JP2010145357A - Ultrasonic search unit and method of ultrasonic flaw detection - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、フェーズドアレイUT法を使用する超音波振動子を有する超音波探触子及び超音波探傷方法に関する。 The present invention relates to an ultrasonic probe having an ultrasonic transducer using a phased array UT method and an ultrasonic flaw detection method.
従来の超音波探傷試験に用いられる一般的な超音波探触子構造においては超音波振動子においてフェーズドアレイUT法を使用しておらず、フェーズドアレイUT法の特有の超音波の広がりをそれほど気にする必要がなかった。よって平面状の吸音材をノコギリ波状のような形状にする程度の構成で反射波の混入を防ぐことができた(例えば、特許文献1を参照)。 In a conventional ultrasonic probe structure used in a conventional ultrasonic flaw detection test, the ultrasonic transducer does not use the phased array UT method, and the ultrasonic spread unique to the phased array UT method is not much noticeable. There was no need to make it. Therefore, it is possible to prevent the reflected wave from being mixed with a configuration that allows the planar sound-absorbing material to have a shape like a sawtooth wave (see, for example, Patent Document 1).
一方で、フェーズドアレイUT法を用いた超音波探触子は振動子幅が狭いため、検出感度が高くなる。一方で、1つの振動子からの超音波の広がりは大きくなり分散効果が高くなる部分と分散効果が期待できない部分とが生じる。そして分散効果が期待できない部分はノイズとして探傷が誤検出される可能性がある。
本発明は、フェーズドアレイUT法を使用することで誤検出される可能性が高くなる超音波探触子及び超音波探傷方法の探傷精度を向上させることを目的とする。 An object of the present invention is to improve the flaw detection accuracy of an ultrasonic probe and an ultrasonic flaw detection method that are likely to be erroneously detected by using the phased array UT method.
本発明の一態様によれば、超音波プローブと、フェーズドアレイUT法を使用した前記超音波プローブ内に設置された超音波振動子と、前記超音波振動子と接するように設けられる部材と、前記部材に設けられ、前記超音波振動子から発振する超音波のうち、少なくとも被検査物で反射された超音波が入射される位置に設置され、前記超音波振動子側に凸形状を有する第1の吸音材と、を有することを特徴とする超音波探触子、及び少なくとも前記第1の吸音材を用いた超音波探傷方法が提供される。 According to one aspect of the present invention, an ultrasonic probe, an ultrasonic transducer installed in the ultrasonic probe using a phased array UT method, a member provided in contact with the ultrasonic transducer, Among the ultrasonic waves oscillated from the ultrasonic vibrator provided at the member, the ultrasonic wave reflected at least by the inspection object is placed at a position where the ultrasonic wave is incident on the ultrasonic vibrator side and has a convex shape. And an ultrasonic flaw detection method using at least the first sound absorbing material.
本発明によれば、フェーズドアレイUT法による超音波振動子を用いた超音波探傷試験において、検出精度が向上できる超音波探触子及び超音波探傷方法が提供される。 According to the present invention, there are provided an ultrasonic probe and an ultrasonic flaw detection method capable of improving detection accuracy in an ultrasonic flaw detection test using an ultrasonic transducer by the phased array UT method.
以下、図面を参照しつつ、比較例について図12〜図14を用いて説明する。 Hereinafter, a comparative example will be described with reference to FIGS. 12 to 14 with reference to the drawings.
図12(a),(b)は本発明の比較例に係る超音波探触子を例示するための図である。なお、図12(a),(b)中の矢印XYZは互いに直交する三方向を示しており、X-Yは水平の面方向、Zは鉛直方向を示している。また、図12(a)は超音波探触子の平面図、図12(b)は側面図を示す。 FIGS. 12A and 12B are diagrams for illustrating an ultrasonic probe according to a comparative example of the present invention. Note that arrows XYZ in FIGS. 12A and 12B indicate three directions orthogonal to each other, XY indicates a horizontal surface direction, and Z indicates a vertical direction. FIG. 12A shows a plan view of the ultrasonic probe, and FIG. 12B shows a side view.
