JP2010103168A - セラミックス基板の製造方法及びパワーモジュール用基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Siを含有するセラミックス母材を焼結する工程S10と、前記セラミックス母材の表面にフッ化物イオンを含むガスを用いてドライエッチングを施す表面処理工程S20と、前記セラミックス母材の表面の酸化シリコン及びシリコンの複合酸化物の濃度を電子プローブマイクロアナライザを用いた表面測定で2.7Atom%以下とする工程S30と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図3
Description
ここで、セラミックス基板としてAlNよりも高い曲げ強度を有するなど機械的特性に優れるSi3N4を用いることにより、セラミックス基板の薄肉化が図れる。
例えば、Siを含有するSi3N4からなるセラミックス基板とAl(アルミニウム)からなる金属部材とを用いてこれらを接合させた際に、セラミックス基板と金属部材との間で接合不良が発生することがある。
すなわち本発明に係るセラミックス基板の製造方法は、Siを含有するセラミックス母材を焼結する工程と、前記セラミックス母材の表面にフッ化物イオンを含むガスを用いてドライエッチングを施す表面処理工程と、前記セラミックス母材の表面の酸化シリコン及びシリコンの複合酸化物の濃度を電子プローブマイクロアナライザを用いた表面測定で2.7Atom%以下とする工程と、を備えることを特徴とする。
また、本発明に係るパワーモジュール用基板の製造方法は、Siを含有するセラミックス母材を焼結する工程と、前記セラミックス母材の表面にフッ化物イオンを含むガスを用いてドライエッチングを施す表面処理工程と、前記セラミックス母材の表面の酸化シリコン及びシリコンの複合酸化物の濃度を電子プローブマイクロアナライザを用いた表面測定で2.7Atom%以下とする工程と、を備えて製造されたセラミックス基板に、金属部材を接合することを特徴とする。
本発明によれば、接合時において、Al2O3(アルミナ)と共にSiOガスが発生することを抑制するので、セラミックス基板と金属部材とを充分な強度で接合することができる。すなわち、セラミックス基板と金属部材とを接合する際、セラミックス基板の表面に酸化シリコン又はシリコンの複合酸化物が存在すると、金属部材におけるセラミックス基板との界面及びその近傍にアルミニウムの酸化物であるアルミナが形成されると共に一酸化珪素ガスが発生するのだが、セラミックス基板の表面の酸化シリコン及びシリコンの複合酸化物が表面処理により良好に除去されているので、接合時における一酸化珪素ガスの発生が抑制されている。
本発明では、セラミックス基板と金属部材とをロウ付けにより接合することとしている。
また、セラミックス基板11の上下面それぞれにおける酸化シリコン及びシリコンの複合酸化物の濃度は、EPMA(電子プローブマイクロアナライザ)を用いた表面測定において2.7Atom%以下となっている。
なお、図2に示す定量分析結果は、表面測定方法を説明するために使用する一例である。
本実施形態では、JEOL社製のJXA−8600を用いており、動作圧力を1.3×10−3Pa、加速電圧を15.0kV、プローブに供給する電流を5.0×10−8Aとしている。また、セラミックス基板11の表面には、膜厚が100nm未満であるAu膜が蒸着により形成されている。
次に、Si(シリコン)以外の金属元素が最も一般的な酸化物(例えば、Al2O3(アルミナ)、Y2O3(酸化イットリウム)、MgO(酸化マグネシウム)、Er2O3(酸化エルビウム)など)として存在していると仮定し、Si以外の金属元素に結合しているO(酸素)の原子量を算出する(図2(b))。
続いて、換算したOの原子量とSi以外の金属元素に結合しているOの原子量との差を算出する。そして、算出したOの全量がSiと結合してSiO2を構成しているものとし、算出したOの原子量に1.5を乗じて得た値をセラミックス基板11の表面におけるSiO2濃度とする。例えば、図2に示す定量分析結果例では、SiO2濃度が0.253Atom%となる。
なお、EPMAを用いた表面測定は、セラミックス基板11の上面における任意の5箇所において測定している。ここで、表面測定は、5点測定に限らず、10点測定や他の複数個所であってもよい。
回路層13は、金属層12と同様に例えばAlなどの高熱伝導率を有する金属により形成されており、間隔を適宜あけて配置されることで回路を構成する。そして、回路層13は、ロウ材層15によりセラミックス基板11に接合されている。
また、回路層13の上面には、電子部品16がハンダ層17により固着されている。電子部品16としては、例えばIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)などのパワーデバイスが挙げられる。
まず、セラミックス基板11の基材であり、該セラミックス基板11と略同形状のSi3N4からなるセラミックス母材を用意し、このセラミックス母材を、S10に示すように焼成(焼結)する(焼結工程)。焼結後のセラミックス母材の表面には、焼結時に生じた、Siからなる酸化シリコン及びシリコンの複合酸化物が存在している。
また図示しないが、表面処理工程後は、セラミックス母材を蒸留水洗浄工程において洗浄し、乾燥工程においてエアブロー乾燥し、さらにエタノールを用いた超音波洗浄工程において洗浄することが好ましい。
