JP2010151589A - Ｉｃハンドラ - Google Patents

Abstract

【課題】吸着ノズルユニットの平面的な配置スペースが大きくなるのを抑制しながら、各電子部品の位置をそれぞれの検査用ソケットの位置に精度よく合わせることが可能なＩＣハンドラを提供する。
【解決手段】このＩＣハンドラ１は、水平方向および鉛直方向に移動可能なユニット支持部８２と、電子部品を吸着する吸着ノズル８６８を保持する吸着ノズル保持部材８６６を含む複数の吸着ノズルユニット８９とを備え、吸着ノズル８６８をユニット支持部８２に対してＸ方向に移動させるためのＸ方向駆動装置８３と吸着ノズル８６８をユニット支持部８２に対してＹ方向に移動させるためのＹ方向駆動装置８４とを各々の吸着ノズルユニット８９が含み、Ｘ方向駆動装置８３およびＹ方向駆動装置８４の少なくとも一部は、平面的に見て、吸着ノズル保持部材８６６に対して重なるように配置されている。
【選択図】図４

Description

この発明は、ＩＣハンドラに関し、特に、複数の電子部品を移載可能なＩＣハンドラに関する。

従来、複数の電子部品を移載可能なＩＣハンドラが知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１では、２つのＤＵＴ（被測定デバイス）となる電子部品を吸着して保持し、吸着した２つのＤＵＴを移載するデバイスチャックを備えたＩＣハンドラが開示されている。このＩＣハンドラでは、１つのデバイスチャックで２つのＤＵＴを吸着することによって、一度に２つのＤＵＴを検査用ソケットに移載することが可能である。

特開平９−２３６６３５号公報

しかしながら、上記特許文献１のＩＣハンドラでは、２つのＤＵＴをデバイスチャック２１に対してそれぞれ独立して移動させることができないので、吸着される２つのＤＵＴが位置ずれしている場合、２つのＤＵＴの位置をそれぞれの検査用ソケットの位置に精度よく合わせることができない。

そこで、複数の電子部品を水平面内で互いに独立して移動させることによって、各電子部品の位置をそれぞれの検査用ソケットの位置に精度よく合わせることが可能なＩＣハンドラが考えられる。しかしながら、複数の電子部品を互いに独立して移動させる構成を考えた場合、吸着ノズルユニットが大型化して吸着ノズルユニットの平面的な配置スペースが大きくなってしまうことが予想される。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、吸着ノズルユニットの平面的な配置スペースが大きくなるのを抑制しながら、各電子部品の位置をそれぞれの検査用ソケットの位置に精度よく合わせることが可能なＩＣハンドラを提供することである。

課題を解決するための手段および発明の効果

上記目的を達成するために、この発明の一の局面によるＩＣハンドラは、水平方向および鉛直方向に移動可能なユニット支持部と、電子部品を吸着する吸着ノズルを保持する吸着ノズル保持部材を含む複数の吸着ノズルユニットとを備え、複数の吸着ノズルユニットのうち、吸着ノズルユニットの個数と同数あるいは１つ少ない個数の吸着ノズルユニットにおいて、吸着ノズルをユニット支持部に対して水平面内の第１方向に移動させるための第１方向駆動装置と、吸着ノズルをユニット支持部に対して第１方向と交差する水平面内の第２方向に移動させるための第２方向駆動装置とを各々の吸着ノズルユニットが含み、
第１方向駆動装置および第２方向駆動装置の少なくとも一部は、平面的に見て、吸着ノズル保持部材に対して重なるように配置されている。ここで、本出願において、「ＩＣハンドラ」とは、電子部品の検査のために用いられるものであり、電子部品を所定の検査位置に移載するための部品移載装置を意味する。

この一の局面によるＩＣハンドラでは、上記のように、複数の吸着ノズルユニットのうち、吸着ノズルユニットの個数と同数あるいは１つ少ない個数の吸着ノズルユニットにおいて、吸着ノズルを水平面内の第１方向に移動させるための第１方向駆動装置と、吸着ノズルを水平面内の第２方向に移動させるための第２方向駆動装置とを各々の吸着ノズルユニットに設けることによって、各吸着ノズルユニットそれぞれに吸着された各電子部品を互いに独立して第１方向および第２方向に移動させることができるので、吸着する電子部品が位置ずれしている場合でも、各電子部品の位置をそれぞれの検査用ソケットの位置に精度よく合わせることができる。また、第１方向駆動装置および第２方向駆動装置の少なくとも一部を、平面的に見て、吸着ノズル保持部材に対して重なるように配置することによって、各電子部品をそれぞれ個別に独立して第１方向および第２方向に移動させる構成を設けたとしても、吸着ノズルユニットの平面的な配置スペースが大きくなるのを抑制することができる。これらの結果、吸着ノズルユニットの平面的な配置スペースが大きくなるのを抑制しながら、各電子部品の位置をそれぞれの検査用ソケットの位置に精度よく合わせることができる。

上記一の局面によるＩＣハンドラにおいて、好ましくは、第１方向駆動装置は、平面的に見て、ユニット支持部の下側に重なるように配置される第１部分を有し、第２方向駆動装置は、平面的に見て、第１方向駆動装置の第１部分の下側に重なるように配置される第２部分を有し、平面的に見て、第２方向駆動装置の第２部分の下側に重なるように配置される第３部分を有する回動駆動装置をさらに備え、第１方向駆動装置の第１部分、第２方向駆動装置の第２部分および回動駆動装置の第３部分は、それぞれ、平面的に見て、吸着ノズル保持部材に対して重なるように配置されている。このように構成すれば、ユニット支持部、第１方向駆動装置の第１部分、第２方向駆動装置の第２部分、回動駆動装置の第３部分および吸着ノズル保持部材が上下方向にオーバラップした状態で配置されるので、吸着ノズルユニットの平面的な配置スペースをより小さくすることができる。

この場合、好ましくは、ユニット支持部は、平板状の水平プレートを含み、第１方向駆動装置は、吸着ノズルを第１方向に移動させるための第１駆動機構部をさらに有し、第２方向駆動装置は、吸着ノズルを第２方向に移動させるための第２駆動機構部をさらに有し、第１駆動機構部の一部は、平面的に見て、水平プレートの上側に重なるように配置され、第２駆動機構部の一部は、平面的に見て、水平プレートの上側に重なるように配置されている。このように構成すれば、ユニット支持部の下側の領域を利用して、第１方向駆動装置の第１部分、第２方向駆動装置の第２部分、回動駆動装置の第３部分および吸着ノズル保持部材が上下方向にオーバラップした状態で配置されるのに加えて、ユニット支持部の水平プレートの上側の領域を利用して、第１駆動機構部の一部および第２駆動機構部の一部が水平プレートにオーバラップした状態で配置されるので、吸着ノズルユニットの平面的な配置スペースが大きくなるのをより抑制することができる。

上記第１方向駆動装置が第１部分を有する構成において、好ましくは、第１方向駆動装置は、第１方向に延びる第１案内部材と、回転可能に支持された第１方向に延びる第１ボールネジ軸と、第１ボールネジ軸を回転させるための第１モータと、第１ボールネジ軸に螺合する第１ボールナットと、平面的に見て、ユニット支持部の下側に重なるように配置され、第１ボールナットを保持するとともに、第１モータにより第１ボールネジ軸が回転されることによって、ユニット支持部に対して第１方向に移動する第１方向移動部材とをさらに有する。このように構成すれば、ユニット支持部の下側の重なる位置で第１方向移動部材を移動させることができるので、平面的に見て、第１方向移動部材が移動の際にユニット支持部の配置スペースからはみ出すのを抑制することができる。

上記第１方向駆動装置が第１方向移動部材を有する構成において、好ましくは、第２方向駆動装置は、第２方向に延びる第２案内部材と、回転可能に支持された第２方向に延びる第２ボールネジ軸と、第２ボールネジ軸を回転させるための第２モータと、第２ボールネジ軸に螺合する第２ボールナットと、平面的に見て、第１方向移動部材の下側に重なるように配置され、第２ボールナットを保持するとともに、第２モータにより第２ボールネジ軸が回転されることによって、第１方向移動部材に対して第２方向に移動する第２方向移動部材とをさらに有する。このように構成すれば、ユニット支持部および第１方向移動部材の両方にオーバラップする位置で第２方向移動部材を移動させることができるので、平面的に見て、第２方向移動部材が移動の際にユニット支持部および第１方向移動部材の配置スペースからはみ出すのを抑制することができる。

上記第１方向駆動装置が第１部分を有する構成において、好ましくは、第１方向駆動装置および第２方向駆動装置の少なくとも一方は、第１方向に延びる第１案内部材、または第２方向に延びる第２案内部材と、第１方向または第２方向に延びる固定子と、固定子に対向して配置される可動子と、平面的に見て、ユニット支持部の下側に重なるように配置され、第１案内部材または第２案内部材に移動可能に保持されるとともに、可動子を保持する移動部材とをさらに有し、固定子または可動子の一方は、第１のコイルからなり、固定子または可動子の他方は、永久磁石あるいは第２のコイルからなり、少なくとも第１のコイルに電圧が印加されることによって、可動子を保持する移動部材がユニット支持部に対して第１方向または第２方向に移動するように構成されている。このように構成すれば、モータ、ボールネジ軸およびボールナットを用いる構造に比べてより簡単な構造で移動部材を移動させることができるとともに、平面的に見て、移動部材が移動の際にユニット支持部の配置スペースからはみ出すのを抑制することができる。

