JP2010129875A - 電力変換装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】生産性を向上することができ、大量生産に好適な電力変換装置を提供する。小型化並びに薄型化に好適な電力変換装置を提供する。
【解決手段】電力変換装置１の製造方法において、コア２１、２２を形成する工程と、コア２１、２２の表面を覆う樹脂体３を形成する工程と、コア２１、２２の表面上の一部の領域においてこの表面に沿って樹脂体３を貫通する貫通孔導電体４１３、４２３を形成する工程と、コア２１、２２の表面の他の一部の領域において、樹脂体３上に形成され、接続孔導体４１３、４２３に電気的に接続され巻線４を形成する導電体４１１、４１２、４２１、４２２を形成する工程とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、電力変換装置の製造方法に関し、特にコア及び巻線（コイル）を有する電力変換装置の製造方法に関する。

電子機器の小型化や薄型化を進める上で、電源モジュール（電源ユニット）の小型化や薄型化は重要な要因である。電源モジュールには、例えば半導体スイッチングデバイスだけではなく、トランス、インダクタ、コンデンサ、放熱フィン等の電子部品が組み込まれ、これらの電子部品そのものを小型化する必要がある。トランスは、コアと、このコアに巻き回される巻線（コイル）とを備えている。コアは磁性体材料例えばフェライトにより形成されている。従来の加工技術においては磁性体材料の微細加工には限界があるので、トランスの小型化や薄型化を実現することが難しい。

下記特許文献１には、トランスの小型化や薄型化に好適な超小型電力変換装置が開示されている。この超小型電力変換装置は、フェライト基板（コア）の対向する主面にそれぞれコイル導体を形成し、フェライト基板の一方の主面から他方の主面に貫通する貫通孔を形成し、貫通孔内に双方の主面のコイル導体を接続する接続導体を形成している。コイル導体、接続導体、コイル導体のそれぞれが連続的に接続されることにより、コイルが形成されている。コイルに電流を供給する電極は、フェライト基板の主面上に形成され、コイル導体に接続されている。
特開２００８−１４７２９７号公報

しかしながら、上記特許文献１に開示された超小型電力変換装置においては、以下の点について配慮がなされていなかった。

第１に、超小型電力変換装置においては、フェライト基板にコイル導体間を接続する接続導体を形成するための貫通孔が必要である。この貫通孔は、サンドブラスト加工、レーザ加工等の加工技術を用いて、フェライト基板毎に形成されている。このため、超小型電力変換装置の製造において、生産性が悪く、大量生産には不向きである。

第２に、超小型電力変換装置の小型化や薄型化を進めれば、当然のことながらインダクタンスは小さくなる。大きなインダクタンスを得るにはフェライト基板におけるコイルの巻き数（ターン数）を増加する必要がある。これは、コア長方向においてフェライト基板の長さを長くすることを意味し、フェライト基板サイズ（コアサイズ）が増大する。つまり、超小型電力変換装置の小型化や薄型化には限界がある。

また、超小型電力変換装置のフェライト基板の主面にはコイル導体に接続される電極が形成されているので、フェライト基板サイズは電極の占有面積を含み増大する。更に、コイルに電流を供給する際に電極にも電流が流れ、この電極下のフェライト基板に発生する磁束とコイルによってフェライト基板に発生する磁束とが磁気的に干渉を引き起こす。このため、コイルと電極との間に磁気的干渉を生じない離間寸法が必要になるので、フェライト基板サイズのより一層の増大が生じる。つまり、超小型電力変換装置の小型化や薄型化にはこの点においても限界がある。

本発明は上記課題を解決するためになされたものである。従って、本発明は、生産性を向上することができ、大量生産に好適な電力変換装置の製造方法を提供することである。

上記課題を解決するために、本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、電力変換装置の製造方法において、コアを形成する工程と、コアの表面を覆う樹脂体を形成する工程と、コアの表面上の一部の領域においてこの表面に沿って樹脂体を貫通する貫通孔導電体を形成する工程と、コアの表面の他の一部の領域において、樹脂体上に形成され、接続孔導体に電気的に接続され巻線を形成する導電体を形成する工程とを備える。

実施の形態に係る第２の特徴は、電力変換装置の製造方法において、第１の基板上に第１の表面と対向する第２の表面が貼り付けられた第１のコア及びこの第１のコアから離間された第２のコアを形成する工程と、第１のコア及び第２のコアの第１の表面上に第１の樹脂体を形成する工程と、第１の基板を除去する工程と、第１のコア及び第２のコアの第１の表面と第２の表面との間の側面に第３の樹脂体を形成する工程と、第１のコア及び第２のコアの第２の表面上に第２の樹脂体を形成する工程と、第１のコア、第２のコアのそれぞれの側面に沿って第１の樹脂体、第２の樹脂体及び第３の樹脂体を貫通する貫通孔導電体を形成する工程と、第１のコア及び第２のコアの第１の表面上において、第１の樹脂体上に貫通孔導電体の一端に電気的に接続される第１の導電体を形成する工程と、第１のコア及び第２のコアの第２の表面上において、第２の樹脂体上に貫通孔導電体の他端に電気的に接続される第２の導電体を形成し、第１の導電体、第２の導電体及び貫通孔導電体により巻線を形成する工程とを備える。

第２の特徴に係る電力変換装置の製造方法において、第１のコア及び第２のコアを形成する工程は、幅寸法に比べて、延在寸法を大きくかつ厚み寸法を小さく設定した細長い板形状を有する第１のコア及び第２のコアを形成する工程であることが好ましい。

第２の特徴に係る電力変換装置の製造方法において、第１の樹脂体を形成する工程は、貫通孔導電体の形成領域に露光パターンを有するガラスマスク上に第１の樹脂体を備えた第２の基板を形成する工程と、第２の基板の第１の樹脂体を第１のコア及び第２のコアの第１の表面上に移行する工程とを備えることが好ましい。

第２の特徴に係る電力変換装置の製造方法において、貫通孔導電体を形成する工程は、第２の基板のガラスマスクの露光パターンを用いて第１の樹脂体、第２の樹脂体及び第３の樹脂体に貫通孔を形成する工程と、貫通孔内に貫通孔導電体を形成する工程とを備えることが好ましい。

第２の特徴に係る電力変換装置の製造方法において、貫通孔導電体を形成する工程は貫通孔内にめっきにより貫通孔導電体を形成する工程であり、第１の導電体を形成する工程は第１の樹脂体上にめっきにより第１の導電体を形成する工程であり、第２の導電体を形成する工程は第２の樹脂体上に第２の導電体を形成する工程であることが好ましい。

第２の特徴に係る電力変換装置の製造方法において、第３の樹脂体を形成する工程は、第１のコア及び第２のコアの第２の表面上を覆う樹脂を塗布する工程と、この塗布された樹脂の上面を第１のコア及び第２のコアの第２の表面と同等のレベルまで平坦化し、第３の樹脂体を形成する工程とを備えることが好ましい。

第２の特徴に係る電力変換装置の製造方法において、第２の樹脂体を形成する工程及び第３の樹脂体を形成する工程は、第１のコア及び第２のコアの第２の表面上を覆う樹脂を塗布する工程と、この塗布された樹脂を第２の表面上に一定の膜厚を残して平坦化し、第１のコア及び第２のコアの側面に第３の樹脂体を形成するとともに、第１のコア及び第２のコアの第２の表面上に第２の樹脂体を形成する工程とを備えることが好ましい。

