JP2010156034A - 過硫酸製造装置及び過硫酸製造方法 - Google Patents
過硫酸製造装置及び過硫酸製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010156034A JP2010156034A JP2009000281A JP2009000281A JP2010156034A JP 2010156034 A JP2010156034 A JP 2010156034A JP 2009000281 A JP2009000281 A JP 2009000281A JP 2009000281 A JP2009000281 A JP 2009000281A JP 2010156034 A JP2010156034 A JP 2010156034A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- persulfuric acid
- sulfuric acid
- anode
- cathode
- current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Electrolytic Production Of Non-Metals, Compounds, Apparatuses Therefor (AREA)
Abstract
【解決手段】陽極30と陰極32とを備え、陽極30と陰極32との間に電流を流し、硫酸溶液を電解して、過硫酸溶解水を製造する過硫酸製造装置1であって、前記硫酸溶液の電解時に、陽極30と陰極32との間を流れる電流を所定の間隔で停止させるか又は逆電流を流す制御手段38を備える過硫酸製造装置および過硫酸製造方法。
【選択図】図1
Description
2HSO4 - → S2O8 2- + 2H+ + 2e- (2)
HSO4 - + H2O → HSO5 - + 2H+ + 2e- (3)
2H+ + 2e- → H2↑
図1に示す過硫酸製造装置を用いて、硫酸溶液を以下の条件で電解し、過硫酸溶解水を製造した。陽極液には、濃度96重量%の硫酸溶液(60℃以下)を用い、陰極液には、濃度1mol/Lの硫酸溶液(60℃以下)を用いた。過硫酸製造装置で使用した陽極はダイアモンド被覆電極、陰極はジルコニウム電極であった。実施例1の電解条件は、240秒通電後、60秒停止を1サイクルとし、これを繰り返すこととし、実施例2の電解条件は、290秒通電後、10秒停止を1サイクルとし、これを繰り返すこととした。
比較例1では、陽極及び陰極間に常時通電させて、硫酸溶液を電解したこと以外は、実施例1と同様の条件で、過硫酸溶解水を製造した。
実施例3では、陽極液に濃度92重量%の硫酸溶液(60℃以下)を用いたこと以外は、実施例1と同様の条件で、硫酸溶液を電解し、過硫酸溶解水を製造した。
比較例2では、陽極及び陰極間に常時通電させて、硫酸溶液を電解したこと以外は、実施例3と同様の条件(陽極液に濃度92重量%の硫酸溶液(60℃以下))で、硫酸溶液を電解し、過硫酸溶解水を製造した。
実施例4では、陽極液に濃度85重量%の硫酸溶液(60℃以下)を用いたこと以外は、実施例1と同様の条件で、硫酸溶液を電解し、過硫酸溶解水を製造した。
比較例3では、陽極及び陰極間に常時通電させて、硫酸溶液を電解したこと以外は、実施例4と同様の条件(陽極液に濃度85重量%の硫酸溶液(60℃以下))で、硫酸溶液を電解し、過硫酸溶解水を製造した。
Claims (4)
- 陽極と陰極とを備え、前記陽極と前記陰極との間に電流を流し、硫酸含有溶液を電解して、過硫酸溶解水を製造する過硫酸製造装置であって、
前記硫酸含有溶液の電解時に、前記陽極と前記陰極との間を流れる電流を所定の間隔で停止させるか又は逆電流を流す制御手段を備えることを特徴とする過硫酸製造装置。 - 請求項1記載の過硫酸製造装置であって、陽極側に供給する溶液中の硫酸濃度は92〜96重量%の範囲であり、温度は60℃以下であることを特徴とする過硫酸製造装置。
- 請求項1又は2記載の過硫酸製造装置であって、前記制御手段は、停止させるか又は逆電流を流す間の電解量を0.1〜5Ah/Lの範囲とし、前記電流の停止時間又は前記逆電流を流す時間を10秒〜10分の範囲とすることを特徴とする過硫酸製造装置。
- 陽極と陰極との間に電流を流し、硫酸含有溶液を電解して、過硫酸溶解水を製造する過硫酸製造方法であって、
前記硫酸含有溶液の電解時に、前記陽極と前記陰極との間を流れる電流を所定の間隔で停止するか又は逆電流を流すことを特徴とする過硫酸製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009000281A JP5592611B2 (ja) | 2009-01-05 | 2009-01-05 | 過硫酸製造装置及び過硫酸製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009000281A JP5592611B2 (ja) | 2009-01-05 | 2009-01-05 | 過硫酸製造装置及び過硫酸製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010156034A true JP2010156034A (ja) | 2010-07-15 |
JP5592611B2 JP5592611B2 (ja) | 2014-09-17 |
Family
ID=42574159
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009000281A Active JP5592611B2 (ja) | 2009-01-05 | 2009-01-05 | 過硫酸製造装置及び過硫酸製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5592611B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012036196A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 田中貴金属工業株式会社 | 電解用電極、オゾン電解生成用陽極、過硫酸電解生成用陽極及びクロム電解酸化用陽極 |
WO2012117927A1 (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-07 | 栗田工業株式会社 | 硫酸電解方法および硫酸電解装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0614978A (ja) * | 1992-04-03 | 1994-01-25 | Tome Sangyo Kk | 洗浄殺菌方法 |
JP2001198574A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-24 | Silver Seiko Ltd | オゾン水製造装置 |
JP2006114880A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-04-27 | Kurita Water Ind Ltd | 硫酸リサイクル型洗浄システムおよび硫酸リサイクル型過硫酸供給装置 |