上記一の局面によるＩＣハンドラにおいて、好ましくは、複数の吸着ノズルユニットは、それぞれ個別に独立して第１方向および第２方向に吸着ノズルを移動させるとともに、ユニット支持部の移動に伴ってユニット支持部と一体的に鉛直方向に移動するように構成されている。このように構成すれば、ユニット支持部を鉛直方向に移動させるための鉛直方向駆動装置を用いて、各吸着ノズルをユニット支持部と一体的に鉛直方向に移動させることができるので、吸着ノズルを鉛直方向に移動させるための駆動装置を各吸着ノズルユニットのそれぞれに別々に設ける必要がない。これにより、構造が複雑化するのを抑制することができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態によるＩＣハンドラの全体構成を示す平面図である。図２〜図１０は、図１に示したＩＣハンドラの構成を説明するための図である。図１〜図１０を参照して、本発明の第１実施形態によるＩＣハンドラ１の構成について説明する。

ＩＣハンドラ１は、図１に示すように、試験装置本体２とともに部品試験装置１００を構成している。また、ＩＣハンドラ１は、トレイに収納された電子部品を取り出して試験装置本体２の後述するテストヘッド２ａに移載する機能を有している。また、ＩＣハンドラ１は、テストヘッド２ａにおいて検査された後の検査済み部品を、検査結果に応じて仕分けするように構成されている。

また、ＩＣハンドラ１は、平面的に見て、矩形の外形形状を有している。また、ＩＣハンドラ１は、基台１ａ上に複数のトレイ収納部１０〜１３と、トレイ移送部２０と、部品取出部３０と、部品収納部４０と、部品供給部５０と、部品排出部６０と、ヘッドユニット支持部７０とを備えている。

トレイ収納部には、２つの未検査用トレイ収納部１０と、空トレイ収納部１１と、２つの良部品トレイ収納部１２と、不良部品トレイ収納部１３とがある。未検査用トレイ収納部１０は、未検査部品が載置されるトレイを収納するように構成されている。空トレイ収納部１１は、部品が載置されていない空のトレイを収納するように構成されている。良部品トレイ収納部１２は、検査により良品と判断された良部品が載置される良部品トレイを収納するように構成されている。不良部品トレイ収納部１３は、検査により不良品と判断された不良部品が載置される不良部品トレイを収納するように構成されている。また、トレイ収納部１０〜１３は、平面的に見て、ＩＣハンドラ１のＹ方向の一方端部近傍において、Ｘ方向に並列して配置されている。また、基台１ａ上には、載置される部品を加熱するヒータが配置されたホットプレート１４が設けられている。なお、Ｘ方向およびＹ方向は、水平面内において互いに直交する２方向である。

また、これらのトレイ収納部１０〜１３は、それぞれ、複数のトレイを積み重ねた状態で収納可能に構成されている。また、トレイ収納部１０〜１３は、それぞれ、最上段に位置するトレイだけを基台１ａ上に露出させ、その他のトレイを基台１ａの上面よりも下側に配置させている。具体的には、トレイ収納部１０〜１３は、それぞれ、図示しないテーブルを有し、テーブルを昇降させることによって、テーブル上に積載された複数のトレイを１つずつ基台１ａ上に配置させるように構成されている。

トレイ移送部２０は、トレイ収納部１０〜１３間で空トレイを搬送する機能を有している。具体的には、トレイ移送部２０は、電子部品が取り出されて空になったトレイを未検査用トレイ収納部１０から空トレイ収納部１１の最上段の位置に移送するように構成されている。また、トレイ移送部２０は、空トレイ収納部１１の最上段から良部品トレイ収納部１２、不良部品トレイ収納部１３またはその他のトレイ収納部１４の最上段に空トレイを移送するように構成されている。これにより、各トレイ収納部１２、１３において所定数の検査済み部品で満たされたトレイの上に空のトレイを重ねて載置することが可能である。また、トレイ移送部２０は、後述するレール部材支持フレーム３４１の下方を通過してＸ方向に延び、後述するレール部材３２の下方に位置するレール部材２１と、図示しない駆動装置によって駆動されて、レール部材２１に沿ってＸ方向に移動可能なヘッド部２２とを有している。また、トレイ移送部２０は、ヘッド部２２に設けられたバキュームパッド（図示せず）により最上段に配置された空トレイを吸着した状態でヘッド部２２をＸ方向に移動することによって、トレイをＸ方向に並列された他のトレイ収納部に移送するように構成されている。

部品取出部３０は、未検査部品を未検査用トレイ収納部１０、１１のトレイから取り出して部品供給部５０の後述するシャトル５１上に移載する機能を有している。また、部品取出部３０は、Ｙ方向に延び、一方がレール部材支持フレーム３４１に支持される２つのレール部材３１と、Ｘ方向に延びるように形成され、両端部をそれぞれレール部材３１に支持された支持部材３２と、支持部材３２に取り付けられたヘッド部３３とを有している。支持部材３２は、図示しない駆動装置により駆動されて、左右のレール部材３１に沿ってＹ方向に直線移動するように構成されている。ヘッド部３３は、不図示の駆動装置により駆動されて、支持部材３２に沿ってＸ方向に直線移動するように構成されている。また、ヘッド部３３には、電子部品を吸着可能な吸着ノズルユニット３４が４つ搭載されている。そして、部品取出部３０は、ヘッド部３３をＸ方向およびＹ方向に移動させながら、吸着ノズルユニット３４により吸着した未検査部品を、未検査用トレイ収納部１０の最上段のトレイから部品受取位置５１ａ（図１参照）に位置するシャトル５１上の所定位置に移載するように構成されている。なお、常温より高い所定の温度で検査をする必要のある部品については、未検査用トレイ収納部１０から直接、シャトル５１上へ移載することはせず、電子部品を一旦ホットプレート１４上に載置し、載置後所定時間以上経過し所望の温度に昇温した電子部品を吸着ノズルユニット３４で吸着し、部品受取位置５１ａに位置するシャトル５１上へ移載する。

部品収納部４０は、検査済み部品を部品排出部６０の後述するシャトル６１上から取り出してトレイ収納部１２あるいは１３のいずれかのトレイに移載する機能を有している。また、部品収納部４０は、Ｙ方向に延び、一方がレール部材支持フレーム３４１に支持される２つのレール部材４１と、Ｘ方向に延びるように形成され、両端部をそれぞれレール部材４１に支持された支持部材４２と、支持部材４２に取り付けられたヘッド部４３とを有している。支持部材４２は、不図示の駆動装置により駆動されて、左右のレール部材４１に沿ってＹ方向に直線移動するように構成されている。ヘッド部４３は、不図示の駆動装置により駆動されて、支持部材４２に沿ってＸ方向に直線移動するように構成されている。また、ヘッド部４３には、電子部品を吸着可能な吸着ノズルユニット４４が４つ搭載されている。そして、部品収納部４０は、ヘッド部４３をＸ方向およびＹ方向に移動させながら、吸着ノズルユニット４４により吸着した検査済み部品を、部品受渡位置６１ａに位置するシャトル６１からトレイ収納部１２、１３の最上段に位置するいずれかのトレイに移載するように構成されている。具体的には、部品収納部４０は、検査の結果、良部品と判断された電子部品をシャトル６１から良部品トレイ収納部１２のトレイに移載し、不良部品と判断された電子部品をシャトル６１から不良部品トレイ収納部１３のトレイに移載するように構成されている。

部品供給部５０は、部品受取位置５１ａで受け取った未検査部品を部品受渡位置５１ｂ（図２参照）、５１ｃまで移送する機能を有している。また、部品供給部５０は、８つの未検査部品を載置可能なシャトル５１と、Ｙ方向に延びるレール部材５２とを有している。シャトル５１は、不図示の駆動装置により駆動されて、レール部材５２に沿ってＹ方向に直線移動するように構成されている。これにより、部品供給部５０は、所定のタイミングで８つの未検査部品を部品受取位置５１ａから部品受渡位置５１ｂ（図２参照）または５１ｃまで搬送することが可能である。また、部品供給部５０は、シャトル５１をＹ方向に移動する際に、図示しない真空装置を駆動することによって、載置する未検査部品がシャトル５１上で位置ずれするのを防止するように構成されている。

部品排出部６０は、部品受取位置６１ｂ、６１ｃ（図２参照）で受け取った検査済み部品を部品受渡位置６１ａ（図１参照）まで移送する機能を有している。また、部品排出部６０は、８つの検査済み部品を載置可能なシャトル６１と、Ｙ方向に延びるレール部材６２とを有している。シャトル６１は、不図示の駆動装置により駆動されて、レール部材６２に沿ってＹ方向に直線移動するように構成されている。これにより、部品排出部６０は、所定のタイミングで８つの検査済み部品を部品受取位置６１ｂまたは６１ｃ（図２参照）から部品受渡位置６１ａまで搬送することが可能である。また、部品排出部６０は、シャトル６１をＹ方向に移動する際に、図示しない真空装置を駆動することによって、載置する検査済み部品がシャトル６１上で位置ずれするのを防止するように構成されている。

ヘッドユニット支持部７０は、部品供給部５０のシャトル５１により部品受渡位置５１ｂ（図２参照）または５１ｃまで移送された未検査部品を基台１ａ表面に露出された試験装置本体２の後述するテストヘッド２ａに移載するように構成されている。さらに、ヘッドユニット支持部７０は、テストヘッド２ａ上の検査済み部品を部品受取位置６１ｂまたは６１ｃ（図２参照）に位置する部品排出部６０のシャトル６１に移載するように構成されている。また、ヘッドユニット支持部７０は、Ｙ方向に延びる一対のレール部材７１と、Ｘ方向に延びるように形成された支持部材７２と、それぞれ８つの電子部品を吸着可能な２つのヘッドユニット８０および９０とを有している。一対のレール部材７１は、基台１ａのＸ方向側の両端部近傍に配置されている。支持部材７２は、Ｘ方向側の両端部近傍がそれぞれレール部材７１に支持されているとともに、不図示の駆動装置により駆動されて、レール部材７１に沿ってＹ方向に直線移動するように構成されている。また、支持部材７２は、Ｘ方向に延びる２つのレール部材７２ａおよび７２ｂを有している。

