JP2010159988A - Ｉｃ低温テストの温度制御装置 - Google Patents

Ｉｃ低温テストの温度制御装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2010159988A
JP2010159988A JP2009000732A JP2009000732A JP2010159988A JP 2010159988 A JP2010159988 A JP 2010159988A JP 2009000732 A JP2009000732 A JP 2009000732A JP 2009000732 A JP2009000732 A JP 2009000732A JP 2010159988 A JP2010159988 A JP 2010159988A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
test
chamber
valve
low
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009000732A
Other languages
English (en)
Inventor
Akio Imai
彰夫 今井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinano Electronics KK
Original Assignee
Shinano Electronics KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinano Electronics KK filed Critical Shinano Electronics KK
Priority to JP2009000732A priority Critical patent/JP2010159988A/ja
Publication of JP2010159988A publication Critical patent/JP2010159988A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

【課題】ＩＣに対する局所冷却の際の室温過冷却を抑制できるＩＣ低温テストの温度制御装置の提供。
【解決手段】ＩＣ低温テストの温度制御装置は、テスト室１０内の室温ＴＲを検知する室温センサＳＲからの室温情報ＩＲに応じて第１バルブＶ１を開閉制御し液体窒素Ｎ２をテスト室１０内にファン２０の第１ノズルＡから吹き込む室温コントローラ３０と、テスト室１０内のテストボード１２上のソケット１４に設定されて電気テスト中のＩＣ１４の近傍温度ＴＩＣを検知するＩＣ温度センサＳＩＣからのＩＣ温度情報Ｉに応じて第２のバルブＶ２を開閉制御し液体窒素Ｎ２をＩＣ１６に向けてファン２０の第２ノズルＢから吹き込む局所温度コントローラ４０と、第２バルブＶ２を開成する際、室温度情報ＩＲとＩＣ温度情報Ｉとに基づいて乾燥圧縮空気から室温ＴＲよりも高い冷気温度ＴＨの冷気を生成してテスト室１０内に吹き込む冷気発生器５０を有する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ＩＣテストハンドラーに関し、特に、ＩＣ低温テストの温度制御装置に関する。
従来、ＩＣテストハンドラーにおけるＩＣ低温テストの温度制御装置は、テスト室内の室温を検知する第１温度センサからの第１温度情報に応じて第１バルブを開閉制御し液体窒素をテスト室内に吹き込む室温コントローラと、テスト室内のテストボード上のソケットに設定されて電気テスト中のＩＣから発生する熱を局所的に冷ますために、当該ＩＣの近傍温度を検知する第２温度センサからの第２温度情報に応じて第２のバルブを開閉制御し液体窒素をＩＣに向けて吹き込む局所温度コントローラを備えている。
しかしながら、上記の温度制御装置においては、液体窒素をＩＣに向けて吹き付けると、ＩＣから発生する熱を局所的且つ急速に冷ますことができるものの、テスト室内の室温（全体温度）も低下させて過冷却となり、室温が所定温度へ上昇復帰するまで不適正温度期間が紛れ込み、ＩＣ低温テストの低温恒常性に劣る。