表面測定工程の結果が2.7Atom%以下であれば、セラミックス基板11の製造が終了し、次工程へと移行する。
表面測定工程の結果が2.7Atom%を超える場合には、セラミックス母材に再度S20の表面処理工程が施される。
以上のようにして、パワーモジュール用基板1を製造する。
従って、セラミックス基板11と金属部材とを接合した際に、フッ化物に起因して接合不良が生じるようなことが防止され、セラミックス基板11と金属部材との接合信頼性が確実に高められている。
また、S20の表面処理工程は、S40の金属部材接合工程の接合直前に行われることがより好ましい。
また、S30の表面測定工程の結果が2.7Atom%を超えた場合に、前述のようにセラミックス母材に再度S20の表面処理工程を施さずに、廃棄することとしてもよく、種々の要望・用途に対応して選択可能である。
冷却器31は、水冷式のヒートシンクであって、内部に冷媒である冷却水が流通する流路が形成されている。
放熱板32は、平面視でほぼ矩形状の平板形状を有しており、例えばAlやCu(銅)、AlSiC(アルミシリコンカーバイド)、Cu−Mo(モリブデン)などで形成されている。
図5は本発明の第2の実施形態に係るパワーモジュール用基板の製造方法を説明する工程図である。
尚、前述の第1の実施形態と同一部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。
また図示しないが、ドライエッチング後は、このセラミックス母材20を蒸留水洗浄工程において洗浄し、乾燥工程においてエアブロー乾燥し、さらにエタノールを用いた超音波洗浄工程において洗浄した後、乾燥雰囲気において保管することが好ましい。
以上のようにして、パワーモジュール用基板51を製造する。
このような構成のパワーモジュール用基板51においては、セラミックス基板41と金属部材との接合面積及び接合強度が充分に確保されているため、温度サイクル試験における例えば1000サイクル程度までの間に、回路層13や金属層12がセラミックス基板41から剥離することが確実に抑制される。
例えば、第2の実施形態のセラミックス基板の製造方法では、焼結後のセラミックス母材20にスクライブライン21を設け、スクライブライン21の形成時に生じるヒューム22をブラスト処理で除去することとして説明したが、これに限定されるものではない。すなわち、スクライブライン21の代わりにカッター等を用いてセラミックス母材20を切断して複数のセラミックス基板41とし、前述のブラスト処理を省略しても構わない。
また、セラミックス基板11,41と回路層13または金属層12とは、ロウ付け接合されていることとして説明したが、それ以外の方法により接合されていても構わない。
また、スクライブライン21は、レーザ光Lを照射することで形成されているが、それ以外の他のエネルギー光の照射により形成されてもよい。
また、金属層12及び回路層13それぞれは、アルミニウムで形成されていることとして説明したが、それ以外の金属材料で形成されていてもよい。
また、冷却器31は、本実施形態の水冷式に限らずに、空冷式や他の液冷式であっても構わない。
11,41 セラミックス基板
12 金属層(金属部材)
13 回路層(金属部材)
14,15 ロウ材層
20 セラミックス母材
G ガス
P ドライエッチング装置
S10 焼結工程
S20 表面処理工程(ドライエッチング)
S30 表面測定工程
S40 金属部材接合工程
Claims (5)
- Siを含有するセラミックス母材を焼結する工程と、
前記セラミックス母材の表面にフッ化物イオンを含むガスを用いてドライエッチングを施す表面処理工程と、
前記セラミックス母材の表面の酸化シリコン及びシリコンの複合酸化物の濃度を電子プローブマイクロアナライザを用いた表面測定で2.7Atom%以下とする工程と、を備えることを特徴とするセラミックス基板の製造方法。 - 請求項1記載のセラミックス基板の製造方法であって、
前記ガスは、少なくともフッ化炭素及びフッ化窒素のうちいずれかを含むことを特徴とするセラミックス基板の製造方法。 - Siを含有するセラミックス母材を焼結する工程と、前記セラミックス母材の表面にフッ化物イオンを含むガスを用いてドライエッチングを施す表面処理工程と、前記セラミックス母材の表面の酸化シリコン及びシリコンの複合酸化物の濃度を電子プローブマイクロアナライザを用いた表面測定で2.7Atom%以下とする工程と、を備えて製造されたセラミックス基板に、金属部材を接合することを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。
- 請求項3に記載のパワーモジュール用基板の製造方法であって、
前記金属部材として、アルミニウムを用いることを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。 - 請求項3又は4に記載のパワーモジュール用基板の製造方法であって、
前記セラミックス基板と前記金属部材との接合が、ロウ付けで行われることを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。
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