JP2010082524A - 真空洗浄装置の洗浄液の再生方法 - Google Patents
真空洗浄装置の洗浄液の再生方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010082524A JP2010082524A JP2008252910A JP2008252910A JP2010082524A JP 2010082524 A JP2010082524 A JP 2010082524A JP 2008252910 A JP2008252910 A JP 2008252910A JP 2008252910 A JP2008252910 A JP 2008252910A JP 2010082524 A JP2010082524 A JP 2010082524A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- vacuum
- cleaning liquid
- distillation apparatus
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
【課題】炭化水素系洗浄液の沸点範囲に近い低沸点成分や高沸点成分を除去できる洗浄液の再生方法を提供する。
【解決手段】洗浄後の洗浄液を回収して、真空蒸留装置5により、沸点の異なる洗浄液成分と不純物成分とを分留して洗浄液成分を再生する。真空蒸留装置5で分留されずに、真空蒸留装置5から排気する蒸留装置用真空ポンプ8に吸引されたミスト状またはガス状の成分を、蒸留装置用真空ポンプ8の排気通路に沿って設けられた凝縮器(コンデンサ11)および冷却器(アフタークーラ12)により液化させて廃棄する。
【選択図】図1
【解決手段】洗浄後の洗浄液を回収して、真空蒸留装置5により、沸点の異なる洗浄液成分と不純物成分とを分留して洗浄液成分を再生する。真空蒸留装置5で分留されずに、真空蒸留装置5から排気する蒸留装置用真空ポンプ8に吸引されたミスト状またはガス状の成分を、蒸留装置用真空ポンプ8の排気通路に沿って設けられた凝縮器(コンデンサ11)および冷却器(アフタークーラ12)により液化させて廃棄する。
【選択図】図1
Description
本発明は、炭化水素系洗浄液を用いた真空洗浄装置における洗浄液の再生方法に関するものである。
金属の熱処理の前後やプレス工程後の洗浄工程において、従来の有機溶剤系洗浄液に代わって、近年、炭化水素系洗浄液を用いた真空洗浄装置が用いられている。このような真空洗浄装置は、例えば特許文献1に開示されている。
従来、真空洗浄装置の炭化水素系洗浄液は、図4に示す方法によって再生されている。すなわち、真空洗浄装置2内で被洗浄物を洗浄した後の洗浄液は、一旦汚染液タンク4に回収され、真空蒸留装置5へ送られる。真空蒸留装置5において、炭化水素系洗浄液の成分が蒸留され、再生液タンク6から洗油タンク3へ送られて、洗浄液として再利用される。真空蒸留装置5内で蒸留されない高沸点の成分は、廃液タンク7へ送られて廃棄される。さらに、真空蒸留装置5で分留されずに、真空蒸留装置5を真空排気する際に蒸留装置用真空ポンプ8側へ流れたミスト状またはガス状の成分は、蒸留装置用真空ポンプ8の排気通路の入口側に設けられたコンデンサ11(凝縮器)、蒸留装置用真空ポンプ8の排気通路の出口側に設けられたアフタークーラ12により液化され、それらの成分も、洗油タンク3へ戻されて再利用される。
ところが、炭化水素系洗浄液は単一成分ではないため、成分ごとに、沸点が異なっている。そして、真空洗浄装置で洗浄される被洗浄材には、水分や炭化水素系洗浄液の沸点範囲に近い低沸点成分や高沸点成分が付着している。しかしながら、上記の真空蒸留装置5では、炭化水素系洗浄液と沸点が近い成分を分留することが困難であり、このような成分が蒸留装置用真空ポンプ8に流れて、そのまま洗浄液として再利用していた。そのため、洗浄液に不純物が溜まり、洗浄性が低下するうえ、洗浄後の乾燥不良を生じ、油煙を発生させることがあった。それを防ぐためには、洗浄液を定期的に入れ替えなければならなかった。
本発明の目的は、炭化水素系洗浄液の沸点範囲に近い低沸点成分や高沸点成分を除去できる洗浄液の再生方法を提供することにある。
