JP2010141025A - Laser light source device, and projector - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser light source device which obtains a desired laser light output and has a long service life with low power consumption. <P>SOLUTION: The laser light source device 1 includes: a laser light source 10; a wavelength conversion element 11 where light IR1 emitted from the laser light source 10 is made incident; a light amount detecting part 13 for detecting the light amount of the light G1 emitted from the wavelength conversion element 11; a control part 14 for determining supply power supplied to the laser light source 10 so as to allow a detection value by the light amount detecting part 13 to be close to a target value; and a characteristic adjusting part 15 for minimizing the supply power by defining at least the laser light source 10 or the wavelength conversion element 11 as an object and adjusting the characteristic of the object. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、レーザ光源装置、プロジェクタに関する。   The present invention relates to a laser light source device and a projector.

従来からプロジェクタ等の光学装置の分野において、照明光源として高圧水銀ランプが多用されている。高圧水銀ランプには、高出力な光が得られるという利点があるが、色再現性に制約があること、瞬時点灯が難しいこと、寿命が短いこと等の課題もある。このような事情により、高圧水銀ランプに代えてレーザ素子（ＬＤ）等を光源に用いたレーザ光源装置が期待されている。   Conventionally, a high-pressure mercury lamp has been frequently used as an illumination light source in the field of optical devices such as projectors. The high-pressure mercury lamp has an advantage that high output light can be obtained, but there are also problems such as limited color reproducibility, difficulty in instantaneous lighting, and short life. Under such circumstances, a laser light source device using a laser element (LD) or the like as a light source instead of a high-pressure mercury lamp is expected.

レーザ素子は、得られる光の波長がレーザ素子の活性層の材質等により制約を受けるため、波長変換素子と併用されることがある。例えば、レーザ素子から直接得られない波長光である緑色光は、赤外光を発するレーザ素子と、赤外光を二次高調波である緑色光に変換する波長変換素子（ＳＨＧ）とを組み合わせた光源装置により、間接的に得られる。   A laser element is sometimes used together with a wavelength conversion element because the wavelength of light obtained is restricted by the material of the active layer of the laser element. For example, green light that is wavelength light that cannot be obtained directly from a laser element is a combination of a laser element that emits infrared light and a wavelength conversion element (SHG) that converts infrared light into green light that is a second harmonic. Obtained indirectly by a light source device.

レーザ光源装置は、射出される光が所望の光量に保持されるように制御されている。例えば、特許文献１には、温度補償回路を用いた自動出力制御（ａｕｔｏ ｐｏｗｅｒ ｃｏｎｔｒｏｌ；以下、ＡＰＣと称す場合がある）の半導体レーザ装置が提案されている。   The laser light source device is controlled so that the emitted light is held at a desired light amount. For example, Patent Document 1 proposes a semiconductor laser device for automatic output control (hereinafter sometimes referred to as APC) using a temperature compensation circuit.

特許文献１の半導体レーザ装置では、半導体レーザ素子から射出された光の一部であるモニタ光が、受光素子に入射するようになっている。モニタ光の光量に応じたモニタ電流が受光素子から出力され、モニタ電流は電流電圧変換手段によりモニタ電圧に変換される。モニタ電圧と設定電圧との電圧差に基づいて、レーザ光の光量が一定になるように半導体レーザ素子が駆動される。設定電圧は、温度補償回路から出力されており、半導体レーザ素子に供給される供給電流値等の供給電力が温度変化を加味して調整される。
特開平６−６９６００号公報 In the semiconductor laser device of Patent Document 1, monitor light that is a part of light emitted from a semiconductor laser element is incident on a light receiving element. A monitor current corresponding to the amount of monitor light is output from the light receiving element, and the monitor current is converted into a monitor voltage by the current-voltage conversion means. Based on the voltage difference between the monitor voltage and the set voltage, the semiconductor laser element is driven so that the amount of laser light is constant. The set voltage is output from the temperature compensation circuit, and the supply power such as the supply current value supplied to the semiconductor laser element is adjusted in consideration of the temperature change.
JP-A-6-69600

特許文献１の半導体レーザ装置によれば、使用環境の温度変化によらずに所望の光量のレーザ光が得られると考えられる。しかしながら、レーザ素子と波長変換素子とを組み合わせたレーザ光源装置において従来のＡＰＣを行うと、以下のような不都合を生じるおそれがある。   According to the semiconductor laser device of Patent Document 1, it is considered that a desired amount of laser light can be obtained regardless of temperature changes in the use environment. However, when conventional APC is performed in a laser light source device in which a laser element and a wavelength conversion element are combined, the following inconvenience may occur.

一般にレーザ素子は、光源の温度変化により、発振波長すなわち射出する光の波長が変化する。波長変換素子は、波長変換素子の温度変化あるいは入射光の波長変化により、変換効率が変化する。レーザ素子と波長変換素子とが組合わされたレーザ光源装置においてＡＰＣを行う手法としては、波長変換素子から射出された後の光の一部をモニタ光に用いる手法が考えられる。波長変換素子から射出後の光をモニタ光に用いない手法では、波長変換素子の特性変化を加味することができないので、最終的な外部出力光を所望の光量にすることが難しいからである。   In general, a laser element changes its oscillation wavelength, that is, the wavelength of emitted light, due to a temperature change of a light source. The conversion efficiency of the wavelength conversion element changes due to a temperature change of the wavelength conversion element or a wavelength change of incident light. As a technique for performing APC in a laser light source device in which a laser element and a wavelength conversion element are combined, a technique in which a part of light emitted from the wavelength conversion element is used as monitor light can be considered. This is because a method that does not use the light emitted from the wavelength conversion element as the monitor light cannot take into account a change in the characteristics of the wavelength conversion element, and therefore it is difficult to make the final external output light a desired light amount.

射出後の光をモニタ光に用いる手法において変換効率が低下すると、変換効率の低下による光量の低下を補償すべく、ＡＰＣによりレーザ素子の供給電力が高く設定される。これにより、レーザ素子が過剰な電力により駆動され、レーザ光源装置としての効率が低下することやレーザ素子が短寿命化してしまうこと等の不都合を生じてしまう。   When the conversion efficiency is lowered in the method of using the emitted light as the monitor light, the power supplied to the laser element is set high by the APC so as to compensate for the reduction in the light amount due to the reduction in the conversion efficiency. As a result, the laser element is driven by excessive electric power, resulting in inconveniences such as a decrease in efficiency as a laser light source device and a shortened life of the laser element.

本発明は、前記事情に鑑み成されたものであって、所望の出力のレーザ光が得られるとともに、低消費電力かつ長寿命のレーザ光源装置を提供することを目的の１つとする。また、低消費電力、かつ長寿命のプロジェクタを提供することを目的の１つとする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a laser light source device that can obtain laser light with a desired output and has low power consumption and long life. Another object is to provide a projector with low power consumption and long life.

本発明のレーザ光源装置は、レーザ光源と、前記レーザ光源から射出された光が入射する波長変換素子と、前記波長変換素子から射出された光の光量を検出する光量検出部と、前記光量検出部による検出値を目標値に近づけるように前記レーザ光源に供給される供給電力を決定する制御部と、前記レーザ光源と前記波長変換素子との少なくとも一方を対象とし該対象の特性を調整して前記供給電力を最小化する特性調整部と、を含んでいることを特徴とする。   The laser light source device of the present invention includes a laser light source, a wavelength conversion element on which light emitted from the laser light source is incident, a light quantity detection unit that detects the light quantity of light emitted from the wavelength conversion element, and the light quantity detection A control unit that determines supply power supplied to the laser light source so that a detection value by the unit approaches a target value, and at least one of the laser light source and the wavelength conversion element is adjusted, and the characteristics of the target are adjusted And a characteristic adjusting unit that minimizes the supplied power.

制御部が、光量検出部による検出値を目標値に近づけるようにレーザ光源の供給電力を決定するので、レーザ光源装置から外部に射出される外部出力光が所望の光量になる。この供給電力は、特性調整部がレーザ光源と波長変換素子との少なくとも一方の特性を調整することにより最小化されているので、高効率のレーザ光源装置になる。   Since the control unit determines the supply power of the laser light source so that the detection value by the light amount detection unit approaches the target value, the external output light emitted from the laser light source device to the outside becomes a desired light amount. This power supply is minimized by the characteristic adjusting unit adjusting at least one of the characteristics of the laser light source and the wavelength conversion element, so that a highly efficient laser light source apparatus is obtained.

また、レーザ光源と波長変換素子との少なくとも一方の特性が調整されることにより、レーザ光源の射出光の波長が、波長変換素子において変換効率が最大となる波長と合致するようになる。したがって、レーザ光源に過剰な負荷をかけることなく外部出力光の光量が調整され、レーザ光源が長寿命になる。   Further, by adjusting at least one of the characteristics of the laser light source and the wavelength conversion element, the wavelength of the light emitted from the laser light source matches the wavelength at which the conversion efficiency is maximum in the wavelength conversion element. Therefore, the amount of external output light is adjusted without applying an excessive load on the laser light source, and the laser light source has a long life.

以上のように、この構成によればレーザ光源装置を所望の光量に設定して使用しつつ、レーザ光源装置の駆動条件を最適化することができる。したがって、駆動条件を調整する手間が不要であり、しかも高効率かつ長寿命のレーザ光源装置になる。   As described above, according to this configuration, it is possible to optimize the driving conditions of the laser light source device while using the laser light source device with a desired light amount. Therefore, it is not necessary to adjust the driving conditions, and the laser light source device has a high efficiency and a long life.

また、前記特性調整部が、前記対象の温度を所定の温度範囲内で変化させるとともに、前記温度範囲内における前記供給電力の最小値に対応する温度に前記対象の温度を調整するようになっていてもよい。   Further, the characteristic adjusting unit changes the temperature of the target within a predetermined temperature range, and adjusts the temperature of the target to a temperature corresponding to the minimum value of the supplied power within the temperature range. May be.

レーザ光源の温度を変化させるとレーザ光源の射出光の波長が変化し、射出光の波長に関するレーザ光源の特性が変化する。波長変換素子の温度を変化させると波長変換素子への入射光の波長に対する変換効率が変化し、波長変換素子の特性が変化する。したがって、特性調整部が対象の温度を所定の温度範囲内で変化させると、レーザ光源の射出光の波長が波長変換素子の変換特性と合致する温度において、供給電力が最小になる。特性調整部がこの最小値に対応する温度に対象の温度を調整するので、レーザ光源装置の駆動条件を最適化することができる。   When the temperature of the laser light source is changed, the wavelength of the light emitted from the laser light source changes, and the characteristics of the laser light source related to the wavelength of the emitted light change. When the temperature of the wavelength conversion element is changed, the conversion efficiency with respect to the wavelength of light incident on the wavelength conversion element changes, and the characteristics of the wavelength conversion element change. Therefore, when the characteristic adjusting unit changes the target temperature within a predetermined temperature range, the supplied power is minimized at a temperature at which the wavelength of the light emitted from the laser light source matches the conversion characteristic of the wavelength conversion element. Since the characteristic adjustment unit adjusts the target temperature to the temperature corresponding to this minimum value, the driving conditions of the laser light source device can be optimized.

また、前記特性調整部が、前記供給電力を定めるパラメータの上限値を用いて前記温度範囲を求め、該温度範囲内で前記対象の温度を変化させるようになっていてもよい。   The characteristic adjustment unit may obtain the temperature range using an upper limit value of a parameter that determines the supply power, and change the temperature of the target within the temperature range.

対象の温度に対して供給電力は、下に凸な関係になっている。したがって、供給電力が上限値になるまで対象の温度を上昇させると、温度範囲の上限が求まる。また、供給電力が上限値になるまで対象の温度を下降させると、温度範囲の下限が求まる。この構成によれば、実際の供給電力に対応した温度範囲が求まり、温度範囲が適切な値に設定される。   The power supply has a downwardly convex relationship with the target temperature. Therefore, when the target temperature is increased until the supplied power reaches the upper limit value, the upper limit of the temperature range is obtained. Further, when the target temperature is lowered until the supplied power reaches the upper limit value, the lower limit of the temperature range is obtained. According to this configuration, the temperature range corresponding to the actual supply power is obtained, and the temperature range is set to an appropriate value.

