JP2010101637A

JP2010101637A - Test system and waveform observation method

Info

Publication number: JP2010101637A
Application number: JP2008270743A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Narukawa; 健一成川; Jun Yamazaki; 潤山崎
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2008-10-21
Filing date: 2008-10-21
Publication date: 2010-05-06

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a test system and a waveform observation method allowing waveform to be observed easily by the oscilloscope of an IC tester. <P>SOLUTION: The test system includes: the oscilloscope 1 for outputting operation information by an operation section 13; and the IC tester for performing operation by operation information of the oscilloscope 1. A body 5 of the IC tester is provided with: an oscilloscope control means 52 and a storage section 51, and connects the oscilloscope 1 to the IC tester by LAN interfaces 15, 53. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、オシロスコープによりＩＣテスタを波形観測するテストシステム及び波形観測方法に関し、容易に波形観測が行えるテストシステム及び波形観測方法に関するものである。 The present invention relates to a test system and a waveform observation method for observing a waveform of an IC tester with an oscilloscope, and relates to a test system and a waveform observation method capable of easily observing a waveform.

ＩＣテスタは、被試験対象（以下ＤＵＴ）に信号を出力し、ＤＵＴの出力により良否の判定を行うものである。従来、例えば、下記特許文献１，２に示されるように、オシロスコープを用いて、ＩＣテスタの出力端の波形観測を行っていた。 The IC tester outputs a signal to an object to be tested (hereinafter referred to as DUT), and determines whether it is good or bad by the output of the DUT. Conventionally, for example, as shown in Patent Documents 1 and 2 below, an oscilloscope is used to observe the waveform at the output end of an IC tester.

特開２００２−２２８７２０号公報JP 2002-228720 A 特開２００８−２６０８３号公報JP 2008-26083 A

ＩＣテスタは、一般的に、本体とテストヘッドからなり、本体からテストヘッドに対して制御を行っている。そして、オシロスコープによる波形観測は、テストヘッドにプローブを接続させて行われる。このため、ＩＣテスタに対して、同じ動作をさせ、波形観測を行うためには、波形観測を行うテストヘッドから離れて、本体に対して、キーボードやマウスを用いて、指示を出して、操作を行わなければならず、何度もテストヘッドと本体間を往来しなければならなかった。また、プローブを固定できない状態では、プロービングしながらのＩＣテスタへの操作が困難だった。 An IC tester generally includes a main body and a test head, and controls the test head from the main body. Waveform observation using an oscilloscope is performed by connecting a probe to the test head. For this reason, in order to perform the same operation and perform waveform observation for the IC tester, it is necessary to move away from the test head that performs waveform observation and to give instructions to the main body using a keyboard or mouse. And had to go back and forth between the test head and the body many times. Further, when the probe could not be fixed, it was difficult to operate the IC tester while probing.

そこで、本発明の目的は、ＩＣテスタのオシロスコープによる波形観測が容易に行えるテストシステム及び波形観測方法を実現することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to realize a test system and a waveform observation method that can easily perform waveform observation with an oscilloscope of an IC tester.

このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
操作部による操作情報を出力するオシロスコープと、
このオシロスコープの操作情報により動作を行うＩＣテスタと
を備えたことを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、
操作部による操作情報を出力するオシロスコープと、
このオシロスコープの操作情報を入力し、操作情報により、オシロスコープを制御すると共に、動作を行うＩＣテスタと
を備えたことを特徴とするものである。
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明であって、
前記ＩＣテスタは、
テストプログラムを記憶する記憶部と、
被試験対象を試験する試験部と、
前記オシロスコープの操作情報により、前記オシロスコープを制御すると共に、前記記憶部のテストプログラムにより、前記試験部を制御するオシロスコープ制御手段と
を設けたことを特徴とするものである。
請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明であって、
前記オシロスコープは、
前記ＩＣテスタの波形を計測する計測回路と、
前記ＩＣテスタからの制御により、操作部の操作情報をＩＣテスタに出力すると共に、前記計測回路を制御する外部制御手段と
を有することを特徴とするものである。
請求項５記載の発明は、
オシロスコープによりＩＣテスタを波形観測する波形観測方法において、
前記オシロスコープが操作部による操作情報を出力し、
この操作情報を、ＩＣテスタが入力し、操作情報により、オシロスコープを制御すると共に、テストプログラムの実行を制御することを特徴とするものである。 In order to achieve such a problem, the invention according to claim 1 of the present invention is:
An oscilloscope that outputs operation information from the operation unit,
An IC tester that operates according to the operation information of the oscilloscope is provided.
The invention according to claim 2
An oscilloscope that outputs operation information from the operation unit,
The operation information of the oscilloscope is input, and the oscilloscope is controlled by the operation information, and an IC tester that operates is provided.
Invention of Claim 3 is invention of Claim 1 or 2, Comprising:
The IC tester is
A storage unit for storing a test program;
A test section for testing the test object;
The oscilloscope is controlled by operating information of the oscilloscope, and oscilloscope control means for controlling the test unit by a test program of the storage unit is provided.
Invention of Claim 4 is invention in any one of Claims 1-3, Comprising:
The oscilloscope
A measurement circuit for measuring the waveform of the IC tester;
According to the control from the IC tester, the operation information of the operation unit is output to the IC tester, and external control means for controlling the measurement circuit is included.
The invention according to claim 5
In the waveform observation method of observing the waveform of an IC tester with an oscilloscope,
The oscilloscope outputs operation information from the operation unit,
The operation information is input by an IC tester, and the oscilloscope is controlled by the operation information, and the execution of the test program is controlled.

本発明によれば以下のような効果がある。
請求項１〜４によれば、オシロスコープが操作部による操作情報を出力し、この操作情報によりＩＣテスタが動作するので、ＩＣテスタのオシロスコープによる波形観測が容易に行える。 The present invention has the following effects.
According to the first to fourth aspects, since the oscilloscope outputs operation information from the operation unit and the IC tester operates according to the operation information, waveform observation by the oscilloscope of the IC tester can be easily performed.

請求項３，４によれば、オシロスコープ制御手段がオシロスコープを制御するので、外部制御可能なオシロスコープであれば、オシロスコープの操作によりＩＣテスタが動作することができる。つまり、オシロスコープの改造を必要としない。 According to the third and fourth aspects, since the oscilloscope control means controls the oscilloscope, if the oscilloscope can be externally controlled, the IC tester can be operated by operating the oscilloscope. In other words, there is no need to modify the oscilloscope.

請求項５によれば、オシロスコープが操作部による操作情報を出力し、この操作情報によりＩＣテスタが動作するので、ＩＣテスタのオシロスコープによる波形観測が容易に行える。 According to the fifth aspect, since the oscilloscope outputs operation information from the operation unit, and the IC tester operates according to the operation information, waveform observation by the oscilloscope of the IC tester can be easily performed.

以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.

図１において、オシロスコープ１は、波形観測を行うと共に、操作情報を出力する。そして、オシロスコープ１は、プローブ１１、計測回路１２、キー、タッチパネル等の操作部１３、液晶ディスプレイ等の表示部１４、ＬＡＮインターフェース１５、コントローラ１６を有する。計測回路１２は、プローブ１１と電気的に接続し、計測を行う。ＬＡＮインターフェース１５は、ネットワークケーブルに接続する。コントローラ１６は、外部制御手段１６１を有し、操作部１３から指示が入力され、計測回路１２を制御し、表示部５４に表示を行うと共に、ＬＡＮインターフェース１５と接続する。外部制御手段１６１は、外部からの制御により、計測回路１２、操作部１３、表示部１４の制御を行うと共に、操作部１３による操作情報を出力する。 In FIG. 1, an oscilloscope 1 performs waveform observation and outputs operation information. The oscilloscope 1 includes a probe 11, a measurement circuit 12, an operation unit 13 such as a key and a touch panel, a display unit 14 such as a liquid crystal display, a LAN interface 15, and a controller 16. The measurement circuit 12 is electrically connected to the probe 11 and performs measurement. The LAN interface 15 is connected to a network cable. The controller 16 includes an external control unit 161, receives an instruction from the operation unit 13, controls the measurement circuit 12, displays on the display unit 54, and connects to the LAN interface 15. The external control unit 161 controls the measurement circuit 12, the operation unit 13, and the display unit 14 by external control, and outputs operation information from the operation unit 13.

