JP2010074977A - コアレスリニアモータ電機子の樹脂モールド方法およびコアレスリニアモータ電機子並びにコアレスリニアモータ、テーブル送り装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 電機子巻線のコイルと該コイルを取付ける取付台間の絶縁距離を確保しつつ、電機子巻線の温度上昇を低減させることができると共に、成形性を確保し、高品質な電機子の樹脂モールドが得られるコアレスリニアモータ電機子の樹脂モールド方法およびコアレスリニアモータ電機子並びにコアレスリニアモータ、テーブル送り装置を提供する
【解決手段】 コアレスリニアモータ電機子において、電機子取付台８の凹部８ａと電機子巻線７のコイル群の上辺１１との隙間に第1の樹脂モールド２０を充填してあり、電機子取付台８の凹部８ａにおける下面と電機子巻線７の周囲を覆うように第１の樹脂モールド２０の熱伝導率より小さい第２の樹脂モールド２１を充填してあり、電機子取付台８と電機子巻線７とを一体的に成形してある点である。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体製造装置や工作機の分野で、推力リプルや低発熱が要求される一定速送り用や高精度位置決め用のテーブル送り装置などに使用されると共に、その直動機構の駆動用に好適なコアレスリニアモータ電機子の樹脂モールド方法およびコアレスリニアモータ電機子並びにコアレスリニアモータ、テーブル送り装置に関するものである。

従来、半導体製造装置や工作機の分野で、推力リプルや低発熱が要求される一定速送り用や高精度位置決め用のテーブル送り装置などに使用されると共に、その直動機構の駆動用に好適なコアレスリニアモータとしては、例えば、特許文献１および特許文献２に開示されるものがある。図４は特許文献１および特許文献２に開示されると共に、従来技術と後述の本発明に共通な一般のコアレスリニアモータの全体斜視図であって、固定子と可動子のみを示したものである。
図５は第1従来技術を示す可動子の進行方向から見たコアレスリニアモータの正断面図であって、図４のＡ−Ａ線に沿う断面図に相当するものである。
図５において、１はコアレスリニアモータ、２は固定子、３は永久磁石、４はバックヨーク、５はヨーク支持台、６は可動子、７は電機子巻線、８は電機子取付台、９はコイル、１０は巻線固定板、１１はコイル上辺、１２はコイル下辺、１３はリード線、１４は樹脂モールドである。
コアレスリニアモータ１における固定子２は、左右両側に配置された２つのバックヨーク４と、該バックヨーク４の可動子の進行方向（紙面に垂直方向）に沿って交互に極性が異極となるように配置され、かつ、該２つのバックヨーク４に対面する側の極性が異極となるように配置された永久磁石３と、該２つのバックヨーク４の一方端部を固定支持するヨーク支持台５から構成されている。
また、可動子６は、２つのバックヨーク４の内側に永久磁石３と磁気的空隙を介して配置されると共に複数個のコイル９から構成される電機子巻線７と、該電機子巻線７を構成する左右のコイル９を間に挟むように固定すると共に非磁性の金属や樹脂からなる巻線固定板１０と、該巻線固定板１０に固定された電機子巻線７を可動子に取付けるための断面が凹形状の電機子取付台８から構成されている。電機子取付台８は、負荷となるテーブル等に取り付けられるため、強度が確保されるアルミ等の金属部材で構成される。
ここで、コイルの上側にあたるコイル上辺１１は、電機子取付台８の凹部８ａ内に挿入されている。またコイルの下側にあたるコイル下辺１２にてコイル９間は結線され、その先ではリード線１３と結線されている。また、コイル９間を結線するためのスペースとリード線１３のスペースは、前記コイルの下側にあたるコイル下辺の近傍に設けられている。また、コイル９間や電機子巻線７と電機子取付台８の凹内部は樹脂モールド１４によって覆われ、電機子巻線７と電機子取付台８が一体となって可動子６が構成されている。
以上のように構成された固定子２と可動子６は、図示しないリニアガイド等の支持機構によって、その進行方向に移動自在となっている。この場合、コイル９間同士やリード線１３との結線が行われるためのスペースがコイル下辺１２に設けられているため、主な放熱経路であるコイル上辺１１と電機子取付台８の凹部８ａの間隔を近接させることができ、コイル９で発生した熱が電機子取付台８へと逃げやすくしている。その結果、コイル９の温度上昇が低減できるようになっている。

