JP2010058057A - Dust collector - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dust collector reducing unwanted scattering of dust by suction in a suction chamber after changing the flow direction of a washing gas passing through the gap between adjacent dust removing targets from a spray chamber by adding a receiving part of a simple constitution facing a dust removing head in the dust collector which dust-removes only one side of the dust removing target. <P>SOLUTION: In the dust collector 1, the receiving part 200 is arranged so as to face the dust removing head 100, and receives the washing gas sprayed from a jet orifice 111a of a spraying chamber 111 to convert the direction. The washing gas is sprayed from the jet orifice 111a of the spraying chamber 111 toward the gap between two adjacent dust removing targets 10, and the washing gas in which the direction is converted at the receiving part 200 is suctioned from a suction port 112a of an upstream suction chamber 112 and a suction port 113a of a downstream suction chamber 113. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、除塵対象に対し、エアや希ガスなどの単なる清浄ガス、超音波周波数で振動する超音波を含むガス、プラス・マイナスイオンを含むガス、または、超音波とイオンとを共に含むガス（以下、これらを総称して洗浄ガスという）を噴射して除塵を行う除塵装置に関する。   The present invention is directed to a dust removal object such as a simple clean gas such as air or a rare gas, a gas containing an ultrasonic wave that vibrates at an ultrasonic frequency, a gas containing plus or minus ions, or a gas containing both ultrasonic waves and ions. The present invention relates to a dust removing device that performs dust removal by injecting (hereinafter collectively referred to as cleaning gas).

ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）液晶パネル、ＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）等に用いられるガラス基板、太陽電池パネル、または、長尺の紙、フィルム等のシートなどの除塵対象（以下、単に除塵対象という）に対して、除塵装置により除塵が行われている。   Targets for dust removal such as glass substrates used in TFT (Thin Film Transistor) liquid crystal panels, PDPs (Plasma Display Panels), LCDs (Liquid Crystal Displays), solar cell panels, or sheets of long paper, films, etc. Dust removal is performed on the dust removal device).

このような除塵装置に関する従来技術例として、例えば、特許文献１（特開２００４−４１８５１号公報，発明の名称「除塵ヘッド」）に記載された発明が知られている。
特許文献１に記載の従来技術では、中央の噴射室と、この噴射室の両側の吸引室と、を有する除塵ヘッドに関するものである。 As an example of a conventional technique related to such a dust removal apparatus, for example, an invention described in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2004-41851, title of the invention “dust removal head”) is known.
The prior art described in Patent Document 1 relates to a dust removal head having a central ejection chamber and suction chambers on both sides of the ejection chamber.

特開２００４−４１８５１号公報（段落番号［０００３］，図５）Japanese Patent Laying-Open No. 2004-41851 (paragraph number [0003], FIG. 5)

通常の除塵装置では除塵ヘッドが上下に配置されることが多い。このような除塵装置では、コンベア上を搬送される複数枚のガラス基板を連続して除塵する場合に隣接するガラス基板など除塵対象の間の隙間を洗浄ガスで噴射しても、上下の除塵ヘッドに洗浄ガスが噴射されることとなり、除塵ヘッド以外の箇所に洗浄ガスが吹き付けられて塵埃等が巻き上げられるおそれは極めて少ない。
しかしながら、特許文献１の図５（ｂ）に示すように、下側に除塵ヘッドがない場合もある。このような除塵装置が、隣接するガラス基板など除塵対象の間の隙間に洗浄ガスを噴射したとき、下方まで（極端な場合には装置載置床まで）洗浄ガスが到達する。除塵装置はクリーンルームに設置されているが、若干の塵埃を巻き上げることとなって除塵環境を悪くするおそれがある。 In a normal dust removing device, dust removing heads are often arranged vertically. In such a dust removing device, when a plurality of glass substrates conveyed on a conveyor are continuously dusted, the upper and lower dust removing heads are ejected even if the gap between dust removing objects such as adjacent glass substrates is sprayed with a cleaning gas. The cleaning gas is sprayed on the surface, and there is very little possibility that the cleaning gas is blown to a portion other than the dust removal head and dust or the like is wound up.
However, as shown in FIG. 5B of Patent Document 1, there is a case where there is no dust removing head on the lower side. When such a dust removing device injects cleaning gas into a gap between dust removal objects such as adjacent glass substrates, the cleaning gas reaches down (in an extreme case, to the device mounting floor). Although the dust remover is installed in a clean room, there is a risk that some dust will be rolled up and the dust removal environment will be deteriorated.

また、隣接するガラス基板など除塵対象の隙間と噴射孔とが対向している間は洗浄ガスの噴射を停止することも考えられるが、この場合、洗浄ガスの流路に切換バルブを設ける必要が生じる。切換バルブの切換時にはシール用のパッキンから離脱した微小な異物等が洗浄ガスに混入することがあり、除塵能力を低下させるおそれがあった。   In addition, it may be possible to stop the injection of the cleaning gas while the gap between the dust removal target such as the adjacent glass substrate and the injection hole face each other. In this case, it is necessary to provide a switching valve in the cleaning gas flow path. Arise. When the switching valve is switched, a minute foreign matter or the like detached from the sealing packing may be mixed into the cleaning gas, which may reduce the dust removal capability.

そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、除塵対象の片側のみ除塵する除塵装置において、除塵ヘッドに対向する簡易な構成の受け部を追加し、隣接する除塵対象間の隙間を通過する噴射室からの洗浄ガスの流れ方向を変えた後に吸引室で吸引するようにして、不要な塵埃の飛散を低減する除塵装置を提供することにある。   Therefore, the present invention has been made to solve the above-described problem, and an object of the present invention is to add a receiving portion having a simple configuration facing the dust removal head in a dust removal device that removes dust only on one side of the dust removal target. An object of the present invention is to provide a dust removing device that reduces the scattering of unnecessary dust by changing the flow direction of the cleaning gas from the injection chamber passing through the gap between the dust removal objects to be sucked in the suction chamber.

本発明の請求項１に係る除塵装置は、
吸引口を有する吸引室、および、噴射口を有する噴射室、をそれぞれ少なくとも各１個有する除塵ヘッドと、
除塵ヘッド内へ複数の除塵対象を順次搬送する搬送部と、
除塵ヘッドに対向するように配置され、噴射室の噴射口から噴射された洗浄ガスを受けて方向を転換させる受け部と、
を備え、
除塵対象に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、除塵対象から跳ね返る洗浄ガスをその吸引口から吸引し、また、
隣接する二個の除塵対象間の隙間に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、受け部で方向を転換させた洗浄ガスをその吸引口から吸引することを特徴とする。 The dust removing apparatus according to claim 1 of the present invention is
A dust removing head having at least one each of a suction chamber having a suction port and a jet chamber having a jet port;
A transport unit that sequentially transports a plurality of dust removal targets into the dust removal head;
A receiving portion that is disposed so as to face the dust removal head and changes the direction by receiving the cleaning gas injected from the injection port of the injection chamber;
With
The suction chamber when spraying the cleaning gas from the injection port of the injection chamber toward the dust removal target sucks the cleaning gas that bounces off the dust removal target from the suction port,
The suction chamber when injecting the cleaning gas from the injection port of the injection chamber toward the gap between two adjacent dust removal objects sucks the cleaning gas whose direction has been changed by the receiving portion from the suction port. And

また、本発明の請求項２に係る除塵装置は、
請求項１に記載の除塵装置において、
前記受け部は、洗浄ガスが通過する通過孔と、平面と曲面とにより仕切られて通過孔と連通する断面弓形空間であって曲面が吸引口や噴射口と対向するとともに平面が除塵対象の搬送方向と略平行に位置する受け空間と、を含み、
噴射室の噴射口から噴射されて通過孔を通過した洗浄ガスを受け空間の曲面で受けた後に受け空間の平面で方向を転換させ、吸引室の吸引口から吸引することを特徴とする。 Moreover, the dust removing apparatus according to claim 2 of the present invention is
The dust removing device according to claim 1,
The receiving portion is a cross-sectional arcuate space that is partitioned by a passage hole through which the cleaning gas passes and a plane and a curved surface and communicates with the passage hole. The curved surface faces the suction port and the injection port, and the plane is a carrier for dust removal. A receiving space located substantially parallel to the direction,
The cleaning gas injected from the injection port of the injection chamber and received through the passage hole is received by the curved surface of the space, then the direction is changed on the plane of the receiving space, and suction is performed from the suction port of the suction chamber.

