JP2010141367A5 - - Google Patents
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Claims (4)
- 基材フィルム上に接着層が設けられたダイシング用固定シートにおいて、
前記接着層は前記基材フィルムとの共押出により形成されたものであって、前記接着層を形成する接着剤のベースポリマーがホットメルト型熱可塑性樹脂であり、接着層の貯蔵弾性率が、２０℃において１×１０６〜１×１０９Ｐａ、接着層の厚さが３〜１０μｍであり、
前記基材フィルムは熱可塑性樹脂により形成されたものであり、前記基材フィルムの融点が接着層の融点よりも２０℃以上高いことを特徴とするダイシング用固定シート。 - ５０℃以上の温度で、接着層をＳｕｓ３０４ＢＡ板に貼り付けたときの、２３℃におけるＳｕｓ３０４ＢＡ板に対する接着層の引き剥がし力が、０．５Ｎ／２５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１記載のダイシング用固定シート。
- 前記ホットメルト型熱可塑性樹脂の融点が３０〜１００℃であることを特徴とする請求項１または２記載のダイシング用固定シート。
- 請求項１〜３のいずれかに記載のダイシング用固定シートの接着層を、当該接着層を形成するホットメルト型熱可塑性樹脂の軟化以上の温度である５０℃以上の温度においてダイシング対象の被切断体へ貼り付け、常温に戻した後に、被切断体をダイシングすることを特徴とするダイシング方法。
Priority Applications (1)
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| JP2010066431A JP5189124B2 (ja) | 2010-03-23 | 2010-03-23 | ダイシング用固定シート及びダイシング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2010066431A JP5189124B2 (ja) | 2010-03-23 | 2010-03-23 | ダイシング用固定シート及びダイシング方法 |
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| JP2000288218A Division JP2002100587A (ja) | 2000-09-22 | 2000-09-22 | ダイシング用固定シート及びダイシング方法 |
Publications (3)
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Families Citing this family (1)
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- 2010-03-23 JP JP2010066431A patent/JP5189124B2/ja not_active Expired - Fee Related
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