは平均粒子径であり、Ａは表面係数（＝６）であり、ＳはＢＥＴ比表面積であり、ρは酸化マグネシウムの真密度である。 The average particle diameter is a value calculated using the following formula (I).
D = A / (S × ρ) (I)
In the formula (I), D is the average particle diameter, A is the surface coefficient (= 6), S is the BET specific surface area, and ρ is the true density of magnesium oxide.

本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末は、電子線によって励起されて波長域２００〜３００ｎｍの範囲（好ましくは２３０〜２５０ｎｍの範囲、特に２４０ｎｍ付近）にピーク波長を有する紫外光を発光する特性を有する。本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末は、分散状態の一次粒子からなることが好ましい。一次粒子の粒子形状は立方体であることが好ましい。 The halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention has a characteristic of emitting ultraviolet light having a peak wavelength in a wavelength range of 200 to 300 nm (preferably 230 to 250 nm, particularly around 240 nm) when excited by an electron beam. . The halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention is preferably composed of dispersed primary particles. The particle shape of the primary particles is preferably a cube.

次に、本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末の製造方法について説明する。本発明では、マグネシウム蒸気１ｋｇに対して、ハロゲンが０．０１〜５００ｇの範囲の量、好ましくは０．１〜５００ｇの範囲となる量にて存在する気体雰囲気下で、マグネシウム蒸気と酸素含有気体とを接触させることによりハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末を製造する。具体的には、ハロゲン含有気体をハロゲンの量が上記の範囲となるように供給しながら、マグネシウム蒸気と酸素含有気体とを接触させることによりハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末を製造する。以下、本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末の製造方法を添付図面を参照しながら説明する。 Next, the manufacturing method of the halogen containing magnesium oxide fine powder of this invention is demonstrated. In the present invention, magnesium vapor and oxygen-containing gas are present in a gas atmosphere in which halogen is present in an amount in the range of 0.01 to 500 g, preferably 0.1 to 500 g, per 1 kg of magnesium vapor. To produce a halogen-containing magnesium oxide fine powder. Specifically, a halogen-containing magnesium oxide fine powder is produced by bringing magnesium vapor into contact with an oxygen-containing gas while supplying the halogen-containing gas so that the amount of halogen falls within the above range. Hereinafter, a method for producing a halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図１は、本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末の製造方法に有利に用いることができる酸化マグネシウム微粉末製造装置の一例の構成図である。 FIG. 1 is a configuration diagram of an example of a magnesium oxide fine powder production apparatus that can be advantageously used in the method for producing a halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention.

図１において、酸化マグネシウム微粉末製造装置は、上部にマグネシウム蒸気吹き出し口１１を備え、側部に金属マグネシウム投入口１２と希釈ガス導入口１３とを備えた金属マグネシウム溶融蒸発器１０、及び下部にてマグネシウム蒸気吹き出し口１１と連結し、側部に酸素含有気体噴射口１５を備え、上部に酸化マグネシウム微粉末取出し口１６を備えたマグネシウム酸化装置１４からなる。希釈ガス導入口１３から導入される希釈ガスの例としては、ヘリウムガス、ネオンガス、アルゴンガス、クリプトンガス、キセノンガス、及びラドンガスを挙げることができる。酸素含有気体噴射口１５から導入される酸素含有気体の例としては、酸素及び空気を挙げることができる。 In FIG. 1, a magnesium oxide fine powder production apparatus is provided with a magnesium vapor blowing port 11 at the top, a metal magnesium melting evaporator 10 with a metal magnesium inlet 12 and a dilution gas inlet 13 at the side, and a lower portion. And a magnesium oxidizer 14 which is connected to the magnesium vapor outlet 11, has an oxygen-containing gas injection port 15 on the side, and has a magnesium oxide fine powder outlet 16 on the top. Examples of the diluent gas introduced from the diluent gas inlet 13 include helium gas, neon gas, argon gas, krypton gas, xenon gas, and radon gas. Examples of the oxygen-containing gas introduced from the oxygen-containing gas injection port 15 include oxygen and air.