ヘッドユニット８０および９０は、それぞれ、支持部材７２を挟むように支持部材７２のＹ方向の両側に配置されている。また、ヘッドユニット８０は、支持部材７２のレール部材７２ａに摺動可能に設けられ、不図示の駆動装置により駆動されて、レール部材７２ａに沿ってＸ方向に直線移動するように構成されている。ヘッドユニット９０は、支持部材７２のレール部材７２ｂに摺動可能に設けられ、不図示の駆動装置により駆動され、レール部材７２ｂに沿ってＸ方向に直線移動するように構成されている。すなわち、ヘッドユニット８０および９０は、支持部材７２の移動に伴ってＹ方向に一体的に移動するとともに、Ｘ方向に互いに独立して移動するように構成されている。

また、ヘッドユニット８０は、図２に示すように、ヘッドユニット９０により移載された電子部品がテストヘッド２ａで検査されている最中に、部品受渡位置５１ｂのシャトル５１上から未検査部品を取り出して、基台１ａの表面に設けられた撮像装置１ｂ上を通過するようにＸ方向に移動するように構成されている。また、ヘッドユニット９０は、図１に示すように、ヘッドユニット８０により移載された電子部品がテストヘッド２ａで検査されている間に、部品受渡位置５１ｃのシャトル５１上から未検査部品を取り出して、基台１ａの表面に設けられた撮像装置１ｃ上を通過するようにＸ方向に移動するように構成されている。これにより、ヘッドユニット８０、９０の一方によりテストヘッド２ａに移載された電子部品が検査されている間に、ヘッドユニット８０、９０に吸着された電子部品を撮像装置１ｂ、あるいは撮像装置１ｃにより撮像して、電子部品の位置ずれを確認することが可能である。また、ヘッドユニット８０および９０は、互いに同様の構成を有している。このため、以下では、ヘッドユニット８０の詳細な構成について説明し、ヘッドユニット９０については詳細な説明を省略する。

ここで、第１実施形態では、ヘッドユニット８０は、図３〜図５に示すように、ベース部材８１（図１および図２参照）と、ユニット支持部８２（図３および図４参照）と、８つのＸ方向駆動装置８３と、８つのＹ方向駆動装置８４と、８つのＲ軸駆動装置８５と、８つのヘッド部８６と、吸着用負圧供給部８７（図３参照）と、２つの下方撮像装置８８とを備えている。また、１つのＸ方向駆動装置８３と、１つのＹ方向駆動装置８４と、１つのＲ軸駆動装置８５と、１つのヘッド部８６とにより、１つの吸着ノズルユニット８９が構成されている。すなわち、ヘッドユニット８０において、レール部材７２ａに移動可能に取り付けられたベース部材８１に、８つの吸着ノズルユニット８９が搭載されている。なお、Ｘ方向駆動装置８３は、本発明の「第１方向駆動装置」の一例であり、Ｙ方向駆動装置８４は、本発明の「第２方向駆動装置」の一例である。また、Ｒ軸駆動装置８５は、本発明の「回動駆動装置」の一例である。

ユニット支持部８２は、図３〜図７に示すように、ベースプレート８２１（図３および図４参照）と、水平プレート８２２と、垂直プレート８２３と、後述のＸ方向ボールネジ軸８３２ｂを支持する軸支持部８２４（図７参照）とを有している。ベースプレート８２１は、Ｚ方向に延びるボールネジ８２１ａ（図３参照）やガイドレール（図示しない）などからなる昇降駆動部８２１ｂにより、ベース部材８１に対して昇降可能に構成されている。また、ベースプレート８２１は、下端部において図示しないアングル部材を介して水平プレート８２２に取り付けられている。そして、ベースプレート８２１がＺ方向に昇降されることによって、水平プレート８２２を介して、Ｘ方向駆動装置８３、Ｙ方向駆動装置８４、Ｒ軸駆動装置８５およびヘッド部８６からなる８つの吸着ノズルユニット８９と、２つの下方撮像装置８８とが一体的に昇降される。

水平プレート８２２は、平板形状を有し、平面的に見て、ベースプレート８２１の下側に重なるように配置されている。また、水平プレート８２２は、図８に示すように、Ｙ方向側の両端部およびＹ方向側の中央部に下側に突出する突起部８２２ａを有している。３つの突起部８２２ａは、それぞれ、Ｘ方向に延びるように形成されている。

垂直プレート８２３は、図３〜図７に示すように、水平プレート８２２のＸ方向側の両側側面に取り付けられ、Ｙ方向に延びるように形成されている。また、垂直プレート８２３は、図７に示すように、水平プレート８２２の厚みよりも大きい高さを有し、水平プレート８２２の下面よりも下方に突出するように配置されている。また、軸支持部８２４は、図７に示すように、水平プレート８２２のＸ方向側の中央部において、水平プレート８２２の下面から下方に突出するように設けられている。また、軸支持部８２４は、Ｙ方向に延びるように形成されている。

８つのＸ方向駆動装置８３は、それぞれ、同様の構成を有しており、それぞれの下側に配置された吸着ノズル８６８（図１０参照）を水平プレート８２２に対して互いに独立してＸ方向に移動させる機能を有している。また、８つのＸ方向駆動装置８３は、図７および図８に示すように、それぞれ、Ｘ方向スライド部８３１（図８参照）と、Ｘ方向駆動機構部８３２と、Ｘ方向移動部材８３３と、Ｘ方向ボールナット８３４とから構成されている。なお、Ｘ方向駆動機構部８３２は、本発明の「第１駆動機構部」の一例であり、Ｘ方向移動部材８３３は、本発明の「第１部分」および「第１方向移動部材」の一例である。また、Ｘ方向ボールナット８３４は、本発明の「第１ボールナット」の一例である。

Ｘ方向スライド部８３１は、図８に示すように、Ｘ方向に延びるＸ方向ガイドレール８３１ａと、Ｘ方向ガイドレール８３１ａに摺動可能なＸ方向スライダ８３１ｂとを有している。Ｘ方向ガイドレール８３１ａは、全体で４本設けられており、水平プレート８２２のＹ方向側の両端部に設けられた突起部８２２ａの下面にそれぞれ１本ずつ配置され、中央部の突起部８２２ａの下面に２本配置されている。また、Ｘ方向ガイドレール８３１ａは、水平プレート８２２のＸ方向の略全長にわたって設けられている。また、Ｘ方向ガイドレール８３１ａは、１つのＸ方向駆動装置８３について２本ずつ用いられる。具体的には、図８に示すように、Ｙ１方向側の２本のＸ方向ガイドレール８３１ａは、Ｙ１方向側でＸ方向に並列して配置される４つのＸ方向駆動装置８３により兼用され、Ｙ２方向側の２本のＸ方向ガイドレール８３１ａは、Ｙ２方向側でＸ方向に並列して配置される４つのＸ方向駆動装置８３により兼用される。Ｘ方向スライダ８３１ｂは、１つのＸ方向駆動装置８３につき２つずつ設けられている。また、Ｘ方向スライダ８３１ｂは、Ｘ方向ガイドレール８３１ａの両側側面に設けられたＸ方向に延びる溝部に係合する一対の爪部を有しており、爪部が溝部に係合した状態でＸ方向ガイドレール８３１ａに対してＸ方向にスライドするように構成されている。また、Ｘ方向スライダ８３１ｂは、Ｘ方向ガイドレール８３１ａによりＹ方向への移動が規制されるとともに、爪部が溝部に係合することによってＺ方向への移動が規制されている。なお、Ｘ方向ガイドレール８３１ａは、本発明の「第１案内部材」の一例である。

各Ｘ方向駆動機構部８３２は、それぞれ、Ｘ方向モータ８３２ａと、Ｘ方向に延びるＸ方向ボールネジ軸８３２ｂと、２つのプーリ８３２ｃ（図７参照）と、タイミングベルト８３２ｄ（図７参照）とを有している。Ｘ方向モータ８３２ａは、図６に示すように、サーボモータからなり、水平プレート８２２のＸ方向側の両端部近傍において、平面的に見て、水平プレート８２２に重なるように上側に配置されている。具体的には、水平プレート８２２のＸ方向側の両端部近傍に、それぞれ４つずつのＸ方向モータ８３２ａがＹ方向に並列して配置されている。また、Ｘ方向モータ８３２ａは、図６および図７に示すように、取付板８３２ｅを介して垂直プレート８２３に固定されている。なお、Ｘ方向モータ８３２ａは、本発明の「第１モータ」の一例であり、Ｘ方向ボールネジ軸８３２ｂは、本発明の「第１ボールネジ軸」の一例である。

Ｘ方向ボールネジ軸８３２ｂは、図７および図８に示すように、平面的に見て、水平プレート８２２の下側に重なるように配置されている。また、Ｘ方向ボールネジ軸８３２ｂは、Ｘ方向に２列、Ｙ方向に４本ずつ並列して配置されている。具体的には、Ｘ方向ボールネジ軸８３２ｂは、図８に示すように、２本のＸ方向ガイドレール８３１ａの間に２本ずつ配置されている。また、Ｘ方向ボールネジ軸８３２ｂは、図７に示すように、一方端部近傍を垂直プレート８２３に回動可能に支持され、他方端部を軸支持部８２４に回動可能に支持されている。２つのプーリ８３２ｃは、それぞれ、Ｘ方向モータ８３２ａの出力軸およびＸ方向ボールネジ軸８３２ｂの一方端部に取り付けられている。タイミングベルト８３２ｄは、２つのプーリ８３２ｃに掛け渡されている。また、２つのプーリ８３２ｃおよびタイミングベルト８３２ｄは、カバー８３２ｆにより覆われている。上記のような構成により、Ｘ方向駆動機構部８３２は、Ｘ方向モータ８３２ａの回転駆動を２つのプーリ８３２ｃおよびタイミングベルト８３２ｄを介して、Ｘ方向ボールネジ軸８３２ｂに伝達するように構成されている。これにより、Ｘ方向ボールネジ軸８３２ｂを回転させることが可能である。

