JP2010147164A - 半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
複数の第1の空洞を含む第1空洞含有層を成長用基板上に形成する工程と、複数の第2の空洞を含み、互いに隣接する第2の空洞間の隔壁部の各々が第1の空洞の各々の上部に設けられた第2空洞含有層を第1空洞含有層上に形成する工程と、第2空洞含有層上に半導体層をエピタキシャル成長させる工程と、半導体層上に支持基板を接着する工程と、第1および第2の空洞の各々にエッチャントを流入させて、第1の空洞の各々と第2の空洞の各々とを結合させて成長用基板を半導体層から除去する工程と、を含む。
【選択図】図5
Description
はじめに、成長用基板を用意する。本実施例では、MOCVD法(有機金属気相成長法)によりGaN系の半導体エピタキシャル層を形成することができるC面サファイア基板10を成長用基板として用いた。
次に、SiO2マスク20が形成されたサファイア基板10のサーマルクリーニングを行う。具体的には、サファイア基板10をMOCVD装置にセットし、1000℃に制御された還元雰囲気(水素流量10LM、窒素流量7LM)にて7分間処理した。尚、雰囲気温度を1000℃以上、処理時間は3〜20分としてもよい。
次に、SiO2マスク20が形成されたサファイア基板10上にGaNからなる低温バッファ層30を形成する。雰囲気温度525℃に制御されたMOCVD装置にサファイア基板10をセットし、窒素(流量13.5LM)および水素(流量6LM)の混合雰囲気下でトリメチルガリウム(TMG)(流量10μmol/min)およびアンモニア(NH3)(流量3.3LM)を供給して(この場合V/III比は14000程度となる)、膜厚150nm程度の低温バッファ層30を形成した。その後、MOCVD装置内部を800℃まで昇温し、30秒保持してアニールを行った。
先の工程で形成したバッファ層30上に縦方向成長が助長される条件でGaN成長を行う処理(第1ステップと称する)と横方向成長が助長される条件でGaN膜の成長を行う処理(第2ステップと称する)とを交互に複数回繰り返すことにより、SiO2マスク20上に空洞41を有する第1空洞含有層40をサファイア基板10上に形成する。
次に、第1空洞含有層40上にSiO2マスク50がストライプ状に配列された第2マスク層を形成する。第2マスク層を構成するSiO2マスク50の各々は、例えば第1マスク層におけるSiO2マスク20の各々と同一幅、同一ピッチおよび同一の方向に伸張するように形成される。またSiO2マスク50の各々の間に位置する非マスク部51の各々が下方の第1マスク層におけるSiO2マスク20の各々と完全に重なるように、また、SiO2マスク20の各々の間に位置する非マスク部21の各々が上方の第2マスク層におけるSiO2マスク50の各々と完全に重なるようにSiO2マスク50を配置する(図3(d))。
次に、第2マスク層が形成された第1空洞含有層40上にGaN膜をエピタキシャル成長させることにより、SiO2マスク50上に空洞61を有する第2空洞含有層60を形成する。具体的には、雰囲気温度700℃に制御されたMOCVD装置に上記各工程を経たウエハをセットし、窒素流量13.5LMの雰囲気下で、TMGを流量45μmol/min、NH3を流量5.5LMで供給するとともに、ドーパントガスとしてSiH4を供給し、Siが5×1018atom/cm3ドープされた膜厚500nm程度のGaN膜を第1空洞含有層40上に成長させる。
次に、MOCVD法により第2空洞含有層60の上にGaN系半導体からなるn層71、発光層72およびp層73を含む半導体エピタキシャル層70を形成する(図4(f))。
次に、EB法等により、p層73上にPt(10Å)およびAg(3000Å)をこの順番で堆積し、電極層81を形成する。Pt層によりp層73との間でオーミック接触が確保され、Ag層により高反射率が確保される。続いて、Ti(1000Å)、Pt(2000Å)およびAu(2000Å)をこの順番で堆積し、接着層82を形成する。接着層82は後述する支持基板90との接着部を構成する(図4(g))。
次に、上記各工程を経たウエハを液温50℃の5M−KOHに浸漬し、第1および第2の空洞含有層40および60をエッチングすることによりサファイア基板10を剥離する。このウェットエッチング処理において第1および第2の空洞含有層40および60内部に形成された空洞41および61内にエッチャントが流入する。KOHを用いたウェットエッチングにおいては、GaNのC−面に対して垂直方向のエッチングレートの方が、横方向のエッチングレートよりも高い。このため、空洞41および61の内部においては、GaN膜の積層方向上方に向けてエッチングが進行する異方性エッチングとなる。つまり、このウェットエッチング処理により、空洞41および空洞61はそれぞれ上方に向けて拡大していく(図5(i))。エッチングが進行し、下層の空洞41が上層の空洞61と結合した段階でサファイア基板10が半導体エピタキシャル層70および支持基板90を含む半導体発光素子から剥離される。空洞61形成部においてはGaN膜のエッチングが進行するため、サファイア基板10の剥離後は、n層71が表出することとなるが、互いに隣接する空洞61間の領域に対応する部分については、エッチングがn層71に達する前にサファイア基板10の剥離に至るため、この部分は凸部100として残る。