また、本発明の請求項３に係る除塵装置は、
請求項１に記載の除塵装置において、
除塵対象の搬送方向と略平行の表面を有する対向板と、
対向板に形成され、噴射口と吸引口とが面する通過孔と、
対向板に固定される半円筒体と、
対向板の平面と半円筒体の曲面とにより仕切られ、半円筒体の曲面が吸引口や噴射口と対向するとともに対向板の平面が除塵対象の搬送方向と略平行に位置する断面弓形空間であって通過孔と連通する受け空間と、
を備え、
噴射室の噴射口から噴射されて通過孔を通過した洗浄ガスを受け空間の曲面で受けた後に受け空間の平面で方向を転換させ、吸引室の吸引口から吸引することを特徴とする。 Moreover, the dust removing apparatus according to claim 3 of the present invention is
The dust removing device according to claim 1,
A counter plate having a surface substantially parallel to the conveying direction of the dust removal object;
A through hole formed in the opposing plate and facing the injection port and the suction port;
A semi-cylindrical body fixed to the opposing plate;
A cross-sectional arcuate space that is partitioned by the plane of the opposing plate and the curved surface of the semi-cylindrical body, the curved surface of the semi-cylindrical body is opposed to the suction port and the ejection port, and the plane of the opposing plate is positioned substantially parallel to the conveying direction of the dust removal target. A receiving space communicating with the passage hole,
With
The cleaning gas injected from the injection port of the injection chamber and received through the passage hole is received by the curved surface of the space, then the direction is changed on the plane of the receiving space, and suction is performed from the suction port of the suction chamber.

また、本発明の請求項４に係る除塵装置は、
請求項１に記載の除塵装置において、
前記受け部は、
噴射口と吸引口とが面する曲面状の受け面を有する円弧体を備え、円弧体の受け面で方向を転換させた洗浄ガスを吸引室の吸引口から吸引することを特徴とする。 Moreover, the dust remover according to claim 4 of the present invention is
The dust removing device according to claim 1,
The receiving part is
An arc body having a curved receiving surface facing the ejection port and the suction port is provided, and the cleaning gas whose direction is changed by the receiving surface of the arc body is sucked from the suction port of the suction chamber.

また、本発明の請求項５に係る除塵装置は、
請求項１に記載の除塵装置において、
前記受け部は、
噴射口と吸引口とが面する平面状の受け面を有する箱体を備え、箱体の受け面で方向を転換させた洗浄ガスを吸引室の吸引口から吸引することを特徴とする。 Further, a dust removing device according to claim 5 of the present invention is
The dust removing device according to claim 1,
The receiving part is
A box having a flat receiving surface facing the injection port and the suction port is provided, and the cleaning gas whose direction is changed by the receiving surface of the box is sucked from the suction port of the suction chamber.

また、本発明の請求項６に係る除塵装置は、
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記除塵ヘッドは、噴射室とこれを挟む上流、下流の吸引室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする。 Further, a dust removing device according to claim 6 of the present invention is
In the dust removal apparatus as described in any one of Claims 1-5,
The dust removal head is characterized in that an ejection chamber and upstream and downstream suction chambers sandwiching the ejection chamber are arranged side by side along a conveyance direction of a dust removal target.

また、本発明の請求項７に係る除塵装置は、
前記除塵ヘッドは、吸引室とこれを挟む上流、下流の噴射室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする。 Further, a dust removing device according to claim 7 of the present invention is
The dust removal head is characterized in that a suction chamber and upstream and downstream injection chambers sandwiching the suction chamber are arranged side by side along a conveyance direction of a dust removal target.

また、本発明の請求項８に係る除塵装置は、
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記除塵ヘッドは、上流の噴射室と下流の吸引室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする。 Further, a dust removing device according to claim 8 of the present invention is
In the dust removal apparatus as described in any one of Claims 1-5,
The dust removal head is characterized in that an upstream injection chamber and a downstream suction chamber are arranged side by side along a conveyance direction of a dust removal target.

また、本発明の請求項９に係る除塵装置は、
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記除塵ヘッドは、上流の吸引室と下流の噴射室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする。 Further, a dust removing device according to claim 9 of the present invention is
In the dust removal apparatus as described in any one of Claims 1-5,
The dust removal head is characterized in that an upstream suction chamber and a downstream injection chamber are arranged side by side along the conveyance direction of a dust removal target.

また、本発明の請求項１０に係る除塵装置は、
請求項１〜請求項９の何れか一項に記載の除塵装置において、
噴射室内に配置されており、高電圧が印加されたエミッタ近傍でイオンを生成するイオナイザを備え、噴射室の噴射口からイオンを含む洗浄ガスを噴射することを特徴とする。 Further, a dust removing device according to claim 10 of the present invention is
In the dust removal apparatus as described in any one of Claims 1-9,
An ionizer is disposed in the injection chamber and generates ions in the vicinity of the emitter to which a high voltage is applied, and a cleaning gas containing ions is injected from an injection port of the injection chamber.

また、本発明の請求項１１に係る除塵装置は、
請求項１〜請求項１０の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記受け部を除塵ヘッドに対して離接させる移動部を備えることを特徴とする。 A dust removing device according to claim 11 of the present invention is
In the dust removing apparatus according to any one of claims 1 to 10,
The moving part which makes the said receiving part contact / separate with respect to a dust removal head is provided.

また、本発明の請求項１２に係る除塵装置は、
請求項１１に記載の除塵装置において、
前記受け部および前記移動部を一組とし、複数の噴射部と同数組の前記受け部および前記移動部を設けることを特徴とする。 A dust removing device according to claim 12 of the present invention is
The dust removing device according to claim 11, wherein
The receiving part and the moving part are set as a set, and the same number of sets of the receiving part and the moving part as a plurality of injection parts are provided.

以上のような本発明によれば、除塵対象の片側のみ除塵する除塵装置において、除塵ヘッドに対向する簡易な構成の受け部を追加し、隣接する除塵対象間の隙間を通過する噴射室からの洗浄ガスの流れ方向を変えた後に吸引室で吸引するようにして、不要な塵埃の飛散を低減する除塵装置を提供することができる。   According to the present invention as described above, in the dust removing device that removes dust only on one side of the dust removal target, a receiving portion having a simple configuration facing the dust removal head is added, and the dust from the injection chamber passing through the gap between adjacent dust removal targets is added. It is possible to provide a dust removing device that reduces the scattering of unnecessary dust by sucking in the suction chamber after changing the flow direction of the cleaning gas.

続いて、本発明を実施するための最良の形態について図に基づいて説明する。図１は本形態の除塵装置の側面図、図２は本形態の除塵装置の断面図、図３は本形態の除塵装置の斜視外観図である。なお、図３では側壁部を取り去って図示している。除塵装置１は、除塵ヘッド１００、受け部２００、搬送部３００、移動部４００を備える。除塵装置１は除塵対象１０に対して除塵を行う。   Next, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view of the dust removing apparatus of the present embodiment, FIG. 2 is a sectional view of the dust removing apparatus of the present embodiment, and FIG. 3 is a perspective external view of the dust removing apparatus of the present embodiment. In FIG. 3, the side wall portion is removed. The dust removing device 1 includes a dust removing head 100, a receiving unit 200, a transport unit 300, and a moving unit 400. The dust removal device 1 removes dust from the dust removal object 10.

除塵ヘッド１００は、詳しくは図２，図３で示すような除塵ヘッド本体１１０の内部にイオナイザ１２０が配置され、さらに除塵ヘッド本体１１０の両側面に、図１で示すような側壁部１３０が固定されたものである。   In detail, the dust removing head 100 includes an ionizer 120 disposed inside a dust removing head main body 110 as shown in FIGS. 2 and 3, and side wall portions 130 as shown in FIG. It has been done.