Ｘ方向移動部材８３３は、図８に示すように、Ｘ方向側から見て矩形形状を有し、２つのＸ方向スライダ８３１ｂの下側に吊り下げられるように配置されている。また、各Ｘ方向移動部材８３３は、それぞれ、平面的に見て、水平プレート８２２の下側に重なるように配置されている。また、Ｘ方向移動部材８３３は、中空形状に形成されている。Ｘ方向移動部材８３３の中空部には油受け９００が挿入配置され、両端が垂直プレート８２３に保持されている。また、Ｘ方向移動部材８３３は、図７および図８に示すように、Ｙ方向に２列、Ｘ方向に４つずつ並列して配置されている。また、Ｘ方向移動部材８３３は、図８に示すように、Ｙ方向側の両端部がＸ方向スライダ８３１ｂに固定されている。これにより、Ｘ方向移動部材８３３は、２つのＸ方向スライダ８３１ｂを介してＸ方向ガイドレール８３１ａに吊り下げられた状態となる。

Ｘ方向ボールナット８３４は、Ｘ方向ボールネジ軸８３２ｂに螺合するように構成されている。また、Ｘ方向ボールナット８３４は、全体で８つ設けられており、各Ｘ方向ボールナット８３４は、それぞれ、別々のＸ方向ボールネジ軸８３２ｂに螺合されている。また、各Ｘ方向ボールナット８３４は、それぞれ、別々のＸ方向移動部材８３３に取り付けられて保持されている。これにより、各Ｘ方向ボールネジ軸８３２ｂを回転させることによって、各Ｘ方向ボールナット８３４を介して、Ｘ方向ガイドレール８３１ａに吊り下げられた各Ｘ方向移動部材８３３を水平プレート８２２に対して互いに独立してＸ方向に移動させることが可能となる。

８つのＹ方向駆動装置８４は、それぞれ、同様の構成を有しており、それぞれの下側に配置された各吸着ノズル８６８（図１０参照）をＸ方向移動部材８３３に対して互いに独立してＹ方向に移動させる機能を有している。また、図７および図８に示すように、Ｘ方向移動部材８３３の下面に取り付けられＸ方向移動部材８３３と一体化されてＸ方向に移動する各支持部材８４１に、Ｙ方向スライド部８４２（図７参照）が取り付けられている。８つのＹ方向駆動装置８４は、それぞれ、Ｙ方向スライド部８４２（図７参照）と、Ｙ方向駆動機構部８４３と、Ｙ方向ボールナット８４４と、Ｙ方向に移動可能なヘッド取付部材８４５とから構成されている。なお、Ｙ方向駆動機構部８４３は、本発明の「第２駆動機構部」の一例であり、Ｙ方向ボールナット８４４は、本発明の「第２ボールナット」の一例である。また、ヘッド取付部材８４５は、本発明の「第２部分」および「第２方向移動部材」の一例である。

支持部材８４１は、図７に示すように、Ｙ方向側から見て略Ｕ字形状を有し、開口部が下方向を向くように配置されている。また、Ｙ方向移動部材となるヘッド取付部材８４５は、平面的に見てＸ方向移動部材８３３に重なるように配置されている。

Ｙ方向スライド部８４２は、図７に示すように、クロスローラ方式に構成され、Ｙ方向に延び、支持部材８４１の一部と見なすことができる外側スライダ８４２ａと、内側スライダ８４２ｂと、図示しない円柱形状の軸部材とを有している。なお、外側スライダ８４２ａは、本発明の「第２案内部材」の一例である。また、外側スライダ８４２ａは、Ｙ方向に延びるように形成され、Ｙ方向から見て下方に延びる支持部材８４１の両端部下面に取り付けられ固着されている。また、外側スライダ８４２ａの内側の側面には、Ｙ方向に延びるＶ字形状の溝部が形成されている。内側スライダ８４２ｂは、Ｙ方向に延びるように形成され、ヘッド取付部材８４５に取り付けられている。また、内側スライダ８４２ｂは、外側スライダ８４２ａに隣接して配置され、内側スライダ８４２ｂの外側の側面には、外側スライダ８４２ａの溝部に対向するようにＹ方向に延びるＶ字形状の溝部が形成されている。また、外側スライダ８４２ａおよび内側スライダ８４２ｂは、対向する溝部の間にＹ方向に延びる円柱形状の軸部材（図示せず）を挟み込むように配置されている。これにより、内側スライダ８４２ｂは、外側スライダ８４２ａに対してＹ方向に摺動可能となる。また、軸部材をＶ字形状の溝部により両側から挟み込むことによって、外側スライダ８４２ａおよび内側スライダ８４２ｂは互いにＺ方向にずれるのが規制される。

各Ｙ方向駆動機構部８４３は、それぞれ、Ｙ方向モータ８４３ａと、Ｙ方向に延びるＹ方向ボールネジ軸８４３ｂと、２つのプーリ８４３ｃ（図８参照）と、タイミングベルト８４３ｄ（図８参照）とを有している。なお、Ｙ方向モータ８４３ａは、本発明の「第２モータ」の一例であり、Ｙ方向ボールネジ軸８４３ｂは、本発明の「第２ボールネジ軸」の一例である。Ｙ方向モータ８４３ａは、図６に示すように、サーボモータからなり、水平プレート８２２のＹ方向側の両端部近傍に配置されている。具体的には、水平プレート８２２のＹ方向側の両端部近傍それぞれにおいて、２つのＹ方向モータ８４３ａが平面的に見て、水平プレート８２２に重なるように上側に並列して配置され、他の２つのＹ方向モータ８４３ａが平面的に見て水平プレート８２２に重なるように下側に配置されている。より詳細には、水平プレート８２２のＹ方向側の両端部近傍それぞれにおいて、Ｘ方向側の略中央部で２つのＹ方向モータ８４３ａが水平プレート８２２の上側に配置され、水平プレート８２２のＸ方向側の両端部近傍でそれぞれ１つずつのＹ方向モータ８４３ａが水平プレート８２２の下側に配置されている。また、水平プレート８２２の下側に配置されたＹ方向モータ８４３ａは、図７に示すように、支持部材８４１に隣接して配置されている。また、Ｙ方向モータ８４３ａは、図６および図８に示すように、取付板８４３ｅを介してＸ方向移動部材８３３に固定されている。

Ｙ方向ボールネジ軸８４３ｂは、図７および図８に示すように、略Ｕ字形状の支持部材８４１に囲まれる位置に配置されるとともに、平面的に見て、Ｘ方向移動部材８３３の下側に重なるように配置されている。また、Ｙ方向ボールネジ軸８４３ｂは、Ｙ方向に２列、Ｘ方向に４本ずつ並列して配置されている。また、Ｙ方向ボールネジ軸８４３ｂは、図８に示すように、両端部近傍を支持部材８４１の壁状に下方に延びる部分に回動可能に支持されている。２つのプーリ８４３ｃは、それぞれ、Ｙ方向モータ８４３ａの出力軸およびＹ方向ボールネジ軸８４３ｂの一方端部に取り付けられている。タイミングベルト８４３ｄは、２つのプーリ８４３ｃに掛け渡されている。上記のような構成により、Ｙ方向駆動機構部８４３は、Ｙ方向モータ８４３ａの回転駆動を２つのプーリ８４３ｃおよびタイミングベルト８４３ｄを介して、Ｙ方向ボールネジ軸８４３ｂに伝達するように構成されている。これにより、Ｙ方向ボールネジ軸８４３ｂを回転させることが可能である。

Ｙ方向ボールナット８４４は、Ｙ方向ボールネジ軸８４３ｂに螺合するように構成されている。また、Ｙ方向ボールナット８４４は、全体で８つ設けられており、各Ｙ方向ボールナット８４４は、それぞれ、別々のＹ方向ボールネジ軸８４３ｂに螺合されている。

ヘッド取付部材８４５は、図７および図９に示すように、Ｙ方向から見て略Ｔ字形状を有しており、Ｙ方向に延びるように形成されている。また、ヘッド取付部材８４５は、Ｘ方向側の中央部の凸部が上側に位置するように配置され、凸部上端面がＹ方向ボールナット８４４に固着されている。また、ヘッド取付部材８４５の凸部の両側側面には、それぞれ内側スライダ８４２ｂが取り付けられている。これにより、ヘッド取付部材８４５は、Ｙ方向スライド部８４２により支持部材８４１に吊り下げられた状態となる。これにより、各Ｙ方向ボールネジ軸８４３ｂを回転させることによって、各内側スライダ８４２ｂとともに各Ｙ方向ボールナット８４４に一体化された各ヘッド取付部材８４５を、Ｘ方向移動部材８３３に対して互いに独立してＹ方向に移動させることが可能となる。