図１の酸化マグネシウム微粉末製造装置において、金属マグネシウム投入口１２から投入された金属マグネシウムは、金属マグネシウム溶融蒸発器１０にて加熱されて溶融し、生成した溶融マグネシウム１はさらに加熱され、マグネシウム蒸気が生成する。生成したマグネシウム蒸気は、希釈ガス導入口１３から導入された希釈ガスと共に、マグネシウム蒸気吹き出し口１１を通って、マグネシウム酸化装置１４に導入される。マグネシウム酸化装置１４内には、ハロゲンが上記の範囲の量にて存在するようにハロゲン含有気体が導入されていて、マグネシウム蒸気と酸素含有気体噴射口１５から導入された酸素含有気体とはハロゲンが存在する気体雰囲気下にて接触し、マグネシウムはハロゲンを取り込みながら酸化されて、ハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末２が生成する。生成するハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末のＢＥＴ比表面積、すなわち粒子径は、マグネシウム蒸気吹き出し口１１の断面積、マグネシウム酸化装置１４へのマグネシウム蒸気や酸素含有気体の導入量、マグネシウム酸化装置１４内でのマグネシウム蒸気と酸素含有気体の接触位置を変えることにより任意に制御することができる。マグネシウム酸化装置１４内にて生成したハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末２は、酸化マグネシウム微粉末取出し口１６を通って、熱交換器（図示せず）などにより冷却させたのち、回収・貯蔵される。得られたハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末は、活性が高く、貯蔵中に空気中の二酸化炭素や水分を吸着することがあるため、出荷前に５００〜１１００℃の温度で再焼成してもよい。 In the magnesium oxide fine powder production apparatus of FIG. 1, the metal magnesium charged from the metal magnesium inlet 12 is heated and melted by the metal magnesium melting evaporator 10, and the generated molten magnesium 1 is further heated to produce magnesium vapor. Produces. The produced magnesium vapor is introduced into the magnesium oxidizer 14 through the magnesium vapor outlet 11 together with the diluent gas introduced from the diluent gas inlet 13. A halogen-containing gas is introduced into the magnesium oxidizer 14 so that the halogen is present in an amount in the above range, and the oxygen-containing gas introduced from the magnesium vapor and the oxygen-containing gas injection port 15 is halogen. Contacting in the existing gas atmosphere, the magnesium is oxidized while taking in the halogen, and the halogen-containing magnesium oxide fine powder 2 is produced. The BET specific surface area of the halogen-containing magnesium oxide fine powder to be produced, that is, the particle size, is the cross-sectional area of the magnesium vapor outlet 11, the amount of magnesium vapor or oxygen-containing gas introduced into the magnesium oxidizer 14, and the magnesium oxidizer 14. It can be arbitrarily controlled by changing the contact position between the magnesium vapor and the oxygen-containing gas. The halogen-containing magnesium oxide fine powder 2 produced in the magnesium oxidizer 14 passes through the magnesium oxide fine powder outlet 16 and is cooled by a heat exchanger (not shown) or the like, and then collected and stored. The obtained halogen-containing magnesium oxide fine powder has high activity and may adsorb carbon dioxide and moisture in the air during storage. Therefore, it may be refired at a temperature of 500 to 1100 ° C. before shipment.

マグネシウム酸化装置１４にハロゲン含有気体を導入する方法としては、希釈ガス導入口１３にハロゲン含有気体を供給して、ハロゲン含有気体をマグネシウム蒸気や希釈ガスと共にマグネシウム酸化装置１４に導入する方法、酸素含有気体噴射口１５にハロゲン含有気体を供給して、ハロゲン含有気体を酸素含有気体と共にマグネシウム酸化装置１４に導入する方法、マグネシウム酸化装置１４にハロゲン含有気体導入口を設けて、ハロゲン含有気体単独でマグネシウム酸化装置に導入する方法のいずれかの方法を用いることができる。 As a method of introducing a halogen-containing gas into the magnesium oxidizer 14, a method of supplying a halogen-containing gas to the dilution gas inlet 13 and introducing the halogen-containing gas into the magnesium oxidizer 14 together with magnesium vapor or a diluent gas, A method of supplying a halogen-containing gas to the gas injection port 15 and introducing the halogen-containing gas into the magnesium oxidizer 14 together with the oxygen-containing gas, and providing a halogen-containing gas inlet in the magnesium oxidizer 14 so that the halogen-containing gas alone is magnesium. Any method of introducing into the oxidizer can be used.

マグネシウム酸化装置１４に導入するハロゲン含有気体は、ハロゲン（フッ素、塩素、臭素、ヨウ素）を一種もしくは二種以上含む気体である。ハロゲン含有気体はフッ素及び／又は塩素を含有する気体であることが好ましく、フッ素含有気体であることが更に好ましい。 The halogen-containing gas introduced into the magnesium oxidizer 14 is a gas containing one or more of halogens (fluorine, chlorine, bromine, iodine). The halogen-containing gas is preferably a gas containing fluorine and / or chlorine, and more preferably a fluorine-containing gas.

フッ素含有気体の例としては、フッ化水素、三フッ化窒素、六フッ化硫黄、フッ化スルフリル、フッ化アンモニウム、ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）、パーフルオロカーボン（ＰＦＣ）、ハイドロフルオロエーテル、パーフルオロケトンなど、常温で気体のフッ素含有化合物や、常温で液体もしくは固体のフッ素含有化合物を加熱により気化もしくは熱分解させて生成させた気体を挙げることができる。 Examples of fluorine-containing gases include hydrogen fluoride, nitrogen trifluoride, sulfur hexafluoride, sulfuryl fluoride, ammonium fluoride, hydrofluorocarbon (HFC), perfluorocarbon (PFC), hydrofluoroether, perfluoroketone, etc. Fluorine-containing compounds that are gaseous at room temperature and gases that are generated by vaporizing or thermally decomposing a fluorine-containing compound that is liquid or solid at room temperature by heating.

ハイドロフルオロカーボンの具体例としては、ジフルオロメタン、ジフルオロエタン、１，１，１，２−テトラフルオロエタン、ペンタフルオロエタン、ヘプタフルオロプロパン、ジヒドロデカフルオロペンタンなどを挙げることができる。パーフルオロカーボンの具体例としては、パーフルオロメタン、パーフルオロエタンなどを挙げることができる。ハイドロフルオロエーテルの具体例としては、メトキシ−１，１，１，２，２−テトラフルオロエタン、メトキシ−ノナフルオロブタン、エトキシ−ノナフルオロブタンなどを挙げることができる。パーフルオロケトンの具体例としては、ペンタフルオロエチル−ヘプタオロプロピルケトンなどを挙げることができる。 Specific examples of the hydrofluorocarbon include difluoromethane, difluoroethane, 1,1,1,2-tetrafluoroethane, pentafluoroethane, heptafluoropropane, dihydrodecafluoropentane and the like. Specific examples of perfluorocarbon include perfluoromethane and perfluoroethane. Specific examples of the hydrofluoroether include methoxy-1,1,1,2,2-tetrafluoroethane, methoxy-nonafluorobutane, ethoxy-nonafluorobutane and the like. Specific examples of perfluoroketone include pentafluoroethyl-heptapropylpropylketone.