上記問題を解決するため、本発明は、真空洗浄装置で用いられる洗浄液の再生方法であって、洗浄後の洗浄液を回収して、真空蒸留装置により、沸点の異なる洗浄液成分と不純物成分とを分留して前記洗浄液成分を再生し、前記真空蒸留装置で分留されずに、前記真空蒸留装置から排気する蒸留装置用真空ポンプに吸引された成分を、前記真空ポンプの排気通路に沿って設けられた凝縮器および冷却器により液化させて廃棄することを特徴とする真空洗浄装置の洗浄液の再生方法を提供する。
真空蒸留装置で分留されない成分には不純物が多く含まれるため、これを廃棄することにより、再生された洗浄液の汚れを低減し、安定した洗浄工程を継続できるようになる。
また、前記真空洗浄装置から排気する洗浄装置用真空ポンプに吸引された成分を、前記洗浄装置用真空ポンプの排気通路に沿って設けられた凝縮器および冷却器により液化させて廃棄することが好ましい。
本発明によれば、炭化水素系洗浄液の沸点範囲に近い低沸点成分および高沸点成分を除去して、洗浄液を再生できるので、洗浄液に混入する不純物を低減し、劣化を抑制して、洗浄性が低下することなく洗浄サイクルを保持することができる。
以下、本発明の実施の形態を、図を参照して説明する。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付する。
図1は、本発明にかかる真空洗浄装置の洗浄液の再生方法の概略を示すブロック図である。
真空洗浄装置2内で、被洗浄材に対する洗浄工程が行われる。被洗浄材は図示しない入口扉から真空洗浄装置2へ搬入され、入口扉を閉めた後、洗浄工程が開始される。本発明で用いられる洗浄液は、ナフテン系またはパラフィン系等の炭化水素系洗浄液である。被洗浄材の洗浄を40〜50℃で行うと、減圧乾燥時に、洗浄液の蒸発潜熱で被洗浄材の表面温度が低下し、残留する洗浄液を十分に乾燥させるために必要な熱量が不足する。そのため、洗浄液の温度を例えば90℃以上にして、被洗浄材を洗浄と同時に加熱する。一方、金属の熱処理の前後の洗浄工程において用いられる洗浄液の引火点は80℃程度である。したがって、洗浄液が引火しないように、真空洗浄装置2内を常に真空に保つ必要があり、洗浄工程の開始前に、洗浄装置用真空ポンプ9により、真空洗浄装置2内を真空排気する。
洗浄工程は、先ず、洗油タンク3の洗浄液を被洗浄材に噴射してシャワー粗洗浄を行う。粗洗浄後の洗浄液は、汚染液タンク4へ送られる。次に、粗洗浄で洗浄できなかった被洗浄材の付着成分を洗浄するために、洗油タンク3から供給された洗浄液によって浸漬洗浄を行い、浸漬洗浄後の洗浄液は、洗油タンク3へ戻される。さらに、真空蒸留装置5で蒸留された再生液が再生液タンク6から供給されてシャワー仕上げ洗浄を行い、仕上げ洗浄後の洗浄液は、洗油タンク3へ戻される。その後、真空洗浄装置2内を予め設定された圧力になるまで真空排気し、洗浄液が付着した被洗浄材の真空乾燥を行う。
真空排気の際に真空洗浄装置2から吸引された油煙は、ミストトラップ13により捕集される。ミストトラップ13内で冷却され、液化された成分は、被洗浄材の真空乾燥後に真空洗浄装置2内を大気圧まで復圧させた後、汚染液タンク4へ流される。なお、ミストトラップ13と汚染液タンク4との圧力が異なるため、ミストトラップ13と汚染液タンク4の間に、図1に示すように、クッションタンク19を設けるのが好ましい。ミストトラップ13からコンデンサ14に送られるミスト状またはガス状の成分の処理については後述する。
その後、真空洗浄装置2の図示しない出口扉を開けて被洗浄材を取り出し、出口扉を閉めて、一連の洗浄工程が終了する。
以下、真空蒸留装置5による洗浄液の処理について説明する。
汚染液タンク4から真空蒸留装置5へ、洗浄液が送られる。真空蒸留装置5は、図2に示すように、容器21下部の外周にヒータ22が設けられ、容器21内の上部には、冷却器23が設けられている。汚染液タンク4から配管24を介して容器21に到達した洗浄液は、容器21下部に液体25として溜まり、ヒータ22で加熱される。加熱により蒸発した成分は、冷却器23で冷却されて液化され、受け皿26に溜まった後、配管27から図1の再生液タンク6へ送られる。そして、再生液タンク6から洗油タンク3へ戻って、新たな洗浄液として再利用される。あるいは、直接、仕上げ洗浄用の洗浄液として真空洗浄装置2内に噴射される。なお、容器21内のヒータ22部分と冷却器23部分との境界部分に、分留をより効果的にするためにデミスター28が設けられる。