また、前記上限値が、ロールオーバ値以下であることが好ましい。
ロールオーバ値とは、レーザ光源の出力が極大になる供給電力である。供給電力がロールオーバ値を超えるとレーザ光源の出力が低下し、制御部から出力されるレーザ光源の供給電力が増加する。すると、レーザ光源の出力がさらに低下し、供給電力の最小値が求まりにくくなる。上限値がロールオーバ値以下であれば、複雑なアルゴリズムを用いなくとも供給電力の最小値を求めることができる。 Moreover, it is preferable that the said upper limit is below a rollover value.
The rollover value is the supply power that maximizes the output of the laser light source. When the supply power exceeds the rollover value, the output of the laser light source decreases, and the supply power of the laser light source output from the control unit increases. Then, the output of the laser light source further decreases, and it becomes difficult to obtain the minimum value of the supplied power. If the upper limit value is equal to or less than the rollover value, the minimum value of the supplied power can be obtained without using a complicated algorithm.

また、前記ロールオーバ値を算出するとともに、算出したロールオーバ値を前記特性調整部に出力する算出部を含んでいる構成にしてもよい。   In addition, the configuration may include a calculation unit that calculates the rollover value and outputs the calculated rollover value to the characteristic adjustment unit.

ロールオーバ値は、レーザ光源装置の使用状態や劣化状態等により変化することがある。この構成によれば、算出部がロールオーバ値を算出して、ロールオーバ値を特性調整部に出力するので、レーザ光源装置の使用状態等に応じたロールオーバ値を用いてレーザ光源装置が駆動される。したがって、温度範囲が自動的に適切な値に設定され、使用状態等によりロールオーバ値が変化した場合でも自動出力制御系が発散することが回避される。よって、短寿命化が防止されていることに加えて経年変化に対応可能なレーザ光源装置になり、長期間にわたって良好に機能するレーザ光源装置になる。   The rollover value may change depending on the use state or deterioration state of the laser light source device. According to this configuration, since the calculation unit calculates the rollover value and outputs the rollover value to the characteristic adjustment unit, the laser light source device is driven using the rollover value according to the use state of the laser light source device. Is done. Therefore, even when the temperature range is automatically set to an appropriate value and the rollover value changes depending on the use state or the like, the automatic output control system is prevented from diverging. Therefore, in addition to preventing the shortening of the lifetime, the laser light source device can cope with aging, and the laser light source device functions well over a long period of time.

また、前記レーザ光源がパルス信号により駆動されており、前記パラメータが該パルス信号の１周期に占めるオン時間の比率であってもよい。
このようにすれば、パルス信号におけるオン時間の比率が高くなるほど供給電力が増加するので、オン時間の比率に上限値を設けることにより供給電力の上限値を規定することができる。一般に、パルス信号におけるオン時間を調整することはシンプルな構成の回路により実現可能である。この構成によれば、レーザ光源装置の回路構成をシンプルにすることができ、レーザ光源装置の装置コストを低減することができる。 Further, the laser light source may be driven by a pulse signal, and the parameter may be a ratio of on-time that occupies one cycle of the pulse signal.
In this way, the higher the ON time ratio in the pulse signal, the higher the supplied power. Therefore, the upper limit value of the supplied power can be defined by providing an upper limit value for the ON time ratio. In general, adjusting the on-time in a pulse signal can be realized by a circuit having a simple configuration. According to this configuration, the circuit configuration of the laser light source device can be simplified, and the device cost of the laser light source device can be reduced.

また、前記レーザ光源がパルス信号により駆動されており、前記パラメータが該パルス信号の振幅であってもよい。
このようにすれば、パルス信号における振幅が大きくなるほど供給電力が増加するので、振幅に上限値を設けることにより供給電力の上限値を規定することができる。 The laser light source may be driven by a pulse signal, and the parameter may be the amplitude of the pulse signal.
In this way, the supply power increases as the amplitude in the pulse signal increases, so that the upper limit value of the supply power can be defined by providing an upper limit value for the amplitude.

また、前記特性調整部が、固定された前記温度範囲内で前記対象の温度を変化させるようになっていてもよい。
このようにすれば、温度範囲を求める場合と異なり、温度範囲が既知であるので、対象の温度を変化させる温度履歴を設定する自由度が高くなる。例えば、温度範囲を求める場合に比べて対象の温度を変化させるステップ数を低減することができ、レーザ光源装置の駆動条件を短時間で容易に最適化することができる。また、対象の温度が不測の高温あるいは不測の低温に調整されることを防止することができ、不測の温度に調整されることによる対象の劣化や損傷が防止される。 Further, the characteristic adjusting unit may change the temperature of the object within the fixed temperature range.
In this way, unlike the case where the temperature range is obtained, the temperature range is known, so the degree of freedom for setting the temperature history for changing the target temperature is increased. For example, the number of steps for changing the target temperature can be reduced as compared with the case of obtaining the temperature range, and the driving conditions of the laser light source device can be easily optimized in a short time. Moreover, it is possible to prevent the temperature of the target from being adjusted to an unexpectedly high temperature or an unexpectedly low temperature, and it is possible to prevent deterioration and damage of the target due to the adjustment to the unexpected temperature.

本発明のプロジェクタは、前記の本発明のレーザ光源装置と、前記レーザ光源装置から射出された光を変調する変調装置と、前記変調装置により変調された光を投射する投射光学系と、を含んでいることを特徴とする。
本発明のレーザ光源装置は高効率かつ長寿命になっているので、本発明のプロジェクタは低消費電力かつ長寿命になる。 The projector according to the present invention includes the laser light source device according to the present invention, a modulation device that modulates light emitted from the laser light source device, and a projection optical system that projects light modulated by the modulation device. It is characterized by being.
Since the laser light source device of the present invention has high efficiency and long life, the projector of the present invention has low power consumption and long life.

以下、本発明の実施形態を説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。以降の説明では図面を用いて各種の構造を例示するが、構造の特徴的な部分を分かりやすく示すために、図面中の構造はその寸法や縮尺を実際の構造に対して異ならせて示す場合がある。   Hereinafter, although embodiment of this invention is described, the technical scope of this invention is not limited to the following embodiment. In the following description, various structures are illustrated using drawings, but in order to show the characteristic parts of the structures in an easy-to-understand manner, the structures in the drawings are shown in different sizes and scales from the actual structures. There is.

［第１実施形態］
図１は、第１実施形態のレーザ光源装置１の概略構成を示す模式図である。
図１に示すように、レーザ光源装置１は、レーザ光源１０、波長変換素子１１、共振ミラー１２、光量検出部１３、制御部１４、特性調整部１５、及びレーザ駆動回路１６を含んでいる。レーザ光源装置１は、概略すると以下のように動作する。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of a laser light source device 1 according to the first embodiment.
As illustrated in FIG. 1, the laser light source device 1 includes a laser light source 10, a wavelength conversion element 11, a resonance mirror 12, a light amount detection unit 13, a control unit 14, a characteristic adjustment unit 15, and a laser drive circuit 16. The laser light source device 1 generally operates as follows.

レーザ光源１０は、レーザ駆動回路１６により駆動され、基本波長の光（ここでは、赤外光ＩＲ１）を射出する。赤外光ＩＲ１が、波長変換素子１１を経由してレーザ光源１０と共振ミラー１２との間を何度も往復してレーザ発振を生じる。レーザ発振により生じた赤外レーザ光は、波長変換素子１１を通るたびに、その少なくとも一部が変換波長の光（ここでは、緑色光Ｇ１）に変換される。波長変換素子１１から射出された緑色光Ｇ１は、共振ミラー１２を通って光量検出部１３に入射する。光量検出部１３に入射した緑色光Ｇ１は、外部出力光Ｇ２と、モニタ光Ｇ３とに分離される。   The laser light source 10 is driven by a laser driving circuit 16 and emits light having a fundamental wavelength (here, infrared light IR1). The infrared light IR1 reciprocates between the laser light source 10 and the resonant mirror 12 via the wavelength conversion element 11 and causes laser oscillation. Each time the infrared laser light generated by laser oscillation passes through the wavelength conversion element 11, at least a part of the infrared laser light is converted into light having a conversion wavelength (here, green light G1). Green light G <b> 1 emitted from the wavelength conversion element 11 enters the light amount detection unit 13 through the resonance mirror 12. The green light G1 incident on the light quantity detector 13 is separated into external output light G2 and monitor light G3.

光量検出部１３は、モニタ光Ｇ３の光量に応じた検出値を出力する。制御部１４は、光量検出部１３から出力された検出値に基づいて、外部出力光Ｇ２の光量が目標値に近づくようにレーザ光源１０を駆動する供給電力を決定する。制御部１４は、この供給電力を特性調整部１５とレーザ駆動回路１６とにそれぞれ出力する。特性調整部１５は、制御部１４から出力された供給電力に基づいて、供給電力が最小になるように波長変換素子１１の特性を最適化する。   The light amount detector 13 outputs a detection value corresponding to the light amount of the monitor light G3. Based on the detection value output from the light amount detection unit 13, the control unit 14 determines the supply power for driving the laser light source 10 so that the light amount of the external output light G2 approaches the target value. The control unit 14 outputs the supplied power to the characteristic adjustment unit 15 and the laser drive circuit 16. The characteristic adjustment unit 15 optimizes the characteristics of the wavelength conversion element 11 so that the supply power is minimized based on the supply power output from the control unit 14.

このように、レーザ光源装置１は、外部出力光Ｇ２の光量が制御部１４により目標値に調整されるとともに、レーザ光源１０の供給電力が特性調整部１５により最小化されるようになっている。以下、レーザ光源装置１の構成要素について詳しく説明する。   Thus, in the laser light source device 1, the light amount of the external output light G <b> 2 is adjusted to the target value by the control unit 14, and the power supplied to the laser light source 10 is minimized by the characteristic adjustment unit 15. . Hereinafter, the components of the laser light source device 1 will be described in detail.

レーザ光源１０は、レーザ基板等にレーザ素子が１又は２以上形成されてなる光源や、励起レーザ素子がレーザ結晶と組合されてなる光源等により構成される。レーザ素子としては、面発光型レーザ素子、端面発光型レーザ素子のいずれを用いてもよい。本実施形態のレーザ光源１０は、その詳細な構造を図示しないが、面発光型レーザ素子を用いて構成されている。   The laser light source 10 includes a light source in which one or more laser elements are formed on a laser substrate or the like, a light source in which an excitation laser element is combined with a laser crystal, and the like. As the laser element, either a surface emitting laser element or an edge emitting laser element may be used. Although the detailed structure of the laser light source 10 of this embodiment is not illustrated, it is configured using a surface emitting laser element.

この面発光型レーザ素子は、一対の電極間に活性層が挟持された構造になっている。一対の電極や活性層は、積層構造になっており、積層体の厚み方向が面発光型レーザ素子の光軸方向になっている。面発光型レーザ素子において、活性層の射出端面と反対側には反射部材が配置されている。反射部材は、一対の電極の一方を反射電極としたものや、誘電体多層膜からなり波長選択性を有するＤＢＲ層等である。活性層よりも射出端面側には、ＤＢＲ層が設けられている。反射部材とＤＢＲ層とにより共振器（内部共振器）が構成されている。   This surface emitting laser element has a structure in which an active layer is sandwiched between a pair of electrodes. The pair of electrodes and the active layer has a laminated structure, and the thickness direction of the laminated body is the optical axis direction of the surface emitting laser element. In the surface emitting laser element, a reflection member is disposed on the side opposite to the emission end face of the active layer. The reflecting member is a member in which one of a pair of electrodes is a reflecting electrode, a DBR layer made of a dielectric multilayer film and having wavelength selectivity. A DBR layer is provided on the emission end face side of the active layer. A resonator (internal resonator) is configured by the reflecting member and the DBR layer.

一対の電極から活性層に電力が供給されると活性層から光が発生し、この光は共振器内で位相が揃えられて射出端面から射出される。一般に、レーザ光源の温度が変化すると、レーザ光源から射出される光の波長が変化する。本実施形態では、レーザ光源から射出される光の波長を一定に保つために、レーザ光源１０の温度を一定に保つような温度管理がなされている。本実施形態のレーザ光源１０は、時間に対して電流値がパルス状に変化するパルス信号が一対の電極に供給されることにより駆動されている（図３（ｂ）参照）。レーザ光源１０は、想定される使用環境で、中心波長が１０７０ｎｍの赤外光ＩＲ１を射出するようになっている。   When electric power is supplied from the pair of electrodes to the active layer, light is generated from the active layer, and this light is emitted from the emission end face with the phases being aligned in the resonator. Generally, when the temperature of the laser light source changes, the wavelength of light emitted from the laser light source changes. In the present embodiment, in order to keep the wavelength of light emitted from the laser light source constant, temperature management is performed so as to keep the temperature of the laser light source 10 constant. The laser light source 10 of this embodiment is driven by supplying a pulse signal whose current value changes in a pulse shape with respect to time to a pair of electrodes (see FIG. 3B). The laser light source 10 emits infrared light IR1 having a center wavelength of 1070 nm in an assumed use environment.