塩素含有気体の例としては、塩素等の常温で気体の塩素含有化合物、塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、１，１，１−トリクロロエタン、１，１，２−トリクロロエタン、テトラクロロエチレン、塩化チオニル、塩化スルフリル等の常温で液体もしくは固体の塩素含有化合物を加熱もしくは熱分解させて生成させた気体などを挙げることができる。 Examples of chlorine-containing gases include gaseous chlorine-containing compounds such as chlorine, methylene chloride, chloroform, carbon tetrachloride, 1,1,1-trichloroethane, 1,1,2-trichloroethane, tetrachloroethylene, thionyl chloride, chloride Examples thereof include a gas generated by heating or thermal decomposition of a liquid or solid chlorine-containing compound such as sulfuryl at room temperature.

フッ素と塩素とを含有する気体の例としては、ジクロロフルオロメタン等のクロロフルオロカーボンやクロロペンタフルオロエタン等のハイドロクロロフルオロカーボンを挙げることができる。 Examples of the gas containing fluorine and chlorine include chlorofluorocarbons such as dichlorofluoromethane and hydrochlorofluorocarbons such as chloropentafluoroethane.

本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末は、ＡＣ型ＰＤＰの誘電体保護層の形成用材料、ＡＣ型ＰＤＰの蛍光層を構成する蛍光体に混合する二次電子放出材、ＡＣ型ＰＤＰの蛍光体層の放電空間に接する側の表面に積層する二次電子放出層の形成用材料として用いることができる。 The halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention includes a material for forming a dielectric protective layer of an AC type PDP, a secondary electron emission material mixed with the phosphor constituting the fluorescent layer of the AC type PDP, and an AC type PDP phosphor. It can be used as a material for forming a secondary electron emission layer laminated on the surface of the layer in contact with the discharge space.

本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末からなる誘電体保護層は、ハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末を分散媒体に分散させた分散液を誘電体層の上に塗布して、乾燥することによって形成することができる。分散液の分散媒体には、エタノールやイソプロピルアルコールなどのアルコールを用いることができる。 The dielectric protective layer comprising the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention is formed by applying a dispersion liquid in which the halogen-containing magnesium oxide fine powder is dispersed in a dispersion medium and then drying it. Can do. Alcohols such as ethanol and isopropyl alcohol can be used as a dispersion medium for the dispersion.

誘電体保護層は、二層以上であってもよい。例えば、誘電体層の上に電子ビーム蒸着法により酸化マグネシウム層を形成し、その酸化マグネシウム層の上に本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末からなる層を形成してもよい。 Two or more dielectric protective layers may be provided. For example, a magnesium oxide layer may be formed on the dielectric layer by electron beam evaporation, and a layer made of the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention may be formed on the magnesium oxide layer.

本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末を含む蛍光体層は、ハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末と蛍光体粉末とを分散媒体に分散させた分散液を、ＡＣ型ＰＤＰの背面板の上に塗布し、乾燥することによって形成することができる。 The phosphor layer containing the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention is obtained by applying a dispersion liquid in which a halogen-containing magnesium oxide fine powder and a phosphor powder are dispersed in a dispersion medium on the back plate of the AC type PDP, It can be formed by drying.

本発明のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末からなる二次電子放出層は、ハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末と蛍光体粉末とを分散媒体に分散させた分散液を、ＡＣ型ＰＤＰの蛍光体層の上に塗布し、乾燥することによって形成することができる。 The secondary electron emission layer comprising the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention is obtained by dispersing a dispersion liquid in which a halogen-containing magnesium oxide fine powder and a phosphor powder are dispersed in a dispersion medium on the AC-type PDP phosphor layer. It can be formed by applying and drying.

