JP2010162653A - ハンドリング装置および電子部品検査システム - Google Patents
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Abstract
【課題】安定かつ高速に電子部品を渡すことができるハンドリング装置および電子部品検査システムを提供する。
【解決手段】昇降装置23は、電子部品を吸着した吸着部215を搬送位置から受け渡し位置に移動させる際、搬送位置からこの搬送位置と受け渡し位置との間の切り替え位置で押圧部235を減速する。これにより、電子部品を渡す直前には切り替え位置よりも低速で電子部品を移動させて受け渡し位置での衝撃を軽減するので、電子部品が破損するのを防ぐことができる。また、電子部品の移動に要する時間を所定の値にできるとともに、切り替え位置までは高速で電子部品を移動させることにより移動に要する時間を短縮することができる。結果として、より安定かつ高速に電子部品を渡すことができる。
【選択図】 図1
【解決手段】昇降装置23は、電子部品を吸着した吸着部215を搬送位置から受け渡し位置に移動させる際、搬送位置からこの搬送位置と受け渡し位置との間の切り替え位置で押圧部235を減速する。これにより、電子部品を渡す直前には切り替え位置よりも低速で電子部品を移動させて受け渡し位置での衝撃を軽減するので、電子部品が破損するのを防ぐことができる。また、電子部品の移動に要する時間を所定の値にできるとともに、切り替え位置までは高速で電子部品を移動させることにより移動に要する時間を短縮することができる。結果として、より安定かつ高速に電子部品を渡すことができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、電子部品を保持して1の位置から他の位置に搬送するハンドリング装置、および、このハンドリング装置を備えた電子部品検査システムに関するものである。
従来より、間欠的に駆動するターンテーブルと、このターンテーブルの周囲に配置された複数の処理装置とを備え、ターンテーブルの外周部分に配置された複数のハンドリング機構により電子部品を各処理装置に搬送して、位置合わせ、電気特性検査、マーキング、外見検査、ソート、テーピング等の各処理を行うことにより電子部品を検査して収納する電子部品検査システムが提案されている。
このような電子部品検査システムにおいて、ハンドリング装置は、電子部品を吸着する吸着部と、この吸着部をモータにより上下に移動させる移動部とを備えており、各処理装置に対応する位置で電子部品を吸着した吸着部を下降させ、所定の位置に載置することにより電子部品を処理装置に渡している。このように処理装置に電子部品を渡す際、その所定の位置に電子部品を押し付け過ぎて過大な負荷がかかると、電子部品が破損してしまう恐れがある。そこで、従来では、モータのトルクを検出して、所定のトルク以上かからないように荷重制御することによって、電子部品が破損することを防いでいた(例えば、特許文献1参照。)。
しかしながら、従来のハンドリング装置では、トルクを検出しながらモータを駆動させていたので、電子部品を渡すのにどれくらいの時間を要するか見当がつかず、場合によっては電子部品を渡すまでに時間がかかり、全体の処理の遅れの原因となっていた。
そこで、本発明は、安定かつ高速に電子部品を渡すことができるハンドリング装置および電子部品検査システムを提供することを目的とする。
上述したような課題を解決するために、本発明に係るハンドリング装置は、電子部品を吸着する吸着部と、この吸着部を第1の位置と第2の位置との間で移動させる移動機構とを備え、移動機構は、吸着部を第1の位置から第2の位置に移動させるときに、第1の位置と第2の位置との間に位置する所定の第3の位置で吸着部の移動速度を減速することを特徴とする。
上記ハンドリング装置において、移動機構は、吸着部を第3の位置から第2の位置までの速度より速い速度で第2の位置から第1の位置まで移動させるようにしてもよい。