８つのＲ軸駆動装置８５は、それぞれ、同様の構成を有しており、それぞれの下側に配置された吸着ノズル８６８（図１０参照）を、互いに独立して吸着ノズル８６８の中心軸Ｒ（図１０参照）を回動中心として回動させる機能を有している。また、各Ｒ軸駆動装置８５は、図１０に示すように、それぞれ、Ｒ方向モータ８５１ａと、２つのプーリ８５１ｂと、タイミングベルト８５１ｃとを有している。Ｒ方向モータ８５１ａは、サーボモータからなり、ヘッド取付部材８４５よりも下側に配置されている。具体的には、Ｒ方向モータ８５１ａは、ヘッド取付部材８４５よりも下側で、ヘッド部８６の後述する筒部８６１に隣接して配置されている。また、Ｒ方向モータ８５１ａは、図３〜図５および図１０に示すように、取付板８５１ｄを介してヘッド部８６の後述する筒部８６１に取り付けられている。２つのプーリ８５１ｂは、図１０に示すように、それぞれ、Ｒ方向モータ８５１ａの出力軸およびヘッド部８６の後述する軸部８６２に取り付けられている。また、軸部８６２に取り付けられたプーリ８５１ｂは、平面的に見て、ヘッド取付部材８４５の下側に重なるように配置されている。タイミングベルト８５１ｃは、２つのプーリ８５１ｂに掛け渡されている。上記のような構成により、Ｒ軸駆動装置８５は、Ｒ方向モータ８５１ａの回転駆動を２つのプーリ８５１ｂおよびタイミングベルト８５１ｃを介して、後述する軸部８６２に伝達するように構成されている。これにより、軸部８６２を介して吸着ノズル８６８を中心軸Ｒを回動中心として回動させることが可能である。なお、プーリ８５１ｂは、本発明の「第３部分」の一例である。

ヘッド部８６は、ヘッド取付部材８４５に取り付けられるとともに、吸着ノズル８６８を保持する機能を有している。また、ヘッド部８６は、筒部８６１と、軸部８６２と、２つのアダプタ８６３、８６４と、ヘッド部材８６５と、吸着ノズル保持部材８６６とを有している。

筒部８６１は、平面的に見て、略矩形形状を有し、中空の筒状に形成されている。また、筒部８６１は、ヘッド取付部材８４５の下面に取り付けられ、平面的に見て、ヘッド取付部材８４５に重なる位置に配置されている。軸部８６２は、筒部８６１に挿入され、筒部８６１内で軸受部８６７により筒部８６１に対して回動可能に支持されている。また、軸部８６２の下端部近傍には、Ｒ軸駆動装置８５のプーリ８５１ｂが取り付けられている。これにより、Ｒ方向モータ８５１ａを駆動させることによって、プーリ８５１ｂを介して軸部８６２を回動させることが可能である。また、軸部８６２の下には、円柱状のアダプタ８６３が配置され、アダプタ８６３の下には、円柱状のアダプタ８６４が配置されている。

ヘッド部材８６５は、八角形の外形形状を有し、アダプタ８６４の下に設けられている。また、ヘッド部材８６５は、平面的に見て、軸部８６２に取り付けられたＲ軸駆動装置８５のプーリ８５１ｂに重なるように配置されている。また、ヘッド部材８６５は、中空の筒状に形成されている。また、ヘッド部材８６５の内部には、吸着ノズル保持部材８６６が挿入されて保持されている。これにより、吸着ノズル保持部材８６６は、平面的に見て、軸部８６２に取り付けられたＲ軸駆動装置８５のプーリ８５１ｂに重なる位置に配置される。したがって、Ｘ方向駆動装置８３のＸ方向移動部材８３３、Ｙ方向駆動装置８４のヘッド取付部材８４５、および、軸部８６２に取り付けられたＲ軸駆動装置８５のプーリ８５１ｂは、それぞれ、平面的に見て、吸着ノズル保持部材８６６に対して重なるように配置されている。さらに、水平プレート８２２と、Ｘ方向ボールネジ軸８３２ｂと、Ｘ方向移動部材８３３と、支持部材８４１と、Ｙ方向ボールネジ軸８４３ｂと、ヘッド取付部材８４５と、軸部８６２に取り付けられたＲ軸駆動装置８５のプーリ８５１ｂと、ヘッド部８６とは、平面的に見て、互いに重なるように配置されている。また、吸着ノズル保持部材８６６には、下側から内部に挿入されるようにして吸着ノズル８６８が取り付けられている。

また、吸着ノズル保持部材８６６および吸着ノズル８６８は、ヘッド部材８６５に対して上下方向（Ｚ方向）に一体的に摺動可能とされている。また、ヘッド部材８６５の内部において吸着ノズル保持部材８６６の上端部に圧縮コイルバネ８６９が設けられている。これにより、吸着ノズル８６８が電子部品を介して後述するテストヘッド２ａの検査用ソケットに押圧される際の、吸着ノズル８６８への下側からの反力に対して、バフィング機能（衝撃緩和機能）が働くようになっている。また、吸着ノズル８６８は、軸部８６２が回動されることによって、軸部８６２、アダプタ８６３、８６４、ヘッド部材８６５および吸着ノズル保持部材８６６と一体的に中心軸Ｒを回動中心として回動されるように構成されている。また、吸着ノズル８６８は、中空の筒状に形成されており、内部の負圧により下端部で吸引力が作用するように構成されている。これにより、吸着ノズル８６８の下端部で電子部品を吸着することが可能である。吸着ノズル８６８の内部には、吸着用負圧供給部８７（図３参照）から供給される負圧がヘッド部材８６５のエア通路８６５ａ（図１０参照）などを介して到達されるように構成されている。

上記のような構成により、８つの吸着ノズル８６８は、それぞれ互いに独立して、ユニット支持部８２に対してＸ方向およびＹ方向に移動可能であるとともに、それぞれ互いに独立して各々の中心軸Ｒを回動中心として回動可能である。これにより、各吸着ノズル８６８により吸着される電子部品が位置ずれしている場合でも、各吸着ノズル８６８を独立に移動および回動させて、電子部品の位置をテストヘッド２ａの検査用ソケットの位置に精度よく合わせることが可能である。

２つの下方撮像装置８８は、それぞれ、シャトル５１、６１の電子部品載置位置の確認およびテストヘッド２ａの検査用ソケットの位置を確認するために用いられる。

試験装置本体２は、ＩＣハンドラ１に着脱可能に構成されており、装着時にはＩＣハンドラ１の下側に重なるように配置されている。試験装置本体２は、テストヘッド２ａを有し、テストヘッド２ａには８つの検査用ソケット（図示せず）が設けられている。また、試験装置本体２は、８つの検査用ソケットに押圧された電子部品について検査を行うように構成されている。

次に、図１および図２を参照して、本発明の第１実施形態によるＩＣハンドラ１の動作について説明する。

まず、部品取出部３０の４つの吸着ノズルユニット３４により、未検査用トレイ収納部１０の最上段のトレイから４つの電子部品が吸着されて取り出される。そして、取り出された４つの未検査部品は、部品取出部３０により、移動されて図１に示す部品受取位置５１ａに位置するシャトル５１上の所定位置に載置される。この動作が２回繰り返されることによって、シャトル５１上に８つの未検査部品が載置される。その後、部品供給部５０により、シャトル５１が図２に示す部品受渡位置５１ｂに移送される。この際、ヘッドユニット９０は、テストヘッド２ａの上方に位置し、ヘッドユニット９０に吸着された電子部品について検査が実施されている。なお、ヘッドユニット８０がテストヘッド２ａの上方に位置し、ヘッドユニット８０に吸着された電子部品について検査が実施されている場合には、シャトル５１は、部品受渡位置５１ｃに移送される。また、シャトル５１が移送される際には、真空装置が駆動されてシャトル５１上の電子部品の位置ずれが防止される。

次に、ヘッドユニット８０が部品受渡位置５１ｂの上方に移動され、ヘッドユニット８０の８つの吸着ノズルユニット８９により、シャトル５１に載置された８つの未検査部品が吸着されて取り出される。そして、ヘッドユニット８０がＸ方向に移動されて基台１ａのＸ方向側の略中央に配置される。この際、ヘッドユニット８０が撮像装置１ｂの上方を通過することによって、吸着ノズルユニット８９に吸着されている８つの電子部品が撮像されて部品の位置ずれが検知される。そして、他方のヘッドユニット９０側の電子部品の検査が終了されて検査済み部品が上昇されると、ヘッドユニット８０は、図１に示すように、支持部材７２のＹ方向の移動に伴いヘッドユニット９０と一体的にＹ方向に移動されてテストヘッド２ａの上方に配置される。これによりヘッドユニット９０は、Ｘ方向右手の部品受取位置６１ｂの上方に、あるいはＸ方向左手の部品受渡位置５１ｃに、それぞれ移動可能となる。なお、ヘッドユニット８０，９０の各下方撮像装置８８は、工場出荷時や定期点検時、あるいは各検査ロットの検査開始時等におけるＩＣハンドラーの調整において、部品受渡位置５１ｂ、５１ｃにおけるシャトル５１上のマークの検出、部品受取位置６１ｂ、６１ｃにおけるシャトル６１上のマークの検出に使用され、不図示の各駆動装置による駆動制御におけるレール部材５２、６２上でのシャトル５１、６１の移動量が、各ヘッドユニット８０，９０に対応して調整される。さらに、各検査ロットの検査開始時に、ヘッドユニット８０，９０の各下方撮像装置８８は、テストヘッド２ａの８つの検査用ソケットの位置をヘッドユニット８０，９０に対応させて検出し、検出結果が不図示の制御装置のメモリに記憶される。

その後、吸着された電子部品の位置ずれの検知結果に基づいて、検出され記憶されたテストヘッド２ａの８つの検査用ソケットの位置（この場合はヘッドユニット８０の下方撮像装置８８により検出されたデータ）に一致するように、吸着された各電子部品の位置および向きが修正される。具体的には、位置ずれの検知結果に基づいて、吸着ノズルユニット８９のＸ方向駆動装置８３によりＸ方向に移動され、Ｙ方向駆動装置８４によりＹ方向に移動され、Ｒ軸駆動装置８５により回動されることによって、互いに独立して各々の電子部品の位置および向きが調整される。そして、昇降駆動部８２１ｂにより、８つの吸着ノズルユニット８９がユニット支持部８２と一体的に下降されて、各吸着ノズル８６８の下端部に吸着された電子部品がそれぞれ対応する検査用ソケットに押圧される。