次に、従来のコアレスリニアモータの可動子を構成する電機子の樹脂モールド方法について、図３、図４を用いて説明する。
図６は第１従来技術に示したリニアモータの電機子巻線と電機子取付台を成形金型に設置した状態の正断面図、図７は図６を矢視Ａ方向から見た側面図で、電機子取付台を除く部分（ゲート、樹脂オーバーフロー口、電機子巻線）を透視したものとなっている。
図６、図７において、１５は成形金型、１５ａは上型、１５ｂは下型、１６はゲート、１７は樹脂オーバーフロー口である。
電機子巻線７は電機子取付台８の凹部８ａに接着などの手法で固定して成形金型１５を構成する下型１５ｂに取り付ける。次に、同じく成形金型１５を構成する上型１５ａを取り付けて型締めし、図示しない注型装置に設置する。注型装置のヒータにより成形金型１５を加温後、図示しない脱泡した樹脂モールド１４をゲート１６から流し込む。ゲート１６から流し込まれた樹脂モールド１４は、コイル９の隙間やコイル間、また電機子取付台８の凹部８ａを覆いながら最終的にオーバーフロー口１７まで到達する。その後、所定時間加温して樹脂モールド１４を硬化させた後、脱型して樹脂モールドした可動子６を得る。

図８は第２従来技術を示す可動子の進行方向から見たコアレスリニアモータの正断面図であって、図４のＡ−Ａ線に沿う断面図に相当するものである。なお、固定子の構造は前述の第１従来技術と同じであるので説明を省略する。
可動子６は、結線をパターン化したプリント基板１８と、該プリント基板１８の左右にコイル９を配置した電機子巻線７と、これを固定する断面が凹形状の電機子取付台８から構成されている。ここで、プリント基板１８は第1従来技術で述べた巻線固定板と同等の機能を有するものである。コイルの上側にあたるコイル上辺１１は、電機子取付台８の凹部８ａ内に挿入されている。また、電機子巻線７と電機子取付台８の凹内部は樹脂モールド１４によって覆われ、電機子巻線７と電機子取付台８が一体となって可動子６が構成されている。この場合、結線をパターン化したプリント基板１８を使用しているので結線やリード線１３のためのスペースが必要無く、よってコイル上辺１１と電機子取付台８の凹部８ａを近接させることができ、コイル９で発生した熱が電機子取付台８へと逃げやすくなっている。その結果、コイル９の温度上昇が低減できるようになっている。
また、図９は第２従来技術に示したリニアモータの電機子巻線と電機子取付台を成形金型に設置した状態の側面図で、電機子取付台を除く部分（ゲート、樹脂オーバーフロー口、電機子巻線）を透視したものとなっている。
図９において、１５は成形金型、１６はゲート、１７は樹脂オーバーフロー口である。可動子６の樹脂モールド方法は、先の例と同じであるので省略する。
特許第３８７０４１３号 特許第３５５０６７８号

しかしながら、従来技術では次のような問題があった。
（１）さらなる電機子巻線のコイル温度低減化には、主な放熱経路であるコイル上辺と電機子取付台の間隔を縮める方法があるが、絶縁を確保するためには限界がある。
（２）また、樹脂モールドの熱伝導率を上げる方法があるが。成形性が悪化し、電機子取付台の凹部などの狭い隙間に樹脂モールドを確実に充填することが難しくなる。よって樹脂モールドの熱伝導率は１Ｗ／ｍＫ前後が限界である。
（３）樹脂モールドする電機子巻線は長物であり、また薄肉注型が必要であり、さらにコイルの隙間や電機子取付台の凹部など狭く複雑な空間が存在するため、樹脂モールドを一度に隅々まで充填する事が難しい。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、電機子巻線のコイルと該コイルを取付ける電機子取付台間の絶縁距離を確保しつつ、電機子巻線の温度上昇を低減させることができると共に、成形性を確保し、高品質な電機子の樹脂モールドが得られるコアレスリニアモータ電機子の樹脂モールド方法およびコアレスリニアモータ電機子並びにコアレスリニアモータ、テーブル送り装置を提供することを目的とするものである。