また、上記ハンドリング装置において、移動機構は、パルスモータと、このパルスモータの回転運動を吸着部の直線運動に変換する変換機構と、パルスモータの回転を制御する制御部とを備え、この制御部は、変換機構により吸着部を第1の位置から第3の位置まで移動させる際にパルスモータに供給されるパルスの周波数と第3の位置から第2の位置まで移動させる際にパルスモータに供給されるパルスの周波数とを少なくとも記憶した記憶部と、この記憶部に記憶された周波数のパルスでパルスモータを駆動する駆動部とを備えるようにしてもよい。
また、本発明に係る電子部品検査システムは、割り当てられた処理を電子部品に対してそれぞれ行う複数の処理装置と、この複数の処理装置に電子部品を順次搬送する搬送装置と、この搬送装置に設けられ、処理装置との間で電子部品の受け渡しを行うハンドリング装置とを備え、電子部品に対して各処理装置で処理を順次行うことにより電子部品を検査する電子部品検査システムであって、ハンドリング装置は、上記ハンドリング装置からなるようにしてもよい。
本発明によれば、吸着部を第1の位置から第2の位置に移動させるときに、第1の位置と第2の位置との間に位置する所定の第3の位置で吸着部の移動速度を減速することにより、電子部品を渡す直前には第3の位置よりも低速で電子部品を移動させて第2の位置での衝撃を軽減するので、電子部品が破損するのを防ぐことができ、かつ、電子部品の移動に要する時間を所定の値にできるとともに、第3の位置までは高速で電子部品を移動させることにより移動に要する時間を短縮することができるので、結果として、より安定かつ高速に電子部品を渡すことができる。
<電子部品検査システムの構成>
図1に示すように、本実施の形態に係る電子部品検査システムは、電子部品を供給するパーツフィーダ1と、このパーツフィーダ1から供給される電子部品を所定の経路に沿って搬送するメインテーブル2と、このメインテーブル2により搬送された電子部品を所定の容器に収納する収納装置3と、電子部品検査システムの各構成要素の動作を制御する制御装置4とを備えている。
図1に示すように、本実施の形態に係る電子部品検査システムは、電子部品を供給するパーツフィーダ1と、このパーツフィーダ1から供給される電子部品を所定の経路に沿って搬送するメインテーブル2と、このメインテーブル2により搬送された電子部品を所定の容器に収納する収納装置3と、電子部品検査システムの各構成要素の動作を制御する制御装置4とを備えている。
≪パーツフィーダ≫
パーツフィーダ1は、外部より検査やマーキングがされていない多数の電子部品が投入される投入部と、この投入部から電子部品を後述するメインテーブル2の所定の停止位置(以下、供給位置という)まで移送する移送部とを備えた公知のパーツフィーダから構成される。ここで、供給位置まで移送され、この供給位置に配置された電子部品は、メインテーブル2の後述するハンドリング装置21により吸着される。
パーツフィーダ1は、外部より検査やマーキングがされていない多数の電子部品が投入される投入部と、この投入部から電子部品を後述するメインテーブル2の所定の停止位置(以下、供給位置という)まで移送する移送部とを備えた公知のパーツフィーダから構成される。ここで、供給位置まで移送され、この供給位置に配置された電子部品は、メインテーブル2の後述するハンドリング装置21により吸着される。
≪メインテーブル:吸着装置、昇降装置および搬送装置≫
メインテーブル2は、電子部品を吸着する複数の吸着装置21と、この吸着装置21を所定の経路に沿って搬送する搬送装置22と、この搬送装置22のZ軸方向の正の側に配設され吸着装置21をZ軸方向に沿って昇降させる昇降装置23とを備えている。ここで、Z軸方向とは、鉛直方向に沿った方向を意味しており、正の向きが鉛直上方、負の向きが鉛直下方をそれぞれ示している。
メインテーブル2は、電子部品を吸着する複数の吸着装置21と、この吸着装置21を所定の経路に沿って搬送する搬送装置22と、この搬送装置22のZ軸方向の正の側に配設され吸着装置21をZ軸方向に沿って昇降させる昇降装置23とを備えている。ここで、Z軸方向とは、鉛直方向に沿った方向を意味しており、正の向きが鉛直上方、負の向きが鉛直下方をそれぞれ示している。
吸着装置21は、図2に示すように、筒状の形状を有し軸線方向がZ軸方向に沿った状態で搬送装置22を貫通するように配設された軸部211と、この軸部211の上端に設けられた受圧部212と、軸部211が挿入されかつ受圧部212と搬送装置21の間に設けられたばね部213と、移動部211の下端に設けられた吸着部214とを備えている。