そこで、上記問題点に鑑み、本発明の課題は、ＩＣに対する局所冷却の際の室温過冷却を抑制できるＩＣ低温テストの温度制御装置を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明は、テスト室内の室温を検知する第１温度センサからの第１温度情報に応じて第１バルブを開閉制御し冷却ガスを前記テスト室内に吹き込む室温コントローラと、テスト室内のテストボード上のソケットに設定されて電気テスト中のＩＣの近傍温度を検知する第２温度センサからの第２温度情報に応じて第２バルブを開閉制御し冷却ガスをＩＣに向けて吹き込む局所温度コントローラとを備えたＩＣ低温テストの温度制御装置において、第２のバルブを開成する際、第１温度情報と第２温度情報とに基づいて室温よりも高い温度の低温エアーをテスト室内に吹き込む過冷却抑制手段を有することを特徴とする。
このようなＩＣ低温テストの温度制御装置においては、第２バルブを開成してＩＣに対する局所冷却の際、過冷却補償手段により第１温度情報と第２温度情報とに基づいて室温よりも高い温度の低温エアーを吹き込むようになっている。エアーの吹き込みにより応答性良く、テスト室内の過冷却を抑制でき、ＩＣ低温テストの低温恒常性を図ることができる。
この過冷却抑制手段としてはボルテックス・チューブを用い、圧縮空気から冷気をテスト室内に吹き込むようにする。温度補償の応答性が速いため、ＩＣ低温テストの低温恒常性を図ることができる。
本発明によれば、ＩＣに対する局所冷却の際の室温過冷却を抑制できる
本発明に係るＩＣ低温テストの温度制御装置の実施例を示す概念図である。 同実施例において使用するボルテックス・チューブを示す概念図である。
次に、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明に係るＩＣ低温テストの温度制御装置の実施例を示す概念図、図２は同実施例において使用するボルテックス・チューブを示す概念図である。
本例のＩＣテストハンドラーにおけるＩＣ低温テストの温度制御装置は、テスト室１０内の室温ＴＲを検知する室温センサＳＲからの室温情報ＩＲに応じて第１バルブＶ１を開閉制御し液体窒素Ｎ２をテスト室１０内にファン２０の第１ノズルＡから吹き込む室温コントローラ３０と、テスト室１０内のテストボード１２上のソケット１４に設定されて電気テスト中のＩＣ１４の近傍温度ＴＩＣを検知するＩＣ温度センサＳＩＣからのＩＣ温度情報Ｉに応じて第２のバルブＶ２を開閉制御し液体窒素Ｎ２をＩＣ１６に向けてファン２０の第２ノズルＢから吹き込む局所温度コントローラ４０を備える。また、第２バルブＶ２を開成する際、室温度情報ＩＲとＩＣ温度情報Ｉとに基づいて乾燥圧縮空気から室温ＴＲよりも高い冷気温度ＴＨの冷気を生成してテスト室１０内に吹き込む冷気発生器（過冷却抑制手段）５０を有する。
この冷気発生器５０はボルテックス効果を発揮するボルテックス・チューブで、図２に示す如く、乾燥圧縮空気源に接続した供給口５１から第３のバルブＶ３を開くことにより、外側の旋回流（自由渦）が生じて暖気排出口５２から暖気が排出されると共に、内側の旋回流（強制流）が冷気吐出口５３より冷気として吐き出されるようになっている。
このようなＩＣ低温テストの温度制御装置においては、第２バルブＶ２を開成してＩＣ１６に対する局所冷却の際、冷気発生器５０により室温情報ＩＲとＩＣ温度情報Ｉとに基づいて室温ＴＲよりも高い冷気温度ＴＨの冷気（低温エアー）を吹き込むため、エアーの吹き込みにより応答性良く、テスト室１０内の過冷却を抑制でき、ＩＣ低温テストの低温恒常性を図ることができる。
また、この冷気発生器５０としてはボルテックス・チューブを用い、乾燥圧縮空気から冷気をテスト室１０内に吹き込むようになっている。温度補償の応答性が速いため、ＩＣ低温テストの低温恒常性を図ることができる。
１０…テスト室
１２…テストボード
１４…ソケット
１６…ＩＣ
２０…ファン
３０…室温コントローラ
４０…局所温度コントローラ
５０…冷気発生器
５１…供給口
５２…暖気排出口
５３…冷気吐出口
Ａ…第１ノズル
Ｂ…第２ノズル
Ｉ…ＩＣ温度情報
ＩＲ…室温情報
Ｎ２…液体窒素
ＳＩＣ…ＩＣ温度センサ
ＳＲ…室温センサ
ＴＨ…冷気温度
ＴＩＣ…近傍温度
ＴＲ…室温
Ｖ１…第１バルブ
Ｖ２…第２バルブ

Claims (2)