上記問題を解決するため、本発明は次のように構成したものである。
請求項１に記載の発明は、巻線固定板と、前記巻線固定板の長手方向に沿って複数のコイル群が配設される電機子巻線と、前記電機子巻線を配設した巻線固定板を支持する電機子取付台と、を具備してなるコアレスリニアモータ電機子の樹脂モールド方法において、前記電機子巻線を配設した巻線固定板を前記電機子取付台の凹部内に挿入し、前記電機子取付台の凹部と前記電機子巻線のコイル群の上辺との隙間に第1の樹脂モールドを充填した後、硬化させ、前記電機子取付台の凹部内に前記第1の樹脂モールドにより固着してなる前記電機子巻線および前記巻線固定板を成形金型にセットし、前記成形金型にセットされた前記電機子取付台の凹部における下面と前記電機子巻線の周囲を覆うように前記第１の樹脂モールドの熱伝導率より小さい第２の樹脂モールドを充填し、前記電機子取付台と前記電機子巻線とを一体的に成形することを特徴としている。
また、請求項２に記載の発明は、巻線固定板と、前記巻線固定板の長手方向に沿って複数のコイル群が配設される電機子巻線と、前記電機子巻線を配設した巻線固定板を支持する電機子取付台と、を具備してなるコアレスリニアモータ電機子の樹脂モールド方法において、前記電機子取付台の凹部内に第1の樹脂モールドを充填し、前記電機子巻線を配設した巻線固定板を前記電機子取付台の凹部内に挿入すると共に、前記電機子取付台の凹部と前記電機子巻線のコイル群の上辺との隙間を前記第１の樹脂モールドで覆うように硬化させ、前記電機子取付台の凹部内に前記第1の樹脂モールドにより固着してなる前記電機子巻線および前記巻線固定板を成形金型にセットし、前記成形金型にセットされた前記電機子取付台の凹部における下面と前記電機子巻線の周囲を覆うように前記第１の樹脂モールドの熱伝導率より小さい第２の樹脂モールドを充填し、前記電機子取付台と前記電機子巻線とを一体的に成形することを特徴としている。
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２記載のコアレスリニアモータ電機子の樹脂モールド方法において、前記第１の樹脂モールドの熱伝導率λ１は、２Ｗ／ｍＫ＜λ１≦５Ｗ／ｍＫであり、前記第２の樹脂モールドの熱伝導率λ２は、０．２Ｗ／ｍＫ≦λ２≦２Ｗ／ｍＫであることを特徴としている。
また、請求項４に記載の発明は、巻線固定板と、前記巻線固定板の長手方向に沿って複数のコイル群が配設される電機子巻線と、前記電機子巻線を配設した巻線固定板を支持する電機子取付台と、を具備してなるコアレスリニアモータ電機子において、前記電機子巻線を配設した巻線固定板は前記電機子取付台の凹部内に挿入してあり、前記電機子取付台の凹部と前記電機子巻線のコイル群の上辺との隙間に第1の樹脂モールドを充填してあり、前記電機子取付台の凹部における下面と前記電機子巻線の周囲を覆うように前記第１の樹脂モールドの熱伝導率より小さい第２の樹脂モールドを充填してあり、前記電機子取付台と前記電機子巻線とを一体的に成形してあることを特徴としている。
また、請求項５に記載の発明は、請求項４記載のコアレスリニアモータ電機子において、前記第１の樹脂モールドの熱伝導率λ１は、２Ｗ／ｍＫ＜λ１≦５Ｗ／ｍＫであり、前記第２の樹脂モールドの熱伝導率λ２は、０．２Ｗ／ｍＫ≦λ２≦２Ｗ／ｍＫであることを特徴としている。
また、請求項６に記載の発明は、請求項４または５に記載の電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置されると共に平板状のバックヨークに交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせて並べて配置した界磁とを備え、前記電機子と前記界磁の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁と前記電機子を相対的に走行するようにしたコアレスリニアモータとしたことを特徴としている。
また、請求項７に記載の発明は、請求項６に記載のコアレスリニアモータを直動機構の駆動源として用いたテーブル送り装置としたことを特徴としている。

