JP2010096551A - 三次元形状検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】時間相関イメージセンサ(カメラ10)を使用した白色干渉計を含む三次元形状検査装置において、被測定物8が外部環境によって振動する振動変位を取得する手段(変位センサ42)と、該振動変位を、前記時間相関イメージセンサに与える参照信号に合成して、外部振動の影響をキャンセルする手段(参照信号発生手段50)と、を備える。
【選択図】図10
Description
v1(t)+v2(t)+v3(t)=0 …(2)
という制約条件がある。結果として、時間相関イメージセンサは、入射光強度の平均値、及び、入射光強度と2つの基底との内積値を出力するデバイスであるとみなせる。
ここで、検出すべき光強度入力 → A・cos(ωt+φ)
一定の背景光強度 → I0
その他の変動光強度 → B(t)
h(z) =G*(z−z0) …(12)
を用いれば、相関振幅|g|は、参照ミラーの振動中心に対応する箇所に反射があるときに大きな値を持つように設計することができる。ここでG* は、入力側で雑音が入った場合、入力信号から元データを最も正確に判定することが可能な整合フィルタであり、この問題は変分法で解くことができる。
(試料に当たるまでの光路)+(反射して戻るまでの光路)
と計算が往復になるため、計測面が基準面より1/2波長分へこんでいる場合、1/2波長×2(往復)で、光路は1波長分長くなる計算となる。このように干渉強度変化の1周期が、使用する光の半波長分の凹凸変化に対応することがわかる。白色光干渉の場合も基本的には同様の議論が成り立つ。白色光干渉の場合は干渉の周期は光源の中心波長で決まる。このことは照明波長を光学フィルタなどでコントロールすることで、干渉範囲を制御することが可能であることも示している。
12…白色光源+光学フィルタ
14、24…ハーフミラー
20…干渉レンズ(ミラウ干渉計)
22…参照ミラー
26…レンズ
30…ピエゾアクチュエータ
32…ピエゾ変位センサ
40…ステージ
42…変位センサ
50…参照信号発生手段
60…イメージセンサ出力信号演算手段
Claims (1)
- 時間相関イメージセンサを使用した白色干渉計を含む三次元形状検査装置において、
被測定物が外部環境によって振動する振動変位を取得する手段と、
該振動変位を、前記時間相関イメージセンサに与える参照信号に合成して、外部振動の影響をキャンセルする手段と、
を備えたことを特徴とする三次元形状検査装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010101629A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Juki Corp | 三次元形状検査装置 |
WO2013084557A1 (ja) * | 2011-12-07 | 2013-06-13 | コニカミノルタ株式会社 | 形状測定装置 |
JP2013160516A (ja) * | 2012-02-01 | 2013-08-19 | Canon Inc | 測定装置 |
JP2015161544A (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-07 | 国立大学法人金沢大学 | 振動環境下での波長走査を用いた形状計測方法及び装置 |
JP2018185301A (ja) * | 2017-04-26 | 2018-11-22 | 株式会社ミツトヨ | 光学システムによる対象物の表面の光学式走査型2.5次元輪郭曲線法により画像スタックから対象物の表面の高さマップを算出するための方法及びシステム |
WO2023182095A1 (ja) * | 2022-03-25 | 2023-09-28 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 |
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010101629A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Juki Corp | 三次元形状検査装置 |
WO2013084557A1 (ja) * | 2011-12-07 | 2013-06-13 | コニカミノルタ株式会社 | 形状測定装置 |
CN103975220A (zh) * | 2011-12-07 | 2014-08-06 | 柯尼卡美能达株式会社 | 形状测定装置 |
EP2789968A4 (en) * | 2011-12-07 | 2015-09-02 | Konica Minolta Inc | SHAPE MEASURING DEVICE |
JP2013160516A (ja) * | 2012-02-01 | 2013-08-19 | Canon Inc | 測定装置 |
JP2015161544A (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-07 | 国立大学法人金沢大学 | 振動環境下での波長走査を用いた形状計測方法及び装置 |
JP2018185301A (ja) * | 2017-04-26 | 2018-11-22 | 株式会社ミツトヨ | 光学システムによる対象物の表面の光学式走査型2.5次元輪郭曲線法により画像スタックから対象物の表面の高さマップを算出するための方法及びシステム |
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