図12(a),(b)に示すように 超音波探触子109には、超音波プローブ5、超音波振動子4、超音波プローブシュー101、吸音材103が設けられ、吸音材103のうち超音波プローブシューに接する部分は、のこぎり歯形状部106である。
As shown in FIGS. 12A and 12B, the
超音波振動子4は超音波プローブ5内に埋め込まれており、超音波プローブシュー101に接触するように設けられている。また、超音波プローブシュー101のうち、被検査物15に接する面を接触面113とする。
The
電圧を与えられた超音波振動子4は、圧電効果によって超音波が生じる構造となっている。超音波プローブシュー101はくさび型形状であり、超音波プローブシュー101の超音波プローブ5側の面と、接触面113とは並行ではない。
The
超音波プローブシュー101の構造は図13に示すように、被検査物15の内部にある傷等の反射源から反射して得られる反射波を検出する構造となっている。すなわち反射波111a以外に、プローブシュー内を反射してくる反射波、すなわち反射波111bが信号として検出される。反射波111bをシュー内エコーと呼んでおり、目的以外の信号であるため、本来検出したい反射波111aからの反射波などと区別するために、シュー内エコーを減衰させ検出されないようにシュー内に吸音材103が設けられている。図12に示されるように吸音材103はY−Z平面状に略並行に設置されている。
As shown in FIG. 13, the
超音波プローブシュー101を用いた場合の超音波の進行状況について図13を用いて説明をする。点線で示されたエリアKは超音波111の進行範囲を示す。超音波振動子4から生じた超音波111は超音波プローブシュー101を伝播する。伝播した超音波111はシューと被検査物15の境界面で、スネルの法則に従い、一部は屈折して被検査物15内部に伝播し反射波111aとして反射し超音波振動子4に到達し、一部は境界面で反射して超音波プローブシュー1に反射波111bが伝播する。
The progress of ultrasonic waves when the
超音波プローブシュー101に伝播した反射波111bは反射を繰り返したのち、超音波を超音波振動子4で検出されてしまう。
After the
図14は、基本表示(Aスコープ表示)と呼ばれる超音波探傷結果である。横軸は超音波伝播距離(mm)、縦軸はエコーレベル(%)を示す。201aが図13で示すR100の面からの反射波形を示したものであり、201b、202bがシュー内エコーによる反射波形を示したものである。本発明による結果と比較して数値が高いことが分かる。この部分は傷などによる波形との識別が難しく、通常は不感帯と呼ばれる範囲となり、超音波探傷が不可能な範囲となる。よって超音波振動子4にフェーズドアレイUT法に適用した場合、吸音材103の効果が十分でないため、シュー内エコーが残存してしまうことが分かる。
FIG. 14 shows an ultrasonic flaw detection result called basic display (A scope display). The horizontal axis represents the ultrasonic propagation distance (mm), and the vertical axis represents the echo level (%). 201a shows a reflection waveform from the surface of R100 shown in FIG. 13, and 201b and 202b show reflection waveforms due to the in-shoe echo. It can be seen that the numerical value is high compared to the result according to the present invention. This part is difficult to distinguish from a waveform due to scratches and the like, and is usually in a range called a dead zone, which is a range in which ultrasonic flaw detection is impossible. Therefore, when applied to the
続いて本発明の実施ついて図1〜図3を用いて説明をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。 Next, the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, in each drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same component and detailed description is abbreviate | omitted suitably.
図1(a),(b)は、第1の実施形態に係る超音波探触子を例示するための図である。なお、図1(a),(b)中の矢印XYZは互いに直交する三方向を示しており、X-Yは水平の面方向、Zは鉛直方向を示している。また、図1 (a)は超音波探触子の平面図、図1(b)は側面図を示す。 FIGS. 1A and 1B are diagrams for illustrating the ultrasonic probe according to the first embodiment. Note that arrows XYZ in FIGS. 1A and 1B indicate three directions orthogonal to each other, XY indicates a horizontal surface direction, and Z indicates a vertical direction. FIG. 1 (a) is a plan view of the ultrasonic probe, and FIG. 1 (b) is a side view.