検査が終了すると、８つの吸着ノズルユニット８９は、それぞれ検査済み部品を吸着したままユニット支持部８２と一体的に上昇される。そして、支持部材７２のＹ方向の移動に伴い、テストヘッド２ａの上方に向けＹ方向に移動するヘッドユニット９０と一体的にヘッドユニット８０がＹ方向に移動する。その後、ヘッドユニット８０は、図２に示すように、Ｘ方向に移動されて部品受取位置６１ｃの上方に配置される。そして、吸着ノズルユニット８９に吸着された８つの検査済み部品が部品受取位置６１ｃに位置するシャトル６１上の所定位置に移載される。その後、シャトル６１は、図１に示す部品受渡位置６１ａに移動され、シャトル６１上の検査済み部品は、部品収納部４０の吸着ノズルユニット４４により吸着されて取り出される。そして、８つの検査済み部品は、それぞれ、部品収納部４０において検査結果に応じた各トレイ収納部１２あるいは１３に振り分けられる。これらの一連の動作は、ヘッドユニット８０側および９０側の両方で並行して行われる。ヘッドユニット９０の場合には、ヘッドユニット８０に吸着された電子部品の検査中に、ヘッドユニット９０は、Ｘ方向右手に移動して部品受取位置６１ｂの上方において部品受取位置６１ｂに位置するシャトル６１に検査済み部品を移載し、この移載後、Ｘ方向左手に移動して部品受渡位置５１ｃでシャトル５１上から未検査部品を吸着する。吸着後、支持部材７０のＸ方向中央に移動し、ヘッドユニット８０において検査が終了し、８つの吸着ノズルユニット８９が、それぞれ検査済み部品を吸着したまま上昇したタイミングで、ヘッドユニット９０は、ヘッドユニット８０と一体的にＹ方向に移動し、テストヘッド２ａの上方で停止する。

上記の一連の動作の途中で未検査用トレイ収納部１０の最上段のトレイが空になると、トレイ移送部２０により空のトレイが空トレイ収納部１１の最上段に移送される。また、トレイ収納部１２あるいは１３の最上段のトレイが検査済み部品で満たされると、トレイ移送部２０により、空トレイ収納部１１から最上段のトレイが満たされたトレイ収納部１２あるいは１３の最上段に空のトレイが移送される。

第１実施形態では、上記のように、吸着ノズル８６８を水平面内のＸ方向に移動させるためのＸ方向駆動装置８３と、吸着ノズル８６８を水平面内のＹ方向に移動させるためのＹ方向駆動装置８４とを各々が含む８つの吸着ノズルユニット８９を設けることによって、各吸着ノズルユニット８９それぞれに吸着された各電子部品を互いに独立してＸ方向およびＹ方向に移動させることができるので、吸着する電子部品が位置ずれしている場合でも、各電子部品の位置をそれぞれの検査用ソケットの位置に精度よく合わせることができる。また、Ｘ方向駆動装置８３およびＹ方向駆動装置８４の少なくとも一部を、平面的に見て、吸着ノズル保持部材８６６に対して重なるように配置することによって、各電子部品を互いに独立してＸ方向およびＹ方向に移動させる構成を設けたとしても、吸着ノズルユニット８９の平面的な配置スペースが大きくなるのを抑制することができる。これらの結果、吸着ノズルユニット８９の平面的な配置スペースが大きくなるのを抑制しながら、各電子部品の位置をそれぞれの検査用ソケットの位置に精度よく合わせることができる。

また、第１実施形態では、平面的に見て、ユニット支持部８２の下側に重なるようにＸ方向移動部材８３３を配置し、平面的に見て、Ｘ方向移動部材８３３の下側に重なるように支持部材８４１を配置し、平面的に見て、支持部材８４１の下側に重なるように軸部８６２に取り付けられたＲ軸駆動装置８５のプーリ８５１ｂを配置するとともに、Ｘ方向移動部材８３３、支持部材８４１および軸部８６２に取り付けられたプーリ８５１ｂを、それぞれ、平面的に見て、吸着ノズル保持部材８６６に対して重なるように配置することによって、ユニット支持部８２、Ｘ方向移動部材８３３、支持部材８４１、軸部８６２に取り付けられたＲ軸駆動装置８５のプーリ８５１ｂおよび吸着ノズル保持部材８６６が上下方向にオーバラップした状態で配置されるので、吸着ノズルユニット８９の平面的な配置スペースを小さくすることができる。

また、第１実施形態では、Ｘ方向駆動機構部８３２のＸ方向モータ８３２ａを、平面的に見て、水平プレート８２２の上側に重なるように配置し、Ｙ方向駆動機構部８４３のＹ方向モータ８４３ａの一部を、平面的に見て、水平プレート８２２の上側に重なるように配置することによって、水平プレート８２２の上側の領域を利用して、Ｘ方向モータ８３２ａおよびＹ方向モータ８４３ａの一部が水平プレート８２２にオーバラップした状態で配置されるので、吸着ノズルユニット８９の平面的な配置スペースが大きくなるのを抑制することができる。

また、第１実施形態では、平面的に見て、ユニット支持部８２の下側に重なるように、Ｘ方向に延びるＸ方向ガイドレール８３１ａと、回転可能に支持されたＸ方向に延びるＸ方向ボールネジ軸８３２ｂと、Ｘ方向ボールネジ軸８３２ｂを回転させるためのＸ方向モータ８３２ａと、Ｘ方向ボールネジ軸８３２ｂに螺合するＸ方向ボールナット８３４とを配置している。さらに、平面的に見て、ユニット支持部８２の下側に重なるように、Ｘ方向ボールナット８３４を保持するＸ方向移動部材８３３を配置している。これにより、Ｘ方向モータ８３２ａによりＸ方向ボールネジ軸８３２ｂが回転されることによって、ユニット支持部８２の下側の重なる位置でＸ方向移動部材８３３を、ユニット支持部８２に対してＸ方向に移動させることができるので、平面的に見て、Ｘ方向移動部材８３３が移動の際にユニット支持部８２の配置スペースからはみ出すのを抑制することができる。

また、第１実施形態では、平面的に見て、Ｘ方向移動部材８３３の下側に重なるように、Ｙ方向に延びる外側スライダ８４２ａおよび内側スライダ８４２ｂと、回転可能に支持されたＹ方向に延びるＹ方向ボールネジ軸８４３ｂと、Ｙ方向ボールネジ軸８４３ｂを回転させるためのＹ方向モータ８４３ａと、Ｙ方向ボールネジ軸８４３ｂに螺合するＹ方向ボールナット８４４とを配置している。さらに、平面的に見て、Ｘ方向移動部材８３３の下側に重なるように、Ｙ方向ボールナット８４４を保持するヘッド取付部材８４５を配置している。これにより、Ｙ方向モータ８４３ａによりＹ方向ボールネジ軸８４３ｂが回転されることによって、ユニット支持部８２およびＸ方向移動部材８３３の両方にオーバラップする位置でヘッド取付部材８４５をＸ方向移動部材８３３に対してＹ方向に移動させることができるので、平面的に見て、ヘッド取付部材８４５が移動の際にユニット支持部８２およびＸ方向移動部材８３３の配置スペースからはみ出すのを抑制することができる。

また、第１実施形態では、８つの吸着ノズルユニット８９を、ユニット支持部８２の移動に伴ってユニット支持部８２と一体的に鉛直方向（Ｚ方向）に移動するように構成することによって、ユニット支持部８２を鉛直方向に移動させるための昇降駆動部８２１ｂを用いて、各吸着ノズル８６８をユニット支持部８２と一体的に鉛直方向に移動させることができるので、吸着ノズル８６８を鉛直方向に移動させるための駆動装置を各吸着ノズルユニット８９のそれぞれに別々に設ける必要がない。これにより、構造が複雑化するのを抑制することができる。

（第２実施形態）
図１１は、本発明の第２実施形態によるＩＣハンドラの構成を説明するための断面図である。図１１を参照して、この第２実施形態では、上記第１実施形態と異なり、吸着ノズルユニット２８９のＸ方向駆動装置２８３およびＹ方向駆動装置２８４がそれぞれリニアモータ方式によりＸ方向およびＹ方向に吸着ノズル８６８を移動させるＩＣハンドラ２００について説明する。

第２実施形態では、図１１に示すように、Ｘ方向駆動装置２８３およびＹ方向駆動装置２８４が、平面的に見て、それぞれ水平プレート８２２の下側に重なるように配置されている。また、８つの吸着ノズルユニット２８９は、それぞれ、同様の構成を有している。

各Ｘ方向駆動装置２８３は、下側に配置された吸着ノズル８６８（図１０参照）を水平プレート８２２に対して、それぞれ個別独立にＸ方向に移動させる機能を有している。また、各Ｘ方向駆動装置２８３は、それぞれ、Ｘ方向スライド部２８３ａと、Ｘ方向駆動機構部２８３ｂと、Ｘ方向移動部材２８３ｃとから構成されている。なお、Ｘ方向移動部材２８３ｃは、本発明の「移動部材」の一例である。

Ｘ方向スライド部２８３ａは、Ｘ方向に延びるＸ方向ガイドレール２８３ｄと、Ｘ方向ガイドレール２８３ｄに摺動可能なＸ方向スライダ２８３ｅとを有している。また、Ｘ方向ガイドレール２８３ｄは、１つの吸着ノズルユニット２８９につき２本ずつ設けられ、水平プレート８２２の下面に取り付けられている。Ｘ方向スライダ２８３ｅは、Ｘ方向ガイドレール２８３ｄの両側側面に設けられたＸ方向に延びる溝部に係合する一対の爪部を有しており、爪部が溝部に係合した状態でＸ方向ガイドレール２８３ｄに対してＸ方向にのみスライド可能に構成されている。なお、Ｘ方向ガイドレール２８３ｄは、本発明の「第１案内部材」の一例である。