ＤＵＴ２は、ＩＣ、ＬＳＩ等である。パフォーマンスボード３は、ＤＵＴ２の試験のための周辺回路を含むプリント基板で、ＤＵＴ２と電気的に接続する。テストヘッド４は、パフォーマンスボード３と電気的に接続し、ピンエレクトロニクスボードと呼ばれる複数のプリント基板が搭載されている。本体５は、テストヘッド４とケーブルを介して電気的に接続される。そして、本体５は、記憶部５１、コントローラ５２、ＬＡＮインターフェース５３等を有する。記憶部５１は、テストプログラムを記憶する。コントローラ５２は、オシロスコープ制御手段５２１を有し、記憶部５１のテストプログラムの実行を行い、テストヘッド４の制御を行う。オシロスコープ制御手段５２１は、オシロスコープ１の操作情報により、オシロスコープ１を制御すると共に、記憶部５１のテストプログラムにより、テストヘッド４を制御する。ＬＡＮインターフェース５３は、コントローラ５２と接続すると共に、ネットワークケーブルを介して、ＬＡＮインターフェース１５に接続する。ここで、パフォーンスボード３、テストヘッド４、本体５がＩＣテスタである。また、パフォーマンスボード３、テストヘッド４が、ＤＵＴ２を試験する試験部である。 The DUT 2 is an IC, an LSI, or the like. The performance board 3 is a printed board including peripheral circuits for testing the DUT 2 and is electrically connected to the DUT 2. The test head 4 is electrically connected to the performance board 3 and is mounted with a plurality of printed boards called pin electronics boards. The main body 5 is electrically connected to the test head 4 via a cable. The main body 5 includes a storage unit 51, a controller 52, a LAN interface 53, and the like. The storage unit 51 stores a test program. The controller 52 has an oscilloscope control means 521, executes a test program in the storage unit 51, and controls the test head 4. The oscilloscope control means 521 controls the oscilloscope 1 according to the operation information of the oscilloscope 1 and also controls the test head 4 according to the test program in the storage unit 51. The LAN interface 53 is connected to the controller 52 and to the LAN interface 15 via a network cable. Here, the performance board 3, the test head 4, and the main body 5 are IC testers. The performance board 3 and the test head 4 are test units for testing the DUT 2.

このような装置の動作を以下に説明する。コントローラ５２のオシロスコープ制御手段５２１が、ＬＡＮインターフェース５３，１５を介して、コントローラ１６の外部制御手段１６１を動作させる。そして、操作者が、オシロスコープ１の操作部１３を操作し、操作部１３の操作情報を、外部制御手段１６１がＬＡＮインターフェース１５，５３を介して、オシロスコープ制御手段５２１に送る。オシロスコープ制御手段５２１は、操作情報、例えば、実行ボタン（開始／停止ボタン）が押された情報により、記憶部５１のテストプログラムを実行させ、テストヘッド４を動作させる。また、オシロスコープ制御手段５２１は、ＬＡＮインターフェース５３，１５を介して、コントローラ１６の外部制御手段１６１に対して、実行命令を送る。この結果、外部制御手段１６１は、計測回路１２に対して、計測を開始させる。計測回路１２は、パフォーマンスボード３に接続するプローブ１１から信号を入力し、測定を行い、この測定結果を、外部制御手段１６１は表示部１４に波形表示させる。 The operation of such an apparatus will be described below. The oscilloscope control means 521 of the controller 52 operates the external control means 161 of the controller 16 via the LAN interfaces 53 and 15. Then, the operator operates the operation unit 13 of the oscilloscope 1, and the operation information of the operation unit 13 is transmitted from the external control unit 161 to the oscilloscope control unit 521 via the LAN interfaces 15 and 53. The oscilloscope control means 521 causes the test head 4 to operate by executing the test program in the storage unit 51 based on operation information, for example, information on the execution button (start / stop button) being pressed. The oscilloscope control means 521 sends an execution command to the external control means 161 of the controller 16 via the LAN interfaces 53 and 15. As a result, the external control unit 161 causes the measurement circuit 12 to start measurement. The measurement circuit 12 inputs a signal from the probe 11 connected to the performance board 3 and performs measurement, and the external control means 161 displays the waveform of the measurement result on the display unit 14.

再び、操作者が、オシロスコープ１の操作部１３を操作し、操作部１３の操作情報を、外部制御手段１６１がＬＡＮインターフェース１５，５３を介して、オシロスコオープ制御手段５２１に送る。オシロスコープ制御手段５２１は、操作情報、例えば、実行ボタンが押された情報により、記憶部５１のテストプログラムの実行を停止し、テストヘッド４の動作を停止させる。オシロスコープ制御手段５２１は、ＬＡＮインターフェース５３，１５を介して、コントローラ１６の外部制御手段１６１に対して、停止命令を送る。この結果、外部制御手段１６１は、計測回路１２に対して、計測を停止させる。ここで、操作部１３の実行ボタンの操作情報に対して、１回目の操作には実行命令、２回目の操作には停止命令が割り当てられている。 Again, the operator operates the operation unit 13 of the oscilloscope 1 and the external control unit 161 sends operation information of the operation unit 13 to the oscilloscope control unit 521 via the LAN interfaces 15 and 53. The oscilloscope control means 521 stops the execution of the test program in the storage unit 51 and stops the operation of the test head 4 based on the operation information, for example, information that the execution button is pressed. The oscilloscope control means 521 sends a stop command to the external control means 161 of the controller 16 via the LAN interfaces 53 and 15. As a result, the external control unit 161 causes the measurement circuit 12 to stop measurement. Here, with respect to the operation information of the execution button of the operation unit 13, an execution command is assigned to the first operation, and a stop command is assigned to the second operation.

このように、オシロスコープ１が操作部１３による操作情報を出力し、この操作情報によりＩＣテスタが動作するので、ＩＣテスタのオシロスコープ１による波形観測が容易に行える。 Thus, since the oscilloscope 1 outputs the operation information by the operation unit 13 and the IC tester operates by this operation information, the waveform observation by the oscilloscope 1 of the IC tester can be easily performed.

また、オシロスコープ制御手段５２１がオシロスコープ１の外部制御手段１６１を制御するので、外部制御可能なオシロスコープ１であれば、オシロスコープ１の操作によりＩＣテスタが動作することができる。つまり、オシロスコープ１の改造を必要としない。 Further, since the oscilloscope control means 521 controls the external control means 161 of the oscilloscope 1, the IC tester can be operated by operating the oscilloscope 1 as long as the oscilloscope 1 can be controlled externally. That is, it is not necessary to modify the oscilloscope 1.

なお、キー等の操作情報をＩＣテスタに送信する構成を示したが、プローブ１１に実行ボタンを設け、オシロスコープ１がプローブ１１の実行ボタンの操作情報を出力する構成でもよい。要するに、操作部であればどのような構成でもよい。 In addition, although the structure which transmits operation information, such as a key, to an IC tester was shown, the structure which provides the execution button in the probe 11 and the oscilloscope 1 outputs the operation information of the execution button of the probe 11 may be sufficient. In short, any configuration may be used as long as it is an operation unit.

また、ＩＣテスタが実質的にはオシロスコープ１を制御する構成を示したが、オシロスコープ１がＩＣテスタを直接制御する構成にしてもよい。つまり、オシロスコープ１が、操作部１３の操作により計測回路１２を動作させ、操作情報を出力し、この操作情報により、ＩＣテスタが動作する構成にしてもよい。 In addition, the configuration in which the IC tester substantially controls the oscilloscope 1 is shown, but the oscilloscope 1 may directly control the IC tester. That is, the oscilloscope 1 may operate the measurement circuit 12 by operating the operation unit 13 and output operation information, and the IC tester may be operated by this operation information.

また、ＤＵＴ２を試験するために、ＤＵＴ２の周辺に配置される周辺回路は、ＩＣテスタに含まれる。 Further, in order to test the DUT 2, peripheral circuits arranged around the DUT 2 are included in the IC tester.