波長変換素子１１は、入射光のうちの少なくとも一部を略半分の波長の光（２次高調波）に変換するものである。例えば、波長変換素子１１に入射した基本波長の光（例えば、波長が１０７０ｎｍの赤外光）は、その一部が変換波長の光（例えば、波長が５３５ｎｍの緑色光）に変換される。波長変換素子１１は、例えばＰＰＬＮ等の非線形光学結晶により構成される。一般に波長変換素子は、波長変換素子内の光路長が長くなるほど、波長変換素子の特性の１つである変換効率が高くなる。波長変換素子内の光路長を十分に確保した場合であっても、変換効率は波長変換素子の温度や歪み、入射光の波長等に応じて変化する。以下、波長変換素子１１の特性について説明する。   The wavelength conversion element 11 converts at least a part of incident light into light having a substantially half wavelength (second harmonic). For example, light having a fundamental wavelength (for example, infrared light having a wavelength of 1070 nm) incident on the wavelength conversion element 11 is partially converted into light having a conversion wavelength (for example, green light having a wavelength of 535 nm). The wavelength conversion element 11 is composed of a nonlinear optical crystal such as PPLN. In general, the wavelength conversion element has higher conversion efficiency, which is one of the characteristics of the wavelength conversion element, as the optical path length in the wavelength conversion element becomes longer. Even when the optical path length in the wavelength conversion element is sufficiently secured, the conversion efficiency varies depending on the temperature and distortion of the wavelength conversion element, the wavelength of incident light, and the like. Hereinafter, the characteristics of the wavelength conversion element 11 will be described.

図２（ａ）は、波長変換素子１１の温度に対する変換効率を模式的に示す概念図であり、図２（ｂ）は、波長が異なる入射光における変換効率の比較を模式的に示す概念図である。なお、図２（ａ）、（ｂ）における変換効率は、変換効率の最大値を１００％として規格化した値で示している。   FIG. 2A is a conceptual diagram schematically showing the conversion efficiency with respect to the temperature of the wavelength conversion element 11, and FIG. 2B is a conceptual diagram schematically showing a comparison of conversion efficiency in incident light having different wavelengths. It is. Note that the conversion efficiencies in FIGS. 2 (a) and 2 (b) are shown as values normalized with the maximum value of the conversion efficiency being 100%.

図２（ａ）に示すように、温度に対する変換効率は上に凸な曲線になっている。変換効率が１００％になる温度を整合温度ＴＡ［℃］とすると、変換効率が９０％以上となる範囲ＲＡは、ＴＡ±１℃程度である。通常は、変換効率を一定に保つために、波長変換素子の温度が例えば範囲ＲＡ内に収まるように温度管理がなされている。 As shown in FIG. 2A, the conversion efficiency with respect to the temperature is an upwardly convex curve. Assuming that the temperature at which the conversion efficiency is 100% is the matching temperature T A [° C.], the range R A in which the conversion efficiency is 90% or more is about T A ± 1 ° C. Usually, in order to keep the conversion efficiency constant, temperature management is performed so that the temperature of the wavelength conversion element falls within the range RA , for example.

図２（ｂ）に示すように、温度に対する変換効率の関係は、入射光の波長によって異なっている。ここでは、基本波Ａの整合温度ＴＡよりも、基本波Ａと波長が異なる基本波Ｂの整合温度ＴＢの方が高くなっている。例えば、波長変換素子の温度が整合温度ＴＡに保たれている状態で、波長変換素子に入射する光が基本波Ａから基本波Ｂに変化すると、変換効率が低下してしまう。一般的な波長変換素子では、波長が０．１ｎｍ程度変化すると、整合温度は１℃程度変化する。これにより、波長変換素子の温度が、基本波Ｂの変化効率の許容範囲（例えば９０％以上）に対応する温度の範囲ＲＢから外れてしまうこともある。 As shown in FIG. 2B, the relationship of the conversion efficiency with respect to temperature differs depending on the wavelength of incident light. Here, rather than matching the temperature T A of the fundamental wave A, towards the matching temperature T B of the fundamental wave B of the fundamental wave A and different wavelengths is higher. For example, in a state where the temperature of the wavelength conversion element is kept at a consistent temperature T A, the light incident on the wavelength conversion element changes the fundamental wave B from the fundamental wave A, the conversion efficiency decreases. In a general wavelength conversion element, the matching temperature changes by about 1 ° C. when the wavelength changes by about 0.1 nm. Accordingly, the temperature of the wavelength conversion element, sometimes deviate from the allowable range (e.g., 90% or higher) range of temperature corresponding to R B changes the efficiency of the fundamental wave B.

図１の説明に戻り、共振ミラー１２は、誘電体多層膜からなる誘電体ミラーや体積ホログラフィック回折光学素子（ＶＨＧ）等の波長選択性を有する波長選択素子により構成される。共振ミラー１２は、基本波長の光を反射させるとともに、変換波長の光を透過させる特性を有している。これにより、波長変換素子１１により変換されなかった赤外光ＩＲ２は、共振ミラー１２で反射して折り返される。赤外光ＩＲ２は、波長変換素子１１を経てレーザ光源１０に再度入射し、レーザ光源１０内の反射部材で反射して折り返される。このように共振ミラー１２は、レーザ光源１０内の反射部材と共振器（外部共振器）を構成している。   Returning to the description of FIG. 1, the resonant mirror 12 is composed of a wavelength selective element having wavelength selectivity, such as a dielectric mirror made of a dielectric multilayer film, a volume holographic diffractive optical element (VHG), or the like. The resonant mirror 12 has a characteristic of reflecting light having a fundamental wavelength and transmitting light having a converted wavelength. As a result, the infrared light IR2 that has not been converted by the wavelength conversion element 11 is reflected by the resonance mirror 12 and folded. The infrared light IR <b> 2 enters the laser light source 10 again through the wavelength conversion element 11, is reflected by the reflecting member in the laser light source 10, and is turned back. Thus, the resonant mirror 12 constitutes a reflecting member in the laser light source 10 and a resonator (external resonator).

光量検出部１３は、ハーフミラー１３１、受光素子１３２、電流電圧変換回路１３３を含んでいる。   The light quantity detection unit 13 includes a half mirror 131, a light receiving element 132, and a current-voltage conversion circuit 133.

ハーフミラー１３１は、緑色光Ｇ１を所定の比率で外部出力光Ｇ２とモニタ光Ｇ３に分離するものである。ここでは、緑色光Ｇ１のうちのごく一部をハーフミラー１３１で反射させてモニタ光Ｇ３にしている。なお、ハーフミラーの反射率を高めて、ハーフミラーで反射した光を外部出力光とし、ハーフミラーを通った漏れ光をモニタ光にしてもよい。   The half mirror 131 separates the green light G1 into the external output light G2 and the monitor light G3 at a predetermined ratio. Here, only a small part of the green light G1 is reflected by the half mirror 131 to obtain the monitor light G3. Note that the reflectivity of the half mirror may be increased, light reflected by the half mirror may be used as external output light, and leakage light that has passed through the half mirror may be used as monitor light.

ハーフミラー１３１における光分離の比率については、適宜設定可能であるが、外部出力光Ｇ２の光量を最大化する観点でモニタ光Ｇ３の比率を最小化することが好ましい。例えば、受光素子１３２がモニタ光Ｇ３の光量を精度よく検出することができる範囲内で、モニタ光Ｇ３の比率を最小にするとよい。   The ratio of light separation in the half mirror 131 can be set as appropriate, but it is preferable to minimize the ratio of the monitor light G3 from the viewpoint of maximizing the amount of the external output light G2. For example, the ratio of the monitor light G3 may be minimized within a range in which the light receiving element 132 can accurately detect the amount of the monitor light G3.

モニタ光Ｇ３の比率を調整するには、ハーフミラー１３１での反射率を調整すればよい。具体的には、ハーフミラー１３１の表面にＡＲコート等の反射防止処理を施すことや、ハーフミラー１３１においてモニタ光Ｇ３を反射させる界面が緑色光Ｇ１の光軸となす角度を調整すること等が挙げられる。   In order to adjust the ratio of the monitor light G3, the reflectance at the half mirror 131 may be adjusted. Specifically, the surface of the half mirror 131 is subjected to an anti-reflection treatment such as AR coating, or the angle at which the interface that reflects the monitor light G3 on the half mirror 131 forms the optical axis of the green light G1 is adjusted. Can be mentioned.

ハーフミラー１３１により分離された外部出力光Ｇ２は、外部に取り出されて光学装置の照明等に用いられる。また、ハーフミラー１３１により分離されたモニタ光Ｇ３は、受光素子１３２に入射する。受光素子１３２は、入射したモニタ光Ｇ３の光量に応じて電荷を発生させるものである。受光素子１３２は、例えばＣＣＤセンサやＣＭＯＳセンサ等により構成される。受光素子１３２に発生した電荷は、電流として電流電圧変換回路１３３に伝達される。   The external output light G2 separated by the half mirror 131 is extracted outside and used for illumination of the optical device. Further, the monitor light G <b> 3 separated by the half mirror 131 enters the light receiving element 132. The light receiving element 132 generates an electric charge according to the amount of incident monitor light G3. The light receiving element 132 is constituted by, for example, a CCD sensor or a CMOS sensor. The electric charge generated in the light receiving element 132 is transmitted to the current-voltage conversion circuit 133 as a current.

電流電圧変換回路１３３は、受光素子１３２から受け取った電流を電圧に変換するものである。この電圧値により受光素子１３２に発生した電荷量が分かり、この電荷量によりモニタ光Ｇ３の光量が分かる。ハーフミラー１３１における光分離の比率が既知であるので、モニタ光Ｇ３の光量から外部出力光Ｇ２の光量が分かる。このように、光量検出部１３は、波長変換素子１１から射出された緑色光Ｇ１の光量に対応する量（電圧）を検出することが可能になっている。光量検出部１３により検出された検出値（電圧値）は、制御部１４に出力される。   The current-voltage conversion circuit 133 converts the current received from the light receiving element 132 into a voltage. The amount of charge generated in the light receiving element 132 is known from this voltage value, and the amount of the monitor light G3 is known from this amount of charge. Since the light separation ratio in the half mirror 131 is known, the amount of the external output light G2 can be determined from the amount of the monitor light G3. As described above, the light amount detection unit 13 can detect an amount (voltage) corresponding to the light amount of the green light G1 emitted from the wavelength conversion element 11. The detection value (voltage value) detected by the light amount detection unit 13 is output to the control unit 14.

制御部１４は、レーザ光源１０の出力として設定された電圧値（目標値）と、光量検出部１３により検出された電圧値（検出値）とを比較して、レーザ光源１０に供給される供給電力を決定するものである。本実施形態では、レーザ光源１０に供給される電流（以下、供給電流値と称す場合がある）を調整することにより、供給電力を決定している。   The control unit 14 compares the voltage value (target value) set as the output of the laser light source 10 with the voltage value (detected value) detected by the light amount detection unit 13, and the supply supplied to the laser light source 10. The power is determined. In the present embodiment, the supply power is determined by adjusting the current supplied to the laser light source 10 (hereinafter sometimes referred to as a supply current value).

図３（ａ）は、制御部１４においてレーザ光源１０の供給電力を決定する仕組みを示す概念図であり、図３（ｂ）はレーザ光源１０に供給される電流波形の一例を示す模式図である。図３（ａ）において、縦軸はレーザ光源１０から射出される光源光の光量を示しており、横軸はレーザ光源１０に供給される供給電流値を示している。実際には、光源光の光量は光量検出部１３の検出値により評価されており、実質的に図３のグラフの縦軸は光量検出部１３の検出値を示すものである。ここでは、電流波形の電流値を１周期の区間で時間積分した積分値に対して、積分値の時間平均を供給電流値としている（図３（ｂ）内の式を参照）。   FIG. 3A is a conceptual diagram illustrating a mechanism for determining the supply power of the laser light source 10 in the control unit 14, and FIG. 3B is a schematic diagram illustrating an example of a current waveform supplied to the laser light source 10. is there. In FIG. 3A, the vertical axis indicates the amount of light source light emitted from the laser light source 10, and the horizontal axis indicates the supply current value supplied to the laser light source 10. Actually, the light amount of the light source light is evaluated by the detection value of the light amount detection unit 13, and the vertical axis of the graph of FIG. 3 substantially indicates the detection value of the light amount detection unit 13. Here, with respect to the integral value obtained by time-integrating the current value of the current waveform in a period of one cycle, the time average of the integral value is used as the supply current value (see the formula in FIG. 3B).