第２の特徴に係る電力変換装置の製造方法において、第１の樹脂体を形成する工程は、第１の樹脂体を備えた第２の基板を形成する工程と、第２の基板の第１の樹脂体を第１のコア及び第２のコアの第１の表面上に形成する工程と、を備え、第２の樹脂体を形成する工程及び第３の樹脂体を形成する工程は、第１のコア及び前第２のコアの第２の表面上を覆う樹脂を塗布する工程と、この塗布された樹脂を第２の表面上に一定の膜厚を残して平坦化し、第１のコア及び第２のコアの側面に第３の樹脂体を形成するとともに、第１のコア及び第２のコアの第２の表面上に第２の樹脂体を形成する工程と、を備え、貫通孔導電体の形成領域に露光パターンを有するガラスマスクを用いてその露光パターンを少なくとも第１の樹脂体、第２の樹脂体のいずれかに転写し、この転写された露光パターンによって第１の樹脂体、第２の樹脂体及び第３の樹脂体に貫通孔を形成する工程と、貫通孔内に貫通孔導電体を形成する工程とを備える。

第１の特徴又は第２の特徴に係る電力変換装置の製造方法において、巻線を形成する工程の後に、巻線の表面を被覆する保護膜を形成する工程を更に備える。

第２の特徴に係る電力変換装置の製造方法において、巻線を形成する工程は、第１の導電体、貫通孔導電体、第２の導電体のそれぞれを連続的に電気的に接続し、第１のコアの周囲並びに第２のコアの周囲にそれぞれ巻き回され、その磁路に沿って螺旋形状を有する一次側巻線と、一次側巻線の磁路に沿って隣り合う同士の間において一次側巻線に併走され、第１の導電体、貫通孔導電体、第２の導電体のそれぞれを連続的に電気的に接続し、第１のコアの周囲並びに第２のコアの周囲にそれぞれ巻き回され、その磁路に沿って螺旋形状を有する二次側巻線とを形成する工程であることが好ましい。

本発明によれば、生産性を向上することができ、大量生産に好適な電力変換装置の製造方法を提供することができる。

次に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。

また、以下に示す実施の形態はこの発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の技術的思想は各構成部品の配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の技術的思想は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。

（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態は、電力変換装置として、トランスの例を説明するものである。

［電力変換装置の構成］
図１、図２及び図３に示すように、第１の実施の形態に係る電力変換装置１はトランスである。この電力変換装置１は、第１の方向Ｘに延在する第１のコア２１と、第１の方向Ｘと交差する第２の方向Ｙにおいて第１のコア２１から離間され、第１の方向Ｘに第１のコア２１と並列に延在する第２のコア２２と、第１の方向Ｘにおいて第１のコア２１の周囲及び第２のコア２２の周囲に螺旋状に巻き回され、第１のコア２１に第１の方向Ｘの磁束ｍ１を発生させ、第２のコア２２に第１の方向Ｘとは逆方向の磁束ｍ２を発生させるとともに、第１のコア２１の第１の一端２１ａと第２のコア２２の第２の一端２２ａとの間並びに第１のコア２１の第１の他端２１ｂと第２のコア２２の第２の他端２２ｂとの間を磁気的に結合する（ｍｃ１及びｍｃ２）巻線４とを備える。

ここで、第１の方向Ｘは三次元座標のＸ軸方向、第２の方向ＹはＹ軸方向にそれぞれ一致し、第１の実施の形態において、第１の方向Ｘに対して第２の方向Ｙは直角である。また、第３の方向Ｚは、Ｚ軸方向に一致し、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙのそれぞれに対して直角である。なお、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ、第３の方向Ｚは、いずれも他の方向に対して直角である必要はなく、他の方向に対して鋭角若しくは鈍角をなしていてもよい。

第１のコア２１は、第２の方向Ｙの幅寸法Ｗ１に比べて、第１の方向Ｘの延在寸法Ｌ１を大きくかつ厚み寸法ｔ１を小さく設定した細長い板形状により構成されている。詳細には、第１のコア２１は実質的に直方体又は短冊形状により構成されている。必ずしもこの数値に限定されるものではないが、第１の実施の形態において、例えば第１のコア２１の幅寸法Ｗ１は０．１ｍｍ−５．０ｍｍに設定され、延在寸法Ｌ１は１ｍｍ−５０ｍｍに設定され、厚み寸法ｔ１は０．１ｍｍ−４．０ｍｍに設定されている。インダクタンス値の調節は延在寸法Ｌ１の調節により容易に行える。第１のコア２１は例えば金属酸化物の強磁性体をセラミックとして燒結したフェライト磁性材により形成されている。また、第１のコア２１は他にアモルファス磁性材により形成してもよい。

第２のコア２２は、第１のコア２１と同様に、第２の方向Ｙの幅寸法Ｗ２に比べて、第１の方向Ｘの延在寸法Ｌ２を大きくかつ厚み寸法ｔ２を小さく設定した細長い板形状により構成されている。この第２のコア２２のサイズは第１のコア２１のサイズと同一に設定されている。第２のコア２２の材料は第１のコア２１の材料と同一である。第１のコア２１と第２のコア２２との離間寸法は例えば５０μｍ−５ｍｍに設定されている。

第１のコア２１及び第２のコア２２の周囲全体は樹脂体３により被覆されている。電力変換装置１の構造体の一部として使用され、その製造プロセスも考慮すると、樹脂体３には、高絶縁耐圧、高アスペクト比及び高耐熱を有することが好ましい。絶縁耐圧は例えば１０Ｖ／μｍ以上に設定され、アスペクト比は例えば５：１以上を有し、耐熱温度は１５０℃以上である樹脂体３が最適である。このような物性を有する樹脂体３には、例えばエポキシ樹脂ベースのフォトレジストを実用的に使用することができる。

樹脂体３は、第１の実施の形態において、第１の樹脂体３１、第２の樹脂体３２及び第３の樹脂体３３を備えた３層構造により構成されている。第１の樹脂体３１は、第１のコア２１の第１の表面２Ａ（図１中、下側表面。一方の表面。）上及び第２のコア２２の第１の表面２Ａ上に配設されている。第２の樹脂体３２は、第１のコア２１の第１の表面２Ａと対向する第２の表面２Ｂ（図１中、上側表面。他方の表面。）上及び第２のコア２２の第１の表面２Ａと対向する第２の表面２Ｂ上に配設されている。第１の樹脂体３１、第２の樹脂体３２はいずれも例えば５μｍ−５００μｍの膜厚に設定されている。第３の樹脂体３３は、第１のコア２１と第２のコア２２との間を含み、第１のコア２１の第１の表面２Ａと第２の表面２Ｂとの間の側面２Ｃ上に配設されている。第３の樹脂体３３の膜厚は第１のコア２１、第２のコア２２のそれぞれの膜厚と同一に設定されている。

巻線４は一次側巻線４１と二次側巻線４２とを備えている。一次側巻線４１は、第１のコア２１、第２のコア２２のそれぞれの第１の表面２Ａ上に第１の樹脂体３１を介して配設された第１の導電体４１１と、第１のコア２１、第２のコア２２のそれぞれの第２の表面２Ｂ上に第２の樹脂体３２を介して配設された第２の導電体４１２と、第１のコア２１、第２のコア２２のそれぞれの側面２Ｃの第３の樹脂体３３に配設された貫通孔導電体４１３とを備え、これらを連続的に螺旋形状を描くように電気的に接続することにより構成されている。貫通孔導電体４１３は、主に第３の樹脂体３３、詳細には第１の樹脂体３１、第３の樹脂体３３及び第２の樹脂体３２を貫通する貫通孔３５内に配設されている。

一次側巻線４１は、第１の実施の形態において、第１のコア２１の第１の他端２１ｂから巻き始め、第１の方向Ｘとは１８０度逆方向の第１の一端２１ａに向かって反時計回り方向に巻き回され、この第１の一端２１ａから第２のコア２２の第２の一端２２ａに移行し、この第２の一端２２ａから第１の方向Ｘに第２の他端２２ｂに向かって反時計回り方向に巻き回され、１本目を巻き終わる。１本目の巻き終わりの一次側巻線４１は、第２のコア２２の第２の他端２２ｂから第１のコア２１の第１の他端２１ｂ側の巻き始めの位置の第１の方向Ｘとは逆方向の隣り合う位置まで移行し、２本目の巻き始めの一次側巻線４１に接続されている。２本目の一次側巻線４１は、１本目の一次側巻線４１に対して第１の方向Ｘとは逆方向に１ピッチ分ずれた状態において、この１本目の一次側巻線４１と同様の巻き回し方において１本目の一次側巻線４１に併走して巻き回される。３本目の一次側巻線４１は、２本目の一次側巻線４１に接続され、同様に２本目の一次側巻線４１に併走して巻き回される。第１の実施の形態においては、３本を１組とした一次側巻線４１が、第１のコア２１を第１の方向Ｘとは逆方向に二次側巻線４２を介在して一定間隔において巻き回されるとともに、第２のコア２２を第１の方向Ｘに二次側巻線４２を介在して一定間隔において巻き回される。なお、一次側巻線４１の本数並びに巻き数は、上記例に限定されるものではなく、電力変換装置１において必要とされる誘導起電力、巻き数比等に応じて種々変更可能である。

一次側巻線４１に巻き始め側から巻き終わり側に向かって電流が流れると、第１のコア２１に第１の方向Ｘとは逆方向に向かって反時計回り方向に一次側巻線４１が巻き回されているので、第１のコア２１には第１の方向Ｘに向かう磁束ｍ１が発生する。第２のコア２２においては、第１の方向Ｘに向かって反時計回り方向に一次側巻線４１が巻き回されているので、第１の方向Ｘとは逆に向かう磁束ｍ２が発生する。更に、第１のコア２１に発生する磁束ｍ１の方向に対して第２のコア２２に発生する磁束ｍ２の方向は逆向きになるので、第１のコア２１の第１の一端２１ａと第２のコア２２の第２の一端２２ａとの間に磁気的結合ｍｃ１が発生し、第１のコア２１の第１の他端２１ｂと第２のコア２２の第２の他端２２ｂとの間に磁気的結合ｍｃ２が発生する。第１のコア２１の第１の一端２１ａと第２のコア２２の第２の一端２２ａとの間並びに第１のコア２１の第１の他端２１ｂと第２のコア２２の第２の他端２２ｂとの間はエアーギャップとして働く。結果的に、第１のコア２１及び第２のコア２２は、双方が離間されていながら、磁束ｍ１、磁気的結合ｍｃ１、磁束ｍ２及び磁気的結合ｍｃ２を通じて擬似的な閉磁路を構築する。

一次側巻線４１の第１の導電体４１１、第２の導電体４１２は、いずれも例えば銅（Ｃｕ）、Ｃｕ合金、金（Ａｕ）等の少なくとも導電性に優れた導電性材料により形成されている。また、第１の導電体４１１、第２の導電体４１２は、いずれも、単層の導電性材料に限らず、例えばＣｕ層の表面上にＣｕめっき層やＡｕめっき層を積層した複合層により形成してもよい。貫通孔導電体４１３は、例えば第１の導電体４１１、第２の導電体４１２のそれぞれと同様の導電性材料により形成されている。必ずしもこの数値に限定されるものではないが、一次側巻線４１の巻線幅は例えば１０μｍ−１ｍｍに設定され、巻線厚さ（樹脂体３の表面からの厚さ）は例えば１０μｍ−１ｍｍに設定されている。

一次側巻線４１の１本目の巻き始めの一端並びに３本目の巻き終わりの他端には電極パッド４１Ｐがそれぞれ電気的に接続されている。電極パッド４１Ｐは、第２の導電体４１２と同一導電層において同一導電性材料により形成され、第１の実施の形態において、第１のコア２１の第２のコア２２側とは反対の外側、第２のコア２２の第１のコア２１側とは反対の外側に配設されるとともに、第２の樹脂体３２上に配設されている。つまり、電極パッド４１Ｐと第１のコア２１、第２のコア２２のそれぞれとの間は少なくとも第２の樹脂体３２を介して電気的にも磁気的にも分離されている。

二次側巻線４２は、第１のコア２１、第２のコア２２のそれぞれの第１の表面２Ａ上に第１の樹脂体３１を介して配設された第１の導電体４２１と、第１のコア２１、第２のコア２２のそれぞれの第２の表面２Ｂ上に第２の樹脂体３２を介して配設された第２の導電体４２２と、第１のコア２１、第２のコア２２のそれぞれの側面２Ｃの第３の樹脂体３３に配設された貫通孔導電体４２３とを備え、これらを連続的に螺旋形状を描くように電気的に接続することにより構成されている。貫通孔導電体４２３は、貫通孔導電体４１３と同様に、第１の樹脂体３１、第３の樹脂体３３及び第２の樹脂体３２を貫通する貫通孔３５内に配設されている。

二次側巻線４２は、第１の実施の形態において、一次側巻線４１と同様に、第１のコア２１の第１の他端２１ｂから巻き始め、第１の方向Ｘとは１８０度逆方向の第１の一端２１ａに向かって反時計回り方向に巻き回され、この第１の一端２１ａから第２のコア２２の第２の一端２２ａに移行し、この第２の一端２２ａから第１の方向Ｘに第２の他端２２ｂに向かって反時計回り方向に巻き回され、巻き終わる。二次側巻線４２は、３本１組の一次側巻線４１と第１の方向Ｘ又はそれと逆方向に隣り合う他の３本１組の一次側巻線４１との間に配設され、３本１組の一次側巻線４１に併走して巻き回される。第１の実施の形態においては、１本の二次側巻線４２が、第１のコア２１を第１の方向Ｘとは逆方向に一次側巻線４１を介在して一定間隔において巻き回されるとともに、第２のコア２２を第１の方向Ｘに一次側巻線４１を介在して一定間隔において巻き回される。

第１の実施の形態において、二次側巻線４２は、第１のコア２１及び第２のコア２２を３回に渡って繰り返し巻き回す３本の一次側巻線４１に対して第１のコア２１及び第２のコア２２を１回だけ巻き回す１本により構成され、更に巻線幅を広くすることにより一次側巻線４１の断面積に比べて大きな断面積を有する。ここでは、例えば、一次側巻線４１の断面面積に対して、二次側巻線４２の断面面積は約３倍−４倍に設定されている。これは、一次側巻線４１に電流を供給すると誘導起電力によって二次側巻線４２に電流が発生するが、二次側巻線４２の電流量は大きく、電流密度が高くなり、発熱量が増大するので、この発熱量を減少するためである。なお、二次側巻線４２の本数並びに巻き数は、上記例に限定されるものではなく、電力変換装置１において必要とされる誘導起電力、巻き数比等に応じて種々変更可能である。

また、第１の実施の形態においては、一次側巻線４１と二次側巻線４２との間の離間距離が例えば５００μｍ以下に設定され、一次側巻線４１と二次側巻線４２との間の絶縁耐圧は例えば安全規格の３０００Ｖ以上に設定されている。

二次側巻線４２の第１の導電体４２１、第２の導電体４２２、貫通孔導電体４２３は、いずれも一次側巻線４１の第１の導電体４１１、第２の導電体４１２、貫通孔導電体４２３のそれぞれと同様の導電性材料により形成されている。必ずしもこの数値に限定されるものではないが、二次側巻線４２の巻線幅は例えば１０μｍ−５ｍｍに設定され、巻線厚さ（樹脂体３の表面からの厚さ）は例えば１０μｍ−１ｍｍに設定されている。

二次側巻線４２の巻き始めの一端並びに巻き終わりの他端には電極パッド４２Ｐがそれぞれ電気的に接続されている。電極パッド４２Ｐは、第２の導電体４２２と同一導電層において同一導電性材料により形成され、第１の実施の形態において、第１のコア２１の第２のコア２２側とは反対の外側、第２のコア２２の第１のコア２１側とは反対の外側に配設されるとともに、第２の樹脂体３２上に配設されている。つまり、電極パッド４２Ｐと第１のコア２１、第２のコア２２のそれぞれとの間は少なくとも第２の樹脂体３２を介して電気的にも磁気的にも分離されている。

樹脂体３の第１の樹脂体３１上、第１の導電体４１１及び４２１上には保護膜５１が配設され、第２の樹脂体３２上、第２の導電体４１２及び４２２上には保護膜５２が配設されている。保護膜５１及び５２には、例えばエポキシ系樹脂膜、ポリイミド系樹脂膜等の樹脂膜を使用することができる。電力変換装置１を直接実装基板等に実装する際には、保護膜５１及び５２にはエポキシ系樹脂膜が最適である。

図１乃至図３に示す第１の実施の形態に係る電力変換装置１においては、第１のコア２１、第２のコア２２及びそれらに巻き回された巻線４は１つの基本構造であり、この基本構造は繰り返し配列パターンの基本単位になる。この基本単位を第２の方向Ｙに複数配列し、隣り合う基本単位間には絶縁耐圧に優れた樹脂体３を介在させることにより、複数の基本単位を密に配列することができる。複数配列された基本単位の巻線４と他の基本単位の巻線４とを電気的に直列に接続すれば、巻線４の巻き数を飛躍的に増大することができ、非常に大きなインダクタンスを得ることができる。基本単位には第１のコア２１及び第２のコア２２の２本のコアを備えているので、基本単位を繰り返し配列することにより、コア数は偶数倍に増加する。

［電力変換装置の動作原理］
前述の図１乃至図３に示す電力変換装置１においては、まず最初に、一次側巻線４１に電流が供給される。この電流の供給によって、第１のコア２１に第１の方向Ｘに磁束ｍ１が発生し、第２のコア２２に第１の方向Ｘとは逆方向に１８０度反対向きの磁束ｍ２が発生する。

第１のコア２１に発生した磁束ｍ１は第２のコア２２に向かって行くので、第１のコア２１の第１の他端２１ｂと第２のコア２２の第２の他端２２ｂとの間に磁気的結合ｍｃ２が発生する。一方、第２のコア２２に発生した磁束ｍ２は第１のコア２１に向かって行くので、第１のコア２１の第１の一端２１ａと第２のコア２２の第２の一端２２ａとの間に磁気的結合ｍｃ１が発生する。結果的に、第１のコア２１及び第２のコア２２を備え、更に前述の螺旋形状を有する一次側巻線４１を備えたことにより、磁束ｍ１、磁気的結合ｍｃ２、磁束ｍ２、磁気的結合ｍｃ１が相互に結合された閉磁路が構築される。

第１のコア２１及び第２のコア２２において一次側巻線４１に併走して二次側巻線４２が巻き回されているので、磁束ｍ１及びｍ２は二次側巻線４２において電力に変換される。

［電力変換装置の製造方法］
前述の第１の実施の形態に係る電力変換装置１の製造方法は、以下に説明する通りである。

まず最初に、細長い板形状の第１のコア２１及び第２のコア２２が形成される（図４参照。）。第１のコア２１及び第２のコア２２は例えばウェハ状態又はバルク状態のフェライトを裁断加工で切り出すことにより形成される。

第１の基板６が準備され、この第１の基板６の表面に第１のコア２１及び第２のコア２２の第２の表面２Ｂが貼り付けられ、第１の基板６に第１のコア２１及び第２のコア２２が搭載される（図４参照。）。第１の基板６は貼り付け基板或いは犠牲基板として使用され、第１の基板６には例えばシリコン（Ｓｉ）基板、ガラス基板等を使用することができる。

図４に示すように、第１の基板６に貼り付けられた第１のコア２１及び第２のコア２２の第１の表面２Ａに第１の樹脂体３１Ａが形成される。第１の樹脂体３１Ａは第２の基板７の表面上に形成され、第２の基板７の表面上の第１の樹脂体３１Ａを第１のコア２１及び第２のコア２２の第１の表面２Ａに押圧することにより、第１の表面２Ａに第１の樹脂体３１Ａが貼り付けられる。第１の樹脂体３１Ａには前述のように例えばエポキシ樹脂ベースのフォトレジストが使用され、この段階において第１の樹脂体３１Ａは露光前の状態にある。

第１の実施の形態において、第２の基板７は、貫通孔３５の形成領域（図１及び後述する図８参照。）に露光パターン７２を有するガラスマスク７１と、ガラスマスク７１の露光パターン７２側の表面上に形成された接着剤７３とを備えている。第１の樹脂体３１Ａはこの接着剤７３を介してガラスマスク７１の表面上に形成されている。接着剤７３は、ガラスマスク７１に第１の樹脂体３１Ａを接着するとともに、ガラスマスク７１から第１の樹脂体３１を剥がす剥離剤としても使用される。ガラスマスク７１には例えば透明ガラス基板が使用され、露光パターン７２には例えばクロム（Ｃｒ）膜が使用される。

ここで、第２の基板７のガラスマスク７１は平坦性に優れ、このガラスマスク７１の表面上に形成される第１の樹脂体３１Ａの平坦性を高めることができる。更にガラスマスク７１は、第１の樹脂体３１Ａとその表面上に形成される第１のコア２１及び第２のコア２２とにより構築される構造体の全体の平坦性を高め、加えて第１の樹脂体３１Ａとの密着性を高められる。第１の樹脂体３１Ａの平坦性及び密着性は露光工程における露光精度を決定し、ガラスマスク７１の露光パターン７２の第１の樹脂体３Ａの転写精度に影響を与える。樹脂体３に貫通孔３５を高い精度において形成するためには、ガラスマスク７１は有効である。

図５に示すように、第２の基板７上において、第１の樹脂体３１Ａ上、第１のコア２１及び第２のコア２２の第２の表面２Ｂ上、更には側面２Ｃを覆う第３の樹脂体３３Ａが形成される。第３の樹脂体３３Ａは例えば塗布法により塗布され、第３の樹脂体３３Ａには前述のように例えばエポキシ樹脂ベースのフォトレジストが使用される。この段階において第３の樹脂体３３Ａは露光前の状態にある。

図６に示すように、ホットプレート８を用いて、第２の基板７の裏面側からホットプレート８に第３の樹脂体３３Ａを加熱しながら押圧し、第３の樹脂体３３Ａの表面が平坦化される。第１の実施の形態において、第３の樹脂体３３Ａの表面は第１のコア２１及び第２のコア２２の第２の表面２Ｂと同等のレベルまで平坦化される。

図７に示すように、露光工程が行われ、第２の基板７つまりガラスマスク７１を用いてその露光パターン７２が第１の樹脂体３１Ａ及び第３の樹脂体３３Ａに転写される。露光パターン７２以外の第１の樹脂体３１Ａ及び第３の樹脂体３３Ａは、感光され、第１の樹脂体３１及び第３の樹脂体３３として形成される。

次に、現像工程が行われ、露光パターン７２が転写された第３の樹脂体３３Ａ及び第１の樹脂体３１Ａが取り除かれ、第３の樹脂体３３及び第１の樹脂体３１に貫通孔３５の一部が形成される（図８参照。）。この後、図８に示すように、第２の基板７が取り除かれ、第２の基板７の表面上の第１の樹脂体３１Ａが第１のコア２１及び第２のコア２２の第１の表面２Ａに移行される。

次に、第１のコア２１及び第２のコア２２の第２の表面２Ｂに第２の樹脂体３２が形成される（図９参照。）。第２の樹脂体３２は、第１の樹脂体３１の形成方法と同様に、まず第３の基板９の表面上に形成され、第３の基板９の表面上の第２の樹脂体３２を第１のコア２１及び第２のコア２２の第２の表面２Ｂに押圧することにより、第２の表面２Ｂに第２の樹脂体３２が貼り付けられる。第２の樹脂体３２には前述のように例えばエポキシ樹脂ベースのフォトレジストが使用され、この段階において第２の樹脂体３２は露光前の状態にある。

引き続き、露光工程が行われ、第１の樹脂体３１及び第３の樹脂体３３に予め形成された貫通孔３５の一部をマスクとしてその貫通孔３５のパターンが第２の樹脂体３２に転写される。貫通孔３５のパターン以外の第２の樹脂体３２は感光される。第２の樹脂体３２が形成されることにより、第１の樹脂体３１、第３の樹脂体３３及び第２の樹脂体３２を備えた樹脂体３の構造体がほぼ完成する。

引き続き、現像工程が行われ、第２の樹脂体３２のパターンが転写された部分が取り除かれ、第２の樹脂体３２に貫通孔３５の他の一部が形成される。これにより、第１の樹脂体３１、第３の樹脂体３３、第２の樹脂体３２のそれぞれを貫通する貫通孔３５が完成する。

第３の基板９は、ベース基板９１と、このベース基板９１の第２の樹脂体３２側の表面に形成されためっきシード９２とを備えている。ベース基板９１には例えばＳｉ基板を使用することができる。めっきシード９２には例えばＡｕ、Ｃｒ、Ｃｕ等の金属薄膜を使用することができる。

なお、第２の樹脂体３２に形成される貫通孔３５の他の一部及び第１の樹脂体３１、第３の樹脂体３３のそれぞれに形成される貫通孔３５の一部は、第１の実施の形態において、露光工程及び現像工程によりいわゆるフォトリソグラフィ技術を用いて形成されているが、貫通孔３５の一部又は他の一部はドライエッチング、プラズマアッシング等の加工技術により形成してもよい。また、貫通孔３５の形成は、第１の樹脂体３１Ａ、第３の樹脂体３３Ａ及び第２の樹脂体３２のそれぞれを形成した後に、露光工程並びに現像工程を経て形成してもよい。

図９に示すように、貫通孔３５内にそれを埋設するような貫通孔導電体４１３及び４２３が形成される。貫通孔導電体４１３及び４２３には前述のように例えばＣｕ等が使用され、このＣｕは例えばめっき法により形成される。

次に、第１の樹脂体３１の表面上にめっきシード１０が形成され、更に第１のコア２１及び第２のコア２２の第１の表面２Ａ上から貫通孔導電体４１３、４２３のそれぞれに至る領域が開口されたレジスト１１がめっきシード１０上に形成される（図１０参照。）。めっきシード１０には前述の第３の基板９のめっきシード９２と同様の金属薄膜を使用することができる。

図１０に示すように、レジスト１１をマスクとして用いて第１のコア２１及び第２のコア２２の第１の表面２Ａ上から貫通孔導電体４１３、４２３のそれぞれに至るめっきシード１０上に第１の導電体４１１、４２１のそれぞれが形成される。第１の導電体４１１、４２１のそれぞれの下のめっきシード１０は第１の導電体４１１、４２１のそれぞれの一部として使用される。図１１に示すように、第１の導電体４１１、４２１のそれぞれをマスクとして用いてレジスト１１及びその下の不必要なめっきシード１０が除去される。

次に、第３の基板９のベース基板９１が除去される。第１の導電体４１１、４２１のそれぞれの形成方法と同様に、まずベース基板９１の残存するめっきシード９２（又は新たに形成されためっきシード）上において第１のコア２１及び第２のコア２２の第２の表面２Ｂ上から貫通孔導電体４１３、４２３のそれぞれに至る領域が開口された図示しないレジストが形成される。このレジストをマスクとして用いて第１のコア２１及び第２のコア２２の第２の表面２Ｂ上から貫通孔導電体４１３、４２３のそれぞれに至るめっきシード９２上に第２の導電体４１２、４２２のそれぞれが形成される。第２の導電体４１２、４２２のそれぞれの下のめっきシード９２は第２の導電体４１２、４２２のそれぞれの一部として使用される。図１２に示すように、第２の導電体４１２、４２２のそれぞれをマスクとして用いてレジスト及びその下の不必要なめっきシード９２が除去される。この第２の導電体４１２、４２２が形成されることにより、第１の導電体４１１、貫通孔導電体４１３及び第２の導電体４１２を備えた一次側巻線４１が完成し、第１の導電体４２１、貫通孔導電体４２３及び第２の導電体４２２を備えた二次側巻線４２が完成する。更に、第２の導電体４１２及び４２２を形成する工程と同一製造工程において、電極パッド４１Ｐ及び４２Ｐが形成される。

次に、前述の図１に示すように、第１のコア２１及び第２のコア２２の第１の表面２Ａを覆う保護膜５１が形成され、第１のコア２１及び第２のコア２２の第２の表面２Ｂを覆う保護膜５２が形成される。

これら一連の製造工程が終了すると、第１の実施の形態に係る電力変換装置１が完成する。

［電力変換装置の特徴］
前述の第１の実施の形態に係る電力変換装置１においては、細長い板形状を有する第１のコア２１及び第２のコア２２を備えたので、それらの延在長方向に巻線４の巻き数を増加することができ、インダクタンスを大きくすることができる。更に、第１の実施の形態に係る電力変換装置１においては、第１のコア２１、第２のコア２２及び巻線４を基本構造として第２の方向Ｙに複数配列し、複数の基本構造の巻線４のそれぞれを電気的に直列に接続することにより、巻線４の巻き数を飛躍的に増加することができるので、インダクタンスをより一層大きくすることができる。この結果、第１のコア２１及び第２のコア２２を細長い板形状により構成し、インダクタンス特性を向上することができるので、電力変換装置１の小型化並びに薄型化を実現することができる。

更に、第１の実施の形態に係る電力変換装置１においては、第１のコア２１及び第２のコア２２とは別の領域であって樹脂体３上に一次側巻線４１に接続される電極パッド４１Ｐ、二次側巻線４２に接続される電極パッド４２Ｐが配設されているので、第１のコア２１のサイズ並びに第２のコア２２のサイズに電極パッド４１Ｐ及び４２Ｐが含まれない。この結果、電力変換装置１の小型化を実現することができる。

更に、第１の実施の形態に係る電力変換装置１においては、第１のコア２１及び第２のコア２２とは別の領域であって樹脂体３上に一次側巻線４１に接続される電極パッド４１Ｐ、二次側巻線４２に接続される電極パッド４２Ｐが配設され、第１のコア２１及び第２のコア２２と電極パッド４１Ｐ及び電極パッド４２Ｐとの間には樹脂体３が配設されているので、電極パット４１Ｐ及び４２Ｐに流れる電流に起因する第１のコア２１に発生する磁束ｍ１、第２のコア２２に発生する磁束ｍ２の磁気的な干渉を軽減することができる。この結果、第１のコア２１及び第２のコア２２と電極パッド４１Ｐ及び４２Ｐとの間の離間距離を短くすることができるので、結果的に電力変換装置１の小型化を実現することができる。

第１の実施の形態に係る電力変換装置１においては、前述のように小型化を促進することができるとともに、製造方法においては、細長い板形状を有する第１のコア２１及び第２のコア２２を用いて巻線４が薄膜成膜技術を利用して形成されているので、より一層小型化及び薄型化を実現することができる。例えば、第１の実施の形態に係る電力変換装置１においては、第３の方向Ｚ（厚さ方向）を８ｍｍ以下、更には１ｍｍ以下の薄型化にすることができる。このように構成される電力変換装置１は例えば半導体スイッチングデバイス、インダクタ、コントロールＩＣとともに１つのパッケージ内に実装して電源モジュールを構築可能であり、この電源モジュールの小型化及び薄型化を実現することができる。

更に、第１の実施の形態に係る電力変換装置１においては、第１のコア２１及び第２のコア２２が細長い板形状により構成され、接地面積を増加することができ、放熱性を向上することができるので、コア中心部の発熱を抑え、電力変換効率を向上することができる。

更に、第１の実施の形態に係る電力変換装置１においては、第１のコア２１及び第２のコア２２の全体を樹脂体３により被覆しているので、実装性並びに信頼性を向上することができる。

加えて、第１の実施の形態に係る電力変換装置１の製造方法においては、裁断加工により複数の第１のコア２１及び第２のコア２２を一括して形成することができ、半導体製造プロセスにより複数の巻線４を一括して形成することができるので、生産性を向上することができる。

更に、第１の実施の形態に係る電力変換装置１の製造方法においては、製造プロセスの初期の段階で、第２の基板７のガラスマスク７１上に第１の樹脂体３Ａを形成しその平坦性を向上しつつガラスマスク７１の露光パターン７２に第１の樹脂体３１Ａを密着させ、その後に第１の樹脂体３１Ａ等に露光パターン７２を転写し、この転写されたパターンに基づき樹脂体３に貫通孔３５を形成しているので、貫通孔３５の加工精度を向上することができる。貫通孔３５の加工精度の向上は貫通孔３５の加工サイズの微細化を促進することができ、結果的に電力変換装置１の小型化及び薄型化を実現することができる。

（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態は、第１の実施の形態に係る電力変換装置１の製造方法を簡略化した例を説明するものである。

［電力変換装置の製造方法］
第２の実施の形態に係る電力変換装置１の製造方法は、以下に説明する通りである。

まず最初に、第１の実施の形態に係る電力変換装置１の製造方法と同様に、細長い板形状の第１のコア２１及び第２のコア２２が形成され（図１３参照）、第１のコア２１及び第２のコア２２は第１の基板６に貼り付けられる。

図１３に示すように、第１の基板６に貼り付けられた第１のコア２１及び第２のコア２２の第１の表面２Ａに第１の樹脂体３１Ａが形成される。第１の樹脂体３１Ａは第３の基板９の表面上に形成され、第３の基板９の表面上の第１の樹脂体３１Ａを第１のコア２１及び第２のコア２２の第１の表面２Ａに押圧することにより、第１の表面２Ａに第１の樹脂体３１Ａが貼り付けられる。

第２の実施の形態において、前述の第１の実施の形態に係る電力変換装置１の製造方法と同様に、第３の基板９は、ベース基板９１と、このベース基板９１の第１の樹脂体３１Ａ側の表面に形成されためっきシード９２とを備えている。

図１４に示すように、第３の基板９上において、第１の樹脂体３１Ａ上、第１のコア２１及び第２のコア２２の第２の表面２Ｂ上、更には側面２Ｃを覆う第３の樹脂体３３Ａが形成される。第３の樹脂体３３Ａは例えば塗布法により塗布される。

図１５に示すように、ホットプレート８を用いて、第３の基板９の裏面側からホットプレート８に第３の樹脂体３３Ａを加熱しながら押圧し、第３の樹脂体３３Ａの表面が平坦化される。第２の実施の形態において、第３の樹脂体３３Ａの表面は第１のコア２１及び第２のコア２２の第２の表面２Ｂ上に一定の膜厚を残して平坦化され、第３の樹脂体３３Ａの第１のコア２１及び第２のコア２２の側面２Ｃ部分はそのまま第３の樹脂体３３Ａとして使用され、第３の樹脂体３３Ａの第１のコア２１及び第２のコア２２の第２の表面２Ｂ上に一定の膜厚で残された部分は第２の樹脂体３２Ａとして使用される。つまり、第２の実施の形態においては、第３の樹脂体３３Ａを形成しその平坦化処理が行われることにより、第３の樹脂体３３Ａの一部を利用して第２の樹脂体３２Ａが形成される。

次に、第２の樹脂体３２Ａの表面上に第２の基板７が装着される（図１６参照。）。第２の実施の形態において、第２の基板７は露光パターン７２を有するガラスマスク７１である。図１６に示すように、露光工程が行われ、第２の基板７つまりガラスマスク７１を用いてその露光パターン７２が第２の樹脂体３２Ａ、第３の樹脂体３３Ａ及び第１の樹脂体３１Ａに転写される。露光パターン７２以外の第２の樹脂体３２Ａ、第３の樹脂体３３Ａ及び第１の樹脂体３１Ａは、感光され、第２の樹脂体３２、第３の樹脂体３３及び第１の樹脂体３１として形成される。

図１７に示すように、現像工程が行われ、第２の樹脂体３２、第３の樹脂体３３及び第１の樹脂体３１のパターンが転写された部分（第２の樹脂体３２Ａ、第３の樹脂体３３Ａ及び第１の樹脂体３１Ａ）が取り除かれ、第２の樹脂体３２、第３の樹脂体３３及び第１の樹脂体３１に貫通孔３５が形成される。第１の実施の形態に係る電力変換装置１の製造方法とは異なり、貫通孔３５は一度に完成する。

この後、前述の第１の実施の形態に係る電力変換装置１の製造方法の図９に示す貫通孔導電体４１３及び４２３を形成する工程並びにそれ以降の工程を行うことにより、前述の図１乃至図３に示すような第２の実施の経緯に係る電力変換装置１を完成させることができる。

［電力変換装置の特徴］
第２の実施の形態に係る電力変換装置１の製造方法においては、前述の第１の実施の形態に係る製造方法に対して、樹脂体３の第３の樹脂体３３を形成する工程と同一工程により第２の樹脂体３２を形成することができ、貫通孔３５を一括して形成することができるので、製造工程数を削減することができ、かつ簡略化することができる。従って、電力変換装置１の生産性を向上することができる。

また、第２の実施の形態に係る電力変換装置１の製造方法は、前述の第１の実施の形態に係る電力変換装置１の製造方法に適用することができる。すなわち、第１の実施の形態に係る電力変換装置１の製造方法の第３の樹脂体３３及び第２の樹脂体３２を形成する工程を、第２の実施の形態に係る電力変換装置１の製造方法の第３の樹脂体３３及び第２の樹脂体３２を形成する工程と同様に、第３の樹脂体３３Ａを平坦化したときに第１のコア２１及び第２のコア２２の第２の表面２Ｂ上に一定の膜厚の第３の樹脂体３３Ａを残し、これを第２の樹脂体３２とすることで、第３の樹脂体３３及び第２の樹脂体３２を同一工程において形成することができる。

（第３の実施の形態）
本発明の第３の実施の形態は、第１の実施の形態に係る電力変換装置１の第１のコア２１及び第２のコア２２の形状を変えた例を説明するものである。

第３の実施の形態に係る電力変換装置１においては、図１８（Ａ）に示すように、第２の表面２Ｂをその法線方向から見て、第１のコア２１の第１の一端２１ａ及び第１の他端２１ｂの角部に円弧を描く面取りＲ１がなされている。第２のコア２２の第２の一端２２ａ及び第２の他端２２ｂの角部にも円弧を描く面取りＲ１がなされている。面取りＲ１はアール面取りである。面取りＲ１を備えることによって、第１のコア２１の角部及び第２のコア２２の角部からの漏れ磁束の発生を減少することができ、電力変換効率を向上することができる。

また、第３の実施の形態に係る電力変換装置１においては、図１８（Ｂ）に示すように、第２の表面２Ｂをその法線方向から見て、第１のコア２１の第１の一端２１ａ及び第１の他端２１ｂの端面に円弧を描き外側に突出した曲面Ｒ２が配設されている。第２のコア２２の第２の一端２２ａ及び第２の他端２２ｂの端面にも円弧を描き外側に突出した曲面Ｒ２が配設されている。曲面Ｒ２を備えることによって、第１のコア２１の角部及び第２のコア２２の角部からの漏れ磁束の発生を減少することができ、電力変換効率を向上することができる。

第３の実施の形態に係る電力変換装置１においては、図１９（Ａ）に示すように、側面２Ｃをその法線方向から見て、第１のコア２１の第１の一端２１ａ及び第１の他端２１ｂの角部に円弧を描く面取りＲ３がなされている。第２のコア２２の第２の一端２２ａ及び第２の他端２２ｂの角部にも円弧を描く面取りＲ３がなされている。面取りＲ３はアール面取りである。面取りＲ３を備えることによって、第１のコア２１の角部及び第２のコア２２の角部からの漏れ磁束の発生を減少することができ、電力変換効率を向上することができる。

また、第３の実施の形態に係る電力変換装置１においては、図１９（Ｂ）に示すように、側面２Ｃをその法線方向から見て、第１のコア２１の第１の一端２１ａ及び第１の他端２１ｂの端面に円弧を描き外側に突出した曲面Ｒ４が配設されている。第２のコア２２の第２の一端２２ａ及び第２の他端２２ｂの端面にも円弧を描き外側に突出した曲面Ｒ４が配設されている。曲面Ｒ４を備えることによって、第１のコア２１の角部及び第２のコア２２の角部からの漏れ磁束の発生を減少することができ、電力変換効率を向上することができる。

なお、第３の実施の形態に係る電力変換装置１は、図示しないが、更に第１のコア２１の第１の一端２１ａ及び第１の他端２１ｂの端面に外側に突出した球面が配設され、同様に第２のコア２２の第２の一端２２ａ及び第２の他端２２ｂの端面にも外側に突出した球面が配設されてもよい。球面を備えることによって、第１のコア２１の角部及び第２のコア２２の角部からの漏れ磁束の発生を減少することができ、電力変換効率を向上することができる。

このように第３の実施の形態に係る電力変換装置１においては、第１のコア２１及び第２のコア２２からの漏れ磁束の発生を減少することができるので、その減少分について第１のコア２１及び第２のコア２２のサイズを縮小することができ、結果的に小型化並びに薄型化を図ることができる。

（第４の実施の形態）
本発明の第４の実施の形態は、第１の実施の形態又は第２の実施の形態に係る電力変換装置１において、一般的に使用される閉磁路をなすコアを使用した例を説明するものである。

［電力変換装置の第１の構成（トランスの構成）］
第４の実施の形態に係る電力変換装置１は図２０に示すようにトランスである。この電力変換装置１は、閉磁路をなすコア２３と、コア２３の周囲の一部に閉磁路に沿って螺旋状に巻き回された一次側巻線４１と、コア２３の周囲の他の一部に閉磁路に沿って螺旋状に巻き回された二次側巻線４２とを備える。更に、電力変換装置１は、コア２３を被覆する樹脂体３と、一次側巻線４１に電気的に接続され樹脂体３上に配設された電極パッド４１Ｐ及び二次側巻線４２に電気的に接続され樹脂体３上に配設された電極パッド４２Ｐとを備えている。

コア２３は、前述の第１の実施の形態に係る電力変換装置１の第１のコア２１及び第２のコア２２と同様に、図２１に示すように、例えばフェライトに裁断加工を行うことにより形成される。コア２３の中心部はレーザ加工やサンドブラスト加工を用いてくり抜かれる。

一次側巻線４１及び二次側巻線４２は、コア２３の表面上に樹脂体３を介して配設された符号は付けないが第１の導電体と、表面に対向する他の表面上に樹脂体３を介して配設された第２の導電体と、表面と他の表面との間の側面に沿って樹脂体３に配設された貫通孔導電体とにより構成されている。

第４の実施の形態に係る電力変換装置１においては、前述の第１の実施の形態に係る電力変換装置１により得られる作用効果に加えて、閉磁路をなすコア２３が使用され、コア２３の閉磁路に沿って磁束が繋がっているので、電力変換効率を向上することができる。

［電力変換装置の第２の構成（トランスの構成）］
第４の実施の形態に係る電力変換装置１は図２２に示すようにトランスである。この電力変換装置１は、閉磁路をなすコア２３と、コア２３の周囲に閉磁路に沿って螺旋状に巻き回された一次側巻線４１と、コア２３の周囲に閉磁路に沿って螺旋状に巻き回され、一次側巻線４１に併走し、閉磁路に沿って一次側巻線４１の隣り合う同士の間に配設される二次側巻線４２とを備える。

それ以外の構成は図２０に示す第４の実施の形態に係る電力変換装置１の構成と同様である。

［電力変換装置の第３の構成（インダクタの構成）］
第４の実施の形態に係る電力変換装置１は図２３に示すようにインダクタである。この電力変換装置１は、閉磁路をなすコア２３と、コア２３の周囲に閉磁路に沿って螺旋状に巻き回された巻線４とを備える。巻線４の一端及び他端は電極パッド４０Ｐに接続されている。

それ以外の構成は図２０に示す第４の実施の形態に係る電力変換装置１の構成と同様である。

（その他の実施の形態）
上記のように、本発明は第１の実施の形態乃至第４の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものでない。本発明は様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術に適用することができる。

本発明の第１の実施の形態に係る電力変換装置の要部拡大断面図である。 第１の実施の形態に係る電力変換装置の平面図である。 第１の実施の形態に係る電力変換装置の側面図である。 第１の実施の形態に係る電力変換装置の製造方法を説明する第１の工程断面図である。 第２の工程断面図である。 第３の工程断面図である。 第４の工程断面図である。 第５の工程断面図である。 第６の工程断面図である。 第７の工程断面図である。 第８の工程断面図である。 第９の工程断面図である。 本発明の第２の実施の形態に係る電力変換装置の製造方法を説明する第１の工程断面図である。 第２の工程断面図である。 第３の工程断面図である。 第４の工程断面図である。 第５の工程断面図である。 （Ａ）は本発明の第３の実施の形態に係る電力変換装置のコアの要部平面図、（Ｂ）は第１の変形例に係る電力変換装置のコアの要部平面図である。 （Ａ）は第３の実施の形態の第２の変形例に係る電力変換装置のコアの要部平面図、（Ｂ）は第４の変形例に係る電力変換装置のコアの要部平面図である。 本発明の第４の実施の形態に係る電力変換装置（トランス）の概略平面図である。 第４の実施の形態に係る電力変換装置のコアの概略平面図である。 本発明の第４の実施の形態の第１の変形例に係る電力変換装置（トランス）の概略平面図である。 本発明の第４の実施の形態の第２の変形例に係る電力変換装置（インダクタ）の概略平面図である。