各Ｘ方向駆動機構部２８３ｂは、固定子２８３ｆと、コイル部２８３ｇと、図示しない電源部とを有している。なお、コイル部２８３ｇは、本発明の「可動子」の一例であり、本発明の「第１のコイル」となる。固定子２８３ｆは、円柱形状を有し、Ｘ方向に延びるように形成されている。また、固定子２８３ｆは、両端部が取付部材２８３ｈにより水平プレート８２２の下面に取り付けられ、平面的に見て、水平プレート８２２の下側に重なるように配置されている。また、固定子２８３ｆは短い円柱状の複数の永久磁石２８３ｉを有し、永久磁石２８３ｉの周囲は非磁性体からなるスリーブ（図示せず）で覆われている。複数の永久磁石２８３ｉは、Ｎ極、Ｓ極が交互に逆向きに位置するように軸方向（Ｘ方向）に配列されている。コイル部２８３ｇは、中空形状のＸ方向移動部材２８３ｃの内部においてＸ方向移動部材２８３ｃに固定的に保持されている。また、コイル部２８３ｇは、導電性線材が螺旋状に巻かれることにより円筒状に形成されている。また、コイル部２８３ｇの内部には、円柱形状の固定子２８３ｆが挿入されている。コイル部２８３ｇの内径は、固定子２８３ｆの間で僅かな隙間が確保できるよう、固定子２８３ｆの外形より僅かに大径とされている。また、コイル部２８３ｇは、Ｘ方向側の全長が固定子２８３ｆの全長よりも短くなるように形成されている。また、コイル部２８３ｇには、電源部により電圧が印加されるように構成されている。

Ｘ方向移動部材２８３ｃは、上面がＸ方向スライダ２８３ｅの下面に取り付けられ、Ｘ方向移動部材２８３ｃのＸ方向側の両端部には、固定子２８３ｆの間で僅かな隙間が確保できるよう、固定子２８３ｆの外形より僅かに大径とされるが、コイル部２８３ｇの内径よりは小さな内径を有するブッシュ部材２８３ｊが、それぞれ設けられ、Ｘ方向ガイドレール２８３ｄとＸ方向スライダ２８３ｅとの間に磨耗によりガタが生じても、固定子２８３ｆとコイル部２８３ｇとが直ちに接触しないようにする。また、Ｘ方向移動部材２８３ｃは、平面的に見て、水平プレート８２２の下側に重なるように配置されている。

上記のような構成により、コイル部２８３ｇに印加する電圧を制御することによって、各Ｘ方向駆動装置２８３は、水平プレート８２２に対して、それぞれ個別独立にＸ方向にＸ方向移動部材２８３ｃを移動させることが可能である。なお、Ｘ方向駆動装置２８３には、図示しないスケールおよびスケールを磁気的に読み取り可能なＭＲヘッドが設けられており、これらを用いてＸ方向移動部材２８３ｃのＸ方向の移動量が調整される。

Ｙ方向駆動装置２８４は、上記したＸ方向駆動装置２８３と同様の構成を有している。また、各Ｙ方向駆動装置２８４は、下側に配置された吸着ノズル８６８（図１０参照）をＸ方向移動部材２８３ｃに対して、それぞれ個別独立にＹ方向に移動させる機能を有している。また、各Ｙ方向駆動装置２８４は、それぞれ、Ｙ方向スライド部２８４ａと、Ｙ方向駆動機構部２８４ｂと、Ｙ方向移動部材２８４ｃとから構成されている。

Ｙ方向スライド部２８４ａは、Ｙ方向に延びるＹ方向ガイドレール２８４ｄと、Ｙ方向ガイドレール２８４ｄに摺動可能なＹ方向スライダ２８４ｅとを有している。また、Ｙ方向ガイドレール２８４ｄは、１つの吸着ノズルユニット２８９につき２本ずつ設けられ、Ｘ方向移動部材２８３ｃの下面に取り付けられている。Ｙ方向スライダ２８４ｅは、Ｙ方向ガイドレール２８４ｄの両側側面に設けられたＹ方向に延びる溝部に係合する一対の爪部を有しており、爪部が溝部に係合した状態でＹ方向ガイドレール２８４ｄに対してＹ方向にのみスライド可能に構成されている。

各Ｙ方向駆動機構部２８４ｂは、固定子２８４ｆと、コイル部２８４ｇと、図示しない電源部とを有している。固定子２８４ｆは、円柱形状を有し、Ｙ方向に延びるように形成されている。また、固定子２８４ｆは、両端部が図示しない取付部材によりＸ方向移動部材２８３ｃの下面に取り付けられ、平面的に見て、Ｘ方向移動部材２８３ｃの下側に重なるように配置されている。また、固定子２８４ｆは、短い円柱状の複数の永久磁石２８４ｉを有し、永久磁石２８４ｉの周囲は非磁性体からなるスリーブ（図示せず）で覆われている。複数の永久磁石２８４ｉは、Ｎ極、Ｓ極が交互に逆向きに位置するように軸方向（Ｙ方向）に配列されている。コイル部２８４ｇは、中空形状のＹ方向移動部材２８４ｃの内部において、Ｙ方向移動部材２８４ｃを構成する後述する上側部材２８４ｊおよびヘッド取付部材２８４ｋに固定的に保持されている。また、コイル部２８４ｇは、導電性線材が螺旋状に巻かれることにより円筒状に形成されている。また、コイル部２８４ｇの内部には、円柱形状の固定子２８４ｆが挿入されている。また、コイル部２８４ｇは、Ｙ方向側の全長が固定子２８４ｆの全長よりも短くなるように形成されている。また、コイル部２８４ｇの内径は、固定子２８４ｆの間で僅かな隙間が確保できるよう、固定子２８４ｆの外形より僅かに大径とされている。また、コイル部２８４ｇには、電源部により電圧が印加されるように構成されている。なお、ヘッド取付部材２８４ｋは、本発明の「移動部材」の一例である。

Ｙ方向移動部材２８４ｃを構成する上側部材２８４ｊの上面がＸ方向スライダ２８３ｅの下面に取り付けられる。Ｙ方向移動部材２８４ｃのＹ方向側の両端部には、固定子２８４ｆの間で僅かな隙間が確保できるよう、固定子２８４ｆの外形より僅かに大径とされるが、コイル部２８４ｇの内径よりは小さな内径を有する図示しないブッシュ部材がそれぞれ設けられ、Ｙ方向ガイドレール２８４ｄとＹ方向スライダ２８４ｅとの間に磨耗によりガタが生じても、固定子２８４ｆとコイル部２８４ｇが直ちに接触しないようにする。また、Ｙ方向移動部材２８４ｃは、平面的に見て、Ｘ方向移動部材２８３ｃの下側に重なるように配置されている。また、ヘッド取付部材２８４ｋの下には、上記第１実施形態と同様に、Ｒ軸駆動装置８５およびヘッド部８６が配置される。すなわち、水平プレート８２２と、Ｘ方向駆動装置２８３の固定子２８３ｆと、Ｘ方向駆動装置２８３のコイル部２８３ｇと、Ｘ方向移動部材２８３ｃと、Ｙ方向移動部材２８４ｃと、Ｙ方向駆動装置２８４の固定子２８４ｆと、Ｙ方向駆動装置２８４のコイル部２８４ｇと、軸部８６２に取り付けられたＲ軸駆動装置８５のプーリ８５１ｂ（図１０参照）と、ヘッド部８６（図１０参照）とは、それぞれ、平面的に見て、吸着ノズル保持部材８６６に対して重なるように配置されている。

上記のような構成により、コイル部２８４ｇに印加する電圧を制御することによって、各Ｙ方向駆動装置２８４は、Ｘ方向移動部材２８３ｃに対して、それぞれ個別独立にＹ方向にＹ方向移動部材２８４ｃを移動させることが可能である。なお、Ｙ方向駆動装置２８４には、図示しないスケール、および、スケールを磁気的に読み取り可能なＭＲヘッド２８４ｌが設けられており、これらを用いてＹ方向移動部材２８４ｃのＹ方向の移動量が調整される。

なお、第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

第２実施形態では、上記のように、モータ、プーリ、タイミングベルトが不要となり、ボールネジ軸およびボールナットを用いる構造に比べてより簡単な構造でＸ方向移動部材２８３ｃおよびＹ方向移動部材２８４ｃをそれぞれＸ方向およびＹ方向に移動させることができるとともに、平面的に見て、Ｘ方向移動部材２８３ｃおよびＹ方向移動部材２８４ｃが、それぞれ、移動の際に水平プレート８２２の配置スペースからはみ出すのを抑制することができる。

なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記第１実施形態および第２実施形態では、ヘッドユニットに８つの吸着ノズルユニットを設ける例を示したが、本発明はこれに限らず、複数の吸着ノズルユニットであれば、８つ以外の複数の吸着ノズルユニットを設けてもよい。

また、上記第１実施形態および第２実施形態では、部品取出部および部品収納部のヘッド部にそれぞれ４つの吸着ノズルユニットを設ける例を示したが、本発明はこれに限らず、それぞれに１つの吸着ノズルユニットを設けてもよいし、４つ以外の複数の吸着ノズルユニットを設けてもよい。

また、上記第１実施形態および第２実施形態では、Ｘ方向移動部材およびヘッド取付部材のそれぞれを、平面的に見て、水平プレートの下側に重なるように配置する例を示したが、本発明はこれに限らず、Ｘ方向移動部材およびヘッド取付部材のそれぞれを、平面的に見て、水平プレートの上側に重なるように配置してもよい。

また、上記第１実施形態では、すべてのＸ方向モータを水平プレートの上側に重なるように配置する例を示したが、本発明はこれに限らず、Ｘ方向モータの一部だけを水平プレートの上側に重なるように配置してもよいし、Ｘ方向モータのすべてまたは一部を水平プレートの下側に重なるように配置してもよい。