図３（ａ）に示すように、レーザ光源１０は、供給される供給電流値が増加するにつれて、光量が概略単調に増加する。供給電流値がロールオーバ値（ＩＲＯ）になると、光量が最大光量（ＬＭＡＸ）になり、供給電流値がＩＲＯを超えると光量が減少傾向になる。供給電流値がＩＲＯ以下の範囲において、所望の光量（ＬＡ）が得られる供給電流値（ＩＡ）は、理論上は一意に定まる。このような供給電流値と光量との関係は、レーザ光源１０の使用状態や劣化状態により変化することがある。供給電流値と光量との関係が変化すると、ＩＡがＬＡと対応しなくなるので、高精度に光量を設定する場合にはＩＡを固定値として用いないで光量の調整を行う。 As shown in FIG. 3A, in the laser light source 10, the amount of light increases approximately monotonously as the supplied current value increases. When the supply current value becomes the rollover value (I RO ), the light amount becomes the maximum light amount (L MAX ), and when the supply current value exceeds I RO , the light amount tends to decrease. In the range where the supply current value is equal to or less than I RO, the supply current value (I A ) from which a desired light amount (L A ) is obtained is uniquely determined theoretically. Such a relationship between the supply current value and the amount of light may change depending on the use state or deterioration state of the laser light source 10. When the relationship between the supply current value and the light amount is changed, so I A does not correspond to L A, in the case of setting the amount of light with high accuracy to adjust the light amount without using an I A as a fixed value.

例えば、検出値（ＬＢ）が目標値（ＬＡ）よりも小さい場合には、供給する供給電流値をＬＢに対応する供給電流値（ＩＢ）よりも大きい値に変更する。検出値（ＬＣ）が目標値（ＬＡ）よりも大きい場合には、供給する供給電流値をＬＣに対応する供給電流値（ＩＣ）よりも小さい値に変更する。検出値と目標値との差分に適宜重み付けして供給電流値の変化量を決定することにより、レーザ光源１０に供給される供給電流値が定まる。また、供給電流値の変更を繰り返すことにより、得られる光量をＬＡに収束させることができる。 For example, when the detected value (L B ) is smaller than the target value (L A ), the supply current value to be supplied is changed to a value larger than the supply current value (I B ) corresponding to L B. When the detected value (L C ) is larger than the target value (L A ), the supply current value to be supplied is changed to a value smaller than the supply current value (I C ) corresponding to L C. By appropriately weighting the difference between the detected value and the target value to determine the amount of change in the supply current value, the supply current value supplied to the laser light source 10 is determined. Further, by repeating the change of the supply current, it is possible to converge the obtained amount of light L A.

なお、供給電流値がＩＲＯを超えると供給電流値を増加させても光量が増加しないので、供給電流値が順次高く設定され、自動出力制御系が発散してしまう。供給電流値の上限値をＩＲＯ以下に設定しておけば、発散防止用のアルゴリズムを設けなくとも自動出力制御系の発散を回避することができる。 If the supply current value exceeds IRO , the amount of light does not increase even if the supply current value is increased. Therefore, the supply current value is sequentially set higher, and the automatic output control system diverges. If the upper limit value of the supply current value is set to IRO or less, the divergence of the automatic output control system can be avoided without providing an algorithm for preventing divergence.

図３（ｂ）に示すように、本実施形態の電流波形はオン電流値がＩＯＮ、オフ電流が０になっており、振幅がＩＯＮの矩形波状になっている。電流波形の１周期をｔ０、オン時間をｔＯＮとすると、１周期における供給電流値（ＩＡＶＥ）は、以下の式（１）で表される。１周期においてオン時間の占める比率（ｔＯＮ／ｔ０）は、デューティと称されることがある。
ＩＡＶＥ＝ＩＯＮ×ｔＯＮ／ｔ０ ・・・（１） As shown in FIG. 3B, the current waveform of the present embodiment has a rectangular waveform with an on-current value of I ON , an off-current of 0, and an amplitude of I ON . When one period of the current waveform is t 0 and the ON time is t ON , the supply current value (I AVE ) in one period is expressed by the following equation (1). The ratio (t ON / t 0 ) of the on time in one cycle may be referred to as duty.
I AVE = I ON × t ON / t 0 (1)

式（１）から分かるように、デューティと振幅との少なくとも一方のパラメータを調整すれば、供給電流値を調整することができる。制御部１４は、決定された供給電流値になるようにデューティや振幅を決定し、デューティや振幅を含んだ駆動信号を特性調整部１５と、レーザ駆動回路１６とにそれぞれ出力する。レーザ駆動回路１６は、制御部１４から出力された駆動信号に基づいてレーザ光源１０を駆動する。これにより、レーザ光源装置１から射出される外部出力光Ｇ２が所望の光量に制御される。   As can be seen from Equation (1), the supply current value can be adjusted by adjusting at least one of the duty and amplitude parameters. The control unit 14 determines the duty and the amplitude so that the determined supply current value is obtained, and outputs a drive signal including the duty and the amplitude to the characteristic adjustment unit 15 and the laser drive circuit 16, respectively. The laser drive circuit 16 drives the laser light source 10 based on the drive signal output from the control unit 14. Thereby, the external output light G2 emitted from the laser light source device 1 is controlled to a desired light amount.

本実施形態の特性調整部１５は、波長変換素子１１を調整の対象として、供給電流値が最小値になるように変換効率の特性（変換効率）を調整するものである。特性調整部１５は、波長変換素子１１の特性を調整した後に、波長変換素子１１の特性を保持するようになっている。特性を調整するタイミングについては、適宜設定することができる。例えば、レーザ光源装置１の使用開始直後に特性を調整することや、使用中において装置状態が安定した後に特性を調整すること、使用中の一定時間経過ごとに特性を調整すること、ユーザーの要求に応じて特性を調整すること等を適宜設定することができる。   The characteristic adjustment unit 15 of the present embodiment adjusts the conversion efficiency characteristic (conversion efficiency) so that the supply current value becomes the minimum value with the wavelength conversion element 11 as an adjustment target. The characteristic adjusting unit 15 holds the characteristic of the wavelength conversion element 11 after adjusting the characteristic of the wavelength conversion element 11. About the timing which adjusts a characteristic, it can set suitably. For example, adjusting the characteristics immediately after the start of the use of the laser light source device 1, adjusting the characteristics after the apparatus state is stabilized during use, adjusting the characteristics at every elapse of a certain time during use, user's request It is possible to appropriately set the characteristics to be adjusted according to the above.

特性調整部１５は、変温部１５１、温度検出部１５２、温度調整回路１５３、及び温度制御回路１５４を含んでいる。本実施形態の温度制御回路１５４は、制御部１４とともにコントロールＩＣ１７に組み込まれている。コントロールＩＣは、ＤＳＰチップ（デジタル信号処理チップ）やＦＰＧＡ（ｆｉｅｌｄ ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ ｇａｔｅ ａｒｒａｙ）等により構成される。   The characteristic adjustment unit 15 includes a temperature change unit 151, a temperature detection unit 152, a temperature adjustment circuit 153, and a temperature control circuit 154. The temperature control circuit 154 of this embodiment is incorporated in the control IC 17 together with the control unit 14. The control IC is configured by a DSP chip (digital signal processing chip), an FPGA (field programmable gate array), or the like.

変温部１５１は、ヒータやペルチェ素子により構成されており、波長変換素子１１を加熱あるいは冷却する。温度検出部１５２は、サーミスタ等により構成されており、波長変換素子１１の温度を検出する。温度調整回路１５３は、温度検出部１５２から波長変換素子１１の温度を受け取り、波長変換素子１１の温度が温度制御回路１５４から出力される目標温度に収束するように、変温部１５１を駆動する。温度調整回路１５３は、波長変換素子１１の温度が目標温度に収束すると、温度制御回路１５４に温度調整結果を出力する。温度調整結果は、温度調整完了のフラグであってもよいし、温度が安定したときの波長変換素子１１の温度であってもよい。   The temperature changing unit 151 is configured by a heater or a Peltier element, and heats or cools the wavelength conversion element 11. The temperature detection unit 152 includes a thermistor and detects the temperature of the wavelength conversion element 11. The temperature adjustment circuit 153 receives the temperature of the wavelength conversion element 11 from the temperature detection unit 152, and drives the temperature change unit 151 so that the temperature of the wavelength conversion element 11 converges to the target temperature output from the temperature control circuit 154. . When the temperature of the wavelength conversion element 11 converges to the target temperature, the temperature adjustment circuit 153 outputs the temperature adjustment result to the temperature control circuit 154. The temperature adjustment result may be a temperature adjustment completion flag or the temperature of the wavelength conversion element 11 when the temperature is stabilized.

温度制御回路１５４は、演算部や記録部（メモリ）等を含んでいる。温度制御回路１５４は、複数の仮設定温度を段階的に設定するとともに、複数の仮設定温度を順次、温度調整回路１５３の目標温度として出力する。仮設定温度が選択される温度範囲は、予め定めておくことや、供給電流値に設定された上限値を用いて求めることができる。温度範囲を求める方法としては、仮設定温度を変更しつつ、仮設定温度に対応する供給電流値と上限値とを比較して、供給電流値が上限値に達した仮設定温度により温度範囲の両端の温度を求める方法が挙げられる。   The temperature control circuit 154 includes a calculation unit, a recording unit (memory), and the like. The temperature control circuit 154 sets a plurality of temporarily set temperatures in stages, and sequentially outputs the plurality of temporarily set temperatures as a target temperature of the temperature adjustment circuit 153. The temperature range in which the temporarily set temperature is selected can be determined in advance or can be determined using the upper limit value set for the supply current value. As a method for obtaining the temperature range, the supply current value corresponding to the temporary set temperature is compared with the upper limit value while changing the temporary set temperature, and the temperature range is determined based on the temporary set temperature at which the supply current value has reached the upper limit value. The method of calculating | requiring the temperature of both ends is mentioned.

また、温度制御回路１５４は、制御部１４から駆動信号を受け取り、供給電流値と仮設定温度とを関連付けてメモリに記録する。温度制御回路１５４は、メモリに記録された供給電流値のうちの最小値と関連付けられた仮設定温度を求め、これを整合温度とする。温度制御回路１５４は、得られた整合温度を温度調整回路１５３の目標温度として出力する。   Further, the temperature control circuit 154 receives the drive signal from the control unit 14 and records the supply current value and the temporarily set temperature in the memory in association with each other. The temperature control circuit 154 obtains a temporarily set temperature associated with the minimum value of the supply current values recorded in the memory, and sets this as a matching temperature. The temperature control circuit 154 outputs the obtained matching temperature as the target temperature of the temperature adjustment circuit 153.

図４（ａ）は、波長変換素子の温度に対する外部出力光の光量について、ＡＰＣ駆動と定電流駆動との比較を示すグラフである。図４（ｂ）は、特性調整部１５により供給電流値を最小化する仕組みを示す説明図である。   FIG. 4A is a graph showing a comparison between APC driving and constant current driving with respect to the amount of external output light with respect to the temperature of the wavelength conversion element. FIG. 4B is an explanatory diagram showing a mechanism for minimizing the supply current value by the characteristic adjustment unit 15.

図４（ａ）に示すように、仮にレーザ光源装置が定電流により駆動されていると、波長変換素子の温度が整合温度Ｔｍから変化した場合に、外部出力光の光量が低下する。本実施形態のように、レーザ光源装置がＡＰＣ駆動されていると、供給電流値が調整されて外部出力光の光量が一定になる。 As shown in FIG. 4 (a), assuming that the laser light source device is driven by a constant current, when the temperature of the wavelength conversion element is changed from matching temperature T m, the light amount of the external output light decreases. As in this embodiment, when the laser light source device is APC-driven, the supply current value is adjusted and the amount of external output light becomes constant.