このような吸着装置21は、後述する昇降装置23の押圧部235により、受圧部212がZ軸方向の負の方向に押圧されると、これに伴って軸部211がZ方向の負の方向に移動するので、吸着部214もZ方向の負の方向に移動することとなる。一方、その押圧部235による押圧が終了すると、ばね部213の復元力により、押圧部235がZ軸方向の正の方向に移動するので、この移動に伴って軸部211および吸着部214もZ方向の正の方向に移動することとなる。
また、吸着部214は、図示しない真空発生器により負圧または正圧の空気が選択的に供給されることにより、鉛直下方に開口した端部で電子部品を吸着したり、吸着した電子部品を解放したりする。
また、吸着部214は、図示しない真空発生器により負圧または正圧の空気が選択的に供給されることにより、鉛直下方に開口した端部で電子部品を吸着したり、吸着した電子部品を解放したりする。
搬送装置22は、Z軸方向に沿った回転軸221を有するモータ222と、平面視略円形の形状を有し、裏面の中心に回転軸221が接続されたテーブル223とを備えており、このテーブル223の縁部に所定間隔で複数の吸着装置21が取り付けられている。このような搬送装置22は、回転軸221を所定の角度回転させることにより、吸着装置21を回転軸23と同心の円軌跡に沿って所定のピッチだけ移動させることとなる。このピッチ間隔で上記円軌跡上に少なくとも吸着装置21の数量だけ停止位置が設定されており、メインテーブル2は、モータ222により回転軸221の回転および停止を繰り返すことにより、吸着装置21の1の停止位置から次の停止位置への移動と、この停止位置における滞在を繰り返す。各停止位置には、パーツフィーダ1や収納装置3とともに、検査装置、マーキング装置などの電子部品検査システムに関連する各種処理装置が対応付けて配設されている。
昇降装置23は、図3に示すように、搬送装置22上方の所定の停止位置に配設されるベース231と、このベース231に支持され、下端に設けられたZ軸回りに回動する回動軸を有するモータ232と、このモータ232の回動軸に取り付けられたカム233と、このカム233と協働してカム233のZ軸回りの回動をZ軸方向の移動に変換するカムフォロア等からなる変換部234と、この変換部234の下端に設けられた押圧部235とを備えている。ここで、モータ232は、公知のパルスモータから構成されている。
このような昇降装置23は、モータ232を回動させることにより、カム233をZ軸回りに回動させて、この回動を変換部234によりZ軸方向の移動に変換することによって、押圧部235のZ軸方向の移動、すなわち押圧部235の昇降動作を実現させる。上述したように、この押圧部235の移動に伴って、吸着装置21の吸着部214も移動することとなる。
また、昇降装置23は、吸着装置21の吸着部214に吸着された電子部品を昇降させる停止位置にのみ配設されている。
また、昇降装置23は、吸着装置21の吸着部214に吸着された電子部品を昇降させる停止位置にのみ配設されている。
≪制御装置≫
制御装置4は、図4に示すように、電子部品検査システムの各構成要素に接続され、制御信号の送受信を行うインターフェース(I/F)部41と、電子部品検査システムの動作に必要な各種情報を記憶する記憶部42と、I/F部41および記憶部42との間で各種情報を送受信することにより電子部品検査システム全体の動作を制御する主制御部43とを備えている。
制御装置4は、図4に示すように、電子部品検査システムの各構成要素に接続され、制御信号の送受信を行うインターフェース(I/F)部41と、電子部品検査システムの動作に必要な各種情報を記憶する記憶部42と、I/F部41および記憶部42との間で各種情報を送受信することにより電子部品検査システム全体の動作を制御する主制御部43とを備えている。
記憶部42は、電子部品検査システムの動作に関する動作プログラム42aと、昇降装置23による昇降動作を実現する際にモータ232に入力するパルスの周波数や数に関する昇降情報42bとを少なくとも記憶している。この昇降情報42bについて、図5を参照して説明する。