請求項１に記載の発明によると、主な放熱経路である電機子巻線のコイルと電機子取付台の凹部との間に後述の第２の樹脂モールドよりも熱伝導率の高い第1の樹脂モールド（以下、樹脂モールドＡと呼ぶ）を確実に充填でき、コイル温度が低減化できる。さらに、前述の第１の樹脂モールドよりも熱伝導率の低い第２の樹脂モールド（以下、樹脂モールドＢと呼ぶ）での成形では、電機子取付台の凹部以外の部分を樹脂モールドすればよく、充填する空間の形状も単純化されているので、樹脂モールドＢでの成形も容易になり、高品質な電機子の樹脂モールドが得られる。
また、請求項２に記載の発明によると、電機子取付台の凹部と前記電機子巻線のコイル上辺との隙間が狭く樹脂モールドＡを充填し難い場合でも、確実に樹脂モールドＡを充填することができる。
また、請求項３に記載の発明によると、樹脂モールドＡの熱伝導率λ１を、２Ｗ／ｍＫ＜λ１≦５Ｗ／ｍＫとし、樹脂モールドＢの熱伝導率λ２を、０．２Ｗ／ｍＫ≦λ２≦２Ｗ／ｍＫとしたので、電機子巻線の温度上昇を低減させる事ができると共に、成形性も確保できる。
また、請求項４に記載の発明によると、コイルで発生した熱の主な放熱経路であるコイルと電機子取付台の凹部との間に充填されている樹脂モールドＡの熱伝導率が、電機子取付台の凹部における下面と電機子巻線の周囲を覆うように充填されている樹脂モールドＢの熱伝導率よりも高いので、コイルと電機子取付台間の絶縁距離を確保しつつ、コイルと電機子取付台間の熱抵抗が小さくなることから、電機子巻線の温度上昇を低減させることができる。
また、請求項５に記載の発明によると、樹脂モールドＡの熱伝導率λ１を、２Ｗ／ｍＫ＜λ１≦５Ｗ／ｍＫとし、樹脂モールドＢの熱伝導率λ２を、０．２Ｗ／ｍＫ≦λ２≦２Ｗ／ｍＫとしたので、樹脂モールドＢの熱伝導率が関係するコイル周囲と外気との間の熱抵抗に比べて、樹脂モールドＡの熱伝導率が関係するコイルと電機子取付台間の放熱経路の熱抵抗が小さくなることから、電機子巻線の温度上昇を低減させる事ができると共に、成形性も確保できる。
また、請求項６に記載の発明によると、請求項４、５記載の効果を有する電機子と、界磁を組み合わせたコアレスリニアモータを提供することができる。
また、請求項７に記載の発明によると、請求項６に記載のコアレスリニアモータの効果を有するテーブル送り装置を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。

図１は、本発明の第１実施例を示すコアレスリニアモータの正断面図であって、図４のＡ−Ａ線に沿う断面図に相当するものである。図２は、本発明の第１実施例を示すコアレスリニアモータに係る樹脂モールドＡで樹脂モールドした電機子巻線と電機子取付台の正断面図、図３は、本発明の第２実施例を示すコアレスリニアモータの成形金型の正断面図である。なお、本発明が従来技術と同じ構成要素についてはその説明を省略し、異なる点のみ説明する。
図１に示すコアレスリニアモータ電機子において、巻線固定板を構成する結線をパターン化したプリント基板１８と、プリント基板１８の長手方向に沿って複数のコイル群が配設される電機子巻線７と、電機子巻線７を配設したプリント基板１８を支持する電機子取付台８と、プリント基板１８の左右にコイル９を配置した電機子巻線７とから構成されており、電機子巻線７のコイル９の上側にあたるコイル上辺１１を、電機子取付台８の凹部８ａ内に挿入すると共に、電機子巻線７と電機子取付台８を樹脂モールドによって一体化して可動子６を構成している点は第２従来技術と同じである。
本発明が第１および第２従来技術と異なる点は、電機子取付台８の凹部８ａと電機子巻線７のコイル群の上辺１１との隙間に樹脂モールドＡ２０を充填してあり、電機子取付台８の凹部８ａにおける下面と電機子巻線７の周囲を覆うように樹脂モールドＡ２０の熱伝導率より小さい樹脂モールドＢ２１を充填してあり、電機子取付台８と電機子巻線７とを一体的に成形してある点である。
また、樹脂モールドＡ２０の熱伝導率λ１を、２Ｗ／ｍＫ＜λ１≦５Ｗ／ｍＫとし、樹脂モールドＢ２１の熱伝導率λ２を、０．２Ｗ／ｍＫ≦λ２≦２Ｗ／ｍＫとしたものとなっている。樹脂モールドＡ２０は、流動性、熱伝導性、絶縁性、耐熱性、機械的な強度などの点から、Ａｌ_２Ｏ_３、ＳｉＯ_２、ＡｌＮ、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＴｉＯ_２、ＭｇＯなどのセラミック粉末が添加されたエポキシ系の液状注型レジンが好ましい。またその熱伝導率は、熱伝導性と流動性のバランスを考慮すると２Ｗ／ｍＫから５Ｗ／ｍＫのものが好ましい。
これにより、コイルの発熱の主な放熱経路であるコイル９と電機子取付台８間における熱抵抗が小さくなるので、コイル９の温度上昇を低減できる。樹脂モールドＢ２１も、樹脂モールドＡ２０と同様に、Ａｌ_２Ｏ_３、ＳｉＯ_２、ＡｌＮ、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＴｉＯ_２、ＭｇＯなどのセラミック粉末が添加されたエポキシ系の液状注型レジン、または不飽和ポリエステル成形材料なども使用できる。熱伝導率は熱伝導性と流動性のバランスを考慮すると０．２Ｗ／ｍＫから２Ｗ／ｍＫのものが好ましい。
次に、可動子を構成する電機子の樹脂モールド方法について、図２、図３を用いて説明する。
図２において、７は電機子巻線、８は電機子取付台、１８はプリント基板、１１はコイル上辺、１２はコイル下辺。２０は樹脂モールドＡである。電機子取付台８の凹部８ａを上に向けた状態で、電機子取付台８の凹部８ａに電機子巻線７を接着などの手法で取り付け、コイル上辺１１と電機子取付台８の凹部８ａとの隙間へ脱泡した樹脂モールドＡ２０を注ぎ入れる。なお、樹脂モールドＡ２０の注入量は電機子取付台８の下面までが好ましく、注入後、必要に応じて再度樹脂モールドＡ２０の脱泡を行っても良い。その後、所定温度で樹脂モールドＡ２０の硬化を行う。これを、図３に示す成形金型１５の下型１５ｂに取り付ける。次に、上型１５ａを取り付けて型締めし、図示しない注型装置に設置する。注型装置のヒータにより成形金型１５を加温後、図示しない脱泡した樹脂モールドＢ２１をゲート１６から流し込む。ゲート１６から流し込まれた樹脂モールドＢ２１は、コイル９の隙間やコイル間を覆いながら最終的にオーバーフロー口１７まで到達する。その後、所定時間加温して樹脂モールドＢ２１を硬化させた後、脱型して２種類の樹脂モールドにて樹脂モールドした可動子６を得る。この様な方法をとることにより、主な放熱経路であるコイル上辺１１と電機子取付台８の凹部８ａとの間に熱伝導率の高い樹脂モールドＡ２０を確実に充填でき、コイル温度が低減化できる。さらに、樹脂モールドＢ２１での成形では、電機子取付台８の凹部８ａ以外の部分を樹脂モールドすればよく、充填する空間の形状も単純化されているので、樹脂モールドＢ２１での成形も容易になり、高品質な樹脂モールド可動子が得られる。

次に第２実施例について説明する。
第２実施例に関わる固定子２、可動子６の構成は第１実施例と同じであるので説明を省略し、可動子を構成する電機子の樹脂モールド方法について、図３、図９を用いて説明する。
第２実施例が第１実施例と異なる点は、電機子取付台８の凹部８ａを上に向けた状態で、電機子取付台８の凹部８ａに樹脂モールドＡ２０を注入し、これに電機子巻線７を取り付ける。電機子取付台８と電機子巻線７とは図示しない冶具を用いて固定し、必要に応じて再度樹脂モールドＡ２０の脱泡を行う。その後、所定温度で樹脂モールドＡ２０の硬化を行う。これを、図３に示す成形金型１５の下型１５ｂに取り付ける。次に、上型１５ａを取り付けて型締めし、図示しない注型装置に設置する。注型装置のヒータにより成形金型１５を加温後、図示しない脱泡した樹脂モールドＢ２１を図９のゲート１６から流し込む。ゲート１６から流し込まれた樹脂モールドＢ２１は、コイル９の隙間やコイル間を覆いながら最終的にオーバーフロー口１７まで到達する。その後、所定時間加温して樹脂モールドＢ２１を硬化させた後、脱型して２種類の樹脂モールドにて樹脂モールドした可動子６を得る。この様な樹脂モールド方法をとることにより、電機子取付台８の凹部８ａと電機子巻線７のコイル上辺１１との隙間が狭く樹脂モールドＡ２０を充填し難い場合でも、確実に樹脂モールドＡ２０を充填することができる。

本発明の第１実施例を示すコアレスリニアモータの正断面図であって、図４のＡ−Ａ線に沿う断面図に相当するものである。 本発明の第１実施例を示すコアレスリニアモータに係る樹脂モールドＡで樹脂モールドした電機子巻線と電機子取付台の正断面図である。 本発明の第２実施例を示すコアレスリニアモータの成形金型の正断面図である。 図４は従来技術と後述の本発明に共通な一般のコアレスリニアモータの全体斜視図であって、固定子と可動子のみを示したものである。 図５は第1従来技術を示す可動子の進行方向から見たコアレスリニアモータの正断面図であって、図４のＡ−Ａ線に沿う断面図に相当するものである。 図６は第１従来技術に示したリニアモータの電機子巻線と電機子取付台を成形金型に設置した状態の正断面図である。 図７は図６を矢視Ａ方向から見た側面図で、電機子取付台を除く部分を透視したものとなっている。 図８は第２従来技術を示す可動子の進行方向から見たコアレスリニアモータの正断面図であって、図４のＡ−Ａ線に沿う断面図に相当するものである。 図９は第２従来技術に示したリニアモータの電機子巻線と電機子取付台を成形金型に設置した状態の側面図で、電機子取付台を除く部分を透視したものとなっている。

符号の説明

１ コアレスリニアモータ
２ 固定子
３ 永久磁石
４ バックヨーク
５ ヨーク支持台
６ 可動子
７ 電機子巻線
８ 電機子取付台
８ａ 凹部
９ コイル
１０ 巻線固定板
１１ コイル上辺
１２ コイル下辺
１３ リード線
１４ 樹脂モールド
１５ 成形金型
１５ａ 上型
１５ｂ 下型
１６ ゲート
１７ オーバーフロー口
１８ プリント基板（巻線固定板）
２０ 樹脂モールドＡ
２１ 樹脂モールドＢ

Claims (7)