除塵ヘッド１００について図を参照しつつさらに説明する。図４は除塵ヘッドの内外構造を示す図であって図４（ａ）はＡ矢視図、図４（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図、図４（ｃ）はＣ−Ｃ線断面図である。図５はＣ−Ｃ線断面の斜視図である。図６は除塵ヘッドの内部構造を示す図であって図６（ａ）はＤ−Ｄ線断面図、図６（ｂ）はＥ−Ｅ線断面図である。図７は受け部の構成図である。
除塵ヘッド本体１１０は、図４（ａ）で示すように、噴射室１１１、上側吸引室１１２、下側吸引室１１３、天板１１４、側壁１１５ａ，１１５ｂ、内壁１１６ａ，１１６ｂ、噴射室底部１１１ｃ、吸引室底部１１２ｃ，１１３ｃを備えている。 The dust removing head 100 will be further described with reference to the drawings. 4A and 4B are diagrams showing the internal and external structures of the dust removal head, in which FIG. 4A is a cross-sectional view taken along arrow A, FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line BB, and FIG. It is. FIG. 5 is a perspective view of a cross section taken along the line CC. 6A and 6B are diagrams showing the internal structure of the dust removal head, in which FIG. 6A is a sectional view taken along the line DD, and FIG. 6B is a sectional view taken along the line EE. FIG. 7 is a configuration diagram of the receiving portion.
As shown in FIG. 4A, the dust removal head main body 110 includes an ejection chamber 111, an upper suction chamber 112, a lower suction chamber 113, a top plate 114, side walls 115a and 115b, inner walls 116a and 116b, an ejection chamber bottom portion 111c, Suction chamber bottoms 112c and 113c are provided.

噴射室１１１は、図２〜図６で示すように、天板１１４、内壁１１６ａ，１１６ｂ、噴射室底部１１１ｃにより仕切られる空間であって、内壁１１６ａ，１１６ｂには隔壁１１６ｃが渡されて機械的に補強されている。この噴射室１１１は、図４（ｃ）で示すように、流入口１１１ｂ、通過孔１１６ｅ、噴射口１１１ａにより空間が内外で連通している。なお、イオナイザ１２０の突出部１２１と溝部１１６ｄとの間に図６（ａ）で示すような通過孔１２４が形成されており、イオナイザ１２０の組み付け時ではこの通過孔１２４を通じても空間が連通する。   2 to 6, the ejection chamber 111 is a space partitioned by a top plate 114, inner walls 116a and 116b, and an ejection chamber bottom portion 111c. A partition wall 116c is passed to the inner walls 116a and 116b to mechanically. It is reinforced. As shown in FIG. 4C, the injection chamber 111 communicates with the inside and outside of the space by an inflow port 111b, a passage hole 116e, and an injection port 111a. A passage hole 124 as shown in FIG. 6A is formed between the protruding portion 121 and the groove portion 116 d of the ionizer 120, and the space communicates through the passage hole 124 when the ionizer 120 is assembled.

噴射口１１１ａは、図５でも明らかなように長尺のスリットである。図５で示す噴射口１１１ａの長手方向に対して略垂直方向から除塵対象１０が進入してくるため、除塵対象１０の全領域に洗浄ガスを噴射することができる。   The injection port 111a is a long slit as is apparent from FIG. Since the dust removal target 10 enters from a direction substantially perpendicular to the longitudinal direction of the ejection port 111a shown in FIG. 5, the cleaning gas can be sprayed to the entire area of the dust removal target 10.

隔壁１１６ｃは、図４（ｃ）で示すように、噴射口１１１ａと流入口１１１ｂとの間に設けられ、好ましくは噴射口１１１ａ側に近接して配置される。これは、隔壁１１６ｃの配置が噴射口１１１ａ側に近づくにつれて、洗浄ガスが噴射口１１１ａを通過することに伴う噴射口１１１ａの拡開が発生しづらくなるためである。   As shown in FIG. 4C, the partition wall 116c is provided between the injection port 111a and the inflow port 111b, and is preferably disposed close to the injection port 111a side. This is because as the arrangement of the partition walls 116c approaches the injection port 111a side, it becomes difficult for the injection port 111a to expand due to the cleaning gas passing through the injection port 111a.

通過孔１１６ｅは、図４（ｃ），図６（ｂ）で示すように、隔壁１１６ｃに複数個設けられ、流入口１１１ｂから流入する洗浄ガスを噴射口１１１ａまで導通させる。
溝部１１６ｄは、図４（ａ）のａ部拡大図で示すように噴射室１１１に設けられ、この溝部１１６ｄにイオナイザ１２０の突出部１２１を摺動させつつ挿入し、噴射室１１１内に取り付けることとなる。 As shown in FIGS. 4C and 6B, a plurality of passage holes 116e are provided in the partition wall 116c, and conduct the cleaning gas flowing in from the inflow port 111b to the injection port 111a.
The groove part 116d is provided in the injection chamber 111 as shown in the enlarged view of the part a in FIG. 4A, and the protrusion part 121 of the ionizer 120 is inserted into the groove part 116d while being slid and attached in the injection chamber 111. It becomes.

通過孔１２４はイオナイザ１２０の配置と同時に形成される。図６（ａ）で示すようにイオナイザ１２０の突出部１２１に切り欠き部１２３が設けられており、図４（ａ）のａ部拡大図で示すように突出部１２１を溝部１１６ｄに摺動させつつイオナイザ１２０を挿入して噴射室１１１内に取り付けた場合に、図６（ａ）で示すように、切り欠き部１２３が溝部１１６ｄで覆われて通過孔１２４となるものである。
流入口１１１ｂは、図３，図４（ｃ），図５で示すように、除塵ヘッド１００の上面の天板１１４に設けられる。 The passage hole 124 is formed simultaneously with the arrangement of the ionizer 120. As shown in FIG. 6 (a), a notch 123 is provided in the protrusion 121 of the ionizer 120, and the protrusion 121 is slid into the groove 116d as shown in the enlarged view of FIG. 4 (a). On the other hand, when the ionizer 120 is inserted and installed in the injection chamber 111, the notch 123 is covered with the groove 116d to form the passage hole 124 as shown in FIG.
The inflow port 111b is provided on the top plate 114 on the upper surface of the dust removal head 100, as shown in FIGS.

イオナイザ１２０は、図４（ｂ），（ｃ）で示すように噴射室１１１内であって隔壁１１６ｃよりも上流側に配置され、洗浄ガスにプラスイオン・マイナスイオンを放出する機能を有している。
このイオナイザ１２０にはエミッタ１２２が取り付けられており、エミッタ１２２は直流電流または交流電流が印加されてプラスイオン・マイナスイオンをコロナ放電により放出する。 As shown in FIGS. 4B and 4C, the ionizer 120 is disposed in the injection chamber 111 and on the upstream side of the partition wall 116c, and has a function of releasing positive ions and negative ions into the cleaning gas. Yes.
An emitter 122 is attached to the ionizer 120. The emitter 122 is applied with a direct current or an alternating current and emits positive ions and negative ions by corona discharge.

上流側吸引室１１２は、図３〜図６で示すように、天板１１４、側壁１１５ａ、内壁１１６ａ、吸引室底部１１２ｃにより仕切られる空間である。この上流側吸引室１１２は、図４（ｃ）で示すように、排気口１１２ｂ、吸引口１１２ａにより空間が連通している。   As shown in FIGS. 3 to 6, the upstream suction chamber 112 is a space partitioned by a top plate 114, a side wall 115 a, an inner wall 116 a, and a suction chamber bottom 112 c. As shown in FIG. 4C, the upstream suction chamber 112 is in communication with the exhaust port 112b and the suction port 112a.

吸引口１１２ａは、図５，図６で示すように長尺のスリットであり、噴射口１１１ａから噴射された洗浄ガスにより飛散した塵埃を周辺エアとともに吸引する。
排気口１１２ｂは、図３，図４（ｃ），図５で示すように、吸引口１１２ａから吸引された気体を排気するための開口である。 The suction port 112a is a long slit as shown in FIGS. 5 and 6, and sucks the dust scattered by the cleaning gas sprayed from the spray port 111a together with the surrounding air.
As shown in FIGS. 3, 4 (c), and 5, the exhaust port 112 b is an opening for exhausting the gas sucked from the suction port 112 a.

下流側吸引室１１３は、図３〜図６で示すように、天板１１４、側壁１１５ｂ、内壁１１６ｂ、吸引室底部１１３ｃにより仕切られる空間である。この下流側吸引室１１３は、図４（ｃ）で示すように、排気口１１３ｂ、吸引口１１３ａにより空間が連通している。   As shown in FIGS. 3 to 6, the downstream suction chamber 113 is a space partitioned by a top plate 114, a side wall 115 b, an inner wall 116 b, and a suction chamber bottom 113 c. As shown in FIG. 4C, the downstream suction chamber 113 is in communication with the exhaust port 113b and the suction port 113a.

吸引口１１３ａは、図５，図６で示すように長尺のスリットであり、噴射口１１１ａから噴射された洗浄ガスにより飛散した塵埃を周辺エアとともに吸引する。
排気口１１３ｂは、図３，図４（ｃ），図５で示すように、吸引口１１３ａから吸引された気体を排気するための開口である。
除塵ヘッド１００の構成はこのようなものである。 The suction port 113a is a long slit as shown in FIGS. 5 and 6, and sucks dust scattered by the cleaning gas ejected from the ejection port 111a together with the surrounding air.
The exhaust port 113b is an opening for exhausting the gas sucked from the suction port 113a, as shown in FIG. 3, FIG. 4 (c), and FIG.
The configuration of the dust removal head 100 is as described above.

ここで除塵ヘッド本体１１０の製造方法について説明する。
この除塵ヘッド本体１１０は、押し出し成形により製造される。例えば、アルミなどの金属材料を型に押し込んで、噴射室１１１、上流側吸引室１１２、下流側吸引室１１３、側壁１１５ａ，１１５ｂ、内壁１１６ａ，１１６ｂ、隔壁１１６ｃ、噴射室底部１１１ｃ、吸引室底部１１２ｃ，１１３ｃ、天板１１４が一体になった除塵ヘッド本体１１０を成形し、端部等の末端処理を行って完成する。なお、押し出し成形終了直後は、流入口１１１ｂ、排気口１１２ｂ，１１３ｂ（図３，図４（ｃ），図５参照）、隔壁１１６ｃの通過孔１１６ｅ（図４（ｃ），図６（ｂ）参照）、噴射口１１１ａおよび吸引口１１２ａ，１１３ａはまだ形成されていない。 Here, a method for manufacturing the dust removing head body 110 will be described.
The dust removing head body 110 is manufactured by extrusion molding. For example, a metal material such as aluminum is pushed into the mold, and the injection chamber 111, the upstream suction chamber 112, the downstream suction chamber 113, the side walls 115a and 115b, the inner walls 116a and 116b, the partition wall 116c, the injection chamber bottom 111c, and the suction chamber bottom. The dust removing head main body 110 in which the 112c and 113c and the top plate 114 are integrated is formed, and the end processing of the end portion and the like is performed to complete. Immediately after the extrusion molding, the inlet 111b, the exhaust ports 112b and 113b (see FIGS. 3, 4C, and 5), and the passage hole 116e of the partition wall 116c (FIGS. 4C and 6B). Reference), the injection port 111a and the suction ports 112a and 113a are not formed yet.

このように押し出し成形された除塵ヘッド１００に対して矢印Ｆ方向（図３参照）からドリルを進入させ、流入口１１１ｂ・通過孔１１６ｅの孔開けを一度で行う。流入口１１１ｂ・通過孔１１６ｅは同径となる。このような孔開けを他の箇所で多数回行い、図３，図６（ｂ）のように多数の流入口１１１ｂ・通過孔１１６ｅを形成する。
同様に、除塵ヘッド１００に対して矢印Ｆ方向からドリルを進入させ、排気口１１２ｂ，１１３ｂの孔開けを行う。このような孔開けを他の箇所で多数回行い、図３のように多数の排気口１１２ｂ，１１３ｂを形成する。 A drill is made to enter the dust removal head 100 thus extruded from the direction of arrow F (see FIG. 3), and the inlet 111b and the passage hole 116e are formed at a time. The inlet 111b and the passage hole 116e have the same diameter. Such holes are formed many times at other locations, and a large number of inlets 111b and passage holes 116e are formed as shown in FIGS.
Similarly, a drill enters the dust removal head 100 from the direction of arrow F, and the exhaust ports 112b and 113b are drilled. Such drilling is performed many times at other locations to form a large number of exhaust ports 112b and 113b as shown in FIG.

その後に長尺のスリットである噴射口１１１ａ、吸引口１１２ａ，１１３ａをフライス盤等で切削加工して図３〜図６で示す除塵ヘッド本体１１０を完成させ、さらに噴射室１１１の側部開口からイオナイザ１２０を挿入し、側壁部１３０で両側を塞いで除塵ヘッド１００を完成させる。この除塵ヘッド１００では、噴射室１１１、上流側吸引室１１２、下流側吸引室１１３が一体構造として形成されている。   Thereafter, the ejection port 111a and the suction ports 112a and 113a, which are long slits, are cut with a milling machine or the like to complete the dust removal head main body 110 shown in FIGS. 3 to 6, and the ionizer is opened from the side opening of the ejection chamber 111. The dust removing head 100 is completed by inserting 120 and closing both sides with the side wall 130. In the dust removing head 100, an ejection chamber 111, an upstream suction chamber 112, and a downstream suction chamber 113 are formed as an integral structure.

このような除塵ヘッド１００は、図８で示すように、除塵対象の搬送方向（本形態では例示的に図面右から左へ向かう矢印方向とした）に向かって、上流側吸引室１１２（Ｖ１）、噴射室１１１（Ｐ）、下流側吸引室１１３（Ｖ２）となるように並べられて構成されており、搬送部３００の上側に配置されている。噴射室１１１（Ｐ）は図示しない送風ポンプへ、また、上流側吸引室１１２（Ｖ１）、下流側吸引室１１３（Ｖ２）は図示しない吸気ポンプへ接続されるものとする。噴射室１１１の噴射口１１１ａから噴射された洗浄ガスや吹き上げられた塵埃は周囲のエアとともに、吸引口１１２ａ，１１３ａを通じて上流側吸引室１１２，下流側吸引室１１３へ吸引される。この塵埃を含むエアは、除塵ヘッド１００の排気口１１２ｂ，１１３ｂ（図３参照）、排気流路、および、排気配管を介して、外部へ排気される。除塵ヘッド１００はこのようなものである。   As shown in FIG. 8, such a dust removal head 100 has an upstream suction chamber 112 (V <b> 1) in a dust removal target conveyance direction (in this embodiment, an arrow direction from the right to the left in the drawing is illustrative). The injection chamber 111 (P) and the downstream suction chamber 113 (V2) are arranged side by side and are arranged on the upper side of the transport unit 300. The injection chamber 111 (P) is connected to a blower pump (not shown), and the upstream suction chamber 112 (V1) and the downstream suction chamber 113 (V2) are connected to an intake pump (not shown). The cleaning gas and dust blown up from the ejection port 111a of the ejection chamber 111 are sucked into the upstream suction chamber 112 and the downstream suction chamber 113 through the suction ports 112a and 113a together with the surrounding air. The air containing the dust is exhausted to the outside through the exhaust ports 112b and 113b (see FIG. 3) of the dust removing head 100, the exhaust passage, and the exhaust pipe. The dust removal head 100 is like this.

次に受け部２００は、図２，図７で示すように、半円筒体２１０、対向板２２０、受け空間２３０、通過孔２４０、支持部２５０、側壁２６０を備えている。受け部２００は、図１〜図３で示すように配置される。   Next, as shown in FIGS. 2 and 7, the receiving portion 200 includes a semi-cylindrical body 210, a counter plate 220, a receiving space 230, a passage hole 240, a support portion 250, and a side wall 260. The receiving part 200 is arrange | positioned as shown in FIGS.

半円筒体２１０は、図７に示すように両側が側壁２６０で塞がれた円筒体を軸方向に半分に切断した形状である。内側は半円状の曲面を有することとなる。
対向板２２０は、通常の板体であってその中央に通過孔２４０が形成される。この対向板２２０は、除塵対象１０の搬送方向と略平行であって平面状の表面・裏面を有する。
受け空間２３０は、対向板２２０の裏面と半円筒体２１０の曲面とにより仕切られ、半円筒体２１０の曲面が、通過孔２４０を介して、噴射口１１１ａおよび吸引口１１２ａ，１１３ａに対向するとともに、対向板２２０の裏面・表面が何れも除塵対象１０の搬送方向と略平行に位置する断面弓形空間である。この受け空間２３０は通過孔２４０と連通する。 The semi-cylindrical body 210 has a shape obtained by cutting a cylindrical body whose both sides are closed by side walls 260 as shown in FIG. The inside has a semicircular curved surface.
The counter plate 220 is a normal plate body, and a passage hole 240 is formed at the center thereof. The opposing plate 220 is substantially parallel to the conveyance direction of the dust removal target 10 and has a flat front surface / back surface.
The receiving space 230 is partitioned by the back surface of the counter plate 220 and the curved surface of the semi-cylindrical body 210, and the curved surface of the semi-cylindrical body 210 is opposed to the ejection port 111 a and the suction ports 112 a and 113 a through the passage hole 240. In addition, the back surface and the front surface of the counter plate 220 are both cross-sectional arcuate spaces that are positioned substantially parallel to the conveyance direction of the dust removal object 10. The receiving space 230 communicates with the passage hole 240.

通過孔２４０は、対向板２２０の中央に設けられ、少なくとも除塵ヘッド１００の噴射口１１１ａと吸引口１１２ａ，１１３ａとよりも縦横の長さを大きくしている。これにより、噴射口１１１ａから噴射された全ての洗浄ガスは、対向板２２０に吹き付けられることなく通過孔２４０を通過する。
支持部２５０は、半円筒体２１０の下側に固定される。
側壁２６０は、半円筒体２１０の両側面に固定される。
受け部２００はこのようなものである。 The passage hole 240 is provided in the center of the counter plate 220 and has a length that is longer than at least the ejection port 111a and the suction ports 112a and 113a of the dust removing head 100. As a result, all the cleaning gas ejected from the ejection port 111a passes through the passage hole 240 without being blown against the counter plate 220.
The support part 250 is fixed to the lower side of the semi-cylindrical body 210.
The side walls 260 are fixed to both side surfaces of the semi-cylindrical body 210.
The receiving part 200 is like this.

搬送部３００は、例えば除塵対象１０を支持・搬送する長棒のローラである。搬送部３００は、除塵対象１０を搬送する駆動力を与えるように構成されるか、または、他の駆動源により搬送される除塵対象１０に従動するように回動自在に構成されている。   The conveyance unit 300 is, for example, a long bar roller that supports and conveys the dust removal target 10. The transport unit 300 is configured to give a driving force for transporting the dust removal target 10 or is configured to be rotatable so as to follow the dust removal target 10 transported by another drive source.

移動部４００は、図１で示すように、支持部２５０を矢印ａ方向（上下方向）であって除塵ヘッド１００に対して受け部２００を近づけたり、または、離すように移動させる装置、例えば、昇降ステージのような装置である。予め移動部４００により上下位置を調整して、受け部２００を移動させて洗浄ガスが確実に緩衝される位置に設定固定される。   As shown in FIG. 1, the moving unit 400 is a device that moves the support unit 250 so as to move the receiving unit 200 closer to or away from the dust removing head 100 in the direction of arrow a (vertical direction), for example, It is a device like an elevating stage. The vertical position is adjusted in advance by the moving unit 400, and the receiving unit 200 is moved and set and fixed at a position where the cleaning gas is reliably buffered.

このような除塵装置１の除塵対象１０は、例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）液晶パネル、ＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）等に用いられるガラス基板、太陽電池パネル、または、長尺の紙、フィルム等のシートなどである。除塵装置１はこのようなものである。   The dust removal target 10 of such a dust removal apparatus 1 is, for example, a glass substrate, a solar cell panel, or a long length used for TFT (thin film transistor) liquid crystal panel, PDP (plasma display panel), LCD (liquid crystal display), etc. Sheet of paper and film. The dust removal apparatus 1 is such.

続いて、除塵装置１による除塵動作について図を参照しつつ説明する。図８は本形態の除塵装置の除塵時の動作説明図、図９は本形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。
流入口１１１ｂから洗浄ガスを流入させると、イオナイザ１２０の通過孔１２４を通過する。この洗浄ガスにはイオナイザ１２０から放出されたプラスイオン・マイナスイオンが混入される。さらに、このような洗浄ガスが隔壁１１６ｃの通過孔１１６ｅを通過し、噴射口１１１ａまで到達し、洗浄ガスが噴射口１１１ａから噴射される。この場合、噴射室１１１内は高圧となるが、図４（ｃ）で示すように隔壁１１６ｃが噴射室１１１内で一体に張り渡されて補強されているため、噴射口１１１ａの拡開の発生を抑制する。さらに、隔壁１１６ｃを噴射口１１１ａ側に近接した位置に配置したため、噴射口１１１ａの拡開の発生をさらに抑制している。 Next, the dust removal operation by the dust remover 1 will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a diagram for explaining the operation of the dust remover of this embodiment during dust removal, and FIG. 9 is a diagram for explaining the operation of the dust remover of this embodiment during jetting between dust removal targets.
When the cleaning gas is introduced from the inlet 111b, it passes through the passage hole 124 of the ionizer 120. This cleaning gas is mixed with positive ions and negative ions released from the ionizer 120. Further, such a cleaning gas passes through the passage hole 116e of the partition wall 116c, reaches the injection port 111a, and the cleaning gas is injected from the injection port 111a. In this case, although the inside of the injection chamber 111 is at a high pressure, the partition wall 116c is integrally stretched and reinforced in the injection chamber 111 as shown in FIG. Suppress. Further, since the partition wall 116c is disposed at a position close to the injection port 111a, the occurrence of the expansion of the injection port 111a is further suppressed.

複数の除塵対象１０が、所定の間隔を隔てて搬送部３００上を順次搬送され、逐次除塵が行われるものとする。この場合除塵ヘッド１００は、噴射室１１１（Ｐ）による洗浄ガスの噴射、および、上流側吸引室１１２，下流側吸引室１１３による塵埃の吸引を常時行っているものとする。   It is assumed that the plurality of dust removal targets 10 are sequentially transported on the transport unit 300 at a predetermined interval, and dust removal is performed sequentially. In this case, it is assumed that the dust removal head 100 always performs the ejection of the cleaning gas from the ejection chamber 111 (P) and the suction of the dust by the upstream suction chamber 112 and the downstream suction chamber 113.

まず、図８に示すように、除塵される除塵対象１０が、除塵ヘッド１００の直下を、搬送方向に搬送される。この場合、除塵対象１０の上面が除塵対象面となる。除塵ヘッド１００では、噴射室１１１（Ｐ）から洗浄ガスが除塵対象１０の除塵対象面に噴射され、飛散した塵埃が上流側吸引室１１２（Ｖ１），下流側吸引室１１３（Ｖ２）にて吸引されることにより、除塵対象１０の除塵対象面の除塵が行われることになる。   First, as shown in FIG. 8, the dust removal target 10 to be removed is transported in the transport direction directly under the dust removal head 100. In this case, the upper surface of the dust removal target 10 is the dust removal target surface. In the dust removal head 100, the cleaning gas is jetted from the ejection chamber 111 (P) onto the dust removal target surface of the dust removal target 10, and the scattered dust is sucked in the upstream suction chamber 112 (V1) and the downstream suction chamber 113 (V2). By doing so, dust removal of the dust removal target surface of the dust removal target 10 is performed.