符号の説明

１…電力変換装置
２Ａ…第１の表面
２Ｂ…第２の表面
２Ｃ…側面
２１…第１のコア
２１ａ…第１の一端
２１ｂ…第１の他端
２２…第２のコア
２２ａ…第２の一端
２２ｂ…第２の他端
２３…コア
３…樹脂体
３１…第１の樹脂体
３２…第２の樹脂体
３３…第３の樹脂体
３５…貫通孔
４…巻線
４１…一次側巻線
４２…二次側巻線
４１１、４２１…第１の導電体
４１２、４２２…第２の導電体
４１３、４２３…貫通孔導電体
４０Ｐ、４１Ｐ、４２Ｐ…電極パッド
６…第１の基板
７…第２の基板
７１…ガラスマスク
７２…露光パターン
９…第３の基板
５１、５２…保護膜

Claims (11)

1. コアを形成する工程と、
   前記コアの表面を覆う樹脂体を形成する工程と、
   前記コアの表面上の一部の領域においてこの表面に沿って前記樹脂体を貫通する貫通孔導電体を形成する工程と、
   前記コアの表面の他の一部の領域において、前記樹脂体上に形成され、前記接続孔導体に電気的に接続され巻線を形成する導電体を形成する工程と、
   を備えたことを特徴とする電力変換装置の製造方法。
2. 第１の基板上に第１の表面と対向する第２の表面が貼り付けられた第１のコア及びこの第１のコアから離間された第２のコアを形成する工程と、
   前記第１のコア及び前記第２のコアの前記第１の表面上に第１の樹脂体を形成する工程と、
   前記第１の基板を除去する工程と、
   前記第１のコア及び前記第２のコアの前記第１の表面と前記第２の表面との間の側面に第３の樹脂体を形成する工程と、
   前記第１のコア及び前記第２のコアの前記第２の表面上に第２の樹脂体を形成する工程と、
   前記第１のコア、前記第２のコアのそれぞれの前記側面に沿って前記第１の樹脂体、前記第２の樹脂体及び前記第３の樹脂体を貫通する貫通孔導電体を形成する工程と、
   前記第１のコア及び前記第２のコアの前記第１の表面上において、前記第１の樹脂体上に前記貫通孔導電体の一端に電気的に接続される第１の導電体を形成する工程と、
   前記第１のコア及び前記第２のコアの前記第２の表面上において、前記第２の樹脂体上に前記貫通孔導電体の他端に電気的に接続される第２の導電体を形成し、前記第１の導電体、前記第２の導電体及び前記貫通孔導電体により巻線を形成する工程と、
   を備えたことを特徴とする電力変換装置の製造方法。
3. 前記第１のコア及び前記第２のコアを形成する工程は、幅寸法に比べて、延在寸法を大きくかつ厚み寸法を小さく設定した細長い板形状を有する前記第１のコア及び前記第２のコアを形成する工程であることを特徴とする請求項２に記載の電力変換装置の製造方法。
4. 前記第１の樹脂体を形成する工程は、
   前記貫通孔導電体の形成領域に露光パターンを有するガラスマスク上に前記第１の樹脂体を備えた第２の基板を形成する工程と、
   前記第２の基板の前記第１の樹脂体を前記第１のコア及び前記第２のコアの前記第１の表面上に移行する工程と、
   を備えたことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の電力変換装置の製造方法。
5. 前記貫通孔導電体を形成する工程は、
   前記第２の基板のガラスマスクの露光パターンを用いて前記第１の樹脂体、前記第２の樹脂体及び前記第３の樹脂体に貫通孔を形成する工程と、
   前記貫通孔内に前記貫通孔導電体を形成する工程と、
   を備えたことを特徴とする請求項４に記載の電力変換装置の製造方法。
6. 前記貫通孔導電体を形成する工程は前記貫通孔内にめっきにより前記貫通孔導電体を形成する工程であり、前記第１の導電体を形成する工程は前記第１の樹脂体上にめっきにより前記第１の導電体を形成する工程であり、前記第２の導電体を形成する工程は前記第２の樹脂体上に前記第２の導電体を形成する工程であることを特徴とする請求項５に記載の電力変換装置の製造方法。
7. 前記第３の樹脂体を形成する工程は、
   前記第１のコア及び前記第２のコアの前記第２の表面上を覆う樹脂を塗布する工程と、
   この塗布された樹脂の上面を前記第２の表面と同等のレベルまで平坦化し、前記第３の樹脂体を形成する工程と、
   を備えたことを特徴とする請求項２乃至請求項６のいずれかに記載の電力変換装置の製造方法。
8. 前記第２の樹脂体を形成する工程及び前記第３の樹脂体を形成する工程は、
   前記第１のコア及び前記第２のコアの前記第２の表面上を覆う樹脂を塗布する工程と、
   この塗布された樹脂を前記第２の表面上に一定の膜厚を残して平坦化し、前記第１のコア及び前記第２のコアの側面に前記第３の樹脂体を形成するとともに、前記第１のコア及び前記第２のコアの前記第２の表面上に前記第２の樹脂体を形成する工程と、
   を備えたことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の電力変換装置の製造方法。
9. 前記第１の樹脂体を形成する工程は、
   前記第１の樹脂体を備えた第２の基板を形成する工程と、
   前記第２の基板の前記第１の樹脂体を前記第１のコア及び前記第２のコアの前記第１の表面上に形成する工程と、を備え、
   前記第２の樹脂体を形成する工程及び前記第３の樹脂体を形成する工程は、
   前記第１のコア及び前記第２のコアの前記第２の表面上を覆う樹脂を塗布する工程と、
   この塗布された樹脂を前記第２の表面上に一定の膜厚を残して平坦化し、前記第１のコア及び前記第２のコアの側面に前記第３の樹脂体を形成するとともに、前記第１のコア及び前記第２のコアの前記第２の表面上に前記第２の樹脂体を形成する工程と、を備え、
   前記貫通孔導電体の形成領域に露光パターンを有するガラスマスクを用いてその露光パターンを前記第１の樹脂体、前記第２の樹脂体のいずれかに転写し、この転写された露光パターンによって前記第１の樹脂体、前記第２の樹脂体及び前記第３の樹脂体に貫通孔を形成する工程と、
   前記貫通孔内に前記貫通孔導電体を形成する工程と、
   を備えたことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の電力変換装置の製造方法。
10. 前記巻線を形成する工程の後に、前記巻線の表面を被覆する保護膜を形成する工程を更に備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の電力変換装置の製造方法。
11. 前記巻線を形成する工程は、
    前記第１の導電体、前記貫通孔導電体、前記第２の導電体のそれぞれを連続的に電気的に接続し、前記第１のコアの周囲並びに前記第２のコアの周囲にそれぞれ巻き回され、その磁路に沿って螺旋形状を有する一次側巻線と、
    前記一次側巻線の前記磁路に沿って隣り合う同士の間において前記一次側巻線に併走され、前記第１の導電体、前記貫通孔導電体、前記第２の導電体のそれぞれを連続的に電気的に接続し、前記第１のコアの周囲並びに前記第２のコアの周囲にそれぞれ巻き回され、その磁路に沿って螺旋形状を有する二次側巻線と、を形成する工程であることを特徴とする請求項２乃至請求項１０のいずれかに記載の電力変換装置の製造方法。

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