JP2006346203A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Permelec Electrode Ltd | 殺菌方法及び電解水噴出装置 |
JP2008111184A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-05-15 | Kurita Water Ind Ltd | 過硫酸供給システム |
-
2009
- 2009-01-05 JP JP2009000281A patent/JP5592611B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0614978A (ja) * | 1992-04-03 | 1994-01-25 | Tome Sangyo Kk | 洗浄殺菌方法 |
JP2001198574A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-24 | Silver Seiko Ltd | オゾン水製造装置 |
JP2006114880A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-04-27 | Kurita Water Ind Ltd | 硫酸リサイクル型洗浄システムおよび硫酸リサイクル型過硫酸供給装置 |
JP2006346203A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Permelec Electrode Ltd | 殺菌方法及び電解水噴出装置 |
JP2008111184A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-05-15 | Kurita Water Ind Ltd | 過硫酸供給システム |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012036196A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 田中貴金属工業株式会社 | 電解用電極、オゾン電解生成用陽極、過硫酸電解生成用陽極及びクロム電解酸化用陽極 |
US9353448B2 (en) | 2010-09-17 | 2016-05-31 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | Electrolytic electrode, anode for electrolytic production of ozone, anode for electrolytic production of persulfuric acid and anode for electrolytic oxidation of chromium |
WO2012117927A1 (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-07 | 栗田工業株式会社 | 硫酸電解方法および硫酸電解装置 |
CN103384731A (zh) * | 2011-02-28 | 2013-11-06 | 栗田工业株式会社 | 硫酸电解方法及硫酸电解装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5592611B2 (ja) | 2014-09-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5087325B2 (ja) | 洗浄システム及び洗浄方法 | |
TWI351446B (en) | Cleaning system and cleaning method | |
KR19990023400A (ko) | 물의 전기분해 방법 | |
US8211287B2 (en) | Sulfuric acid electrolysis process | |
JP4407529B2 (ja) | 硫酸リサイクル型洗浄システム | |
JP3313263B2 (ja) | 電解水生成方法及びその生成装置、半導体製造装置 | |
TWI822978B (zh) | 水電解裝置的功能回復方法以及水電解裝置 | |
JP5939373B2 (ja) | 電子材料洗浄方法および洗浄装置 | |
JP5352246B2 (ja) | 過硫酸製造装置及び過硫酸製造方法 | |
TWI419999B (zh) | 電解方法 | |
JP5592611B2 (ja) | 過硫酸製造装置及び過硫酸製造方法 | |
JP2010234250A (ja) | 含フッ素有機化合物の分解方法 | |
JP4600667B2 (ja) | 硫酸リサイクル型洗浄システムおよび硫酸リサイクル型洗浄方法 | |
JP2009263689A (ja) | 過硫酸製造装置および洗浄システム | |
JP3324943B2 (ja) | ガラス基板乃至シリコン基板洗浄用水の製造装置 | |
JP2008294020A (ja) | 洗浄液供給システムおよび洗浄システム | |
JP4038253B2 (ja) | 酸性水及びアルカリ水製造用電解槽 | |
JP2002224674A (ja) | 基板洗浄用水の製造装置及び製造方法、それらにより製造された基板洗浄用水、並びに該基板洗浄用水を用いた基板の洗浄方法 | |
JP3748765B2 (ja) | 電解ガス発生方法及び電解ガス発生装置 | |
JP2003290729A (ja) | 電子部品の洗浄方法及び装置 | |
JP3345197B2 (ja) | 電解イオン水の製造法 | |
JP2001192875A (ja) | 過酸化水素の製造方法及び装置 | |
JP3906923B2 (ja) | ガス拡散電極の活性化方法 | |
JP4771467B2 (ja) | 高純度水酸化アルカリ金属の製造方法 | |
JP2009027023A (ja) | ウェハ洗浄液の製造方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110905 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130627 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131029 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140404 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140729 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140801 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5592611 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |