JP2010087432A - エッチング装置 - Google Patents
エッチング装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010087432A JP2010087432A JP2008257795A JP2008257795A JP2010087432A JP 2010087432 A JP2010087432 A JP 2010087432A JP 2008257795 A JP2008257795 A JP 2008257795A JP 2008257795 A JP2008257795 A JP 2008257795A JP 2010087432 A JP2010087432 A JP 2010087432A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- gas
- chamber
- dome
- plasma
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】ラジカル生成室3の内部に、プラズマ形成装置12を突き出させ、プラズマ形成装置12の内側ドーム24と外側ドーム26との間にエッチングガスを導入し、内側ドーム24の内側に配置したアンテナ25から915MHzのマイクロ波を照射し、プラズマ化して外側ドーム26の小孔27から放出させ、ラジカル形成室3の内部でエッチングガスのラジカルを生成し、エッチング室4に導入し、処理対象物22のエッチングを行う。
【選択図】図1
Description
このエッチング装置100は、真空槽111を有しており、真空槽111の天井には、複数の誘電体ドーム124が設けられている。各誘電体ドーム124の内部には、それぞれアンテナ125が配置されており、各アンテナ125は、誘電体ドーム124内に配置された状態で、真空槽111の内部に突き出されている。
また、本発明は、前記エッチング室に配置され、前記エッチング対象物が配置される基板電極と、前記基板電極に接続された交流電源とを有するエッチング装置である。
また、本発明は、前記基板電極に配置された前記エッチング対象物を加熱する加熱装置を有するエッチング装置である。
真空槽11の壁面(ここでは天井)には、複数のプラズマ放出装置12が設けられており、真空槽11内部の、プラズマ放出装置12とは反対側の壁面(ここでは底壁)には、基板電極21が設けられている。
小孔32aは導電部材31aを厚み方向に貫通しており、ラジカル生成室3の内部空間とエッチング室4の内部空間は小孔32aによって接続されている。
内側ドーム24は、外側ドーム26の内側に配置されている。内側ドーム24と外側ドーム26とは離間し、隙間が形成されており、内側ドーム24と外側ドーム26の間には、隙間から成るプラズマ形成空間29が形成されている。
各ガス噴出板28a、28bは中空であり、各ガス噴出板28a、28bのシャワープレート30aと真空槽11天井の間の先端部分には噴出口39が設けられている。
エッチング室4に接続された真空排気系18により、ラジカル生成室3内のガスはエッチング室4に移動するようになっており、プラズマ放出装置12から放出されたプラズマと、生成されたラジカルがラジカル生成室3からエッチング室4に移動する場合、生成されたラジカルは電気的には中性であり、シャワープレート30aの小孔32aを通って、ラジカル生成室3からエッチング室4に移動できるが、プラズマ中のイオンは、小孔32aを通過する際に、導電部材31aに引き付けられ、導電部材31aと接触すると中性化する。
エッチング室4の内部では、基板電極21上にエッチング対象物22が配置されており、エッチング対象物22は、基板電極21の内部に配置された加熱装置45によって昇温されている。
なお、外側ドーム26と内側ドーム24は石英に限定されるものではなく、気密性を有し、エッチングガスと反応せず、電波を遮蔽しない誘電体で構成することができる。
4……エッチング室
10……エッチング装置
11……真空槽
13……マグネトロン発振器
21……基板電極
22……エッチング対象物
24……内側ドーム
25……アンテナ
26……外側ドーム
27……小孔
32a……小孔
41……第一のガス導入系
42……第二のガス導入系
Claims (3)
- ラジカル生成室と、
小孔を有するシャワープレートを介して前記ラジカル生成室に接続されたエッチング室とを有し、
前記エッチング室に配置されたエッチング対象物を前記ラジカル生成室内で発生させたエッチングガスラジカルでエッチングするエッチング装置であって、
前記ラジカル生成室の内部に突き出され、ガス噴出孔が形成された外側ドームと、
前記外側ドームの内側に配置された内側ドームと、
前記外側ドームと前記内側ドームの隙間にプラズマ形成ガスを供給する第一のガス供給系と、
前記ラジカル生成室内の前記外側ドームの外部にエッチングガスを供給する第二のガス導入系と、
前記内側ドームの内側に配置されたアンテナと、
前記アンテナに915MHzの交流電圧を印加するマグネトロン発振器と、
を有するエッチング装置。 - 前記エッチング室に配置され、前記エッチング対象物が配置される基板電極と、
前記基板電極に接続された交流電源とを有する請求項1記載のエッチング装置。 - 前記基板電極に配置された前記エッチング対象物を加熱する加熱装置を有する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のエッチング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008257795A JP5094672B2 (ja) | 2008-10-02 | 2008-10-02 | エッチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008257795A JP5094672B2 (ja) | 2008-10-02 | 2008-10-02 | エッチング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010087432A true JP2010087432A (ja) | 2010-04-15 |
JP5094672B2 JP5094672B2 (ja) | 2012-12-12 |
Family
ID=42251065