昇降情報42bとしては、テーブル223を回転させて吸着部214に吸着された電子部品dを次の停止位置まで搬送する際のZ軸方向の位置(以下、搬送位置という)から所定の位置(以下、切り替え位置という)まで高速で降下させる際に用いるパルス信号(以下、高速降下信号という)と、吸着部214を切り替え位置から各処理装置と電子部品dの受け渡しを行う位置(以下、受け渡し位置という)まで低速で降下させる際に用いるパルス信号(以下、低速降下信号という)と、吸着部214を受け渡し位置から搬送位置まで上昇させる際に用いるパルス信号(以下、上昇信号という)とが含まれている。ここで、各パルス信号には、パルスの周波数と、パルスの数量とが含まれている。パルスの周波数については、高速降下信号の方が低速降下信号よりも高い値となっており、上昇信号は高速降下信号と同等の値が設定されている。また、パルスの数量については、高速降下信号のパルス数と低速降下信号のパルス数の和と、上昇信号のパルス数とが同一であり、このパルス数(以下、総パルス数)をモータ232に入力すると、押圧部235が移動し、この移動に伴って吸着装置21の吸着部214が搬送位置から受け渡し位置までの距離だけ移動することとなる。高速降下信号のパルス数と低速降下信号のパルス数とは、処理装置の形状や特性等に基づいて適宜設定することができる。なお、総パルス数は、停止位置毎に異なるようにしてもよい。これにより、各処理装置の受け渡し位置が異なる場合であっても、対応することができる。
なお、切り替え位置は、搬送する電子部品の形状や重量、電子部品を受け渡す装置の構成、吸着装置の周囲の構成などに応じて適宜自由に設定することができるが、搬送時間の短縮を実現するには、時間短縮の受け渡し位置に近い方が望ましい。
主制御部43は、電子部品検査システムの各構成要素に制御信号を送信することによりその各構成要素の動作を制御する駆動制御部43aと、吸着装置21の昇降動作を制御する昇降制御部43bとを備えている。
このような制御装置4は、CPU等の演算装置と、メモリ、HDD(Hard Disc Drive)等の記憶装置と、キーボード、マウス、ポインティングデバイス、ボタン、タッチパネル等の外部から情報の入力を検出する入力装置と、インターネット、LAN(Local Area Network)、WAN(Wide Area Network)等の通信回線を介して各種情報の送受信を行うI/F装置と、CRT(Cathode Ray Tube)、LCD(Liquid Crystal Display)またはFED(Field Emission Display)等の表示装置を備えたコンピュータと、このコンピュータにインストールされたプログラムとから構成される。すなわちハードウェア装置とソフトウェアとが協働することによって、上記のハードウェア資源がプログラムによって制御され、上述したI/F部41、記憶部42および制御部43が実現される。なお、上記プログラムは、フレキシブルディスク、CD−ROM、DVD−ROM、メモリカードなどの記録媒体に記録された状態で提供されるようにしてもよい。
<吸着装置および電子部品検査システムの動作>
次に、図6を参照して、本実施の形態に係る電子部品検査システムの動作について説明する。
次に、図6を参照して、本実施の形態に係る電子部品検査システムの動作について説明する。
パーツフィーダ、検査装置、マーキング装置等による各処理が終了した電子部品が吸着装置21の吸着部214によりピックアップされると、制御装置4の主制御部43は、駆動制御部43aにより、搬送装置22のモータ222を駆動させ、テーブル223を所定の角度だけ回転させ、各吸着装置21を次の停止位置まで搬送する(ステップS1)。
吸着装置21が次の停止位置まで搬送されると(ステップS2:YES)、昇降装置23が設けられている停止位置においては、以下に示す動作が行われる。
まず、主制御部43の昇降制御部43bは、記憶部42の昇降制御部43bに格納された高速下降信号に基づいて、昇降装置23のモータ232を回転させる(ステップS3)。ここで、高速下降信号は、上述したように高い周波数のパルス信号から構成されている。したがって、昇降装置23のモータ232が高速で回転するので、押圧部235も高速で下降し、これに伴って吸着装置21の吸着部214も高速で降下することとなる。この下降は、高速下降信号で設定されたパルス数だけパルス信号がモータ232に入力するまで行われる。