1. 巻線固定板と、
   前記巻線固定板の長手方向に沿って複数のコイル群が配設される電機子巻線と、
   前記電機子巻線を配設した巻線固定板を支持する電機子取付台と、
   を具備してなるコアレスリニアモータ電機子の樹脂モールド方法において、
   前記電機子巻線を配設した巻線固定板を前記電機子取付台の凹部内に挿入し、
   前記電機子取付台の凹部と前記電機子巻線のコイル群の上辺との隙間に第1の樹脂モールドを充填した後、硬化させ、
   前記電機子取付台の凹部内に前記第1の樹脂モールドにより固着してなる前記電機子巻線および前記巻線固定板を成形金型にセットし、
   前記成形金型にセットされた前記電機子取付台の凹部における下面と前記電機子巻線の周囲を覆うように前記第１の樹脂モールドの熱伝導率より小さい第２の樹脂モールドを充填し、前記電機子取付台と前記電機子巻線とを一体的に成形することを特徴とするコアレスリニアモータ電機子の樹脂モールド方法。
2. 巻線固定板と、
   前記巻線固定板の長手方向に沿って複数のコイル群が配設される電機子巻線と、
   前記電機子巻線を配設した巻線固定板を支持する電機子取付台と、
   を具備してなるコアレスリニアモータ電機子の樹脂モールド方法において、
   前記電機子取付台の凹部内に第1の樹脂モールドを充填し、
   前記電機子巻線を配設した巻線固定板を前記電機子取付台の凹部内に挿入すると共に、前記電機子取付台の凹部と前記電機子巻線のコイル群の上辺との隙間を前記第１の樹脂モールドで覆うように硬化させ、
   前記電機子取付台の凹部内に前記第1の樹脂モールドにより固着してなる前記電機子巻線および前記巻線固定板を成形金型にセットし、
   前記成形金型にセットされた前記電機子取付台の凹部における下面と前記電機子巻線の周囲を覆うように前記第１の樹脂モールドの熱伝導率より小さい第２の樹脂モールドを充填し、前記電機子取付台と前記電機子巻線とを一体的に成形することを特徴とするコアレスリニアモータ電機子の樹脂モールド方法。
3. 前記第１の樹脂モールドの熱伝導率λ１は、２Ｗ／ｍＫ＜λ１≦５Ｗ／ｍＫであり、
   前記第２の樹脂モールドの熱伝導率λ２は、０．２Ｗ／ｍＫ≦λ２≦２Ｗ／ｍＫであることを特徴とする請求項１または２記載のコアレスリニアモータ電機子の樹脂モールド方法。
4. 巻線固定板と、
   前記巻線固定板の長手方向に沿って複数のコイル群が配設される電機子巻線と、
   前記電機子巻線を配設した巻線固定板を支持する電機子取付台と、
   を具備してなるコアレスリニアモータ電機子において、
   前記電機子巻線を配設した巻線固定板は前記電機子取付台の凹部内に挿入してあり、
   前記電機子取付台の凹部と前記電機子巻線のコイル群の上辺との隙間に第1の樹脂モールドを充填してあり、
   前記電機子取付台の凹部における下面と前記電機子巻線の周囲を覆うように前記第１の樹脂モールドの熱伝導率より小さい第２の樹脂モールドを充填してあり、
   前記電機子取付台と前記電機子巻線とを一体的に成形してあることを特徴とするコアレスリニアモータ電機子。
5. 前記第１の樹脂モールドの熱伝導率λ１は、２Ｗ／ｍＫ＜λ１≦５Ｗ／ｍＫであり、
   前記第２の樹脂モールドの熱伝導率λ２は、０．２Ｗ／ｍＫ≦λ２≦２Ｗ／ｍＫであることを特徴とする請求項４記載のコアレスリニアモータ電機子。
6. 請求項４または５に記載の電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置されると共に平板状のバックヨークに交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせて並べて配置した界磁とを備え、前記電機子と前記界磁の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁と前記電機子を相対的に走行するようにしたことを特徴とするコアレスリニアモータ。
7. 請求項５に記載のコアレスリニアモータを直動機構の駆動源として用いたことを特徴とするテーブル送り装置。

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