そしてそのまま搬入が続いて、図９に示すように、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間が除塵ヘッド１００の直下に到達したとき、除塵ヘッド１００の噴射室１１１（Ｐ）からの洗浄ガスが通過孔２４０を通過し、受け部２００の受け空間２３０の曲面（半円筒体２１０の内側の半円状の曲面）で受ける。このような洗浄ガスは曲面に沿って移動して対向板２２０の裏面に到達して方向を転換させて通過孔２４０へ向けて移動する。この対向板２２０の裏面に沿って移動する洗浄ガスは搬送方向と平行であるため、受け空間２３０内を移動するものであり、通過孔２４０を越えて上側へ到達しにくくなる。すると、上流側吸引室１１２（Ｖ１），下流側吸引室１１３（Ｖ２）にて洗浄ガスが上側に吸引される。噴射量よりも吸引量を多くすることで、除塵対象方向へ吹き漏れるおそれを低減することができる。これにより、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間を通過した洗浄ガスが無用な塵埃を飛散させるということがなくなり、除塵環境を良好に保つ。さらに洗浄ガスを噴出させた状態での連続除塵を可能とし、設備の簡素化や不要な異物混入のおそれの低減も実現している。本形態の除塵装置１はこのようなものである。   Then, the carry-in is continued, and as shown in FIG. 9, when the gap between two adjacent dust removal objects 10 reaches just below the dust removal head 100, the dust removal head 100 is cleaned from the ejection chamber 111 (P). The gas passes through the passage hole 240 and is received by the curved surface of the receiving space 230 of the receiving portion 200 (the semicircular curved surface inside the semicylindrical body 210). Such cleaning gas moves along the curved surface, reaches the back surface of the counter plate 220, changes direction, and moves toward the passage hole 240. Since the cleaning gas that moves along the back surface of the counter plate 220 is parallel to the transport direction, it moves in the receiving space 230, and it is difficult to reach the upper side beyond the passage hole 240. Then, the cleaning gas is sucked upward in the upstream suction chamber 112 (V1) and the downstream suction chamber 113 (V2). By increasing the suction amount more than the injection amount, it is possible to reduce the possibility of blowing out in the dust removal target direction. As a result, the cleaning gas that has passed through the gap between the two adjacent dust removal objects 10 does not scatter unwanted dust, and the dust removal environment is kept good. Furthermore, continuous dust removal in a state where the cleaning gas is ejected is possible, and the simplification of equipment and the reduction of the possibility of unnecessary foreign matters being mixed are realized. The dust removing apparatus 1 of this embodiment is such.

続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図１０は他の形態の除塵装置の側面図、図１１は他の形態の除塵装置の断面図、図１２は円弧体の製造を説明する説明図、図１３は他の形態の除塵装置の動作説明図である。なお、図１０では側壁部を取り去って図示している。除塵装置２は、除塵ヘッド１００、受け部５００、搬送部３００、移動部４００を備える。除塵装置２は除塵対象１０に対して除塵を行う。先に図１〜図９を用いて説明した除塵装置１と比較すると、本形態の除塵装置２は、受け部５００の構成のみが相違する以外は他の構成は同じであり、同じ構成については同じ符号を付すとともに重複する説明を省略し、受け部５００についてのみ説明する。   Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 10 is a side view of another type of dust removing device, FIG. 11 is a cross-sectional view of another type of dust removing device, FIG. 12 is an explanatory diagram for explaining the manufacture of an arc body, and FIG. 13 is an operation of the dust removing device of another type. It is explanatory drawing. In FIG. 10, the side wall portion is removed and shown. The dust removing device 2 includes a dust removing head 100, a receiving unit 500, a transport unit 300, and a moving unit 400. The dust removal device 2 performs dust removal on the dust removal target 10. Compared with the dust removal device 1 described above with reference to FIGS. 1 to 9, the dust removal device 2 of the present embodiment is the same except for the configuration of the receiving portion 500, and the same configuration is used. Only the receiving portion 500 will be described with the same reference numerals attached and the redundant description omitted.

受け部５００は、図１０，図１１で示すように、円弧体５１０、支持部５２０を備えている。
円弧体５１０は、円弧状の部材であり、曲面状の受け面を有する。なお、図示しないが両側面（図１０で正面にある面と裏側の面）に側壁部を取り付けて両側部で洗浄ガスが流れないようにしても良い。円弧体５１０は、図面の垂直方向に長く形成され、特に噴射口１１１ａ、吸引口１１２ａ，１１３ａよりも長くなるように配慮され、洗浄ガスを確実に受けるようになされている。円弧体５１０は図１２に示すように円筒体を３分割して形成する。
支持部５２０は、図１０に示すように、円弧体５１０の下側に固定されて、移動部４００により矢印ａ方向（除塵ヘッド本体１１０に近づいたり、または、遠ざかる方向）に円弧体５１０を移動させる。受け部５００はこのようなものである。 As shown in FIGS. 10 and 11, the receiving part 500 includes an arcuate body 510 and a support part 520.
Arc body 510 is an arc-shaped member and has a curved receiving surface. Although not shown, side walls may be attached to both side surfaces (the front surface and the back surface in FIG. 10) so that the cleaning gas does not flow on both sides. The circular arc member 510 is formed to be long in the vertical direction of the drawing, and is considered to be particularly longer than the injection port 111a and the suction ports 112a and 113a, so that the cleaning gas is surely received. The circular arc body 510 is formed by dividing a cylindrical body into three parts as shown in FIG.
As shown in FIG. 10, the support portion 520 is fixed to the lower side of the circular arc member 510, and moves the circular arc member 510 in the direction of arrow a (direction approaching or moving away from the dust removal head body 110) by the moving unit 400. Let The receiving part 500 is like this.

続いて、除塵装置２による除塵動作について説明する。
イオナイザ１２０から放出されたプラスイオン・マイナスイオンを含む洗浄ガスが、除塵ヘッド本体１１０から除塵対象１０へ噴射される。除塵対象１０の除塵は図８を用いて説明した同様の処理であり、重複する説明を省略する。 Subsequently, a dust removal operation by the dust remover 2 will be described.
A cleaning gas containing positive ions and negative ions discharged from the ionizer 120 is jetted from the dust removal head body 110 to the dust removal target 10. The dust removal of the dust removal target 10 is the same process described with reference to FIG.

そして、図１３に示すように、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間が除塵ヘッド１００の直下に到達したとき、除塵ヘッド１００の噴射室１１１（Ｐ）からの洗浄ガスを、受け部５００の円弧体５１０の受け面（円弧体５１０の内側の弧状の曲面）で受ける。このような洗浄ガスは曲面状の受け面に沿って移動し、上流側吸引室１１２（Ｖ１），下流側吸引室１１３（Ｖ２）にて洗浄ガスが上側に吸引される。噴射量よりも吸引量を多くすることで、除塵対象方向へ吹き漏れるおそれを低減することができる。これにより、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間を通過した洗浄ガスが無用な塵埃を飛散させるということがなくなり、除塵環境を良好に保つ。さらに洗浄ガスを噴出させた状態での連続除塵を可能とし、設備の簡素化や不要な異物混入のおそれの低減も実現している。本形態の除塵装置２はこのようなものである。   Then, as shown in FIG. 13, when the gap between the two adjacent dust removal objects 10 reaches just below the dust removal head 100, the cleaning gas from the ejection chamber 111 (P) of the dust removal head 100 is received by the receiving unit. 500 is received by the receiving surface of the arcuate body 510 (the arcuate curved surface inside the arcuate body 510). Such cleaning gas moves along the curved receiving surface, and the cleaning gas is sucked upward in the upstream suction chamber 112 (V1) and the downstream suction chamber 113 (V2). By increasing the suction amount more than the injection amount, it is possible to reduce the possibility of blowing out in the dust removal target direction. As a result, the cleaning gas that has passed through the gap between the two adjacent dust removal objects 10 does not scatter unwanted dust, and the dust removal environment is kept good. Furthermore, continuous dust removal in a state where the cleaning gas is ejected is possible, and the simplification of equipment and the reduction of the possibility of unnecessary foreign matter mixing are realized. The dust removing device 2 of this embodiment is such.

続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図１４は他の形態の除塵装置の側面図、図１５は他の形態の除塵装置の動作説明図である。除塵装置３は、除塵ヘッド１００、受け部６００、搬送部３００、移動部４００を備える。除塵装置３は除塵対象１０に対して除塵を行う。先に図１〜図９を用いて説明した除塵装置１と比較すると、本形態の除塵装置３は、受け部６００の構成のみが相違する以外は他の構成は同じであり、同じ構成については同じ符号を付すとともに重複する説明を省略し、受け部６００についてのみ説明する。   Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 14 is a side view of another type of dust remover, and FIG. 15 is an operation explanatory view of another type of dust remover. The dust removing device 3 includes a dust removing head 100, a receiving part 600, a conveying part 300, and a moving part 400. The dust removal device 3 removes dust from the dust removal target 10. Compared with the dust removing device 1 described above with reference to FIGS. 1 to 9, the dust removing device 3 of the present embodiment is the same except for the configuration of the receiving portion 600, and the same configuration is used. Only the receiving part 600 will be described with the same reference numerals being given and redundant description omitted.