すなわち、このウェットエッチング処理により、サファイア基板10剥離後の半導体発光素子側の剥離面には、SiO2マスクパターンに対応した比較的長い周期の矩形状凹凸パターンが形成される(本実施例では、SiO2マスクパターン一致して幅1μmの凸部100が4μm周期で形成されることとなる)。また、このウェットエッチング処理においては、エッチング面にGaNの結晶構造に由来する幅0.2μm程度の多数の六角錐状突起(マイクロコーン)が上記長周期の凹凸面に沿って形成される。つまり、本工程では、第1および第2空洞含有層40および60に形成された空洞41および61にエッチャントを流入させてエッチング処理を行うことにより、サファイア基板10を半導体発光素子から剥離するとともに、半導体発光素子の表面に比較的長い周期の凹凸と比較的短い周期の凹凸を同時に形成するのである(図5(j))。
次に、上記した如き凹凸が形成されたn層71表面にEB法等によりTiおよびAlを順次堆積し、更にボンディング性向上のため、最表面にTi/Auを堆積することによりn電極110を形成する(図5(k))。尚、電極材料としてはTi/Al以外に、Al/Rh、Al/Ir、Al/Pt、Al/Pd等を用いることとしてもよい。
次に、n電極110が形成された支持基板付き半導体エピタキシャル層70を個別のチップに分離する。この工程は、まず、半導体エピタキシャル層50表面に各チップ間に溝を設けるようにしたパターンをレジストによりパターニングする。次に、反応性イオンエッチング(Reactive Ion Etching)を用いて半導体エピタキシャル層70表面から電極層81に達する深さまで溝を形成する。その後、支持基板90等をダイシングし、各チップに分離する。また、レーザスクライブ等の技術を用いてもよい。以上の各工程を経ることにより半導体発光素子が完成する。
20 SiO2マスク
21 マスク部
22 非マスク部
40 第1空洞含有層
41 空洞
50 SiO2マスク
51 非マスク部
60 第2空洞含有層
70 半導体エピタキシャル層
90 支持基板
Claims (26)
- 複数の第1の空洞を含む第1空洞含有層を成長用基板上に形成する工程と、
複数の第2の空洞を含み、互いに隣接する前記第2の空洞間の隔壁部の各々が前記第1の空洞の各々の上部に設けられた第2空洞含有層を前記第1空洞含有層上に形成する工程と、
前記第2空洞含有層上に半導体層をエピタキシャル成長させる工程と、
前記半導体層上に支持基板を接着する工程と、
前記第1および第2の空洞の各々にエッチャントを流入させて、前記第1の空洞の各々と前記第2の空洞の各々とを結合させて前記成長用基板を前記半導体層から除去する工程と、を含むことを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 前記第1空洞含有層を形成する工程は、
前記成長用基板上に選択成長用の第1マスクを形成する工程と、
前記成長用基板上に前記第1マスクを介してIII族窒化物を選択成長させて前記第1マスクに沿って前記第1マスク上部に設けられた空洞を有する層を形成する第1選択成長工程と、を含み、
前記第2空洞含有層を形成する工程は、
前記第1空洞含有層上に選択成長用の第2マスクを形成する工程と、
前記第1空洞含有層上に前記第2マスクを介してIII族窒化物を選択成長させて前記第2マスクに沿って前記第2マスク上部に設けられた空洞を有する層を形成する第2選択成長工程と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。 - 前記第1選択成長工程は、互いに異なる成長レートで前記III族窒化物の成長を行う第1ステップおよび第2ステップを交互に複数回実施する処理を含むことを特徴とする請求項2に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記第1マスクは、前記III族窒化物の結晶方位の<10−10>に平行な軸及びこの軸と同等な軸に平行な辺を有し、且つ、前記成長用基板の一端部から他端部まで連続したパターンを有していることを特徴とする請求項2又は3に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記第1マスクは、マスク部と非マスク部が交互に配されたストライプパターンを有していることを特徴とする請求項4に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記第2マスクは、マスク部と非マスク部が交互に配されたストライプパターンを有し、前記第2マスクの非マスク部が前記第1マスクのマスク部上に位置していることを特徴とする請求項4又は5に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記第1マスクは、マスク部の幅が1μm以上4μm以下であり、且つ、非マスク部の幅が1μm以上3μm以下であることを特徴とする請求項6に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記第2マスクは、マスク部の幅が1μm以上4μm以下であり、且つ、非マスク部の幅が1μm以上3μm以下であることを特徴とする請求項6に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記第1および第2空洞含有層のエッチングは、その積層方向に向けて進行する異方性エッチングであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記第1選択成長工程は、前記第1および第2ステップの実施前に前記半導体層の成長温度よりも低い温度で前記成長用基板上に前記第1マスクを介してIII族窒化物を選択成長させる工程を含むことを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記半導体層は発光層を含むことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1に記載の半導体素子の製造方法。