高速下降信号で設定されたパルス数だけパルス信号がモータ232に入力されると(ステップS4:YES)、昇降制御部43bは、モータ232の回転を停止させる(ステップS5)。このとき、高速下降信号で設定されたパルス数だけパルス信号がモータ232に入力されているので、吸着部214は、Z軸方向から見た場合、図5に示すように切り替え位置に存在することとなる。
次に、主制御部43の昇降制御部43bは、記憶部42の昇降制御部43bに格納された低速下降信号に基づいて、昇降装置23のモータ232を回転させる(ステップS6)。ここで、低速下降信号は、上述したように低い周波数のパルス信号から構成されている。したがって、昇降装置23のモータ232が低速で回転するので、押圧部235も低速で下降し、これに伴って吸着装置21の吸着部214も低速で降下することとなる。このような下降は、低速下降信号で設定されたパルス数だけパルス信号がモータ232に入力するまで行われる。
低速下降信号で設定されたパルス数だけパルス信号がモータ232に入力されると(ステップS7:YES)、昇降制御部43bは、モータ232の回転を停止させる(ステップS8)。低速下降信号で設定されたパルス数だけパルス信号がモータ232に入力されているので、吸着部214は、Z軸方向から見た場合、図5に示すように受け渡し位置に存在することとなる。このとき、吸着部214が受け渡し位置まで降下した際に電子部品が処理装置に接触しても、吸着部214が低速で降下しているので、接触時に電子部品にかかる力が小さいため、電子部品が破損することを防ぐことができる。
吸着部214が受け渡し位置に到達すると、駆動制御部43aは、吸着部214に正圧の空気を供給し、吸着部214から電子部品を外させ、受け渡し位置に載置させる。電子部品が載置されると、駆動制御部43aは、各処理装置に、検査やマーキングなどの割り当てられた各処理を行わせる(ステップS9)。
各処理が終了すると(ステップS10)、駆動制御部43aは、吸着部214に負圧の空気を供給し、吸着部214に電子部品を吸着させる。
電子部品が吸着されると、昇降制御部43bは、記憶部42の昇降制御部43bに格納された上昇信号に基づいて、昇降装置23のモータ232を、高速下降信号や低速下降信号を入力した場合とは逆の方向に回転させる(ステップS11)。ここで、上昇信号は、上述したように高速下降信号と同等の高い周波数のパルス信号から構成されている。したがって、昇降装置23のモータ232が高速で逆回転するので、押圧部235も高速で上昇し、これに伴って吸着装置21の吸着部214も高速で上昇することとなる。このような下降は、上昇信号で設定されたパルス数だけパルス信号がモータ232に入力するまで行われる。
上昇信号で設定されたパルス数だけパルス信号がモータ232に入力されると(ステップS12:YES)、昇降制御部43bは、モータ232の逆回転を停止させる(ステップS13)。上昇信号で設定されたパルス数だけパルス信号がモータ232に入力されているので、吸着部214は、Z軸方向から見た場合、図5に示すように搬送位置に存在することとなる。各吸着部214が搬送位置まで上昇し、他の停止位置の処理装置における処理も終了すると、駆動制御部43aは、ステップ1の処理に戻り、テーブル223を所定の角度だけ回転させ、処理が終了した電子部品を次の停止位置まで移動させる。
上述した電子部品検査システムの動作における押圧部235、すなわち吸着部214の位置と速度の関係を図7に示す。この図7に示すように、吸着部214は、搬送位置から切り替え位置までは速度V1で移動するが、切り替え位置に到達すると減速される。このため、切り替え位置から処理位置までは速度V1より遅い速度V2で移動することとなる。
このように、本実施の形態によれば、電子部品を吸着した吸着部214を搬送位置から受け渡し位置に移動させる際、搬送位置からこの搬送位置と受け渡し位置との間の切り替え位置で吸着部214を減速することにより、電子部品を渡す直前には切り替え位置よりも低速で電子部品が移動させて受け渡し位置での衝撃を軽減するので、電子部品が破損するのを防ぐことができ、かつ、電子部品の移動に要する時間を所定の値にできるとともに、切り替え位置までは高速で電子部品を移動させることにより移動に要する時間を短縮することができるので、結果として、より安定かつ高速に電子部品を渡すことができる。