［実施例１］
図１の酸化マグネシウム微粉末製造装置の金属マグネシウム溶融蒸発器１０に、金属マグネシウム投入口１２から金属マグネシウムを投入した。次いで、希釈ガス導入口１３にアルゴンを導入しながら、金属マグネシウムを加熱し、溶融させた。溶融マグネシウムをさらに１１７０℃の温度で加熱し、マグネシウム蒸気を１．０１ｋｇ／時間の生成速度で生成させた。マグネシウム蒸気が生成した後、希釈ガス導入口１３にアルゴンを３０００ＮＬ／時間の流量で、１，１，１，２−テトラフルオロエタン（ＨＦＣ−１３４ａ）を０．６４ＮＬ／時間（マグネシウム蒸気１ｋｇ／時間に対するフッ素量として２．０ｇ／時間）の流量で導入し、マグネシウム蒸気とアルゴンと１，１，１，２−テトラフルオロエタンとの混合気体として、マグネシウム酸化装置１４に導入した。次いで、酸素含有気体噴射口１５から空気を２５Ｎｍ³／時間の流量にて導入して、酸素含有気体とマグネシウム蒸気とを接触させ、マグネシウムを酸化させてフッ素含有酸化マグネシウム微粉末を製造した。得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の粒子形状を電子顕微鏡を用いて観察したところ、一次粒子は立方体であることが確認された。 [Example 1]
Metal magnesium was charged from a metal magnesium inlet 12 into the metal magnesium melting evaporator 10 of the magnesium oxide fine powder production apparatus of FIG. Next, the magnesium metal was heated and melted while introducing argon into the dilution gas inlet 13. The molten magnesium was further heated at a temperature of 1170 ° C. to produce magnesium vapor at a production rate of 1.01 kg / hour. After the magnesium vapor is generated, argon is supplied to the dilution gas inlet 13 at a flow rate of 3000 NL / hour and 1,1,1,2-tetrafluoroethane (HFC-134a) is 0.64 NL / hour (magnesium vapor 1 kg / hour). Was introduced at a flow rate of 2.0 g / hour as the amount of fluorine to the magnesium oxidizer 14 as a mixed gas of magnesium vapor, argon and 1,1,1,2-tetrafluoroethane. Next, air was introduced from the oxygen-containing gas injection port 15 at a flow rate of 25 Nm ³ / hour, the oxygen-containing gas and magnesium vapor were brought into contact with each other, and magnesium was oxidized to produce a fluorine-containing magnesium oxide fine powder. When the particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were cubic.

得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末のフッ素含有量（ランタンアリザリンコンプレキソン吸光度法による）は０．１５質量％であり、ＢＥＴ比表面積（窒素吸着法による）は３５．８ｍ²／ｇ（ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径は４７ｎｍ）であった。また、得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルをカソード・ルミネッセンス測定装置により測定したところ、図２に示すような発光スペクトルが得られ、電子線励起により波長２４０ｎｍ付近にピークを有する紫外光を発光することが確認された。紫外光の発光強度の最大値は１３３００ａｒｂ．ｕｎｉｔであった。 The obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder has a fluorine content (by lanthanum alizarin complexone absorbance method) of 0.15% by mass and a BET specific surface area (by nitrogen adsorption method) of 35.8 m ² / g (BET ratio). The average particle size determined from the surface area was 47 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured with the cathode luminescence measuring device, the emission spectrum as shown in FIG. 2 was obtained, and the wavelength was 240 nm by the electron beam excitation. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak in the vicinity. The maximum value of the emission intensity of ultraviolet light is 13300 arb. It was unit.

［実施例２］
１，１，１，２−テトラフルオロエタンガスの流量を、３．８４ＮＬ／時間（マグネシウム蒸気１ｋｇ／時間に対するフッ素量として１３．６ｇ／時間）としたこと以外は、実施例１と同様にしてフッ素含有酸化マグネシウム微粉末を製造した。得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の粒子形状を電子顕微鏡を用いて観察したところ、一次粒子は立方体であることが確認された。 [Example 2]
Except that the flow rate of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas was 3.84 NL / hour (13.6 g / hour as the amount of fluorine with respect to 1 kg / hour of magnesium vapor), the same as in Example 1. Fluorine-containing magnesium oxide fine powder was produced. When the particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were cubic.

得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末のフッ素含有量は０．３０質量％であり、ＢＥＴ比表面積は３４．９ｍ²／ｇ（ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径は４８ｎｍ）であった。また、得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルを実施例１と同様に測定したところ、図２と同様の発光スペクトルが得られ、電子線励起により波長２４０ｎｍの付近にピークを有する紫外光を発光することが確認された。紫外光の発光強度の最大値は２５７１０ａｒｂ．ｕｎｉｔであった。 The obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder had a fluorine content of 0.30% by mass and a BET specific surface area of 34.9 m ² / g (the average particle diameter determined from the BET specific surface area was 48 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured similarly to Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and a wavelength of 240 nm was obtained by electron beam excitation. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak in the vicinity. The maximum value of the emission intensity of ultraviolet light is 25710 arb. It was unit.

［実施例３］
１，１，１，２−テトラフルオロエタンガスの代わりに六フッ化硫黄ガスを１．６８ＮＬ／時間（マグネシウム蒸気１ｋｇ／時間に対するフッ素量として８．５ｇ／時間）の流量で蒸発鍋に導入したこと以外は、実施例１と同様にしてフッ素含有酸化マグネシウム微粉末を製造した。得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の粒子形状を電子顕微鏡を用いて観察したところ、一次粒子は立方体であることが確認された。 [Example 3]
Instead of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas, sulfur hexafluoride gas was introduced into the evaporation pan at a flow rate of 1.68 NL / hour (8.5 g / hour as the amount of fluorine with respect to 1 kg / hour of magnesium vapor). Except for this, a fluorine-containing magnesium oxide fine powder was produced in the same manner as in Example 1. When the particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were cubic.

得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末のフッ素含有量は０．２２質量％であり、ＢＥＴ比表面積は３７．８ｍ²／ｇ（ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径は４４ｎｍ）であった。また、得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルを実施例１と同様に測定したところ、図２と同様の発光スペクトルが得られ、電子線励起により波長２４０ｎｍの付近にピークを有する紫外光を発光することが確認された。紫外光の発光強度の最大値は４９２０ａｒｂ．ｕｎｉｔであった。 The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.22% by mass, and the BET specific surface area was 37.8 m ² / g (the average particle diameter determined from the BET specific surface area was 44 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured similarly to Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and a wavelength of 240 nm was obtained by electron beam excitation. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak in the vicinity. The maximum value of the emission intensity of ultraviolet light is 4920 arb. It was unit.