  1. テスト室内の室温を検知する第１温度センサからの第１温度情報に応じて第１バルブを開閉制御し冷却ガスを前記テスト室内に吹き込む室温コントローラと、前記テスト室内のテストボード上のソケットに設定されて電気テスト中のＩＣの近傍温度を検知する第２温度センサからの第２温度情報に応じて第２バルブを開閉制御し冷却ガスを前記ＩＣに向けて吹き込む局所温度コントローラとを備えたＩＣ低温テストの温度制御装置において、
    前記第２バルブを開成する際、前記第１温度情報と前記第２温度情報とに基づいて前記室温よりも高い温度の低温エアーを前記テスト室内に吹き込む過冷却抑制手段を有することを特徴とするＩＣ低温テストの温度制御装置。
  2. 請求項１に記載のＩＣ低温テストの温度制御装置において、前記過冷却抑制手段はボルテックス・チューブを用いて成ることを特徴とするＩＣ低温テストの温度制御装置。
JP2009000732A 2009-01-06 2009-01-06 Ｉｃ低温テストの温度制御装置 Pending JP2010159988A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009000732A JP2010159988A (ja) 2009-01-06 2009-01-06 Ｉｃ低温テストの温度制御装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009000732A JP2010159988A (ja) 2009-01-06 2009-01-06 Ｉｃ低温テストの温度制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010159988A true JP2010159988A (ja) 2010-07-22

Family

ID=42577262

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009000732A Pending JP2010159988A (ja) 2009-01-06 2009-01-06 Ｉｃ低温テストの温度制御装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010159988A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013201324A (ja) * 2012-03-26 2013-10-03 Panasonic Corp スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法
KR101338006B1 (ko) * 2013-10-15 2013-12-06 동덕산업가스(주) 초저온 테스트용 질소 온도 조절 장치
JP2021189158A (ja) * 2020-05-29 2021-12-13 ジュニパー ネットワークス, インコーポレーテッドJuniper Networks, Inc. ハイブリッド自動試験装置を使用する光電気デバイス

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013201324A (ja) * 2012-03-26 2013-10-03 Panasonic Corp スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法
KR101338006B1 (ko) * 2013-10-15 2013-12-06 동덕산업가스(주) 초저온 테스트용 질소 온도 조절 장치
JP2021189158A (ja) * 2020-05-29 2021-12-13 ジュニパー ネットワークス, インコーポレーテッドJuniper Networks, Inc. ハイブリッド自動試験装置を使用する光電気デバイス
JP7275079B2 (ja) 2020-05-29 2023-05-17 オープンライト フォトニクス インコーポレイテッド ハイブリッド自動試験装置を使用する光電気デバイス

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5279763B2 (ja) 環境試験装置、並びに、環境試験装置の制御方法
JP2010159988A (ja) Ｉｃ低温テストの温度制御装置
JP2010133852A (ja) 冷熱衝撃試験装置、冷熱衝撃試験方法
JP2015148547A (ja) 恒温恒湿装置
JPH06119083A (ja) 電子機器の冷却装置
KR20090042033A (ko) 번인테스터의 냉각시스템
WO2011083591A1 (ja) 難燃性試験装置
JP2018158596A (ja) 宇宙環境試験装置の温度制御方法および宇宙環境試験装置
WO2017208393A1 (ja) 半導体検査装置用の冷却装置
JP2006308368A (ja) 電子機器用テスト・チャンバ及び方法
JP2009257956A (ja) 結露抑制装置およびそれを備えた環境試験装置
JP2021124457A (ja) パワーサイクル試験装置及びパワーサイクル試験方法
JP2001174381A (ja) 気槽式熱衝撃試験装置およびその運転方法
JP2011058734A (ja) 空気温調機のファン制御方法及び空気温調機
KR101460865B1 (ko) 드라이아이스를 이용한 국부적 저온 챔버 및 이를 이용한 저온 테스트 시스템
KR102159290B1 (ko) 차량용 egr 쿨러의 냉각수 유동 제어장치 및 제어방법
KR20070066421A (ko) 냉각용 유체 배관이 설치된 냉각 플레이트를 갖는 온도변환 장치
JP2011117680A (ja) 貯湯式給湯機
JP2010025920A (ja) 環境試験装置
KR100888054B1 (ko) 냉각장치를 포함한 웨이퍼 검사 시스템
JP2016176878A (ja) 低温での電気機器の電気試験方法
JPS60252276A (ja) 回路部品の測定装置
KR101982516B1 (ko) 반도체 검사 장치
KR100715473B1 (ko) 콘덴싱 싸이클 시험기
CN207926807U (zh) 全自动恒温循环测试***