JP2010095421A - 多結晶シリコンの製造方法及び多結晶シリコンウェーハ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガス導入口10aからアルゴンガス、ガス導入口10bから水素ガスをチャンバー10に導入し、この状態で多結晶シリコンインゴット33を育成する。これにより、シリコン融液32に水素が直接導入されることから、多くの水素がシリコン融液32内に取り込まれる。このため、最終的に得られる多結晶シリコンウェーハには従来よりも多くの水素が含まれ、且つ、その濃度分布が面内方向及び厚さ方向においてほぼ一定となる。
【選択図】図1
Description
10a,10b ガス導入口
10c ガス排出口
12 誘導コイル
13 グラファイトサセプタ
14 断熱材
15 保熱ヒータ
16 原料投入装置
21,22 バルブ
23 ポンプ
31 シリコン原料
32 シリコン融液
33 多結晶シリコンインゴット
40 チップ
41 ダメージ層
42 n+層
43 PSG膜
44 保護フィルム
46 銀電極
Claims (4)
- チャンバー内のシリコン融液から多結晶シリコンを育成する多結晶シリコンの製造方法であって、結晶育成中の前記チャンバー内に水素ガスを導入することを特徴とする多結晶シリコンの製造方法。
- 前記チャンバー内に導入するガス全量に対して、3ppm以上、20%以下の体積濃度で前記水素ガスを導入することを特徴とする請求項1に記載の多結晶シリコンの製造方法。
- キャスト法、電磁鋳造法、CZ法及び連続CZ法のいずれかによって前記多結晶シリコンを得ることを特徴とする請求項1又は2に記載の多結晶シリコンの製造方法。
- 未結合手が水素によって終端された多結晶シリコンウェーハであって、水素濃度が1×1015atoms/cm3以上、1×1021atoms/cm3以下であり、面内方向及び厚さ方向における水素濃度がほぼ一定であることを特徴とする多結晶シリコンウェーハ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016039355A (ja) * | 2014-08-06 | 2016-03-22 | ピーエスケー・インコーポレーテッド | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5899115A (ja) * | 1981-12-08 | 1983-06-13 | Nec Corp | 多結晶シリコンインゴツトの鋳造方法 |
JP2002104819A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-10 | Kyocera Corp | 結晶質シリコン粒子およびその製造方法および結晶質シリコン粒子を用いた光電変換装置 |
JP2005219971A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Hitachi Metals Ltd | シリコン球状粉末およびその製造方法 |
WO2006059632A1 (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-08 | Space Energy Corporation | 多結晶シリコンインゴットの製造方法 |
-
2008
- 2008-10-17 JP JP2008269151A patent/JP2010095421A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5899115A (ja) * | 1981-12-08 | 1983-06-13 | Nec Corp | 多結晶シリコンインゴツトの鋳造方法 |
JP2002104819A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-10 | Kyocera Corp | 結晶質シリコン粒子およびその製造方法および結晶質シリコン粒子を用いた光電変換装置 |
JP2005219971A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Hitachi Metals Ltd | シリコン球状粉末およびその製造方法 |
WO2006059632A1 (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-08 | Space Energy Corporation | 多結晶シリコンインゴットの製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016039355A (ja) * | 2014-08-06 | 2016-03-22 | ピーエスケー・インコーポレーテッド | 基板処理装置及び基板処理方法 |
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