［実施例４］
六フッ化硫黄ガスの流量を５．５５ＮＬ／時間（マグネシウム蒸気１ｋｇ／時間に対するフッ素量として２８．８ｇ／時間）としたこと以外は、実施例３と同様にしてフッ素含有酸化マグネシウム微粉末を製造した。得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の粒子形状を電子顕微鏡を用いて観察したところ、一次粒子は立方体であることが確認された。 [Example 4]
Fluorine-containing magnesium oxide fine powder is produced in the same manner as in Example 3 except that the flow rate of sulfur hexafluoride gas is 5.55 NL / hour (28.8 g / hour as the amount of fluorine with respect to 1 kg / hour of magnesium vapor). did. When the particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were cubic.

得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末のフッ素含有量は０．６０質量％であり、ＢＥＴ比表面積は３５．４ｍ²／ｇ（ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径は４７ｎｍ）であった。また、得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルを実施例１と同様に測定したところ、図２と同様の発光スペクトルが得られ、電子線励起により波長２４０ｎｍの付近にピークを有する紫外光を発光することが確認された。紫外光の発光強度の最大値は１２９２０ａｒｂ．ｕｎｉｔであった。 The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.60% by mass, and the BET specific surface area was 35.4 m ² / g (the average particle diameter determined from the BET specific surface area was 47 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured similarly to Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and a wavelength of 240 nm was obtained by electron beam excitation. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak in the vicinity. The maximum value of the emission intensity of ultraviolet light is 12920 arb. It was unit.

［実施例５］
溶融マグネシウムの加熱温度を１１３０℃（マグネシウム蒸気の生成速度として０．２８ｋｇ／時間）にし、１，１，１，２−テトラフルオロエタンガスの流量を０．６４ＮＬ時間（マグネシウム蒸気１ｋｇ／時間に対するフッ素量として７．６ｇ／時間）としたこと以外は、実施例１と同様にしてフッ素含有酸化マグネシウム微粉末を製造した。得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の粒子形状を電子顕微鏡を用いて観察したところ、一次粒子は立方体であることが確認された。 [Example 5]
The heating temperature of the molten magnesium is 1130 ° C. (magnesium vapor generation rate is 0.28 kg / hour), and the flow rate of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas is 0.64 NL hours (fluorine relative to 1 kg / hour of magnesium vapor). A fluorine-containing magnesium oxide fine powder was produced in the same manner as in Example 1 except that the amount was 7.6 g / hour. When the particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were cubic.

得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末のフッ素含有量は０．２５質量％であり、ＢＥＴ比表面積は８６．４ｍ²／ｇ（ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径１９ｎｍ）であった。また、得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルを実施例１と同様に測定したところ、図２と同様の発光スペクトルが得られ、電子線励起により波長２４０ｎｍ付近にピークを有する紫外光を発光することが確認された。この紫外光の発光強度の最大値は６１００ａｒｂ．ｕｎｉｔであった。 The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.25% by mass, and the BET specific surface area was 86.4 m ² / g (average particle diameter determined from the BET specific surface area of 19 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured like Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and the wavelength vicinity of 240 nm was obtained by electron beam excitation. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak. The maximum value of the emission intensity of the ultraviolet light is 6100 arb. It was unit.

［比較例１］
１，１，１，２−テトラフルオロエタンガスを希釈ガス導入口に導入しなかったこと以外は、実施例１と同様にして酸化マグネシウム微粉末を製造した。得られた酸化マグネシウム微粉末の粒子形状を電子顕微鏡を用いて観察したところ、一次粒子は立方体であることが確認された。 [Comparative Example 1]
Magnesium oxide fine powder was produced in the same manner as in Example 1 except that 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas was not introduced into the dilution gas inlet. When the particle shape of the obtained magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were cubic.

得られた酸化マグネシウム微粉末のＢＥＴ比表面積は３５．３ｍ²／ｇ（ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径は４７ｎｍ）であった。また、得られた酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルを実施例１と同様に測定したところ、波長２００〜３００ｎｍの範囲にピークを有する紫外光の発光は見られなかった。 The obtained magnesium oxide fine powder had a BET specific surface area of 35.3 m ² / g (the average particle diameter determined from the BET specific surface area was 47 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained magnesium oxide fine powder was measured similarly to Example 1, the emission of the ultraviolet light which has a peak in the wavelength range of 200-300 nm was not seen.

［実施例６］
アルゴンガスの流量を６０００ＮＬ／時間としたこと以外は、実施例５と同様にしてフッ素含有酸化マグネシウム微粉末を製造した。得られたフッ素含有酸化マグネシウム粉末の粒子形状を電子顕微鏡を用いて観察したところ、一次粒子は立方体であることが確認された。 [Example 6]
A fluorine-containing magnesium oxide fine powder was produced in the same manner as in Example 5 except that the flow rate of the argon gas was 6000 NL / hour. When the particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide powder was observed using an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were cubic.