図1(a),(b)に示すように 超音波探触子9には、超音波プローブ5、超音波振動子4、超音波プローブシュー1、吸音材2、保持部材3が設けられている。
As shown in FIGS. 1A and 1B, the
超音波振動子4は超音波プローブ5内に埋め込まれており、超音波プローブシュー1に接触するように設けられている。さらに、超音波プローブシュー1の端部に設けられた超音波の吸音材2、及び吸音材2の設置を保持する保持部材3を有する。また、超音波プローブシュー1のうち、被検査物15に接する面を接触面13とする。
The
電圧を与えられた超音波振動子4は、圧電効果によって超音波が生じる構造となっている。超音波プローブシュー1はくさび型形状であり、超音波プローブシュー1の超音波プローブ5側の面と、接触面13とは並行ではない。
The
超音波プローブシュー1の構造は図2に示すように、被検査物15内部にある傷等の反射源から反射して得られる反射波、すなわち反射波11a以外に、反射波11bはプローブシュー内を反射してくる反射波、すなわち反射波11bが信号として検出されしまうことが多い。反射波11bをシュー内エコーと呼んでおり、目的以外の信号であるため、本来検出したい反射波11aと区別するために、シュー内エコーを減衰させ検出されないようにする目的でシュー内に吸音材2、さらに吸音材2を保持するための保持部材3が設けられている。この吸音材2は超音波プローブシュー1との接合面がX方向に凸となっている。すなわち図1に示すように吸音材2はX-Y平面上においてY軸からの角度θ1が0°<θ1<90°をなす形状をしている。また、角の頂点は超音波振動子4のY軸方向における中心線A−A上に設けられるが、これに限定されるものではない。これにより、被検査物の境界面で反射した反射波11bは吸音材2で減衰した超音波の反射方向を示す角度α1を大きくさせることができ、反射した超音波を超音波振動子4で受信することを避けることによって、シュー内エコーを低減させることができる。
As shown in FIG. 2, the
次に、本発明による超音波プローブシュー1を用いた場合の超音波の進行状況を図2に示す。点線で示されたエリアKは超音波111の進行範囲を示す。超音波振動子4から生じた超音波11はプローブシュー1を伝播する。伝播した超音波11はシューと被検査物15の境界面でスネルの法則に従い、一部は屈折して被検査物15内部に伝播して反射波11aとして超音波振動子4に到達し、一部は境界面で反射して超音波プローブシュー1に反射波11bが伝播する。
Next, FIG. 2 shows the progress of ultrasonic waves when the
超音波プローブシュー1に伝播した反射波11bは反射を繰り返したのち、超音波減衰効果の高い吸音材2に伝播する超音波が吸音材2の効果により、減衰および拡散させることによって、以上のシュー内エコーと呼ばれる超音波を減衰する。さらに、保持部材3が超音波を吸収できる材質であってもよく、この場合は反射する超音波の吸収、減衰の効果が増し、本来検出したい超音波を超音波振動子4でより精度よく受信できる。
After the reflected
図3は、基本表示(Aスコープ表示)と呼ばれる超音波探傷結果である。横軸は超音波伝播距離(mm)、縦軸はエコーレベル(%)を示す。271aが図2で示すR100の面からの反射波形を示したものであり、271b、272bがシュー内エコーによる反射形を示したものである。比較例と比較してシュー内エコーが本発明の効果により低減するため、本来検出したい傷の検出精度が向上していることが分かる。
FIG. 3 shows an ultrasonic flaw detection result called basic display (A scope display). The horizontal axis represents the ultrasonic propagation distance (mm), and the vertical axis represents the echo level (%).
吸音材2は各種ゴム、塩化ビニル、コルクなどの木材またはその集成材などが挙げられ、必要に応じて異なる材料を混合または積層して設けてもよい。また、保持部材3に超音波を吸収する材質を用いる場合は前出の吸音材2で用いる材質を用いることができる。
Examples of the
次に第2の実施形態について図5〜図8を用いて説明をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。 Next, a second embodiment will be described with reference to FIGS. In addition, in each drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same component and detailed description is abbreviate | omitted suitably.
図4(a),(b)は、第2の実施形態に係る超音波探触子を例示するための図である。なお、図4(a),(b)中の矢印XYZは互いに直交する三方向を示しており、X-Yは水平の面方向、Zは鉛直方向を示している。また、図4(a)は超音波探触子の平面図、図4(b)は側面図を示す。 4A and 4B are diagrams for illustrating the ultrasonic probe according to the second embodiment. In FIGS. 4A and 4B, arrows XYZ indicate three directions orthogonal to each other, XY indicates a horizontal surface direction, and Z indicates a vertical direction. FIG. 4A is a plan view of the ultrasonic probe, and FIG. 4B is a side view.
図4(a),(b)に示すように 超音波探触子19には、超音波プローブ5、超音波振動子4、超音波プローブシュー12、吸音材2a,2b、保持部材3a,3bが設けられている。
As shown in FIGS. 4A and 4B, the
超音波振動子4は超音波プローブ5内に埋め込まれており、超音波プローブシュー12に接触するように設けられている。また、超音波プローブシュー12における超音波プローブ5と接する面24側には吸音材2b、と吸音材2bを保持する保持部材3bが設けられている。さらに、超音波プローブシュー12の端部には超音波の吸音材2a、及び吸音材2aを保持する保持部材3aを有している。また、超音波プローブシュー12のうち、被検査物15に接する面を接触面23とする。
The
電圧を与えられた超音波振動子4は、圧電効果によって超音波が生じる構造となっている。超音波プローブシュー1はくさび型形状であり、超音波プローブシュー12の超音波プローブ5側の面と、接触面23とは並行ではない。
The
超音波プローブシュー12の構造は図7に示すように、被検査物15内部にある傷等の反射源から反射して得られる反射波、すなわち反射波21a以外に、反射波21bはプローブシュー内を反射してくる反射波、すなわち反射波21bが信号として検出されてしまうことが多い。反射波21bをシュー内エコーと呼んでおり、目的以外の信号であるため、本来検出したい反射波21aからの反射波などと区別するために、シュー内エコーを減衰させ検出されないようにする目的でシュー内に吸音材2a、及び吸音材2aを保持する保持部材3a、吸音材2b、及び吸音材2bを保持する保持部材3bが設けられている。図5(a),(b)に示すように保持部材3bを用いず、吸音材2bで一体化させても良い。これらはX-Y平面上においてY軸からの角度θ2が0°<θ2a<90°をなす形状をしている。また、角の頂点は超音波振動子4のY軸方向における中心線B−B上に設けられるが、これに限定されるものではない。これにより被検査物の境界面で反射した反射波21bは吸音材2a,2bで減衰した超音波の反射方向を示す角度α2を大きくさせることにより、反射した超音波を超音波振動子4で受信することを避けることによって、シュー内エコーを低減させることができる。
As shown in FIG. 7, the
また、図6(a),(b)に示すようにθ2bが0°<θ2b<90°をなす形状にしてもよい。 Further, as shown in FIGS. 6A and 6B, θ2b may have a shape satisfying 0 ° <θ2b <90 °.
次に、本発明による超音波プローブシュー12を用いた場合の超音波の進行状況を図7に示す。点線で示されたエリアKは超音波111の進行範囲を示す。超音波振動子4から生じた超音波21は、吸音材2bと保持部材3bに妨げられることなく、超音波プローブシュー12を伝播する。伝播した超音波21は超音波プローブシュー12と被検査物15の境界面でスネルの法則に従い、一部は屈折して被検査物15内部に伝播して反射波21aとして反射して超音波振動子4に到達し、一部は境界面で反射して超音波プローブシュー12に反射波21bが伝播する。超音波プローブシュー12に伝播した反射波21bは、まず超音波減衰効果の高い吸音材2bによって反射および減衰することにより、シュー内エコーの低減を計ることが可能である。さらに伝播した超音波は吸音材2aにより減衰および拡散させることによって、以上のシュー内エコーと呼ばれる超音波を減衰する。さらに、吸音材2a、2bを保持している保持部材3a、3bの角度を調整することにより、反射する超音波を超音波振動子4で受信することを避けるようにする。
Next, FIG. 7 shows the progress of ultrasonic waves when the
さらに、保持部材3が超音波を吸収できる材質であってもよく、この場合は反射する超音波の吸収、減衰の効果が増し、本来検出したい超音波を超音波振動子4でより精度よく受信できる。
Furthermore, the holding
図8は、基本表示(Aスコープ表示)と呼ばれる超音波探傷結果である。横軸は超音波伝播距離(mm)、縦軸はエコーレベル(%)を示す。281aが図7で示すR100の面からの反射波形を示したものであり、281b、282bがシュー内エコーによる反射形を示したものである。比較例と比較してシュー内エコーが本発明の効果により低減するため、本来検出したい傷の検出精度が向上していることが分かる。
FIG. 8 shows an ultrasonic flaw detection result called basic display (A scope display). The horizontal axis represents the ultrasonic propagation distance (mm), and the vertical axis represents the echo level (%).