真空蒸留装置5内は、蒸留装置用真空ポンプ8により、真空排気される。図2の容器21内で蒸発した液体のうち、冷却により液化されて再生液タンク6に回収されなかった成分は、ミスト状またはガス状になって、蒸留装置用真空ポンプ8側へ排出される。ミスト状またはガス状になる成分の多くは、炭化水素系洗浄液の沸点範囲に近い不純物である。
容器21下部に収容された液体25は、所定の温度まで上昇すると、排出管29から廃液タンクに送られる。
本発明で用いられる炭化水素系洗浄液は、IPAやアセトン等の単一成分の有機系洗浄液とは異なり、通常、単一成分ではなく、成分ごとに沸点が異なる。図3は、炭化水素系洗浄液および洗浄後の洗浄液から検出される不純物である低沸点成分と高沸点成分の沸点を示し、炭化水素系洗浄液の沸点範囲を太線で示している。防錆油等の低沸点成分は、炭化水素系洗浄液の沸点範囲の低い部分と一部が重なり、高沸点成分の金属加工油は、炭化水素系洗浄液の沸点範囲の高い部分と一部が重なっている。
真空蒸留装置5では、液体25の温度を例えば図3の一点鎖線で示す温度になるようにヒータ22を制御することにより、高沸点成分はほとんど気化しないため、残留した液体25の成分はほとんどが高沸点成分、すなわち不純物となる。ヒータ22により長時間加熱されると、容器21内に溜まった液体25が煮詰まった状態で温度が上昇してくる。液体25の温度が、図3に示す金属加工油の沸点範囲まで上昇すると、洗浄液として再生するのに適しない高沸点成分が蒸発してしまうため、液温が所定温度以上になったときには、廃液タンク7へ送るようにする。
蒸留装置用真空ポンプ8の排気通路の入口側には、コンデンサ(凝縮器)11が設けられている。真空蒸留装置5から排出されたミスト状またはガス状の洗浄液の成分のうち、主に低沸点成分がコンデンサ11による凝縮で液化され、廃液タンク7へ送られる。コンデンサ11によって液化しない成分は、蒸留装置用真空ポンプ8を通過する。
蒸留装置用真空ポンプ8の出口側には、アフタークーラ12が設けられている。ここで、蒸留装置用真空ポンプ8を通過した高沸点成分が冷却されて液化し、廃液タンク7へ送られる。液化する洗浄液の成分を含まなくなった空気は、大気中に放出される。真空蒸留装置5によって分留できずに蒸留装置用真空ポンプ8側へ流れる成分には不純物が多く、従来は回収して洗浄液として再利用していたが、これを廃棄することにより、洗油タンク3へ戻して再生される洗浄液に含まれる不純物を低減させることができる。これにより、効率的に洗浄を行い、一定の洗浄サイクルを保つことができる。
汚染液タンク4の液がなくなると、洗油タンク3内の洗浄液を真空蒸留装置5へ送り、上記と同様の工程により洗浄液の処理を行う。これにより、浸漬洗浄時に洗浄液に混入した不純物等を廃棄するとともに蒸留した洗浄液を再利用し、洗油タンク3内の洗浄油を清浄に保つことができる。
従来、真空蒸留装置5から排出されるミスト状またはガス状の成分は、真空蒸留装置5により回収される成分とほぼ等しいものと考えられており、洗油タンク3に戻して再利用されていた。しかしながら、本発明者は、洗油タンク3の洗浄液の劣化について調査および考察を行った結果、真空蒸留装置5で回収される成分と排出される成分とは異なり、排出される成分に不純物が多いことを突き止め、本発明に至った。真空蒸留装置5で回収される成分と排出される成分とが異なる原因として、凝固潜熱の違いが影響していることが考えられる。この違いにより、不純物が真空蒸留装置5で回収できずに排出され、これを再利用した従来の方法では、洗浄液の寿命が短かった。本発明によれば、洗浄液の寿命が、従来例に比べて数倍に延びることが確認された。さらに、コンデンサ11とアフタークーラ12で除去される成分が異なる原因も、凝固潜熱の違いであると考えられる。したがって、コンデンサ11、アフタークーラ12で回収された液は、いずれも廃棄することが必要である。