得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末のフッ素含有量は０．２３質量％であり、ＢＥＴ比表面積は１５５．２ｍ²／ｇ（ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径は１１ｎｍ）であった。また、得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルを実施例１と同様に測定したところ、図２と同様の発光スペクトルが得られ、電子線励起により波長２４０ｎｍの付近にピークを有する紫外光を発光することが確認された。紫外光の発光強度の最大値は５２５０ａｒｂ．ｕｎｉｔであった。 The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.23% by mass, and the BET specific surface area was 155.2 m ² / g (the average particle diameter determined from the BET specific surface area was 11 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured similarly to Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and a wavelength of 240 nm was obtained by electron beam excitation. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak in the vicinity. The maximum value of the emission intensity of ultraviolet light is 5250 arb. It was unit.

［実施例７］
１，１，１，２−テトラフルオロエタンガスの流量を０．０６ＮＬ／時間（マグネシウム蒸気１ｋｇ／時間に対するフッ素量として０．７３ｇ／時間）としたこと以外は、実施例６と同様にしてフッ素含有酸化マグネシウム微粉末を製造した。得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の粒子形状を電子顕微鏡を用いて観察したところ、一次粒子は立方体であることが確認された。 [Example 7]
Fluorine in the same manner as in Example 6 except that the flow rate of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas was 0.06 NL / hour (0.73 g / hour as the amount of fluorine with respect to 1 kg / hour of magnesium vapor). A magnesium oxide fine powder was produced. When the particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were cubic.

得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末のフッ素含有量は０．０１５質量％であり、ＢＥＴ比表面積は１４４．８ｍ²／ｇ（ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径は１２ｎｍ）であった。また、得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルを実施例１と同様に測定したところ、図２と同様の発光スペクトルが得られ、電子線励起により波長２４０ｎｍの付近にピークを有する紫外光を発光することが確認された。紫外光の発光強度の最大値は８９０ａｒｂ．ｕｎｉｔであった。 The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.015% by mass, and the BET specific surface area was 144.8 m ² / g (the average particle diameter determined from the BET specific surface area was 12 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured similarly to Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and a wavelength of 240 nm was obtained by electron beam excitation. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak in the vicinity. The maximum value of the emission intensity of ultraviolet light is 890 arb. It was unit.

［実施例８］
１，１，１，２−テトラフルオロエタンガスの流量を０．０２ＮＬ／時間（マグネシウム蒸気１ｋｇ／時間に対するフッ素量として０．２４ｇ／時間）としたこと以外は、実施例６と同様にしてフッ素含有酸化マグネシウム微粉末を製造した。得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の粒子形状を電子顕微鏡を用いて観察したところ、一次粒子は立方体であることが確認された。 [Example 8]
Fluorine as in Example 6 except that the flow rate of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas was 0.02 NL / hr (0.24 g / hr as the amount of fluorine with respect to 1 kg / hr of magnesium vapor). A magnesium oxide fine powder was produced. When the particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were cubic.

得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末のフッ素含有量は０．００５質量％であり、ＢＥＴ比表面積は１４６．０ｍ²／ｇ（ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径は１１ｎｍ）であった。また、得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルを実施例１と同様に測定したところ、図２と同様の発光スペクトルが得られ、電子線励起により波長２４０ｎｍの付近にピークを有する紫外光を発光することが確認された。紫外光の発光強度の最大値は２２０ａｒｂ．ｕｎｉｔであった。 The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.005% by mass, and the BET specific surface area was 146.0 m ² / g (the average particle diameter determined from the BET specific surface area was 11 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured similarly to Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and a wavelength of 240 nm was obtained by electron beam excitation. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak in the vicinity. The maximum value of the emission intensity of ultraviolet light is 220 arb. It was unit.

［実施例９］
１，１，１，２−テトラフルオロエタンガスの流量を０．０１ＮＬ／時間（マグネシウム蒸気１ｋｇ／時間に対するフッ素量として０．１２ｇ／時間）としたこと以外は、実施例５と同様にしてフッ素含有酸化マグネシウム微粉末を製造した。得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の粒子形状を電子顕微鏡を用いて観察したところ、一次粒子は立方体であることが確認された。 [Example 9]
Fluorine in the same manner as in Example 5 except that the flow rate of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas was 0.01 NL / hour (0.12 g / hour as the amount of fluorine with respect to 1 kg / hour of magnesium vapor). A magnesium oxide fine powder was produced. When the particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were cubic.

得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末のフッ素含有量は０．００２質量％であり、ＢＥＴ比表面積は８１．６ｍ²／ｇ（ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径は２１ｎｍ）であった。また、得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルを実施例１と同様に測定したところ、図２と同様の発光スペクトルが得られ、電子線励起により波長２４０ｎｍの付近にピークを有する紫外光を発光することが確認された。紫外光の発光強度の最大値は２１０ａｒｂ．ｕｎｉｔであった。 The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.002% by mass, and the BET specific surface area was 81.6 m ² / g (the average particle diameter determined from the BET specific surface area was 21 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured similarly to Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and a wavelength of 240 nm was obtained by electron beam excitation. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak in the vicinity. The maximum value of the emission intensity of ultraviolet light is 210 arb. It was unit.

［実施例１０］
１，１，１，２−テトラフルオロエタンガスの流量を０．０６ＮＬ／時間（マグネシウム蒸気１ｋｇ／時間に対するフッ素量として０．７３ｇ／時間）としたこと以外は、実施例５と同様にしてフッ素含有酸化マグネシウム微粉末を製造した。得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の粒子形状を電子顕微鏡を用いて観察したところ、一次粒子は立方体であることが確認された。 [Example 10]
Fluorine in the same manner as in Example 5 except that the flow rate of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas was 0.06 NL / hour (0.73 g / hour as the amount of fluorine with respect to 1 kg / hour of magnesium vapor). A magnesium oxide fine powder was produced. When the particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were cubic.