吸音材2a,2bは各種ゴム、塩化ビニル、コルクなどの木材またはその集成材 などが挙げられ、必要に応じて異なる材料を混合または積層して設けてもよい。また、保持部材3a,3bに超音波を吸収する材質を用いる場合は前出の吸音材2a,2bで用いる材質を用いることができる。
Examples of the
次に第3の実施の形態について図9〜図11を用いて説明をする。 Next, a third embodiment will be described with reference to FIGS.
本発明の実施ついて説明をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。 An embodiment of the present invention will be described. In addition, in each drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same component and detailed description is abbreviate | omitted suitably.
図9(a),(b)は、第3の実施形態に係る超音波探触子を例示するための図である。なお、図9(a),(b)中の矢印XYZは互いに直交する三方向を示しており、X-Yは水平の面方向、Zは鉛直方向を示している。また、図9(a)は超音波探触子の平面図、図9(b)は側面図を示す。 FIGS. 9A and 9B are diagrams for illustrating an ultrasonic probe according to the third embodiment. Note that arrows XYZ in FIGS. 9A and 9B indicate three directions orthogonal to each other, XY indicates a horizontal surface direction, and Z indicates a vertical direction. FIG. 9A is a plan view of the ultrasonic probe, and FIG. 9B is a side view.
本実施の形態は超音波プローブは超音波入射面が狭い、周りに障害物がある等、試験条件の制約により小型にしなければならない場合に効果を発揮する。 This embodiment is effective when the ultrasonic probe has to be downsized due to restrictions on test conditions, such as a narrow ultrasonic incident surface and obstacles around the ultrasonic probe.
図9(a),(b)に示すように 超音波探触子29には、超音波プローブ5、超音波振動子4、超音波プローブシュー41、吸音材2cが設けられている。
As shown in FIGS. 9A and 9B, the
超音波振動子4は超音波プローブ5内に埋め込まれており、超音波プローブシュー41に接触するように設けられている。さらに、超音波プローブシュー41の端部に設けられた超音波の吸音材2cを有する。また、超音波プローブシュー41のうち、被検査物25に接する面を接触面33とする。
The
電圧を与えられた超音波振動子4は、圧電効果によって超音波が生じる構造となっている。超音波プローブシュー41はくさび型形状であり、超音波プローブシュー41の超音波プローブ5側の面と、接触面33とは並行ではない。
The
超音波プローブシュー41の構造は図10に示すように、被検査物15内部にある傷等の反射源から反射して得られる反射波、すなわち反射波31a以外に、反射波31bはプローブシュー内を反射してくる反射波、すなわち反射波31bが信号として検出されしまうことが多い。反射波31bをシュー内エコーと呼んでおり、目的以外の信号であるため、本来検出したい反射波31aと区別するために、シュー内エコーを減衰させ検出されないようにする目的でシュー内に吸音材2cが設けられている。この吸音材2cは超音波プローブシュー41との接合面がX方向に凸となっている。すなわち図9に示すように吸音材2cはX-Y平面上においてY軸からの角度θ4が0°<θ4<90°をなす形状をしている。また、角の頂点は超音波振動子4のY軸方向における中心線C−C上に設けられるが、これに限定されるものではない。これにより、被検査物15の境界面で反射した反射波11bは吸音材2で減衰した超音波の反射方向を示す角度α4を大きくさせることができ、反射した超音波を超音波振動子4で受信することを避けることによって、シュー内エコーを低減させることができる。
As shown in FIG. 10, the
次に、本発明による超音波プローブシュー41を用いた場合の超音波の進行状況を図10に示す。点線で示されたエリアK’は超音波111の進行範囲を示す。超音波振動子4から生じた超音波31は超音波プローブシュー41を伝播する。伝播した超音波31はシューと被検査物15の境界面で、スネルの法則に従い、一部は屈折して被検査物15内部に反射波31aが伝播し、反射波31aとして反射し、超音波の一部は境界面で反射して超音波プローブシュー41に反射波31bが伝播する。
Next, FIG. 10 shows the progress of ultrasonic waves when the
超音波プローブシュー41に伝播した反射波31bは反射を繰り返したのち、超音波減衰効果の高い吸音材2cに伝播する超音波が吸音材2cの効果により、減衰および拡散させることによって、以上のシュー内エコーと呼ばれる超音波を減衰する。その結果、反射する超音波の吸収、減衰の効果が増し、本来検出したい超音波を超音波振動子4で精度よく受信できる。
After the reflected
