JP2010103558A - 試料検査装置及び吸収電流像の作成方法 - Google Patents
試料検査装置及び吸収電流像の作成方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明では、複数の探針を試料に接触させ、試料に電子線を照射しつつ、探針に流れる電流を測定し、少なくとも2本の探針からの信号を差動増幅器に入力する。そして、差動増幅器からの出力を増幅し、これと電子線の走査情報に基づいて吸収電流像を作成することに関する。本発明により、入力間の増幅率の差を含むことなく鮮明な吸収電流像を取得でき、半導体試料の不良解析の測定効率を向上できる。
【選択図】 図2
Description
2 試料
3 配線パターン
4 探針
5 電子線源
6 差動増幅器
7 吸収電流像
8 表示部
9,10 コンデンサレンズ
11 絞り
12 スキャン偏向器
13 イメージシフト偏向器
14 対物レンズ
15 二次電子線
16 二次電子線検出器
17 SEM制御部
18 ビデオボード
19 記録部
20 試料ホルダ
21 試料ステージ
22 探針ステージ
23 増幅器
24 切換部
25 電流増幅器
26 磁場シールド
27 バックグラウンド像
28 反転バックグラウンド像
29 吸収電流像+反転バックグラウンド像
Claims (4)
- 試料を載置できる試料台と、
電子線を照射できる電子線照射光学系と、
前記試料から発生する二次電子を検出できる検出器と、
前記試料に接触できる、少なくとも2本の探針と、
前記探針とケーブルを介して接続された差動増幅器と、
を備え、
さらに、前記ケーブルに切換部を備え、当該切換部は
前記探針が前記試料と接触するまでは前記探針が接地側に接続し、前記探針が前記試料と接触後に前記探針が前記差動増幅器に接続するように切り換えること
を特徴とする試料検査装置。 - 請求項1記載の試料検査装置において、
前記試料が、配線パターンが形成された半導体試料であることを特徴とする試料検査装置。 - 吸収電流像の作成方法であって、
探針を試料から離し、試料に電子線を照射し、探針に流れる電流に依存する信号と、電子線照射の走査に依存する信号と、に基づいてノイズ情報を作成し、
探針を試料に接触させ、試料に電子線を照射し、探針に流れる電流に依存する信号と、電子線照射の走査に依存する信号と、に基づいて吸収電流情報を作成し、
前記ノイズ情報の極性を反転させ、これを前記吸収電流情報に重畳し、吸収電流像を作成することを特徴とする方法。 - 請求項3記載の吸収電流像の作成方法であって、
前記試料が、配線パターンが形成された半導体試料であることを特徴とする方法。
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JP2005520136A (ja) * | 2002-03-08 | 2005-07-07 | ブラウン ユニバーシティ リサーチ ファウンデーション | 高温で動作可能な高分解能走査型磁気顕微鏡 |
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