JP2010074091A - プローブ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】テストヘッド12を保持する保持部に当該テストヘッド12を上側に付勢するガススプリング43を設けて、プローブカードの上方においてテストヘッド12が水平となる水平位置において、テストヘッド12の下面のポゴリングの側周面に周方向に亘って複数箇所に形成されたテーパー状の鍔部の上に、天板に鉛直軸回りに回転自在に設けられたスライドリングの内周側に周方向に亘って複数箇所に設けられたカムフォロアを相対的に登らせることによりテストヘッド12を下降させる。
【選択図】図1
Description
テストヘッドを設置する構造としては、通常は水平方向軸回りに回転自在な回転軸を持つ回動機構をプローブ装置本体の側方位置に設けると共に、この回転軸から伸びるアームによりテストヘッドを側面側から支持して、テストヘッドがプローブ装置本体上で水平位置から背面側に回動できるように構成されている。
プローブ装置本体の天板に形成された開口部にプローブカードを装着し、このプローブカードの上方にテストヘッドを位置させると共に当該プローブカードの下面に形成されたプローブと基板の被検査チップの電極パッドとを接触させて被検査チップの電気的特性を検査するプローブ装置において、
前記テストヘッドを前記プローブカードの上方にてその下面が水平になる水平位置と前記プローブ装置本体の天板から離れた退避位置との間において、水平な回動軸の周りに回動させるための回動機構と、
前記回動軸に接続され、前記テストヘッドが水平姿勢であるときに当該テストヘッドを上方側に付勢する付勢手段を介して前記テストヘッドを保持する保持枠と、
前記開口部の周縁部に周方向に沿って回転自在に環状に装着されたリング体と、
このリング体の周方向に沿って複数設けられ、各々当該リング体の回転中心側に向いた水平軸の回りに回動自在なカムフォロアと、
前記テストヘッドの下面側に設けられ、当該テストヘッドを前記プローブカードの上面に電気的に接続するための中間接続部材と、
この中間接続部材の外周に周方向に沿って前記カムフォロアと対応させて複数設けられると共に、その上面が前記リング体と同心の円に沿って傾斜し、前記テストヘッドが水平姿勢になったときに前記カムフォロアを案内する案内路として形成された鍔部と、を備え、
前記リング体を回転させて前記カムフォロアが前記案内路の傾斜面を相対的に登ることにより、前記付勢手段の付勢力に抗して前記中間接続部材が押し下げられてプローブカードに圧接されることを特徴とする。
案内路における傾斜面の上端から更に前記円の周方向側には、前記中間接続部材が押し下げられているときに前記カムフォロアが停止する水平面が形成されていることが好ましい。
前記テストヘッドが回動して水平姿勢になった後に前記カムフォロアが前記案内路に対応する位置まで前記テストヘッドを前記付勢手段の付勢力に抗して下降させるための昇降手段を更に設けても良い。
前記リング体は作業者が回動操作をするための操作部を備えていることが好ましい。
前記中間接続部材は、その下面からプローブカードの電極に対応して多数のポゴピンが突出しているリング部材であっても良い。
両腕部34、34とプローバ本体11との間には、腕部34に対して常時上方側に回動させるように付勢力が作用する押圧手段36が設けられている。この押圧手段36は、ガススプリングが組み合わされていて常時伸びようとする付勢ロッド38を有し、この付勢ロッド38の基端がプローバ本体11の後部側にて水平軸の回りに回動自在に取り付けられ、先端部が腕部34の下面に設けられた支持部材37の下面に回動自在に固定されている。
この鍔部52は、後述するように、プローバ本体11に設けられたスライドリング61と協働して、ポゴリング51(テストヘッド12)を既述の水平位置から検査位置に押し下げるために設けられている。以下にこのスライドリング61及びヘッドプレート24の構造について詳述する。
また、テストヘッド12が腕部34において水平位置(上位置)に位置している時の鍔部52の傾斜面56の下側の高さ位置は、この内側カムフォロア66の下端の高さ位置よりも低くなっている。この内側カムフォロア66は、後で詳述するように、スライドリング61の回転に伴って既述の案内路55を登っていくことにより、テストヘッド12が検査位置に位置するように、ガススプリング43の復元力に抗してポゴリング51(テストヘッド12)を下側に押し下げる役目を果たす。尚、既述の図1〜図3においては、鍔部52やスライドリング61の記載を省略している。
プローバ本体11の右側には、ローダ部13が接続されており、このローダ部13は、外装体をなす筐体81を備えている。この筐体81内の奥側は、区画壁82によって上方領域83と下方領域84とに区画されている。この上方領域83には、ウェハWが例えば25枚収納された密閉型の搬送容器であるFOUP2が載置される載置台85が設置されている。FOUP2の右側における筐体81は開口部86をなし、この開口部86を介して図示しない搬送手段と載置台85との間でFOUP2の受け渡しが行われる。
11 プローバ本体
12 テストヘッド
24 ヘッドプレート
26 プローブカード
31 回動軸
34 腕部
39 把手
43 ガススプリング
51 ポゴリング
52 鍔部
55 案内路
56 傾斜面
57 水平面
60 操作レバー
61 スライドリング
66 内側カムフォロア
Claims (5)
- プローブ装置本体の天板に形成された開口部にプローブカードを装着し、このプローブカードの上方にテストヘッドを位置させると共に当該プローブカードの下面に形成されたプローブと基板の被検査チップの電極パッドとを接触させて被検査チップの電気的特性を検査するプローブ装置において、
前記テストヘッドを前記プローブカードの上方にてその下面が水平になる水平位置と前記プローブ装置本体の天板から離れた退避位置との間において、水平な回動軸の周りに回動させるための回動機構と、
前記回動軸に接続され、前記テストヘッドが水平姿勢であるときに当該テストヘッドを上方側に付勢する付勢手段を介して前記テストヘッドを保持する保持枠と、
前記開口部の周縁部に周方向に沿って回転自在に環状に装着されたリング体と、
このリング体の周方向に沿って複数設けられ、各々当該リング体の回転中心側に向いた水平軸の回りに回動自在なカムフォロアと、
前記テストヘッドの下面側に設けられ、当該テストヘッドを前記プローブカードの上面に電気的に接続するための中間接続部材と、
この中間接続部材の外周に周方向に沿って前記カムフォロアと対応させて複数設けられると共に、その上面が前記リング体と同心の円に沿って傾斜し、前記テストヘッドが水平姿勢になったときに前記カムフォロアを案内する案内路として形成された鍔部と、を備え、
前記リング体を回転させて前記カムフォロアが前記案内路の傾斜面を相対的に登ることにより、前記付勢手段の付勢力に抗して前記中間接続部材が押し下げられてプローブカードに圧接されることを特徴とするプローブ装置。 - 案内路における傾斜面の上端から更に前記円の周方向側には、前記中間接続部材が押し下げられているときに前記カムフォロアが停止する水平面が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- 前記カムフォロアは、前記テストヘッドが回動して水平姿勢になったときの前記案内路よりも低い位置に設けられ、
前記テストヘッドが回動して水平姿勢になった後に前記カムフォロアが前記案内路に対応する位置まで前記テストヘッドを前記付勢手段の付勢力に抗して下降させるための昇降手段を更に設けたことを特徴とする請求項1または2に記載のプローブ装置。 - 前記リング体は、作業者が回動操作をするための操作部を備えていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載のプローブ装置。
- 前記中間接続部材は、その下面からプローブカードの電極に対応して多数のポゴピンが突出しているリング部材であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載のプローブ装置。
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