受け部６００は、図１４，図１５で示すように、箱体６１０、支持部６２０を備えている。
箱体６１０は、箱状の部材であり、平面状の受け面を有する。箱体６１０は側壁部が設けられて横側から洗浄ガスが流れないようにしてある。箱体６１０は、図面の垂直方向に長く形成され、特に噴射口１１１ａ、吸引口１１２ａ，１１３ａよりも長くなるように配慮され、洗浄ガスを確実に受けるようになされている。
支持部６２０は、箱６１０の下側に固定されて、移動部４００により矢印ａ方向（除塵ヘッド本体１１０に近づいたり、または、遠ざかる方向）に箱６１０を移動させる。受け部６００はこのようなものである。 As shown in FIGS. 14 and 15, the receiving part 600 includes a box 610 and a support part 620.
The box 610 is a box-shaped member and has a flat receiving surface. The box 610 is provided with a side wall so that the cleaning gas does not flow from the side. The box 610 is formed to be long in the vertical direction of the drawing, and is particularly considered to be longer than the injection port 111a and the suction ports 112a and 113a, and receives the cleaning gas with certainty.
The support unit 620 is fixed to the lower side of the box 610, and moves the box 610 in the direction of arrow a (direction approaching or moving away from the dust removal head main body 110) by the moving unit 400. The receiving part 600 is like this.

続いて、除塵装置３による除塵動作について説明する。
イオナイザ１２０から放出されたプラスイオン・マイナスイオンを含む洗浄ガスが、除塵ヘッド本体１１０から除塵対象１０へ噴射される。除塵対象１０の除塵は図８を用いて説明した同様の処理であり、重複する説明を省略する。 Next, the dust removal operation by the dust remover 3 will be described.
A cleaning gas containing positive ions and negative ions discharged from the ionizer 120 is jetted from the dust removal head body 110 to the dust removal target 10. The dust removal of the dust removal target 10 is the same process described with reference to FIG.

そして、図１５に示すように、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間が除塵ヘッド１００の直下に到達したとき、除塵ヘッド１００の噴射室１１１（Ｐ）からの洗浄ガスを、受け部６００の箱体６１０の受け面で受ける。このような洗浄ガスは受け面に沿って移動し、最後は側壁に沿って上側へ移動し、上流側吸引室１１２（Ｖ１），下流側吸引室１１３（Ｖ２）にて洗浄ガスが上側に吸引される。噴射量よりも吸引量を多くすることで、除塵対象方向へ吹き漏れるおそれを低減することができる。これにより、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間を通過した洗浄ガスが無用な塵埃を飛散させるということがなくなり、除塵環境を良好に保つ。さらに洗浄ガスを噴出させた状態での連続除塵を可能とし、設備の簡素化や不要な異物混入のおそれの低減も実現している。本形態の除塵装置３はこのようなものである。   Then, as shown in FIG. 15, when the gap between two adjacent dust removal objects 10 reaches just below the dust removal head 100, the cleaning gas from the ejection chamber 111 (P) of the dust removal head 100 is received by the receiving unit. It is received by the receiving surface of 600 box 610. Such cleaning gas moves along the receiving surface, and finally moves upward along the side wall, and the cleaning gas is sucked upward in the upstream suction chamber 112 (V1) and the downstream suction chamber 113 (V2). Is done. By increasing the suction amount more than the injection amount, it is possible to reduce the possibility of blowing out in the dust removal target direction. As a result, the cleaning gas that has passed through the gap between the two adjacent dust removal objects 10 does not scatter unwanted dust, and the dust removal environment is kept good. Furthermore, continuous dust removal in a state where the cleaning gas is ejected is possible, and the simplification of equipment and the reduction of the possibility of unnecessary foreign matters being mixed are realized. The dust removing device 3 of this embodiment is such.

続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図１６は他の形態の除塵装置の除塵時の動作説明図、図１７は他の形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。なお、図１６，図１７では断面図で図示し、側壁部の図示を省略している。除塵装置４は、除塵ヘッド１４０、受け部２００、搬送部３００、移動部４００を備える。除塵装置４は除塵対象１０に対して除塵を行う。先に図１〜図９を用いて説明した除塵装置１と比較すると、本形態の除塵装置４は、除塵ヘッド１４０の構成のみが相違する以外は他の構成は同じであり、同じ構成については同じ符号を付すとともに重複する説明を省略し、除塵ヘッド１４０についてのみ説明する。   Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 16 is a diagram for explaining the operation of another type of dust remover during dust removal, and FIG. 17 is a diagram for explaining the operation of another type of dust remover during jetting between dust removal targets. 16 and 17 are sectional views, and the side wall portions are not shown. The dust removing device 4 includes a dust removing head 140, a receiving unit 200, a transport unit 300, and a moving unit 400. The dust removal device 4 performs dust removal on the dust removal target 10. Compared with the dust removing device 1 described above with reference to FIGS. 1 to 9, the dust removing device 4 of the present embodiment is the same except for the configuration of the dust removing head 140, and the same configuration is used. Only the dust removal head 140 will be described with the same reference numerals being given and redundant description omitted.

このような除塵ヘッド本体１４０は、図１６で示すように、除塵対象の搬送方向（本形態では例示的に図面右から左へ向かう矢印方向とした）に向かって、上流側噴射室１４２（Ｐ１）、吸引室１４１（Ｖ）、下流側噴射室１４３（Ｐ２）となるように並べられて構成されており、搬送部３００の上側に配置されている。吸引室１４１（Ｖ）は図示しない吸気ポンプへ、また、上流側噴射室１４２（Ｐ１）、下流側噴射室１４３（Ｐ２）は図示しない送風ポンプへ接続されるものとする。上流側噴射室１４２および下流側噴射室１４３の噴射口１４２ａ，１４３ａから噴射された洗浄ガスや吹き上げられた塵埃は周囲のエアとともに、吸引口１４１ａを通じて吸引室１４１へ吸引される。この塵埃を含むエアは、除塵ヘッド１４０の排気口、排気流路、および、排気配管を介して、外部へ排気される。除塵ヘッド１４０はこのようなものである。   As shown in FIG. 16, such a dust removal head main body 140 has an upstream injection chamber 142 (P1) in a dust removal target conveyance direction (in this embodiment, an arrow direction from the right to the left in the drawing is illustrative). ), The suction chamber 141 (V), and the downstream injection chamber 143 (P2) are arranged side by side, and are arranged on the upper side of the transfer unit 300. The suction chamber 141 (V) is connected to an intake pump (not shown), and the upstream injection chamber 142 (P1) and the downstream injection chamber 143 (P2) are connected to a blower pump (not shown). Cleaning gas and dust blown up from the injection ports 142a and 143a of the upstream injection chamber 142 and the downstream injection chamber 143 are sucked into the suction chamber 141 through the suction port 141a together with the surrounding air. The air containing the dust is exhausted to the outside through the exhaust port of the dust removal head 140, the exhaust passage, and the exhaust pipe. The dust removal head 140 is like this.

続いて、除塵装置４による除塵動作について説明する。
上流側噴射室１４２で流入口から洗浄ガスを流入させ、イオナイザ１２０から放出されたプラスイオン・マイナスイオンを洗浄ガスに加え、噴射口１４２ａから噴射させる。同様に下流側噴射室１４３で流入口から洗浄ガスを流入させ、イオナイザ１２０から放出されたプラスイオン・マイナスイオンを洗浄ガスに加え、噴射口１４３ａから噴射させる。 Subsequently, a dust removal operation by the dust remover 4 will be described.
In the upstream injection chamber 142, the cleaning gas is introduced from the inflow port, and positive ions and negative ions discharged from the ionizer 120 are added to the cleaning gas and injected from the injection port 142a. Similarly, in the downstream injection chamber 143, the cleaning gas is introduced from the inlet, and the positive ions and the negative ions discharged from the ionizer 120 are added to the cleaning gas and injected from the injection port 143a.