さらに、真空洗浄装置2の真空排気を行う洗浄装置用真空ポンプ9にも、同様に、排気通路の入口側にコンデンサ14、出口側にアフタークーラ15が設けられている。したがって、ミストトラップ13を通過した成分のうち、主に低沸点成分がコンデンサ14によって液化され、廃液タンク7へ送られる。コンデンサ14によって液化しない成分は、洗浄装置用真空ポンプ9を通過し、さらに、主に高沸点成分がアフタークーラ15により冷却されて液化し、廃液タンク7へ送られる。液化する洗浄液の成分を含まなくなった空気は、大気中に放出される。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到しうることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
本発明は、洗浄液と沸点の異なる不純物を分留して、洗浄液を再生する方法に適用できる。
2 真空洗浄装置
3 洗油タンク
4 汚染液タンク
5 真空蒸留装置
6 再生液タンク
7 廃液タンク
8 蒸留装置用真空ポンプ
9 洗浄装置用真空ポンプ
11、14 コンデンサ
12、15 アフタークーラ
13 ミストトラップ
19 クッションタンク
21 容器
22 ヒータ
23 冷却器
24、27 配管
25 液体
26 受け皿
28 デミスター
29 排出管
3 洗油タンク
4 汚染液タンク
5 真空蒸留装置
6 再生液タンク
7 廃液タンク
8 蒸留装置用真空ポンプ
9 洗浄装置用真空ポンプ
11、14 コンデンサ
12、15 アフタークーラ
13 ミストトラップ
19 クッションタンク
21 容器
22 ヒータ
23 冷却器
24、27 配管
25 液体
26 受け皿
28 デミスター
29 排出管
Claims (2)
- 真空洗浄装置で用いられる洗浄液の再生方法であって、
洗浄後の洗浄液を回収して、真空蒸留装置により、沸点の異なる洗浄液成分と不純物成分とを分留して前記洗浄液成分を再生し、
前記真空蒸留装置で分留されずに、前記真空蒸留装置から排気する蒸留装置用真空ポンプに吸引された成分を、前記真空ポンプの排気通路に沿って設けられた凝縮器および冷却器により液化させて廃棄することを特徴とする、真空洗浄装置の洗浄液の再生方法。 - 前記真空洗浄装置から排気する洗浄装置用真空ポンプに吸引された成分を、前記洗浄装置用真空ポンプの排気通路に沿って設けられた凝縮器および冷却器により液化させて廃棄することを特徴とする、請求項1に記載の真空洗浄装置の洗浄液の再生方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008252910A JP2010082524A (ja) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | 真空洗浄装置の洗浄液の再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008252910A JP2010082524A (ja) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | 真空洗浄装置の洗浄液の再生方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010082524A true JP2010082524A (ja) | 2010-04-15 |
Family
ID=42247014
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008252910A Withdrawn JP2010082524A (ja) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | 真空洗浄装置の洗浄液の再生方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010082524A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013161644A1 (ja) * | 2012-04-25 | 2013-10-31 | 株式会社Ihi | 真空洗浄装置 |
CN113600541A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-11-05 | 富兰克科技(深圳)股份有限公司 | 一种低排放环保单工位智能水油通用清洗机 |
-
2008
- 2008-09-30 JP JP2008252910A patent/JP2010082524A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013161644A1 (ja) * | 2012-04-25 | 2013-10-31 | 株式会社Ihi | 真空洗浄装置 |
JP2013226513A (ja) * | 2012-04-25 | 2013-11-07 | Ihi Corp | 真空洗浄装置 |
CN104245162A (zh) * | 2012-04-25 | 2014-12-24 | 株式会社Ihi | 真空清洗装置 |
US9636716B2 (en) | 2012-04-25 | 2017-05-02 | Ihi Corporation | Vacuum cleaning device |
CN113600541A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-11-05 | 富兰克科技(深圳)股份有限公司 | 一种低排放环保单工位智能水油通用清洗机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100821263B1 (ko) | 수분리 냉각 장치를 구비한 플라즈마 스크러버 시스템 및이를 이용한 유해가스 처리방법 | |
JP4272193B2 (ja) | 部品洗浄乾燥方法、及び部品洗浄乾燥装置 | |
JP2010082524A (ja) | 真空洗浄装置の洗浄液の再生方法 | |
JP5410182B2 (ja) | 使用済み炭酸ガスの再生方法 | |
JP3788588B2 (ja) | 部品洗浄乾燥方法 | |
CN102650031A (zh) | 一种mask表面附着有机物的清除方法 | |
JP2010221209A (ja) | 洗浄に使用した洗浄溶剤及び加工油の回収方法及びその装置 | |
JP2000237703A (ja) | 真空洗浄乾燥方法及び装置 | |
JP2009172468A (ja) | 洗浄溶剤の再生装置、および洗浄溶剤の蒸留再生方法 | |
KR19990016674A (ko) | 반도체용 화학약품의 정제방법 | |
JP3842161B2 (ja) | 有機系排ガスの処理方法及び装置 | |
JPH08158080A (ja) | 金属等加工物の洗浄方法及びその装置 | |
JP6526858B2 (ja) | 洗浄液蒸留再生装置、部品洗浄装置、及び、洗浄液の蒸留再生方法 | |
JP2003024884A (ja) | 洗浄装置 | |
JP3584126B2 (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
JP4167720B2 (ja) | 溶剤洗浄機 | |
JP7093112B2 (ja) | 洗浄液再生装置、洗浄装置および洗浄液再生方法 | |
JP3818876B2 (ja) | 乾燥装置 | |
JP3473339B2 (ja) | 溶剤再生装置及び溶剤再生方法 | |
JP6414470B2 (ja) | 水処理装置 | |
EP1878479A1 (en) | Method and system for treating transformer components | |
JP6320969B2 (ja) | 洗浄液蒸留再生装置、及び、部品洗浄装置 | |
JP3326845B2 (ja) | 洗浄乾燥方法および洗浄乾燥装置 | |
JPH0631255A (ja) | 無水溶剤を洗浄溶剤とする洗浄装置 | |
JPS60174889A (ja) | 洗浄装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20111206 |