図４（ｂ）に示すように、ＡＰＣ駆動されているレーザ光源装置において、供給電流値は、波長変換素子の温度に応じて変化する。波長変換素子の温度がＴｍになっていると、波長変換素子の変換効率が最大になるので、供給電流値は最小になる。Ｔｍは、波長変換素子に入射する光の波長変化や、波長変換素子の劣化による特性変化等により変化する。波長変換素子に入射する光の波長、すなわちレーザ光源から射出される光の波長は、レーザ光源の温度変化や劣化により変化する。したがって、レーザ光源を一定温度で駆動するとともに波長変換素子の温度を想定される整合温度に固定すると、Ｔｍが変化することにより供給電流値が最小値にならなくなってしまう。 As shown in FIG. 4B, in the laser light source apparatus driven by APC, the supply current value changes according to the temperature of the wavelength conversion element. When the temperature of the wavelength conversion element is Tm , the conversion efficiency of the wavelength conversion element is maximized, so that the supply current value is minimized. T m changes due to a change in wavelength of light incident on the wavelength conversion element, a change in characteristics due to deterioration of the wavelength conversion element, or the like. The wavelength of light incident on the wavelength conversion element, that is, the wavelength of light emitted from the laser light source, changes due to temperature change or deterioration of the laser light source. Therefore, when the laser light source is driven at a constant temperature and the temperature of the wavelength conversion element is fixed at an assumed matching temperature, the supply current value does not become the minimum value due to the change in Tm .

本実施形態では、光量検出部１３と制御部１４とによりＡＰＣ駆動を行うとともに、特性調整部１５により波長変換素子１１の温度をレーザ光源装置１の駆動時の初期温度（Ｔ０）からＴｍに変化させる。ここでは、図４（ｂ）に示したように、特性調整部１５が波長変換素子１１の温度をＴ０から段階的に降下させるとともに、各段階における供給電流値を監視する。供給電流値が、上限値（ＩＭＡＸ）を超えるまで波長変換素子１１の温度を低下させた後に、波長変換素子１１の温度を段階的に上昇させる。供給電流値が、再度ＩＭＡＸを超えるまで波長変換素子１１の温度を上昇させた後に、Ｔ０からの温度履歴において供給電流値が最小値になる温度すなわちＴｍまで、波長変換素子１１の温度を段階的に降下させる。 In the present embodiment, the light quantity detection unit 13 and the control unit 14 perform APC driving, and the characteristic adjustment unit 15 changes the temperature of the wavelength conversion element 11 from the initial temperature (T 0 ) during driving of the laser light source device 1 to T m. To change. Here, as shown in FIG. 4 (b), characteristic adjusting section 15 causes stepwise lowering the temperature of the wavelength conversion element 11 from T 0, for monitoring the supply current value at each stage. After the temperature of the wavelength conversion element 11 is lowered until the supply current value exceeds the upper limit value (I MAX ), the temperature of the wavelength conversion element 11 is raised stepwise. After raising the temperature of the wavelength conversion element 11 until the supply current value exceeds I MAX again, the temperature of the wavelength conversion element 11 reaches the temperature at which the supply current value becomes the minimum value in the temperature history from T 0 , that is, T m. Is lowered step by step.

図５は、供給電流値を最小化するアルゴリズムのフローチャートである。
図５に示すように、ステップＳ１で、温度制御回路１５４がＴ０を目標温度として温度調整回路１５３に出力する。温度調整回路１５３は、変温部１５１を駆動して波長変換素子１１の温度を適宜変化させる。ステップＳ２で、温度調整回路１５３は、波長変換素子１１の温度が安定したか否かを判定する。温度が安定になっていない場合には、温度調整回路１５３は、ステップＳ３で待機時間をおいた後に、ステップＳ２で温度の安定判定を行う。温度が安定になっている場合には、温度調整回路１５３は、温度調整結果を温度制御回路１５４に出力する。 FIG. 5 is a flowchart of an algorithm for minimizing the supply current value.
As shown in FIG. 5, in step S <b> 1, the temperature control circuit 154 outputs T 0 as a target temperature to the temperature adjustment circuit 153. The temperature adjustment circuit 153 drives the temperature changing unit 151 to appropriately change the temperature of the wavelength conversion element 11. In step S2, the temperature adjustment circuit 153 determines whether or not the temperature of the wavelength conversion element 11 has stabilized. If the temperature is not stable, the temperature adjustment circuit 153 determines whether the temperature is stable in step S2 after waiting for the standby time in step S3. When the temperature is stable, the temperature adjustment circuit 153 outputs the temperature adjustment result to the temperature control circuit 154.

ステップＳ３に続くステップＳ４で、Ｔ０おける供給電流値（Ｉ０）を記録する。ステップＳ５〜Ｓ１０で、Ｔ０から下限温度（Ｔｉ）までの範囲内で仮設定温度（Ｔｘ）での温度制御を行う。ステップＳ５〜Ｓ９を一連の処理として、この処理は後述する繰り返し回数ｉだけ繰り返される。ｉは１以上の整数であり、ｘは１以上ｉ以下の整数である。 In step S4 following step S3, the supply current value (I 0 ) at T 0 is recorded. In steps S5 to S10, temperature control is performed at the temporarily set temperature (T x ) within a range from T 0 to the lower limit temperature (T i ). Steps S5 to S9 are taken as a series of processes, and this process is repeated by the number of repetitions i to be described later. i is an integer of 1 or more, and x is an integer of 1 or more and i or less.

具体的には、ステップＳ５で、ステップＳ１と同様に温度制御回路１５４がＴｘを温度調整回路１５３に出力し、温度調整回路１５３が変温部１５１を駆動して波長変換素子１１の温度を適宜変化させる。Ｔｘは、例えば以下の式（２）で表される。
Ｔｘ＝Ｔｘ−１−ΔＴ ・・・（２） Specifically, in step S5, the temperature control circuit 154 as in step S1 is output T x to the temperature adjustment circuit 153, the temperature of the wavelength conversion element 11 temperature adjusting circuit 153 drives the thermocline 151 Change as appropriate. T x is expressed by, for example, the following formula (2).
T x = T x−1 −ΔT (2)

ΔＴは、適宜設定される温度変化量である。ΔＴは、一定値であってもよいし、可変値であってもよい。ΔＴを可変値にする場合には、例えば、仮設定温度の変化に対する供給電流値の変化量が小さくなるにつれて、ΔＴが小さくなるように重み付けを行う手法が考えられる。仮設定温度がＴｍに近づくにつれて供給電流値の変化量が小さくなるので、前記の手法によればＴｍを高精度に求めることができる。なお、ΔＴを一定値にした場合には、式（２）は以下の式（３）と等価になる。
Ｔｘ＝Ｔ０−ΔＴ×ｘ ・・・（３） ΔT is a temperature change amount set as appropriate. ΔT may be a constant value or a variable value. When ΔT is set to a variable value, for example, a method of performing weighting so that ΔT becomes smaller as the amount of change in the supply current value with respect to the change in the temporarily set temperature becomes smaller can be considered. The amount of change in supply current as the provisional set temperature approaches T m is reduced, it can be determined T m with high accuracy according to the method. When ΔT is a constant value, equation (2) is equivalent to the following equation (3).
T x = T 0 −ΔT × x (3)

温度調整回路１５３は、ステップＳ６でステップＳ２と同様の温度の安定判定を行い、ステップＳ７でステップＳ３と同様の待機時間をおく。ステップＳ８で、Ｔｘにおける供給電流（Ｉｘ）を記録する。ステップＳ９で、ＩｘとＩＭＡＸとを比較する。ステップＳ９において、ＩｘがＩＭＡＸ未満であった場合にはステップＳ１０に進み、ＩｘがＩＭＡＸ以上であった場合にはステップＳ１１に進む。ステップＳ１０で、記録されている供給電流値（Ｉ０、Ｉ１・・・、Ｉｘ）の最小値に対応する温度を仮の整合温度として保存する。ステップＳ５〜Ｓ９は、ＩｘがＩＭＡＸ以上になるまで繰り返される。ＩｘがＩＭＡＸ以上になるまでのステップＳ５〜Ｓ９の繰り返し回数がｉである。このように、本実施形態では特性調整部１５が、上限値（ＩＭＡＸ）を用いて所定の温度範囲の下限温度（Ｔｉ）を求めるようになっている。 The temperature adjustment circuit 153 performs temperature stability determination similar to step S2 in step S6, and sets a standby time similar to step S3 in step S7. In step S8, the supply current (I x ) at T x is recorded. In step S9, it compares the I x and I MAX. In step S9, the flow advances to step S10 if I x is less than I MAX, if I x is equal to or larger than I MAX proceeds to step S11. In step S10, the temperature corresponding to the minimum value of the recorded supply current values (I 0 , I 1 ..., I x ) is stored as a temporary matching temperature. Step S5~S9 is, I x is repeated until the above I MAX. Number of repetitions of steps S5~S9 to I x is equal to or greater than I MAX is is i. As described above, in the present embodiment, the characteristic adjustment unit 15 obtains the lower limit temperature (T i ) of the predetermined temperature range using the upper limit value (I MAX ).

ステップＳ１１〜Ｓ１５で、Ｔｉから上限温度（Ｔｊ）までの範囲内で仮設定温度（Ｔｙ）での温度制御を行う。ステップＳ１１〜Ｓ１４を一連の処理として、この処理は繰り返し回数ｊだけ繰り返される。ｊはｉ以上の整数であり、ｙは（ｉ＋１）以上ｊ以下の整数である。 In steps S11 to S15, temperature control is performed at the temporarily set temperature (T y ) within a range from T i to the upper limit temperature (T j ). Steps S11 to S14 are taken as a series of processes, and this process is repeated the number of times j. j is an integer greater than or equal to i, and y is an integer greater than or equal to (i + 1) and less than or equal to j.

具体的には、ステップＳ１１で、ステップＳ５と同様に温度制御回路１５４がＴｙを温度調整回路１５３に出力し、温度調整回路１５３が変温部１５１を駆動して波長変換素子１１の温度を適宜変化させる。Ｔｙは、例えば以下の式（４）で表される。
Ｔｙ＝Ｔｙ−１＋ΔＴ ・・・（４） Specifically, in step S11, the temperature control circuit 154 similarly to step S5 to output the T y to a temperature adjusting circuit 153, the temperature of the wavelength conversion element 11 temperature adjusting circuit 153 drives the thermocline 151 Change as appropriate. T y is expressed by, for example, the following formula (4).
T y = T y−1 + ΔT (4)

ΔＴは、式（２）におけるΔＴと同様に適宜設定される温度変化量である。式（４）におけるΔＴが、式（２）におけるΔＴと異なる値に設定されていてもよい。ここでは、式（４）におけるΔＴが、式（２）と同一の一定値に設定されている。すなわち、式（４）は以下の式（５）と等価になっている。
Ｔｙ＝Ｔｉ＋ΔＴ×（ｙ−ｉ） ・・・（３） ΔT is a temperature change amount that is appropriately set in the same manner as ΔT in Equation (2). ΔT in equation (4) may be set to a value different from ΔT in equation (2). Here, ΔT in equation (4) is set to the same constant value as in equation (2). That is, Expression (4) is equivalent to the following Expression (5).
T y = T i + ΔT × (y−i) (3)

温度調整回路１５３は、ステップＳ１２でステップＳ２と同様の温度の安定判定を行い、ステップＳ１３でステップＳ３と同様の待機時間をおく。ステップＳ１４で、Ｔｙにおける供給電流（Ｉｙ）を記録する。ステップＳ１５で、ＩｙとＩＭＡＸとを比較する。ステップＳ１５において、ＩｙがＩＭＡＸ未満であった場合にはステップＳ１６に進み、ＩｙがＩＭＡＸ以上であった場合にはステップＳ１７に進む。ステップＳ１６で、記録されている供給電流値（Ｉ０、Ｉ１・・・、Ｉｙ）の最小値に対応する温度を仮の整合温度として保存する。ステップＳ１１〜Ｓ１５は、ＩｙがＩＭＡＸ以上になるまで繰り返される。ＩｙがＩＭＡＸ以上になるまでのステップＳ１１〜Ｓ１５の繰り返し回数がｊである。このように、本実施形態では特性調整部１５が、上限値（ＩＭＡＸ）を用いて所定の温度範囲の上限温度（Ｔｊ）を求めるようになっている。 In step S12, the temperature adjustment circuit 153 performs temperature stability determination in the same manner as in step S2, and in step S13, a standby time similar to that in step S3 is set. In step S14, the supply current (I y ) at T y is recorded. In step S15, compares the I y and I MAX. In step S15, the process proceeds to step S16 if I y is less than I MAX, the process proceeds to step S17 if I y is greater than or equal to I MAX. In step S16, the temperature corresponding to the minimum value of the recorded supply current values (I 0 , I 1 ..., I y ) is stored as a temporary matching temperature. Step S11~S15 is, I y is repeated until the above I MAX. Number of repetitions of steps S11~S15 to I y is equal to or greater than I MAX is j. As described above, in the present embodiment, the characteristic adjustment unit 15 obtains the upper limit temperature (T j ) in a predetermined temperature range using the upper limit value (I MAX ).

ステップＳ１７は、仮の整合温度すなわち、供給電流値（Ｉ０、Ｉ１・・・、Ｉｊ）の最小値に対応する温度を整合温度Ｔｍに設定する。所定の温度範囲内において、実際の供給電流値を用いて整合温度を求めているので、使用状態や劣化状態に応じた整合温度を求めることができる。また、複数の極小値が存在する場合であっても複数の極小値において最小値を求めることができる。 In step S17, a temporary matching temperature, that is, a temperature corresponding to the minimum value of the supply current values (I 0 , I 1 ..., I j ) is set as the matching temperature T m . Since the matching temperature is obtained using the actual supply current value within the predetermined temperature range, the matching temperature according to the use state and the deterioration state can be obtained. Further, even when there are a plurality of minimum values, the minimum value can be obtained from the plurality of minimum values.

ステップＳ１８は、波長変換素子１１の温度をＴｍまで段階的に変化させる。具体的には、ステップＳ５と同様に温度制御回路１５４が、仮設定温度（Ｔｊ−１〜Ｔｍ）を段階的に温度調整回路１５３の目標温度として出力する。温度調整回路１５３は、変温部１５１を駆動して波長変換素子１１の温度を適宜変化させる。温度調整回路１５３は、ステップＳ２と同様の温度の安定判定を行い、ステップＳ３と同様の待機時間をおく。このように、波長変換素子１１の温度を段階的に調整すれば、波長変換素子１１の温度が緩やかに変化するので、レーザ光源装置１を安定して動作させることができる。 Step S18 is stepwise changing the temperature of the wavelength conversion element 11 to the T m. Specifically, as in step S5, the temperature control circuit 154 outputs the temporarily set temperatures (T j−1 to T m ) as the target temperature of the temperature adjustment circuit 153 step by step. The temperature adjustment circuit 153 drives the temperature changing unit 151 to appropriately change the temperature of the wavelength conversion element 11. The temperature adjustment circuit 153 performs temperature stability determination similar to step S2, and sets a standby time similar to step S3. In this way, if the temperature of the wavelength conversion element 11 is adjusted stepwise, the temperature of the wavelength conversion element 11 changes gradually, so that the laser light source device 1 can be operated stably.

以上のように、波長変換素子１１の温度が整合温度（Ｔｍ）に調整されることにより、波長変換素子１１の変換効率が調整される。これにより、波長変換素子１１の特性がレーザ光源１０から射出される光ＩＲ１の波長と高精度に一致するようになり、所望の光量の外部出力光Ｇ２を得るために必要な供給電流値が最小値Ｉｍになる。 As described above, the conversion efficiency of the wavelength conversion element 11 is adjusted by adjusting the temperature of the wavelength conversion element 11 to the matching temperature (T m ). As a result, the characteristics of the wavelength conversion element 11 coincide with the wavelength of the light IR1 emitted from the laser light source 10 with high accuracy, and the supply current value necessary for obtaining the external output light G2 having a desired light quantity is minimized. a value I m.

第１実施形態のレーザ光源装置１にあっては、制御部１４が光量検出部１３による検出値を目標値に近づけるようにレーザ光源１０の供給電流値を決定するので、外部出力光Ｇ２が所望の光量になる。また、レーザ光源１０に供給される供給電流値が最小化されているので、レーザ光源１０に過剰な負荷をかけることなく外部出力光Ｇ２の光量が調整される。したがって、レーザ光源１０が長寿命になり、レーザ光源装置１が低消費電力かつ長寿命になる。また、レーザ光源装置１を所望の光量に設定して使用しつつ、レーザ光源装置１の駆動条件を自動的に最適化することができ、使い勝手のよいレーザ光源装置１になる。   In the laser light source device 1 of the first embodiment, the control unit 14 determines the supply current value of the laser light source 10 so that the detection value by the light amount detection unit 13 approaches the target value. The amount of light. Further, since the supply current value supplied to the laser light source 10 is minimized, the light quantity of the external output light G2 is adjusted without applying an excessive load to the laser light source 10. Therefore, the laser light source 10 has a long life, and the laser light source device 1 has low power consumption and a long life. In addition, while the laser light source device 1 is set to a desired light amount and used, the driving conditions of the laser light source device 1 can be automatically optimized, and the laser light source device 1 becomes easy to use.

なお、供給電力が最小となるような波長変換素子の温度を求めるアルゴリズムについては、適宜変更することができる。以下、アルゴリズムの変形例を説明する。   The algorithm for obtaining the temperature of the wavelength conversion element that minimizes the power supply can be changed as appropriate. Hereinafter, modifications of the algorithm will be described.

図６は、変形例１のアルゴリズムを示すフローチャートである。図６において、第１実施形態と同様のステップには同じ符号を付して示している。第１実施形態と同様のステップについては、説明を省略する場合がある。   FIG. 6 is a flowchart showing the algorithm of the first modification. In FIG. 6, the same steps as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals. Description of steps similar to those in the first embodiment may be omitted.

変形例１のアルゴリズムが変形例１と異なる点は、上限値として供給電流値のデューティを用いる点である。図６に示すように、変形例１のアルゴリズムにおいては、ステップＳ３に続くステップＳ２１で供給電流値のデューティ（Ｄ０）を記録する。デューティは、前記したように１周期においてオン時間の占める比率（ｔＯＮ／ｔ０）である（式（１）参照）。ステップＳ７に続くステップＳ２２で、デューティ（Ｄｘ）を記録する。ステップＳ２２に続くステップＳ２３で、Ｄｘがデューティの上限値（ＤＭＡＸ）未満であるか否かを判定する。ステップＳ１２に続くステップＳ２４で、デューティ（Ｄｙ）を記録する。ステップＳ２４に続くステップＳ２５で、Ｄｙがデューティの上限値（ＤＭＡＸ）未満であるか否かを判定する。 The algorithm of the first modification is different from the first modification in that the duty of the supply current value is used as the upper limit value. As shown in FIG. 6, in the algorithm of the first modification, the duty (D 0 ) of the supply current value is recorded in step S21 following step S3. As described above, the duty is a ratio (t ON / t 0 ) occupied by the on-time in one cycle (see Expression (1)). In step S22 following step S7, the duty (D x ) is recorded. In step S23 subsequent to step S22, D x is equal to or less than the upper limit value of the duty (D MAX). In step S24 following step S12, the duty (D y ) is recorded. In step S25 subsequent to step S24, D y is equal to or less than the upper limit value of the duty (D MAX).

以上のような変形例１のアルゴリズムを採用する場合には、制御部１４として、電流波形の振幅を一定に保ちつつデューティを調整することにより供給電流値を調整するものを採用することができる。したがって、レーザ駆動回路１６としては、印加電圧あるいは抵抗値を可変なものを用いる必要がなくなり、回路を安定に動作させることが容易になる。これにより、レーザ光源装置１の回路構成をシンプルにすることができる。   When the algorithm of Modification 1 as described above is employed, a controller that adjusts the supply current value by adjusting the duty while keeping the amplitude of the current waveform constant can be employed as the control unit 14. Accordingly, it is not necessary to use a laser drive circuit 16 having a variable applied voltage or resistance value, and it becomes easy to operate the circuit stably. Thereby, the circuit configuration of the laser light source device 1 can be simplified.

なお、電流波形の振幅（ＩＯＮ）を可変としておき（式（１）参照）、振幅に上限値を設けて所定の温度範囲を求める構成を採用することもできる。また、供給電流値を記録せずに所定の温度範囲の下限温度を求めた後に、供給電流値を記録しつつ所定の温度範囲の上限温度を求めて整合温度を求めてもよい。また、先に上限温度を求めて、後に下限温度を求めるようにしてもよい。 It is also possible to adopt a configuration in which the amplitude (I ON ) of the current waveform is made variable (see Equation (1)) and an upper limit value is provided for the amplitude to obtain a predetermined temperature range. Further, after obtaining the lower limit temperature of the predetermined temperature range without recording the supply current value, the matching temperature may be obtained by obtaining the upper limit temperature of the predetermined temperature range while recording the supply current value. Alternatively, the upper limit temperature may be obtained first, and the lower limit temperature may be obtained later.

図７は、変形例２のアルゴリズムを示すフローチャートである。図７において、第１実施形態と同様のステップには同じ符号を付して示している。第１実施形態と同様のステップについては、説明を省略する場合がある。   FIG. 7 is a flowchart showing the algorithm of the second modification. In FIG. 7, steps similar to those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals. Description of steps similar to those in the first embodiment may be omitted.

変形例２のアルゴリズムが変形例１と異なる点は、予め設定された温度範囲を所定の温度範囲として用いる点である。第１実施形態のアルゴリズムを適用して、予め設定された温度範囲を用いる例としては、以下のようなアルゴリズムが考えられる。第１実施形態のステップＳ９の代わりに、仮設定温度（Ｔｘ）が温度範囲の下限値（ＴＭＩＮ）より高いか否かを判定するステップを設ける。また、第１実施形態のステップＳ１５の代わりに、仮設定温度（Ｔｙ）が温度範囲の上限値（ＴＭＡＸ）未満であるか否かを判定するステップを設ける。このようなアルゴリズムにより第１実施形態と同様に整合温度を求めることができるが、変形例２はこれと異なるアルゴリズムにより整合温度を求める。 The algorithm of the second modification differs from the first modification in that a preset temperature range is used as a predetermined temperature range. As an example of using the preset temperature range by applying the algorithm of the first embodiment, the following algorithm can be considered. Instead of step S9 of the first embodiment, a step of determining whether or not the temporarily set temperature (T x ) is higher than the lower limit value (T MIN ) of the temperature range is provided. Also, instead of step S15 in the first embodiment, the temporary set temperature (T y) is provided the step of determining whether or not less than the upper limit of the temperature range (T MAX). Although the matching temperature can be obtained by such an algorithm as in the first embodiment, the modified example 2 obtains the matching temperature by a different algorithm.

図７に示すように、変形例２のアルゴリズムにおいては、ステップＳ３に続くステップＳ３１で、ＴｘがＴＭＩＮより高いか否かを判定する。ステップＳ３１で、ＴｘがＴＭＩＮより高い場合にはステップＳ５に進み、ＴｘがＴＭＩＮ以下である場合にはステップＳ３２に進む。ステップＳ５〜Ｓ７により波長変換素子１１の温度をＴｘに調整した後、次のステップに進む。ステップＳ３２では、ＴｙがＴＭＡＸ以下である場合にはステップＳ１７に進み、ＴｙがＴＭＡＸ未満である場合にはステップＳ３２に進む。ステップＳ３２に続くステップＳ１１〜Ｓ１３により波長変換素子１１の温度をＴｙに調整する。ステップＳ１４に続くステップＳ１６で仮の整合温度を記録した後、次のステップへ進む。 As shown in FIG. 7, in the algorithm of the second modification, in step S31 following step S3, it is determined whether T x is higher than T MIN . In step S31, the process proceeds to step S5 if T x is greater than T MIN, the process proceeds to step S32 when T x is less than T MIN. After the temperature of the wavelength conversion element 11 was adjusted to T x by steps S5 to S7, the process proceeds to the next step. In step S32, the process proceeds to step S17 when T y is equal to or less than T MAX, if T y is less than T MAX, the process proceeds to step S32. Adjusting the temperature of the wavelength conversion element 11 to the T y in step S11~S13 following step S32. After the provisional matching temperature is recorded in step S16 following step S14, the process proceeds to the next step.

以上のような変形例２のアルゴリズムを採用する場合には、温度範囲が予め固定されているので、波長変換素子１１の温度を仮設定温度に調整する前に、仮設定温度が所定の温度範囲内であるか否かを判定することができる。したがって、上限温度や下限温度を求めるために供給電流値を監視する必要がなくなり、第１実施形態におけるステップＳ８（図５参照）を省くことができる。また、波長変換素子１１の温度を降下させる過程において仮の整合温度を求めるステップ（ステップＳ９）を省くこともできる。   When the algorithm of the modification 2 as described above is adopted, the temperature range is fixed in advance, so that the temporary set temperature is a predetermined temperature range before the temperature of the wavelength conversion element 11 is adjusted to the temporary set temperature. It can be determined whether it is within the range. Therefore, it is not necessary to monitor the supply current value to obtain the upper limit temperature and the lower limit temperature, and step S8 (see FIG. 5) in the first embodiment can be omitted. Further, it is possible to omit the step (step S9) of obtaining a temporary matching temperature in the process of lowering the temperature of the wavelength conversion element 11.

なお、第１実施形態、変形例１、２では仮設定温度に対応する供給電流値を全て記録して仮の整合温度を求めているが、ステップごとに供給電流値の最小値を評価して、この最小値に対応する仮設定温度を仮の整合温度として記録するようにしてもよい。   In the first embodiment and the first and second modifications, the provisional matching temperature is obtained by recording all the supply current values corresponding to the temporarily set temperature. However, the minimum value of the supply current value is evaluated for each step. The temporary set temperature corresponding to this minimum value may be recorded as a temporary matching temperature.

例えば、Ｔ０におけるＩ０を記録しておき、Ｉ０とＴ１におけるＩ１とを比較する。Ｉ０とＩ１とのうち小さい方の値と、この値に対応する仮設定温度（仮の整合温度）とを記録させておく。以降のステップにおいても同様に、ステップごとにこのステップにおける供給電流値と、記録されている供給電流値とを比較する。そして、値が小さいほうの供給電流値、及びこの値に対応する仮設定温度のみを記録させておく。このようにすれば、供給電流値等を記録するメモリの容量を低減することができ、回路構成をシンプルにすることができる。 For example, I 0 at T 0 is recorded, and I 0 is compared with I 1 at T 1 . The smaller value of I 0 and I 1 and the temporarily set temperature (temporary matching temperature) corresponding to this value are recorded. Similarly, in the subsequent steps, the supply current value in this step is compared with the recorded supply current value for each step. Only the supply current value with the smaller value and the temporarily set temperature corresponding to this value are recorded. In this way, the capacity of the memory for recording the supply current value and the like can be reduced, and the circuit configuration can be simplified.

また、所定の温度範囲内の全域にわたって波長変換素子の温度を調整するのではなく、所定の温度範囲内における一部の範囲内で波長変換素子の温度を調整することにより、整合温度を求めることもできる。   In addition, the temperature of the wavelength conversion element is not adjusted over the entire range within the predetermined temperature range, but the matching temperature is obtained by adjusting the temperature of the wavelength conversion element within a part of the predetermined temperature range. You can also.

例えば、図４（ａ）に示したように、波長変換素子の温度に対する供給電力値が、整合温度の両側で単調増加あるいは単調減少である場合には、整合温度から離れるように仮設定温度が更新されると仮の整合温度が更新されなくなる。このような場合に整合温度を求める手法としては、例えば、図７に示したアルゴリズムのステップＳ１６において、複数のステップ間で仮の整合温度が更新されなかった場合に、ステップＳ１７に進むようにアルゴリズムを変更することが考えられる。   For example, as shown in FIG. 4A, when the supply power value with respect to the temperature of the wavelength conversion element monotonously increases or decreases monotonically on both sides of the matching temperature, the temporarily set temperature is set so as to be away from the matching temperature. When updated, the provisional matching temperature is not updated. As a method for obtaining the matching temperature in such a case, for example, in step S16 of the algorithm shown in FIG. 7, if the temporary matching temperature is not updated between a plurality of steps, the algorithm proceeds to step S17. Can be considered.

これにより、整合温度を求めるためのステップ数が少なくなり、波長変換素子１１の温度が安定になるまでの待機時間が低減される。したがって、波長変換素子１１の温度を整合温度に短時間で調整することができ、供給電流値を短時間で最小化することができる。   Thereby, the number of steps for obtaining the matching temperature is reduced, and the standby time until the temperature of the wavelength conversion element 11 becomes stable is reduced. Therefore, the temperature of the wavelength conversion element 11 can be adjusted to the matching temperature in a short time, and the supply current value can be minimized in a short time.

［第２実施形態］
次に、本発明のレーザ光源装置の第２実施形態を説明する。第２実施形態が第１実施形態と異なる点は、ロールオーバ値を算出する算出部を含んでいる点である。 [Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the laser light source device of the present invention will be described. The second embodiment is different from the first embodiment in that a calculation unit that calculates a rollover value is included.

図８は、第２実施形態のレーザ光源装置２の概略構成を示す模式図である。図８において、第１実施形態と同様の構成要素には同じ符号を付して示している。第１実施形態と同様の構成要素については、説明を省略する場合がある。   FIG. 8 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the laser light source device 2 of the second embodiment. In FIG. 8, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals. Description of the same components as those in the first embodiment may be omitted.

図８に示すように、レーザ光源装置２は算出回路（算出部）２８を含んでいる。本実施形態では、算出回路２８は、制御部１４や温度制御回路１５４とともにコントロールＩＣ２７に組み込まれている。算出回路２８は、制御部１４から光量検出部１３の検出値（光量）と、この検出値に対応する供給電流値とを受け取り、ＩＲＯを算出する。 As shown in FIG. 8, the laser light source device 2 includes a calculation circuit (calculation unit) 28. In the present embodiment, the calculation circuit 28 is incorporated in the control IC 27 together with the control unit 14 and the temperature control circuit 154. The calculation circuit 28 receives the detection value (light amount) of the light amount detection unit 13 and the supply current value corresponding to the detection value from the control unit 14, and calculates IRO .

詳しくは、図３（ａ）に示したように供給電流値がＩＲＯになると、光量が最大になる。すなわち、供給電流値に対する光量の関係を示す特性曲線において、ＩＲＯにおける接線の傾きは０になる。特性曲線の接線をいくつか求めることにより、接点と接線の傾きの関係を求めることができる。したがって、接線の傾きが０になるような接点を求めることにより、ＩＲＯを求めることができる。 Specifically, as shown in FIG. 3A, when the supply current value becomes IRO , the amount of light becomes maximum. That is, in the characteristic curve representing the light intensity relationship to supply current value, the gradient of the tangent at I RO becomes zero. By obtaining several tangent lines of the characteristic curve, it is possible to obtain the relationship between the contact point and the slope of the tangent line. Therefore, by obtaining a contact point such as the gradient of the tangent it becomes 0, it is possible to obtain the I RO.

具体的には、供給電流値が微小変化したときの光量の変化量は、この供給電流値における接点の接線の傾きに相当する。算出回路２８は、制御部１４から受け取ったデータに基づいて、供給電流量の変化に対する光量の変化量を求め、ＩＲＯを算出するようになっている。算出されたＩＲＯは、制御部１４と特性調整部１５とに出力される。 Specifically, the amount of change in the amount of light when the supply current value slightly changes corresponds to the slope of the tangent line of the contact at this supply current value. The calculation circuit 28 calculates the amount of change in the amount of light with respect to the change in the amount of supply current based on the data received from the control unit 14, and calculates IRO . The calculated IRO is output to the control unit 14 and the characteristic adjustment unit 15.

制御部１４は、ＡＰＣ駆動における供給電流値の上限値を算出回路２８から出力されたＩＲＯ以下の値に設定するようになっている。また、特性調整部１５は、算出回路２８から出力されたＩＲＯ以下の値に上限値を設定し、所定の温度範囲を求めるようになっている。 The control unit 14 sets the upper limit value of the supply current value in the APC drive to a value equal to or less than IRO output from the calculation circuit 28. In addition, the characteristic adjustment unit 15 sets an upper limit value to a value equal to or lower than IRO output from the calculation circuit 28 and obtains a predetermined temperature range.

第２実施形態のレーザ光源装置２にあっては、算出回路２８がロールオーバ値（ＩＲＯ）を算出するので、レーザ光源装置２の使用状態や劣化状態等によるロールオーバ値の変化に対応可能になっている。したがって、ロールオーバ値が変化した場合でもロールオーバ値を超える供給電流値でレーザ光源１０が駆動されることが回避され、レーザ光源装置２を長期間にわたって安定に動作させることができる。 In the laser light source device 2 of the second embodiment, since the calculation circuit 28 calculates the rollover value (I RO ), it is possible to cope with changes in the rollover value due to the use state or deterioration state of the laser light source device 2. It has become. Therefore, even when the rollover value changes, the laser light source 10 is prevented from being driven with a supply current value exceeding the rollover value, and the laser light source device 2 can be stably operated over a long period of time.

なお、算出部がＩＲＯの算出に用いる供給電流値や光量については、レーザ光源装置２の通常の使用時における値であってもよいし、通常の使用時とは別のＩＲＯを算出するための駆動条件における値であってもよい。例えば、ユーザーの要求に応じて制御部１４がＩＲＯ算出用の駆動条件を設定し、この駆動条件での供給電流値や光量を用いて算出部がＩＲＯを算出するようになっていてもよい。 Note that the supply current value and the amount of light used for the calculation of IRO by the calculation unit may be values at the time of normal use of the laser light source device 2, or calculate an IRO different from that at the time of normal use. It may be a value in the driving condition for For example, the control unit 14 in response to a user request to set the driving condition for I RO calculation, calculator using a supply current value and the light quantity in this driving condition be adapted to calculate the I RO Good.

また、第１、第２実施形態では、特性調整部１５が波長変換素子１１の温度を調整することにより変換効率を調整しているが、例えば特性調整部が波長変換素子１１にひずみを与えることにより変換効率を調整するものであってもよい。   In the first and second embodiments, the characteristic adjustment unit 15 adjusts the conversion efficiency by adjusting the temperature of the wavelength conversion element 11. For example, the characteristic adjustment unit distorts the wavelength conversion element 11. May be used to adjust the conversion efficiency.

［第３実施形態］
次に、本発明のレーザ光源装置の第３実施形態を説明する。第３実施形態が第１実施形態と異なる点は、特性調整部がレーザ光源の特性を調整することにより供給電力を最小化する点である。 [Third Embodiment]
Next, a third embodiment of the laser light source device of the present invention will be described. The third embodiment is different from the first embodiment in that the characteristic adjustment unit minimizes the power supply by adjusting the characteristic of the laser light source.

図９は、第３実施形態のレーザ光源装置３の概略構成を示す模式図である。図９において、第１実施形態と同様の構成要素には同じ符号を付して示している。第１実施形態と同様の構成要素については、説明を省略する場合がある。   FIG. 9 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the laser light source device 3 of the third embodiment. In FIG. 9, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals. Description of the same components as those in the first embodiment may be omitted.

図９に示すように、レーザ光源装置３の波長変換素子１１には、第１実施形態の特性調整部１５に代えて温度管理部３５が設けられている。温度管理部３５は、変温部３５１、温度検出部３５２、及び温度調整回路３５３を含んでいる。変温部３５１、温度検出部３５２は、第１実施形態と同様のものである。温度調整回路３５３は、温度検出部３５２から波長変換素子１１の温度を受け取り、波長変換素子１１が一定の温度に保持されるように変温部３５１を駆動する。   As illustrated in FIG. 9, the wavelength conversion element 11 of the laser light source device 3 includes a temperature management unit 35 instead of the characteristic adjustment unit 15 of the first embodiment. The temperature management unit 35 includes a temperature change unit 351, a temperature detection unit 352, and a temperature adjustment circuit 353. The temperature changing unit 351 and the temperature detecting unit 352 are the same as those in the first embodiment. The temperature adjustment circuit 353 receives the temperature of the wavelength conversion element 11 from the temperature detection unit 352, and drives the temperature change unit 351 so that the wavelength conversion element 11 is maintained at a constant temperature.

レーザ光源１０には、特性調整部３６が設けられている。特性調整部３６は、第１実施形態と同様の構成になっており、変温部３６１、温度検出部３６２、温度調整回路３６３、及び温度制御回路３６４を含んでいる。温度制御回路３６４には、第１実施形態、変形例１、変形例２に示したようなアルゴリズムが組み込まれている。温度制御回路３６４がレーザ光源１０の温度を調整することにより、レーザ光源１０から射出される光の波長（中心波長）が調整される。したがって、波長変換素子１１において変換効率が最大になるような波長の光をレーザ光源１０から射出させることができ、レーザ光源１０の供給電流値を最小化することができる。よって、第１実施形態と同様に、レーザ光源装置３は、低消費電力かつ長寿命になるとともに、使い勝手のよいものになる。   The laser light source 10 is provided with a characteristic adjustment unit 36. The characteristic adjusting unit 36 has the same configuration as that of the first embodiment, and includes a temperature changing unit 361, a temperature detecting unit 362, a temperature adjusting circuit 363, and a temperature control circuit 364. The temperature control circuit 364 incorporates an algorithm as shown in the first embodiment, the first modification, and the second modification. When the temperature control circuit 364 adjusts the temperature of the laser light source 10, the wavelength (center wavelength) of the light emitted from the laser light source 10 is adjusted. Therefore, light having a wavelength that maximizes the conversion efficiency in the wavelength conversion element 11 can be emitted from the laser light source 10, and the supply current value of the laser light source 10 can be minimized. Therefore, similarly to the first embodiment, the laser light source device 3 has low power consumption and a long life and is easy to use.

なお、第１〜第３実施形態では、内部共振器と外部共振器とを併用してレーザ発振を生じさせているが、内部共振器のみあるいは外部共振器のみでレーザ発振を生じさせる構成を採用することもできる。例えば、レーザ光源１０が内部共振器によりレーザ発振を生じさせ、レーザ光を射出するものである場合には、共振ミラー１２を省くことができる。   In the first to third embodiments, the internal resonator and the external resonator are used in combination to generate laser oscillation. However, a configuration in which laser oscillation is generated only by the internal resonator or only by the external resonator is employed. You can also For example, when the laser light source 10 generates laser oscillation by an internal resonator and emits laser light, the resonance mirror 12 can be omitted.

また、共振ミラー１２としてＶＨＧ等の波長選択素子を用いる場合には、波長選択素子の温度を調整するようにしてもよい。レーザ光源１０や波長変換素子１１に加えて波長選択素子の特性も調整することにより、さらに供給電流値を低減することが可能になる。また、波長変換素子１１の特性を調整するとともにレーザ光源１０の特性も調整するようにしてもよい。   Further, when a wavelength selection element such as VHG is used as the resonance mirror 12, the temperature of the wavelength selection element may be adjusted. By adjusting the characteristics of the wavelength selection element in addition to the laser light source 10 and the wavelength conversion element 11, the supply current value can be further reduced. Further, the characteristics of the wavelength conversion element 11 may be adjusted and the characteristics of the laser light source 10 may be adjusted.

［プロジェクタ］
次に、本発明のプロジェクタの一実施形態を説明する。図４は、本実施形態のプロジェクタ４を示す概略構成図である。図４に示すように、プロジェクタ４は、レーザ光源装置４１Ｒ、４１Ｇ、４１Ｂ、透過型の液晶ライトバルブ（変調装置）４３Ｒ、４３Ｇ、４３Ｂと、ダイクロイックプリズム４４と、投射光学系４５とを備えている。レーザ光源装置４１Ｒ、４１Ｇ、４１Ｂは、それぞれ赤色光、緑色光、青色光を射出し、射出された各色光は、それぞれ液晶ライトバルブ４３Ｒ、４３Ｇ、４３Ｂに変調される。変調された各色光は、ダイクロイックプリズム４４によって合成され、合成された光は投射光学系４５によって投射される。 [projector]
Next, an embodiment of the projector of the present invention will be described. FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing the projector 4 of the present embodiment. As shown in FIG. 4, the projector 4 includes laser light source devices 41R, 41G, and 41B, transmissive liquid crystal light valves (modulators) 43R, 43G, and 43B, a dichroic prism 44, and a projection optical system 45. Yes. The laser light source devices 41R, 41G, and 41B emit red light, green light, and blue light, respectively, and the emitted color lights are modulated by the liquid crystal light valves 43R, 43G, and 43B, respectively. The modulated color lights are combined by the dichroic prism 44, and the combined light is projected by the projection optical system 45.

また、本実施形態のプロジェクタ４は、照度均一化光学系４２Ｒ、４２Ｇ、４２Ｂを含んでいる。照度均一化光学系４２Ｒ、４２Ｇ、４２Ｂは、レーザ光源装置４１Ｒ、４１Ｇ、４１Ｂから射出されたレーザ光の照度分布を均一化する。照度均一化光学系４２Ｒは、ホログラム４２１Ｒとフィールドレンズ４２２Ｒ等により構成されている。照度均一化光学系４２Ｇ、４２Ｂは、照度均一化光学系４２Ｒと同様の構成になっている。   Further, the projector 4 of the present embodiment includes illuminance uniformizing optical systems 42R, 42G, and 42B. The illuminance uniformity optical systems 42R, 42G, and 42B uniformize the illuminance distribution of the laser light emitted from the laser light source devices 41R, 41G, and 41B. The illuminance uniforming optical system 42R includes a hologram 421R, a field lens 422R, and the like. The illuminance uniforming optical systems 42G and 42B have the same configuration as the illuminance uniforming optical system 42R.

液晶ライトバルブ４３Ｒ、４３Ｇ、４３Ｂの各々により変調された色光は、ダイクロイックプリズム４４に入射する。ダイクロイックプリズム４４は４つの直角プリズムを貼り合わせて形成され、その内面（直角プリズムの表面）に赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を反射する誘電体多層膜とが十字状に配置されている。３つの色光は、これらの誘電体多層膜によって合成され、カラー画像を表す光になる。合成された光が投射光学系４５によりスクリーンや壁等の被投射面９に拡大投射されることにより、投射画像が表示される。   The color light modulated by each of the liquid crystal light valves 43R, 43G, and 43B is incident on the dichroic prism 44. The dichroic prism 44 is formed by bonding four right-angle prisms, and a dielectric multilayer film reflecting red light and a dielectric multilayer film reflecting blue light are arranged in a cross shape on the inner surface (surface of the right-angle prism). ing. The three color lights are synthesized by these dielectric multilayer films and become light representing a color image. The synthesized light is enlarged and projected onto the projection surface 9 such as a screen or a wall by the projection optical system 45, whereby a projection image is displayed.

本実施形態のプロジェクタ４にあっては、レーザ光源装置４１Ｒ、４１Ｇ、４１Ｂが本発明のレーザ光源装置により構成されているので、低消費電力かつ長寿命のプロジェクタになっている。   In the projector 4 of the present embodiment, the laser light source devices 41R, 41G, and 41B are configured by the laser light source device of the present invention, so that the projector has low power consumption and a long life.

なお、変調装置として透過型の液晶ライトバルブを用いたが、反射型のライトバルブを用いてもよい。また、液晶以外の変調装置、例えばＤＭＤ（登録商標）等を用いてもよい。投射光学系の構成は、使用される変調装置の種類によって適宜変更すればよい。また、色光合成素子としてダイクロイックプリズムを用いているが、この他にも、ダイクロイックミラーをクロス配置とし色光を合成するものや、ダイクロイックミラーを平行に配置し色光を合成するもの等を用いることができる。   Although a transmissive liquid crystal light valve is used as the modulator, a reflective light valve may be used. Further, a modulation device other than liquid crystal, such as DMD (registered trademark), may be used. What is necessary is just to change suitably the structure of a projection optical system according to the kind of modulation apparatus used. In addition, a dichroic prism is used as the color light combining element. In addition to this, a dichroic mirror is used as a cross arrangement to combine color lights, or a dichroic mirror is provided in parallel to combine color lights. .

第１実施形態のレーザ光源装置の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the laser light source apparatus of 1st Embodiment. （ａ）は変換効率の温度依存性、（ｂ）は変換効率の波長依存性の図である。(A) is the temperature dependence of conversion efficiency, (b) is a figure of the wavelength dependence of conversion efficiency. （ａ）はＡＰＣの概念図、（ｂ）は供給電流の波形を示す模式図である。(A) is a conceptual diagram of APC, (b) is a schematic diagram showing a waveform of a supply current. （ａ）、（ｂ）は、供給電流値を最小化する仕組みを示す説明図である。(A), (b) is explanatory drawing which shows the mechanism which minimizes supply current value. 供給電流値を最小化するアルゴリズムのフローチャートである。It is a flowchart of the algorithm which minimizes a supply current value. 変形例１のアルゴリズムを示すフローチャートである。10 is a flowchart showing an algorithm of Modification 1; 変形例２のアルゴリズムを示すフローチャートである。10 is a flowchart showing an algorithm of Modification 2; 第２実施形態のレーザ光源装置の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the laser light source apparatus of 2nd Embodiment. 第３実施形態のレーザ光源装置の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the laser light source apparatus of 3rd Embodiment. プロジェクタの一実施形態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows one Embodiment of a projector.

符号の説明Explanation of symbols

１、２、３・・・・レーザ光源装置、１０・・・レーザ光源、１１・・・波長変換素子、１２・・・共振ミラー、１３・・・光量検出部、１４・・・制御部、１５、３６・・・特性調整部、２８・・・算出回路（算出部）、４・・・プロジェクタ、４１Ｒ、４１Ｇ、４１Ｂ・・・レーザ光源装置、４３Ｒ、４３Ｇ、４３Ｂ・・・液晶ライトバルブ（変調装置）、４５・・・投射光学系 1, 2, 3,..., Laser light source device, 10 ... laser light source, 11 ... wavelength conversion element, 12 ... resonant mirror, 13 ... light quantity detection unit, 14 ... control unit, 15, 36 ... Characteristic adjustment unit, 28 ... Calculation circuit (calculation unit), 4 ... Projector, 41R, 41G, 41B ... Laser light source device, 43R, 43G, 43B ... Liquid crystal light valve (Modulation device), 45... Projection optical system

Claims (9)

レーザ光源と、
前記レーザ光源から射出された光が入射する波長変換素子と、
前記波長変換素子から射出された光の光量を検出する光量検出部と、
前記光量検出部による検出値を目標値に近づけるように前記レーザ光源に供給される供給電力を決定する制御部と、
前記レーザ光源と前記波長変換素子との少なくとも一方を対象とし前記供給電力を最小化するように前記対象の特性を調整する特性調整部と、を含んでいることを特徴とするレーザ光源装置。 A laser light source;
A wavelength conversion element on which light emitted from the laser light source is incident;
A light amount detector for detecting the amount of light emitted from the wavelength conversion element;
A control unit for determining the power supplied to the laser light source so that the detection value by the light amount detection unit approaches a target value;
A laser light source apparatus, comprising: a characteristic adjusting unit that adjusts the characteristics of the target so as to minimize the supplied power with respect to at least one of the laser light source and the wavelength conversion element. 前記特性調整部が、前記対象の温度を所定の温度範囲内で変化させるとともに、前記温度範囲内における前記供給電力の最小値に対応する温度に前記対象の温度を調整することを特徴とする請求項１に記載のレーザ光源装置。   The said characteristic adjustment part changes the temperature of the said object within the predetermined temperature range, and adjusts the temperature of the said object to the temperature corresponding to the minimum value of the said supply electric power in the said temperature range. Item 2. The laser light source device according to Item 1. 前記特性調整部が、前記供給電力を定めるパラメータの上限値を用いて前記温度範囲を求め、該温度範囲内で前記対象の温度を変化させることを特徴とする請求項２に記載のレーザ光源装置。   3. The laser light source device according to claim 2, wherein the characteristic adjustment unit obtains the temperature range using an upper limit value of a parameter that determines the supply power, and changes the temperature of the target within the temperature range. . 前記上限値が、ロールオーバ値以下であることを特徴とする請求項３に記載のレーザ光源装置。   The laser light source device according to claim 3, wherein the upper limit value is equal to or less than a rollover value. 前記ロールオーバ値を算出するとともに、算出したロールオーバ値を前記特性調整部に出力する算出部を含んでいることを特徴とする請求項４に記載のレーザ光源装置。   The laser light source apparatus according to claim 4, further comprising a calculating unit that calculates the rollover value and outputs the calculated rollover value to the characteristic adjusting unit. 前記レーザ光源がパルス信号により駆動されており、前記パラメータが該パルス信号の１周期に占めるオン時間の比率であることを特徴とする請求項３〜５のいずれか一項に記載のレーザ光源装置。   6. The laser light source device according to claim 3, wherein the laser light source is driven by a pulse signal, and the parameter is a ratio of on-time to one period of the pulse signal. . 前記レーザ光源がパルス信号により駆動されており、前記パラメータが該パルス信号の振幅であることを特徴とする請求項３〜６のいずれか一項に記載のレーザ光源装置。   The laser light source apparatus according to any one of claims 3 to 6, wherein the laser light source is driven by a pulse signal, and the parameter is an amplitude of the pulse signal. 前記特性調整部が、固定された前記温度範囲内で前記対象の温度を変化させることを特徴とする請求項２に記載のレーザ光源装置。   The laser light source device according to claim 2, wherein the characteristic adjusting unit changes the temperature of the target within the fixed temperature range. 請求項１〜８のいずれか一項に記載のレーザ光源装置と、
前記レーザ光源装置から射出された光を変調する変調装置と、
前記変調装置により変調された光を投射する投射光学系と、を含んでいることを特徴とするプロジェクタ。 The laser light source device according to any one of claims 1 to 8,
A modulation device that modulates light emitted from the laser light source device;
A projection optical system that projects the light modulated by the modulation device.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016051136A (en) * 2014-09-02 2016-04-11 キヤノン株式会社 Light source unit, control method of light source unit and projection type display device
JP2016131219A (en) * 2015-01-15 2016-07-21 セイコーエプソン株式会社 Light source device and projector

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