また、パフォーマンスボード３、テストヘッド４が試験部の例を示したが、テストヘッド４の一部を本体５に本体試験部として設ける構成でもよい。 Moreover, although the performance board 3 and the test head 4 have shown the example of a test part, the structure which provides a part of test head 4 in the main body 5 as a main body test part may be sufficient.

そして、オシロスコープ１と本体５とをネットワークケーブルにより接続する構成を示したが、これに限定されるものではない。 And although the structure which connects the oscilloscope 1 and the main body 5 with a network cable was shown, it is not limited to this.

さらに、オシロスコープ制御手段５２１が、例えば、テスト開始、停止の情報を外部制御手段１６１に送り、外部制御手段１６１が表示部１４にテスト開始、停止を表示部１４に表示する構成にしてもよい。つまり、ＩＣテスタからの各種情報をオシロスコープ１に表示させる構成にしてもよい。 Further, for example, the oscilloscope control unit 521 may send the test start / stop information to the external control unit 161 and the external control unit 161 may display the test start / stop on the display unit 14. That is, various types of information from the IC tester may be displayed on the oscilloscope 1.

本発明の一実施例を示した構成図である。It is the block diagram which showed one Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１オシロスコープ
１２計測回路
１３操作部
１６コントローラ
１６１外部制御手段
２ＤＵＴ
３パフォーマンスボード
４テストヘッド
５本体
５１記憶部
５２コントローラ
５２１オシロスコープ制御手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Oscilloscope 12 Measurement circuit 13 Operation part 16 Controller 161 External control means 2 DUT
3 Performance Board 4 Test Head 5 Body 51 Storage Unit 52 Controller 521 Oscilloscope Control Unit

Claims

操作部による操作情報を出力するオシロスコープと、
このオシロスコープの操作情報により動作を行うＩＣテスタと
を備えたことを特徴とするテストシステム。 An oscilloscope that outputs operation information from the operation unit,
A test system comprising an IC tester that operates according to operation information of the oscilloscope.

操作部による操作情報を出力するオシロスコープと、
このオシロスコープの操作情報を入力し、操作情報により、オシロスコープを制御すると共に、動作を行うＩＣテスタと
を備えたことを特徴とするテストシステム。 An oscilloscope that outputs operation information from the operation unit,
A test system comprising an IC tester for inputting operation information of the oscilloscope and controlling the oscilloscope according to the operation information and performing an operation.

前記ＩＣテスタは、
テストプログラムを記憶する記憶部と、
被試験対象を試験する試験部と、
前記オシロスコープの操作情報により、前記オシロスコープを制御すると共に、前記記憶部のテストプログラムにより、前記試験部を制御するオシロスコープ制御手段と
を設けたことを特徴とする請求項１または２記載のテストシステム。 The IC tester is
A storage unit for storing a test program;
A test section for testing the test object;
3. The test system according to claim 1, further comprising an oscilloscope control unit configured to control the oscilloscope based on operation information of the oscilloscope and to control the test unit using a test program stored in the storage unit.

前記オシロスコープは、
前記ＩＣテスタの波形を計測する計測回路と、
前記ＩＣテスタからの制御により、操作部の操作情報をＩＣテスタに出力すると共に、前記計測回路を制御する外部制御手段と
を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のテストシステム。 The oscilloscope
A measurement circuit for measuring the waveform of the IC tester;
The test according to any one of claims 1 to 3, further comprising: external control means for controlling the measurement circuit while outputting operation information of the operation unit to the IC tester under the control of the IC tester. system.

オシロスコープによりＩＣテスタを波形観測する波形観測方法において、
前記オシロスコープが操作部による操作情報を出力し、
この操作情報を、ＩＣテスタが入力し、操作情報により、オシロスコープを制御すると共に、テストプログラムの実行を制御することを特徴とする波形観測方法。 In the waveform observation method of observing the waveform of an IC tester with an oscilloscope,
The oscilloscope outputs operation information from the operation unit,
A method of observing a waveform, wherein the operation information is input by an IC tester, and the oscilloscope is controlled by the operation information and the execution of the test program is controlled.