なお、本実施の形態では、吸着部214を切り替え位置まで降下させたときに、一時的にモータ232を停止させるようにしたが、停止させないようにしてもよい。これにより、さらに吸着部214を降下させる時間を短縮することができる。
また、本実施の形態では、モータ232としてパルスモータを用いるようにしたが、モータ232に用いるモータはパルスモータに限定されず各種モータを適宜自由に用いることができる。回転軸の角度の微細な制御が困難なモータの場合には、切り替え位置や受け渡し位置にセンサを設けておき、そのセンサにより押圧部235の到達が検出されると、モータの回転を停止させたり、回転速度を変化させたりするようにすればよい。
また、本実施の形態では、昇降装置23による昇降動作を押圧部235および受圧部212を介して吸着装置21に伝達することにより吸着部214を昇降させる場合を例に説明したが、昇降装置23の下端に吸着部214を設け、これを搬送装置22に取り付けるようにしてもよい。
本発明は、移載装置、ICハンドラー、表面実装器など部材の受け渡しを行う各種装置に適用することができる。
1…パーツフィーダ、2…メインテーブル、3…収納装置、4…制御装置、21…吸着装置、22…搬送装置、23…昇降装置、41…I/F部、42…記憶部、42a…動作プログラム、42b…昇降情報、43…主制御部、211…軸部、212…受圧部、213…ばね部、214…吸着部、221…回転軸、222…モータ、223…テーブル、231…ベース、232…モータ、233…カム、234…変換部、235…押圧部。
Claims (4)
- 電子部品を吸着する吸着部と、
この吸着部を第1の位置と第2の位置との間で移動させる移動機構と
を備え、
前記移動機構は、
前記吸着部を前記第1の位置から前記第2の位置に移動させるときに、前記第1の位置と前記第2の位置との間に位置する所定の第3の位置で前記吸着部の移動速度を減速する
ことを特徴とするハンドリング装置。 - 前記移動機構は、
前記吸着部を前記第3の位置から前記第2の位置までの速度より速い速度で前記第2の位置から前記第1の位置まで移動させる
ことを特徴とする請求項1記載のハンドリング装置。 - 前記移動機構は、
パルスモータと、
このパルスモータの回転運動を前記吸着部の直線運動に変換する変換機構と、
前記パルスモータの回転を制御する制御部とを備え、
この制御部は、前記変換機構により前記吸着部を前記第1の位置から前記第3の位置まで移動させる際に前記パルスモータに供給されるパルスの周波数と前記第3の位置から前記第2の位置まで移動させる際に前記パルスモータに供給されるパルスの周波数とを少なくとも記憶した記憶部と、
この記憶部に記憶された周波数のパルスで前記パルスモータを駆動する駆動部と
を備えたことを特徴とする請求項1または2記載のハンドリング装置。 - 割り当てられた処理を電子部品に対してそれぞれ行う複数の処理装置と、
この複数の処理装置に前記電子部品を順次搬送する搬送装置と、
この搬送装置に設けられ、前記処理装置との間で前記電子部品の受け渡しを行うハンドリング装置と
を備え、前記電子部品に対して各処理装置で前記処理を順次行うことにより電子部品を検査する電子部品検査システムであって、
前記ハンドリング装置は、請求項1乃至3の何れか1項に記載されたハンドリング装置からなることを特徴とする電子部品検査システム。
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JP2009007324A JP2010162653A (ja) | 2009-01-16 | 2009-01-16 | ハンドリング装置および電子部品検査システム |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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