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008257795A Expired - Fee Related JP5094672B2 (ja) | 2008-10-02 | 2008-10-02 | エッチング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5094672B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10199699A (ja) * | 1997-01-11 | 1998-07-31 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH11214196A (ja) * | 1998-01-29 | 1999-08-06 | Mitsubishi Electric Corp | プラズマ発生装置 |
JP2008113001A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-15 | Psk Inc | プラズマを用いて基板を処理する装置、プラズマを供給する方法及びプラズマを供給して基板を処理する方法 |
JP4160104B1 (ja) * | 2007-08-16 | 2008-10-01 | 株式会社アルバック | アッシング装置 |
-
2008
- 2008-10-02 JP JP2008257795A patent/JP5094672B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10199699A (ja) * | 1997-01-11 | 1998-07-31 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH11214196A (ja) * | 1998-01-29 | 1999-08-06 | Mitsubishi Electric Corp | プラズマ発生装置 |
JP2008113001A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-15 | Psk Inc | プラズマを用いて基板を処理する装置、プラズマを供給する方法及びプラズマを供給して基板を処理する方法 |
JP4160104B1 (ja) * | 2007-08-16 | 2008-10-01 | 株式会社アルバック | アッシング装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5094672B2 (ja) | 2012-12-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6849857B2 (en) | Beam processing apparatus | |
JP3912993B2 (ja) | 中性粒子ビーム処理装置 | |
US6861643B2 (en) | Neutral particle beam processing apparatus | |
US6602381B1 (en) | Plasma confinement by use of preferred RF return path | |
JP3561080B2 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
WO2003044842A1 (en) | Etching method and apparatus | |
WO2022063112A1 (zh) | 半导体反应腔室 | |
JP4042817B2 (ja) | 中性粒子ビーム処理装置 | |
US6858838B2 (en) | Neutral particle beam processing apparatus | |
JP5094672B2 (ja) | エッチング装置 | |
JP2000073175A (ja) | 表面処理装置 | |
WO2004017684A1 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP5094670B2 (ja) | エッチング装置、マイクロマシーン製造方法 | |
JP2008108745A (ja) | 中性粒子ビーム処理装置 | |
JP5094671B2 (ja) | アッシング装置 | |
US6432730B2 (en) | Plasma processing method and apparatus | |
KR101366042B1 (ko) | 폴 타입 안테나가 포함된 이온빔 소스의 위치제어를 이용한 이온 처리 장치 | |
JP7495577B2 (ja) | 半導体反応チャンバ | |
TWI659675B (zh) | Plasma source and plasma processing device | |
JPH03236231A (ja) | 半導体集積回路製造装置 | |
JP2002280197A (ja) | プラズマ発生用の点火装置 | |
JPH1167493A (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP2007012560A (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR20200131942A (ko) | High Flux 플라즈마 소스 | |
JPH10270421A (ja) | 反応性イオンエッチング装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110609 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120416 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120424 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120621 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20120621 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120904 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120918 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5094672 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150928 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |