JP2010093047A - 処理装置の管理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 各処理装置1に設けたセンサ6を介して取得した管理情報の取得波形データAWと、取得しようする管理情報に対応して予め記憶された設定波形データSWとを比較し、所定の閾値を超えて設定波形データから取得波形データが逸脱すると、異常検知と判断する。設定波形データの全てが初期状態から定常状態に向う上昇波形データuwと定常状態たる安定波形データnwとに区分され、この区分された上昇波形データ及び安定波形データ毎に、取得波形データとの比較による異常検知の判断を行うことで、レシピに関係なく設定波形データを集約管理する。
【選択図】 図3
Description
2 制御手段
4 登録手段
6 センサ
AW 取得波形データ
SW 設定波形データ
uw 上昇波形データ
nw 安定波形データ
dw 下降波形データ
F 入力フォーム
Claims (4)
- 所定の処理を行う複数の処理装置にて行われる各処理を統括管理するための処理装置の管理システムであって、
各処理装置に設けたセンサを介して取得した管理情報の取得波形データと、取得しようする管理情報に対応して予め記憶された設定波形データとを比較し、所定の閾値を超えて設定波形データから取得波形データが逸脱すると、異常検知と判断するようにしたものにおいて、
前記設定波形データの全てが初期状態から定常状態に向う上昇波形データと定常状態たる安定波形データとに区分され、この区分された上昇波形データ及び安定波形データ毎に、取得波形データとの比較による異常検知の判断を行うことを特徴とする処理装置の管理システム。 - 前記設定波形データに、定常状態から処理終了状態へ向う下降波形データを更に含むことを特徴とする請求項1記載の処理装置の管理システム。
- 前記上昇波形データ、安定波形データ及び下降波形データ毎に、所定の基準値とこの基準値からプロセス上許容し得る変化量が予め設定でき、取得しようとする管理情報に応じて基準値及び変化量を入力すると、異常検知を判断する閾値が設定されるようにしたことを特徴とする請求項2記載の処理装置の管理システム。
- 前記変化量を基準値に対する変化割合で設定することを特徴とする請求項3記載の処理装置の管理システム。
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