また、上記第１実施形態では、Ｙ方向モータの一部を水平プレートの上側に重なるように配置する例を示したが、本発明はこれに限らず、Ｙ方向モータのすべてを水平プレートの上側に重なるように配置してもよいし、Ｙ方向モータのすべてを水平プレートの下側に重なるように配置してもよい。

また、上記第１実施形態では、Ｘ方向ガイドレール、Ｘ方向ボールネジ軸およびＸ方向ボールナットを、それぞれ、平面的に見て、水平プレートの下側に重なるように配置する例を示したが、本発明はこれに限らず、Ｘ方向ガイドレール、Ｘ方向ボールネジ軸およびＸ方向ボールナットを、それぞれ、平面的に見て、水平プレートの上側に重なるように配置してもよい。

また、上記第１実施形態では、外側スライダ、Ｙ方向ボールネジ軸およびＹ方向ボールナットを、それぞれ、平面的に見て、Ｘ方向移動部材の下側に重なるように配置する例を示したが、本発明はこれに限らず、外側スライダ、Ｙ方向ボールネジ軸およびＹ方向ボールナットを、それぞれ、平面的に見て、Ｘ方向移動部材の上側に重なるように配置してもよい。

また、上記第１実施形態においては、それぞれのヘッドユニットにおいて８つの吸着ノズルユニットに、それぞれＸ方向駆動装置、Ｙ方向駆動装置およびＲ軸駆動装置を搭載したが、８つのうちの１つの吸着ノズルユニットに対しては、Ｒ軸駆動装置のみを搭載するようにしてもよい。撮像装置により検出される電子部品の位置ずれの内、Ｒ軸駆動装置のみを搭載する吸着ノズルユニットにおける電子部品のＸ方向、Ｙ方向の位置ずれは、ヘッドユニットのＸ方向、Ｙ方向の位置補正で対応し、その他の吸着ノズルユニットにおける電子部品のＸ方向、Ｙ方向の位置ずれは、それぞれＸ方向駆動装置、Ｙ方向駆動装置の位置補正量算出時、ヘッドユニットのＸ方向、Ｙ方向の位置補正分を算出に際して差し引いて算出するようにする。

また、上記第２実施形態では、Ｘ方向駆動装置およびＹ方向駆動装置の両方をリニアモータ方式に構成する例を示したが、本発明はこれに限らず、Ｘ方向駆動装置およびＹ方向駆動装置のいずれか一方だけをリニアモータ方式に構成してもよい。

また、上記第２実施形態では、固定子の一例として、永久磁石からなる固定子を示すとともに、可動子の一例として、コイル部（第１のコイル）を示したが、本発明はこれに限らず、コイル（第１のコイル）からなる固定子および永久磁石からなる可動子であってもよい。さらに、固定子および可動子の両方とも、コイル（第１のコイル、第２のコイル）であってもよい。

本発明の第１実施形態によるＩＣハンドラの全体構成を示す平面図である。 本発明の第１実施形態によるＩＣハンドラの全体構成を示す平面図である。 本発明の第１実施形態によるＩＣハンドラのヘッドユニットを示す斜視図である。 本発明の第１実施形態によるＩＣハンドラのヘッドユニットを示す側面図である。 本発明の第１実施形態によるＩＣハンドラのヘッドユニットを示す斜視図である。 本発明の第１実施形態によるＩＣハンドラのヘッドユニットの構成を説明するための斜視図である。 図６の３００−３００線に沿った断面図である。 図６の４００−４００線に沿った断面図である。 本発明の第１実施形態によるＩＣハンドラのヘッドユニットの構成を説明するための斜視図である。 本発明の第１実施形態によるＩＣハンドラのヘッド部を示す断面図である。 本発明の第２実施形態によるＩＣハンドラのヘッドユニットの構成を説明するための断面図である。

符号の説明

１、２００ ＩＣハンドラ
８２ ユニット支持部
８３、２８３ Ｘ方向駆動装置（第１方向駆動装置）
８４、２８４ Ｙ方向駆動装置（第２方向駆動装置）
８５ Ｒ軸駆動装置（回動駆動装置）
８９ 吸着ノズルユニット
２８３ｃ Ｘ方向移動部材（移動部材）
２８３ｄ Ｘ方向ガイドレール（第１案内部材）
２８３ｆ、２８４ｆ 固定子
２８３ｇ、２８４ｇ コイル部
２８４ｋ ヘッド取付部材（移動部材）
８２２ 水平プレート
８３１ａ Ｘ方向ガイドレール（第１案内部材）
８３２ Ｘ方向駆動機構部（第１駆動機構部）
８３２ａ Ｘ方向モータ（第１モータ）
８３２ｂ Ｘ方向ボールネジ軸（第１ボールネジ軸）
８３３ Ｘ方向移動部材（第１部分、第１方向移動部材）
８３４ Ｘ方向ボールナット（第１ボールナット）
８４２ａ 外側スライダ（第２案内部材）
８４３ Ｙ方向駆動機構部（第２駆動機構部）
８４３ａ Ｙ方向モータ（第２モータ）
８４３ｂ Ｙ方向ボールネジ軸（第２ボールネジ軸）
８４４ Ｙ方向ボールナット（第２ボールナット）
８４５ ヘッド取付部材（第２部分、第２方向移動部材）
８５１ｂ プーリ（第３部分）
８６６ 吸着ノズル保持部材
８６８ 吸着ノズル

Claims (7)

1. 水平方向および鉛直方向に移動可能なユニット支持部と、
   電子部品を吸着する吸着ノズルを保持する吸着ノズル保持部材を含む複数の吸着ノズルユニットとを備え、
   前記複数の吸着ノズルユニットのうち、前記吸着ノズルユニットの個数と同数あるいは１つ少ない個数の前記吸着ノズルユニットにおいて、前記吸着ノズルを前記ユニット支持部に対して水平面内の第１方向に移動させるための第１方向駆動装置と、前記吸着ノズルを前記ユニット支持部に対して前記第１方向と交差する水平面内の第２方向に移動させるための第２方向駆動装置とを各々の前記吸着ノズルユニットが含み、
   前記第１方向駆動装置および前記第２方向駆動装置の少なくとも一部は、平面的に見て、前記吸着ノズル保持部材に対して重なるように配置されている、ＩＣハンドラ。
2. 前記第１方向駆動装置は、平面的に見て、前記ユニット支持部の下側に重なるように配置される第１部分を有し、
   前記第２方向駆動装置は、平面的に見て、前記第１方向駆動装置の前記第１部分の下側に重なるように配置される第２部分を有し、
   平面的に見て、前記第２方向駆動装置の前記第２部分の下側に重なるように配置される第３部分を有する回動駆動装置をさらに備え、
   前記第１方向駆動装置の前記第１部分、前記第２方向駆動装置の前記第２部分および前記回動駆動装置の前記第３部分は、それぞれ、平面的に見て、前記吸着ノズル保持部材に対して重なるように配置されている、請求項１に記載のＩＣハンドラ。
3. 前記ユニット支持部は、平板状の水平プレートを含み、
   前記第１方向駆動装置は、前記吸着ノズルを前記第１方向に移動させるための第１駆動機構部をさらに有し、
   前記第２方向駆動装置は、前記吸着ノズルを前記第２方向に移動させるための第２駆動機構部をさらに有し、
   前記第１駆動機構部の一部は、平面的に見て、前記水平プレートの上側に重なるように配置され、
   前記第２駆動機構部の一部は、平面的に見て、前記水平プレートの上側に重なるように配置されている、請求項２に記載のＩＣハンドラ。
4. 前記第１方向駆動装置は、前記第１方向に延びる第１案内部材と、回転可能に支持された前記第１方向に延びる第１ボールネジ軸と、前記第１ボールネジ軸を回転させるための第１モータと、前記第１ボールネジ軸に螺合する第１ボールナットと、平面的に見て、前記ユニット支持部の下側に重なるように配置され、前記第１ボールナットを保持するとともに、前記第１モータにより前記第１ボールネジ軸が回転されることによって、前記ユニット支持部に対して前記第１方向に移動する第１方向移動部材とをさらに有する、請求項２または３に記載のＩＣハンドラ。
5. 前記第２方向駆動装置は、前記第２方向に延びる第２案内部材と、回転可能に支持された前記第２方向に延びる第２ボールネジ軸と、前記第２ボールネジ軸を回転させるための第２モータと、前記第２ボールネジ軸に螺合する第２ボールナットと、平面的に見て、前記第１方向移動部材の下側に重なるように配置され、前記第２ボールナットを保持するとともに、前記第２モータにより前記第２ボールネジ軸が回転されることによって、前記第１方向移動部材に対して前記第２方向に移動する第２方向移動部材とをさらに有する、請求項４に記載のＩＣハンドラ。
6. 前記第１方向駆動装置および前記第２方向駆動装置の少なくとも一方は、前記第１方向に延びる第１案内部材、または前記第２方向に延びる第２案内部材と、前記第１方向または前記第２方向に延びる固定子と、前記固定子に対向して配置される可動子と、平面的に見て、前記ユニット支持部の下側に重なるように配置され、前記第１案内部材または前記第２案内部材に移動可能に保持されるとともに、前記可動子を保持する移動部材とをさらに有し、
   前記固定子または前記可動子の一方は、第１のコイルからなり、
   前記固定子または前記可動子の他方は、永久磁石あるいは第２のコイルからなり、
   少なくとも前記第１のコイルに電圧が印加されることによって、前記可動子を保持する前記移動部材が前記ユニット支持部に対して前記第１方向または前記第２方向に移動するように構成されている、請求項２に記載のＩＣハンドラ。
7. 前記複数の吸着ノズルユニットは、それぞれ個別に独立して前記第１方向および前記第２方向に前記吸着ノズルを移動させるとともに、前記ユニット支持部の移動に伴って前記ユニット支持部と一体的に鉛直方向に移動するように構成されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載のＩＣハンドラ。

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