- 複数の空洞を含む第1空洞含有層を成長用基板上に形成する工程と、
複数の空洞を含み、互いに隣接する前記空洞間の隔壁部の各々が前記第1空洞含有層内部の空洞の各々の上部に設けられた第2空洞含有層を前記第1空洞含有層上に形成する工程と、を含むことを特徴とする積層構造体の製造方法。 - 前記第1空洞含有層を形成する工程は、
前記成長用基板上に選択成長用の第1マスクを形成する工程と、
前記成長用基板上に前記第1マスクを介してIII族窒化物を選択成長させて前記第1マスクに沿って前記第1マスク上部に設けられた空洞を有する層を形成する第1選択成長工程と、を含み、
前記第2空洞含有層を形成する工程は、
前記第1空洞含有層上に選択成長用の第2マスクを形成する工程と、
前記第1空洞含有層上に前記第2マスクを介してIII族窒化物を選択成長させて前記第2マスクに沿って前記第2マスク上部に設けられた空洞を有する層を形成する第2選択成長工程と、を含むことを特徴とする請求項12に記載の積層構造体の製造方法。 - 前記第1選択成長工程は、互いに異なる成長レートで前記III族窒化物の成長を行う第1ステップおよび第2ステップを交互に複数回実施する処理を含むことを特徴とする請求項13に記載の積層構造体の製造方法。
- 成長用基板と、
前記成長用基板の上に形成された複数の第1の空洞を含むIII族窒化物半導体からなる第1空洞含有層と、
前記第1空洞含有層の上に形成され、複数の第2の空洞を含み、互いに隣接する前記第2の空洞間の隔壁部の各々が前記第1の空洞の各々の上部に設けられたIII族窒化物半導体からなる第2空洞含有層と、
前記第2空洞含有層の上にエピタキシャル成長されたIII族窒化物半導体層と、を含むことを特徴とする半導体ウエハ。 - 前記成長用基板上に形成された選択成長用の第1マスクと、
前記第1空洞含有層上に形成された選択成長用の第2マスクと、を更に有し、
前記第1の空洞の各々は、前記第1マスク上に形成され、
前記第2の空洞の各々は、前記第2マスク上に形成されていることを特徴とする請求項15に記載の半導体ウエハ。 - 前記第1マスクと前記第2マスクは、前記成長用基板の一端部から他端部まで連続したパターンを有していることを特徴とする請求項16に記載の半導体ウエハ。
- 前記第1マスクと前記第2マスクは、前記III族窒化物半導体層の結晶方位の<10−10>に平行な軸およびこれと同等の軸に平行な辺を有する多角形、又は、このような多角形が格子状に配列されたパターンを有していることを特徴とする請求項17に記載の半導体ウエハ。
- 前記第1マスクは、マスクと非マスク部が交互に配されたストライプパターンを有していることを特徴とする請求項18に記載の半導体ウエハ。
- 前記第2マスクは、マスク部と非マスク部が交互に配されたストライプパターンを有し、前記第2マスクの非マスク部が前記第1マスクのマスク部上に位置していることを特徴とする請求項19に記載の半導体ウエハ。
- 成長用基板と、
前記成長用基板の上に形成された複数の第1の空洞を含むIII族窒化物半導体からなる第1空洞含有層と、
前記第1空洞含有層の上に形成され、複数の第2の空洞を含み、互いに隣接する前記第2の空洞間の隔壁部の各々が前記第1の空洞の各々の上部に設けられたIII族窒化物半導体からなる第2空洞含有層と、を含むことを特徴とする積層構造体。 - 前記成長用基板上に形成された選択成長用の第1マスクと、
前記第1空洞含有層上に形成された選択成長用の第2マスクと、を更に有し、
前記第1の空洞の各々は、前記第1マスク上に形成され、
前記第2の空洞の各々は、前記第2マスク上に形成されていることを特徴とする請求項21に記載の積層構造体。 - 前記第1マスクと前記第2マスクは、前記成長用基板の一端部から他端部まで連続したパターンを有していることを特徴とする請求項22に記載の積層構造体。
- 前記第1マスクと前記第2マスクは、前記III族窒化物半導体層の結晶方位の<10−10>に平行な軸およびこれと同等の軸に平行な辺を有する多角形、又は、このような多角形が格子状に配列されたパターンを有していることを特徴とする請求項23に記載の積層構造体。
- 前記第1マスクは、マスクと非マスク部が交互に配されたストライプパターンを有していることを特徴とする請求項24に記載の積層構造体。
- 前記第2マスクは、マスク部と非マスク部が交互に配されたストライプパターンを有し、前記第2マスクの非マスク部が前記第1マスクのマスク部上に位置していることを特徴とする請求項25に記載の積層構造体。
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