得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末のフッ素含有量は０．０２質量％であり、ＢＥＴ比表面積は７８．２ｍ²／ｇ（ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径は２１ｎｍ）であった。また、得られたフッ素含有酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルを実施例１と同様に測定したところ、図２と同様に電子線励起により波長２４０ｎｍの付近にピークを有する紫外光を発光することが確認された。紫外光の発光強度の最大値は１６１０ａｒｂ．ｕｎｉｔであった。 The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.02% by mass, and the BET specific surface area was 78.2 m ² / g (the average particle diameter determined from the BET specific surface area was 21 nm). Further, when the emission spectrum of ultraviolet light by electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured in the same manner as in Example 1, ultraviolet light having a peak in the vicinity of a wavelength of 240 nm by electron beam excitation as in FIG. It was confirmed to emit light. The maximum value of the emission intensity of ultraviolet light is 1610 arb. It was unit.

［実施例１１］
１，１，１，２−テトラフルオロエタンガスに代えて四塩化炭素ガスを０．６４ＮＬ／時間（マグネシウム蒸気１ｋｇ／時間に対する塩素量として４．０１ｇ／時間）の流量で導入したこと以外は、実施例１と同様にして塩素含有酸化マグネシウム微粉末を製造した。得られた塩素含有酸化マグネシウム微粉末の粒子形状を電子顕微鏡を用いて観察したところ、一次粒子は立方体であることが確認された。 [Example 11]
Except that carbon tetrachloride gas was introduced instead of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas at a flow rate of 0.64 NL / hour (4.01 g / hour as chlorine amount with respect to 1 kg / hour of magnesium vapor), In the same manner as in Example 1, chlorine-containing magnesium oxide fine powder was produced. When the particle shape of the obtained chlorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were cubic.

得られた塩素含有酸化マグネシウム微粉末の塩素含有量は０．０５質量％であり、ＢＥＴ比表面積は３６．１ｍ²／ｇ（ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径は４６ｎｍ）であった。また、得られた塩素含有酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルを実施例１と同様に測定したところ、図２と同様に電子線励起により波長２４０ｎｍの付近にピークを有する紫外光を発光することが確認された。紫外光の発光強度の最大値は３８４０ａｒｂ．ｕｎｉｔであった。なお、塩素含有量はイオンクロマトグラフィーにより測定した。 The chlorine content of the obtained chlorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.05% by mass, and the BET specific surface area was 36.1 m ² / g (the average particle diameter determined from the BET specific surface area was 46 nm). Further, when the emission spectrum of ultraviolet light by electron beam excitation of the obtained chlorine-containing magnesium oxide fine powder was measured in the same manner as in Example 1, ultraviolet light having a peak in the vicinity of a wavelength of 240 nm by electron beam excitation as in FIG. It was confirmed to emit light. The maximum value of the emission intensity of ultraviolet light is 3840 arb. It was unit. The chlorine content was measured by ion chromatography.

［実施例１２］
溶融マグネシウムの加熱温度を１１３０℃、マグネシウム蒸気供給量を０．２８ｋｇ／時間とし、四塩化炭素ガスの流量を０．０２ＮＬ／時間（マグネシウム蒸気１ｋｇ／時間に対する塩素量として０．４５ｇ／時間）としたこと以外は、実施例１１と同様にして塩素含有酸化マグネシウム微粉末を製造した。得られた塩素含有酸化マグネシウム微粉末の粒子形状を電子顕微鏡を用いて観察したところ、一次粒子は立方体であることが確認された。 [Example 12]
The heating temperature of the molten magnesium is 1130 ° C., the magnesium vapor supply rate is 0.28 kg / hour, and the flow rate of carbon tetrachloride gas is 0.02 NL / hour (0.45 g / hour as the amount of chlorine for 1 kg / hour of magnesium vapor). A chlorine-containing magnesium oxide fine powder was produced in the same manner as in Example 11 except that. When the particle shape of the obtained chlorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were cubic.

得られた塩素含有酸化マグネシウム微粉末の塩素含有量は０．００１質量％であり、ＢＥＴ比表面積は８８．０ｍ²／ｇ（ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径は１９ｎｍ）であった。また、得られた塩素含有酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルを実施例１と同様に測定したところ、図２と同様の発光スペクトルが得られ、電子線励起により波長２４０ｎｍの付近にピークを有する紫外光を発光することが確認された。紫外光の発光強度の最大値は１１０ａｒｂ．ｕｎｉｔであった。 The chlorine content of the obtained chlorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.001% by mass, and the BET specific surface area was 88.0 m ² / g (the average particle diameter determined from the BET specific surface area was 19 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained chlorine containing magnesium oxide fine powder was measured similarly to Example 1, the same emission spectrum as FIG. 2 was obtained, and a wavelength of 240 nm was obtained by electron beam excitation. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak in the vicinity. The maximum value of the emission intensity of ultraviolet light is 110 arb. It was unit.