図11は、基本表示(Aスコープ表示)と呼ばれる超音波探傷結果である。横軸は超音波伝播距離(mm)、縦軸はエコーレベル(%)を示す。291aが図10で示すR50の面からの反射波形を示したものであり、291bがシュー内エコーによる反射形を示したものである。比較例と比較してシュー内エコーが本発明の効果により低減するため、本来検出したい傷の検出精度が向上していることが分かる。 FIG. 11 shows an ultrasonic flaw detection result called basic display (A scope display). The horizontal axis represents the ultrasonic propagation distance (mm), and the vertical axis represents the echo level (%). 291a shows the reflection waveform from the surface of R50 shown in FIG. 10, and 291b shows the reflection type by the echo in the shoe. Since the in-shoe echo is reduced by the effect of the present invention as compared with the comparative example, it can be seen that the detection accuracy of the scratch desired to be detected is improved.
また、第1〜第3の実施の形態に係る吸音材2,2a,2b,2cを用いて探傷検出に不要な反射波を分散させることで検出精度を向上させる超音波探傷方法を挙げることができる。
In addition, there is an ultrasonic flaw detection method that improves detection accuracy by dispersing reflected waves unnecessary for flaw detection using the
吸音材2cは各種ゴム、塩化ビニル、コルクなどの木材またはその集成材などが挙げられ、必要に応じて異なる材料を混合または積層して設けてもよい。また、実施例1、2のように保持部材を設けてもよく、超音波を吸収する材質を用いる場合は前出の吸音材2で用いる材質を用いてもよい。
Examples of the
以上、本実施の形態について例示をした。しかし、本発明はこれらの記述に限定されるものではない。
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
例えば、超音波プローブ5、超音波振動子4、超音波プローブシュー1、12、41、吸音材2、2a、2b、2c、保持部材3、3aなどが備える各要素の形状、寸法、材質、配置などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
Heretofore, the present embodiment has been illustrated. However, the present invention is not limited to these descriptions.
As long as the features of the present invention are provided, those skilled in the art appropriately modified the design of the above-described embodiments are also included in the scope of the present invention.
For example, the shape, size, material, etc. of each element provided in the
Moreover, each element with which each embodiment mentioned above is combined can be combined as much as possible, and what combined these is also included in the scope of the present invention as long as the characteristics of the present invention are included.
1,41 超音波プローブシュー、2,2a,2b,2c 吸音材、3,3a,3b 保持部材、4 超音波振動子、5 超音波プローブ、9,19,29 超音波探触子 1,41 Ultrasonic probe shoe, 2,2a, 2b, 2c Sound absorbing material, 3,3a, 3b Holding member, 4 Ultrasonic transducer, 5 Ultrasonic probe, 9,19,29 Ultrasonic probe
Claims (10)
フェーズドアレイUT法に使用され、前記超音波プローブ内に設置された超音波振動子と、
前記超音波振動子と接するように設けられる部材と、
前記部材に設けられ、前記超音波振動子から発振する超音波のうち、少なくとも被検査物で反射された超音波が入射される位置に設置され、前記超音波振動子側に凸形状を有する第1の吸音材と、
を有することを特徴とする超音波探触子。 An ultrasonic probe;
An ultrasonic transducer used in the phased array UT method and installed in the ultrasonic probe;
A member provided in contact with the ultrasonic transducer;
Among the ultrasonic waves oscillated from the ultrasonic vibrator provided at the member, the ultrasonic wave reflected at least by the inspection object is placed at a position where the ultrasonic wave is incident on the ultrasonic vibrator side and has a convex shape. 1 sound absorbing material,
An ultrasonic probe characterized by comprising:
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