JP2010117342A - 圧力センサー及び受圧手段 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の圧力センサー10は、感圧部と当該感圧部の両端と接続される一対の基部36とを有する感圧素子と、一方の主面に受圧面43を有し、当該受圧面の裏側の他方の主面に前記感圧素子の一方の主面側を覆うと共に、前記感圧素子の前記一対の基部36を夫々支持する一対の支持部45が設けられた受圧手段と、を備えた圧力センサー10であって、前記受圧手段は、前記他方の主面の中心を通り前記一対の支持部45の並ぶ方向に向かって伸びる第1の仮想線、及び前記中心を通り前記第1の仮想線と直交する方向に向かって伸びる第2の仮想線のうち、少なくともいずれか一方の仮想線に対して線対称となる位置に厚肉部50を有することを特徴としている。
【選択図】図1
Description
〔適用例1〕感圧部と当該感圧部の両端と接続される一対の基部とを有する感圧素子と、一方の主面に受圧面を有し、当該受圧面の裏側の他方の主面に前記感圧素子の一方の主面側を覆うと共に、前記感圧素子の前記一対の基部を夫々支持する一対の支持部が設けられた受圧手段と、を備えた圧力センサーであって、前記受圧手段は、前記他方の主面の中心を通り前記一対の支持部の並ぶ方向に向かって伸びる第1の仮想線、及び前記中心を通り前記第1の仮想線と直交する方向に向かって伸びる第2の仮想線のうち、少なくともいずれか一方の仮想線に対して線対称となる位置に厚肉部を有することを特徴とする圧力センサー。
これにより、受圧手段の製造工程と一緒に厚肉部を形成することができ、厚肉部の製造工程を短略化できる。
これにより、厚肉部の厚みを受圧手段の厚みに係りなく、厚みを調整することができる。また、受圧手段の製造後、後工程で厚肉部を形成することができる。
周縁部42は、薄肉の可撓部41よりも厚肉に形成し、前述の枠付き振動子30の枠状部32と基板20とを順に積層し接合している。
ここで本発明のダイアフラム40は、図3に示すように可撓部41で最も変位量が大きい箇所を密閉側の主面44の中心Cとしている。
なお厚肉部50は、薄膜状の可撓部41よりも厚みを厚く形成して、剛性を持たせている。
(3)はダイアフラムの外形形状が円形であって、厚肉部50を2つに分割した切り込み51を中心とした線対称に所定の幅を持たせて形成している。
このような本発明の圧力センサー及び受圧手段によれば、Dipを抑制するとともに、ダイアフラムの撓み感度を劣化させることがない。
Claims (4)
- 感圧部と当該感圧部の両端と接続される一対の基部とを有する感圧素子と、
一方の主面に受圧面を有し、当該受圧面の裏側の他方の主面に前記感圧素子の一方の主面側を覆うと共に、前記感圧素子の前記一対の基部を夫々支持する一対の支持部が設けられた受圧手段と、
を備えた圧力センサーであって、
前記受圧手段は、
前記他方の主面の中心を通り前記一対の支持部の並ぶ方向に向かって伸びる第1の仮想線、及び前記中心を通り前記第1の仮想線と直交する方向に向かって伸びる第2の仮想線のうち、少なくともいずれか一方の仮想線に対して線対称となる位置に厚肉部を有することを特徴とする圧力センサー。 - 前記厚肉部は、前記受圧手段の前記一方の主面及び前記他方の主面のうち、少なくともいずれかの主面に一体的に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサー。
- 前記厚肉部は、前記受圧手段の前記一方の主面及び前記他方の主面のうち、少なくともいずれかの主面に接着して形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサー。
- 一方の主面に受圧面を有し、当該受圧面の裏側の他方の主面に感圧素子の両端に接続される一対の基部を夫々支持する一対の支持部が設けられた受圧手段であって、
前記他方の主面の中心を通り前記一対の支持部の並ぶ方向に向かって伸びる第1の仮想線、及び前記中心を通り前記第1の仮想線と直行する方向に向かって伸びる第2の仮想線のうち、少なくともいずれか一方の仮想線に対して線対称となる位置に厚肉部を有することを特徴とする受圧手段。
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