［実施例１３］
１，１，１，２−テトラフルオロエタンガスに代えて、ジクロロフルオロメタンガスを０．６４ＮＬ／時間（マグネシウム蒸気１ｋｇ／時間に対するフッ素量として１．９４ｇ／時間、塩素量として３．６２ｇ／時間）の流量で導入したこと以外は、実施例５と同様にしてフッ素・塩素含有酸化マグネシウム微粉末を製造した。得られたフッ素・塩素含有酸化マグネシウム微粉末の粒子形状を電子顕微鏡を用いて観察したところ、一次粒子は立方体であることが確認された。 [Example 13]
Instead of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas, dichlorofluoromethane gas is 0.64 NL / hour (fluorine amount is 1.94 g / hour and chlorine amount is 3.62 g / hour with respect to 1 kg / hour of magnesium vapor). Fluorine / chlorine-containing magnesium oxide fine powder was produced in the same manner as in Example 5 except that it was introduced at a flow rate of. When the particle shape of the obtained fluorine / chlorine-containing magnesium oxide fine powder was observed with an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were cubic.

得られたフッ素・塩素含有酸化マグネシウム微粉末のフッ素含有量は０．０８質量％、塩素含有量は０．０２質量％であり、ＢＥＴ比表面積は７７．３ｍ²／ｇ（ＢＥＴ比表面積から求められる平均粒子径は２２ｎｍ）であった。また、得られたフッ素・塩素含有酸化マグネシウム微粉末の電子線励起による紫外光の発光スペクトルを実施例１と同様に測定したところ、図２と同様の発光スペクトルが得られ、電子線励起により波長２４０ｎｍの付近にピークを有する紫外光を発光することが確認された。紫外光の発光強度の最大値は１７７０ａｒｂ．ｕｎｉｔであった。 The obtained fluorine / chlorine-containing fine magnesium oxide powder has a fluorine content of 0.08% by mass, a chlorine content of 0.02% by mass, and a BET specific surface area of 77.3 m ² / g (obtained from the BET specific surface area). The average particle size obtained was 22 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained fluorine and chlorine containing magnesium oxide fine powder was measured like Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and a wavelength was obtained by electron beam excitation. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak in the vicinity of 240 nm. The maximum value of the emission intensity of ultraviolet light is 1770 arb. It was unit.

１溶融マグネシウム
２ハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末
１０金属マグネシウム溶融蒸発器
１１マグネシウム蒸気吹き出し口
１２金属マグネシウム投入口
１３希釈ガス導入口
１４マグネシウム酸化装置
１５酸素含有気体噴射口
１６酸化マグネシウム微粉末取出し口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Molten magnesium 2 Halogen-containing magnesium oxide fine powder 10 Metal magnesium fusion evaporator 11 Magnesium vapor | steam outlet 12 Metal magnesium inlet 13 Dilution gas inlet 14 Magnesium oxidation apparatus 15 Oxygen-containing gas injection port 16 Magnesium oxide fine powder take-out port

Claims

マグネシウム蒸気１ｋｇに対して、ハロゲンが０．０１〜５００ｇの範囲の量にて存在する気体雰囲気下で、マグネシウム蒸気と酸素含有気体とを接触させることを特徴とするハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末の製造方法。 Production of halogen-containing magnesium oxide fine powder, wherein magnesium vapor and oxygen-containing gas are brought into contact with each other in a gas atmosphere in which halogen is present in an amount ranging from 0.01 to 500 g with respect to 1 kg of magnesium vapor. Method.

ハロゲンがフッ素及び塩素からなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンである請求項１に記載のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末の製造方法。 The method for producing a halogen-containing magnesium oxide fine powder according to claim 1, wherein the halogen is at least one halogen selected from the group consisting of fluorine and chlorine.

ハロゲンを０．００１〜１０質量％の範囲にて含有し、ＢＥＴ比表面積が３４〜３５０ｍ²／ｇの範囲にあるハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末。 Halogen-containing magnesium oxide fine powder containing halogen in the range of 0.001 to 10% by mass and having a BET specific surface area in the range of 34 to 350 m ² / g.

ハロゲンがフッ素及び塩素からなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンである請求項３に記載のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末。 The halogen-containing magnesium oxide fine powder according to claim 3, wherein the halogen is at least one halogen selected from the group consisting of fluorine and chlorine.

一次粒子の粒子形状が立方体である請求項３に記載のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末。 The halogen-containing magnesium oxide fine powder according to claim 3, wherein the primary particles have a cubic shape.

電子線で励起されて波長２００〜３００ｎｍの範囲にピーク波長を有する紫外光を発光する請求項３に記載のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末。 The halogen-containing magnesium oxide fine powder according to claim 3, which is excited by an electron beam and emits ultraviolet light having a peak wavelength in the range of 200 to 300 nm.

請求項３に記載のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末からなる交流型プラズマディスプレイパネルの誘電体保護層。 A dielectric protective layer for an alternating current plasma display panel comprising the halogen-containing magnesium oxide fine powder according to claim 3.

請求項３に記載のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末を含む交流型プラズマディスプレイパネルの蛍光体層。 A phosphor layer of an alternating current plasma display panel comprising the halogen-containing magnesium oxide fine powder according to claim 3.

請求項３に記載のハロゲン含有酸化マグネシウム微粉末からなる、交流型プラズマディスプレイパネルの蛍光体層の放電空間に接する側の表面に積層される二次電子放出層。 The secondary electron emission layer laminated | stacked on the surface by the side of the phosphor layer of an alternating current type plasma display panel which contacts the discharge space which consists of halogen-containing magnesium oxide fine powder of Claim 3.