JP2010150575A - シャワー電極板及びプラズマcvd装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、基板の表面に薄膜を形成する成膜室内に配置され、基板の表面に原料ガスGを供給するためのガス流通孔6が設けられているシャワー電極板1において、ガス流通孔6のブラスト処理面側に位置する開口周縁部が傾斜面状に形成され、傾斜面部6aとなっている。
【選択図】図2
Description
このような薄膜太陽電池の製造方法としては、各成膜室内を連続的に移動する基板上に連続的に層を成膜するロールツーロール方式と、各成膜室内で同時に停止させた基板上に成膜し、その後、成膜が終了した基板部分を次の成膜室へ送り出すステッピングロール方式とがある。
図5に示す成膜装置は、長尺の可撓性基板51を巻いた巻出しロール52が収容される巻出し室53と、可撓性基板51を巻取る巻取りロール54が収容される巻取り室55と、これら巻出し室53と巻取り室55との間で可撓性基板51の搬送方向に沿って配置され、可撓性基板51に金属電極層、光電変換層及び透明電極層などの薄膜を形成するために設けられた複数個の独立した処理空間としての成膜室56とを備えている。
このような成膜装置において、可撓性基板51は、巻出し室53内の巻出しロール52から巻出され、巻取り室55の巻取りロール54に巻き取られる間に、複数の成膜室56で成膜されるように構成されている。
成膜室56は、断続的に搬送されて来る可撓性基板51の上下に対向して配置され、ボックス形状を形成する上部壁体61と下部壁体62とを備えている。そして、成膜時には、図6(B)に示すように、上部壁体61が下降し、アノード電極58が搬入された可撓性基板51を押さえ、下部壁体62の開口側端部のシール部材63に接触する。これにより、下部壁体62と可撓性基板51とから、排気管64に連通する気密に密閉された成膜空間65が形成される。この状態で、カソード電極57へ高周波電圧を印加することにより、プラズマを成膜空間65に発生させ、ガス供給管60に導入された原料ガスを分解して可撓性基板51の表面に薄膜が形成され、成膜が行われることになる。
さらに、従来のブラスト処理では、シャワー電極板の表面に付着した不要な膜を十分に洗浄することが難しいので、ブラスト工程を何回も繰り返して行う必要があり、作業性に問題がある上、上述した問題をより発生させるおそれがある。しかも、シャワー電極板を交換する場合は、その全体を交換しなければならないので、コスト高を招来するという問題がある。
さらに、本発明において、前記ガス流通孔の開口周縁部が、湾曲した傾斜面状に形成されている。
そして、本発明において、前記ガス流通孔の内周壁の中間部分が、互いに接近する方向へ突出した湾曲面に形成されている。
さらに、本発明のシャワー電極板は、前記ガス流通孔の開口周縁部が、湾曲した傾斜面状に形成され、あるいは、前記ガス流通孔の内周壁の中間部分が、互いに接近する方向へ突出した湾曲面に形成されているので、上記発明と同様の効果を得ることができる。
図1は本発明の第1実施形態に係るシャワー電極板の断面図、図2は図1におけるA部の拡大断面図である。
図1に示す本発明の第1実施形態に係るシャワー電極板1は、プラズマCVD法によって可撓性基板の表面に薄膜を成膜すべく、プラズマCVD装置において、高周波電圧を印加する平行平板のカソード電極として用いられるものである。
ガス分散空間形成部2は、一方側に開口部を有する断面略コ字状に形成されており、その凹部内側には、供給された原料ガスGを均一に分散させるガス分散空間4が設けられている。また、ガス分散空間形成部2の他方側には、原料ガスGをガス分散空間4に導くガス供給管5が設けられており、該ガス供給管5の先端はガス分散空間4に連通され、該ガス供給管5の基端は図示しないガス供給源に接続されている。なお、シャワー電極板1は、図6に示す従来例と同様、図示しない高周波電源に接続されている。
図3は本発明の第2実施形態に係るシャワー電極板であって、図1におけるA部の拡大断面図である。
この第2実施形態では、ガス流通孔6の開口周縁部が湾曲した傾斜面状に形成され、湾曲の傾斜面部6bとなっている。
その他の構成及び作用効果は、上記第1実施形態と同様である。
図4は本発明の第3実施形態に係るシャワー電極板であって、図1におけるA部の拡大断面図である。
この第3実施形態では、ガス流通孔16の内周壁の中間部分が互いに接近する方向へ突出した湾曲面に形成されているとともに、開口周縁部が湾曲した傾斜面部16aとなっている。
その他の構成及び作用効果は、上記第1実施形態と同様である。
2 ガス分散空間形成部
3 シャワーヘッド
4 ガス分散空間
5 ガス供給管
6,16 ガス流通孔
6a,6b,16a 傾斜面部
G 原料ガス
Claims (5)
- 基板の表面に薄膜を形成する成膜室内に配置され、前記基板の表面に原料ガスを供給するためのガス流通孔が設けられているシャワー電極板において、前記ガス流通孔のブラスト処理面側に位置する開口周縁部が傾斜面状に形成されていることを特徴とするシャワー電極板。
- 前記ガス流通孔の表裏両面に臨む開口周縁部が、それぞれ傾斜面状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のシャワー電極板。
- 前記ガス流通孔の開口周縁部が、湾曲した傾斜面状に形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のシャワー電極板。
- 前記ガス流通孔の内周壁の中間部分が、互いに接近する方向へ突出した湾曲面に形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のシャワー電極板。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のシャワー電極板は、プラズマCVD法によって基板の表面に薄膜を成膜すべく、高周波電圧を印加する平行平板のカソード電極として用いられていることを特徴とするプラズマCVD装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010150575A true JP2010150575A (ja) | 2010-07-08 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000216095A (ja) * | 1999-01-20 | 2000-08-04 | Tokyo Electron Ltd | 枚葉式熱処理装置 |
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JP2005002423A (ja) * | 2003-06-12 | 2005-01-06 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 薄膜形成装置 |
JP2007080846A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-29 | Toshiba Ceramics Co Ltd | ガス分散プレート及びその製造方法 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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