複数の除塵対象１０が、所定の間隔を隔てて搬送部３００上を順次搬送され、逐次除塵が行われるものとする。この場合除塵ヘッド１４０は、上流側噴射室１４２（Ｐ１）および下流側噴射室１４３（Ｐ２）による洗浄ガスの噴射、および、吸引室１４１（Ｖ）による塵埃の吸引を常時行っているものとする。   It is assumed that the plurality of dust removal targets 10 are sequentially transported on the transport unit 300 at a predetermined interval, and dust removal is performed sequentially. In this case, it is assumed that the dust removal head 140 always performs cleaning gas injection by the upstream injection chamber 142 (P1) and the downstream injection chamber 143 (P2), and dust suction by the suction chamber 141 (V). .

まず、除塵される除塵対象１０が、図１６で示すように、除塵ヘッド１４０の直下を、搬送方向に搬送される。この場合、除塵対象１０の上面が除塵対象面となる。除塵ヘッド１４０では、上流側噴射室１４２（Ｐ１）および下流側噴射室１４３（Ｐ２）から洗浄ガスが除塵対象１０の除塵対象面に噴射され、飛散した塵埃が吸引室１４１（Ｖ）にて吸引されることにより、除塵対象１０の除塵対象面の除塵が行われることになる。   First, as shown in FIG. 16, the dust removal target 10 to be removed is transported in the transport direction directly under the dust removal head 140. In this case, the upper surface of the dust removal target 10 is the dust removal target surface. In the dust removal head 140, the cleaning gas is jetted from the upstream jet chamber 142 (P1) and the downstream jet chamber 143 (P2) to the dust removal target surface of the dust removal target 10, and the scattered dust is sucked in the suction chamber 141 (V). By doing so, dust removal of the dust removal target surface of the dust removal target 10 is performed.

そしてそのまま搬入が続いて、図１７で示すように、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間が除塵ヘッド１４０の直下に到達したとき、除塵ヘッド１４０の上流側噴射室１４２（Ｐ１）および下流側噴射室１４３（Ｐ２）からの洗浄ガスが通過孔２４０を通過し、受け部２００の受け空間２３０の曲面（半円筒体２１０の内側の半円状の曲面）で受ける。このような洗浄ガスは曲面に沿って移動したり、対向板２２０の裏面に到達して方向を転換させて通過孔２４０へ移動したりする。しかしながら、上流側噴射室１４２（Ｐ１）および下流側噴射室１４３（Ｐ２）からの噴射流により流路は一旦降下した後に中央から上昇する経路を取り、吸引室１４１（Ｖ）にて洗浄ガスが上側に吸引される。噴射量よりも吸引量を多くすることで、除塵対象方向へ吹き漏れるおそれを低減することができる。また両側の噴射流も除塵対象方向へ吹き漏れるおそれを低減する。これにより、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間を通過した洗浄ガスが無用な塵埃を飛散させるということがなくなり、除塵環境を良好に保つ。さらに洗浄ガスを噴出させた状態での連続除塵を可能とし、設備の簡素化や不要な異物混入のおそれの低減も実現している。本形態の除塵装置４はこのようなものである。   Then, the carry-in is continued, and when the gap between the two adjacent dust removal objects 10 reaches just below the dust removal head 140 as shown in FIG. 17, the upstream side injection chamber 142 (P1) of the dust removal head 140 and The cleaning gas from the downstream injection chamber 143 (P2) passes through the passage hole 240 and is received by the curved surface of the receiving space 230 of the receiving portion 200 (the semicircular curved surface inside the semicylindrical body 210). Such cleaning gas moves along a curved surface, or reaches the back surface of the counter plate 220 and changes its direction to move to the passage hole 240. However, the flow path once descends due to the jet flow from the upstream side injection chamber 142 (P1) and the downstream side injection chamber 143 (P2), and then takes a path that rises from the center. Sucked upward. By increasing the suction amount more than the injection amount, it is possible to reduce the possibility of blowing out in the dust removal target direction. Moreover, the possibility that the jets on both sides also blow off in the direction of the dust removal object is reduced. As a result, the cleaning gas that has passed through the gap between the two adjacent dust removal objects 10 does not scatter unwanted dust, and the dust removal environment is kept good. Furthermore, continuous dust removal in a state where the cleaning gas is ejected is possible, and the simplification of equipment and the reduction of the possibility of unnecessary foreign matters being mixed are realized. The dust removing device 4 of this embodiment is like this.

続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図１８は他の形態の除塵装置の除塵時の動作説明図、図１９は他の形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。なお、図１８，図１９では断面図で図示し、側壁部の図示を省略している。除塵装置５は、除塵ヘッド１５０、受け部２００、搬送部３００、移動部４００を備える。除塵装置５は除塵対象１０に対して除塵を行う。先に図１〜図９を用いて説明した除塵装置１と比較すると、本形態の除塵装置５は、除塵ヘッド１５０の構成のみが相違する以外は他の構成は同じであり、同じ構成については同じ符号を付すとともに重複する説明を省略し、除塵ヘッド１５０についてのみ説明する。   Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 18 is a diagram for explaining the operation of the dust removing device of another embodiment at the time of dust removal, and FIG. 19 is a diagram for explaining the operation of the dust removing device of another embodiment at the time of ejection between dust removal objects. 18 and 19 are cross-sectional views, and the side walls are not shown. The dust removing device 5 includes a dust removing head 150, a receiving unit 200, a transport unit 300, and a moving unit 400. The dust removing device 5 removes dust from the dust removal target 10. Compared with the dust removing device 1 described above with reference to FIGS. 1 to 9, the dust removing device 5 of the present embodiment is the same except for the configuration of the dust removing head 150. Only the dust removal head 150 will be described with the same reference numerals attached and the redundant description omitted.

このような除塵ヘッド１５０は、図１８で示すように、除塵対象の搬送方向（本形態では例示的に図面右から左へ向かう矢印方向とした）に向かって、上流側噴射室１５１（Ｐ）、下流側吸引室１５２（Ｖ）、となるように並べられて構成されており、搬送部３００の上側に配置されている。上流側噴射室１５１（Ｐ）は図示しない送風ポンプへ、また、下流側吸引室１５２（Ｖ）は図示しない吸気ポンプへ接続されるものとする。噴射口１５１ａから噴射された洗浄ガスや吹き上げられた塵埃は周囲のエアとともに、吸引口１５２ａを通じて下流側吸引室１５２へ吸引される。この塵埃を含むエアは、除塵ヘッド１５０の排気口、排気流路、および、排気配管を介して、外部へ排気される。除塵ヘッド１５０はこのようなものである。   As shown in FIG. 18, such a dust removal head 150 has an upstream injection chamber 151 (P) in the dust removal target conveyance direction (in this embodiment, an arrow direction from the right to the left in the drawing is illustrative). The downstream suction chambers 152 (V) are arranged side by side, and are arranged on the upper side of the transport unit 300. The upstream injection chamber 151 (P) is connected to a blower pump (not shown), and the downstream suction chamber 152 (V) is connected to an intake pump (not shown). The cleaning gas and dust blown up from the injection port 151a are sucked into the downstream suction chamber 152 through the suction port 152a together with the surrounding air. The air containing the dust is exhausted to the outside through the exhaust port of the dust removal head 150, the exhaust passage, and the exhaust pipe. The dust removal head 150 is like this.

続いて、除塵装置５による除塵動作について説明する。
上流側噴射室１５１で流入口から洗浄ガスを流入させ、イオナイザ１２０から放出されたプラスイオン・マイナスイオンを洗浄ガスに加え、噴射口１５１ａから噴射させる。
複数の除塵対象１０が、所定の間隔を隔てて搬送部３００上を順次搬送され、逐次除塵が行われるものとする。この場合除塵ヘッド１５０は、上流側噴射室１５１（Ｐ）による洗浄ガスの噴射、および、下流側吸引室１５２（Ｖ）による塵埃の吸引を常時行っているものとする。 Next, the dust removal operation by the dust remover 5 will be described.
In the upstream injection chamber 151, the cleaning gas is introduced from the inlet, and the positive ions and negative ions released from the ionizer 120 are added to the cleaning gas and injected from the injection port 151a.
It is assumed that the plurality of dust removal targets 10 are sequentially transported on the transport unit 300 at a predetermined interval, and dust removal is performed sequentially. In this case, it is assumed that the dust removal head 150 always performs the cleaning gas injection by the upstream injection chamber 151 (P) and the dust suction by the downstream suction chamber 152 (V).

まず、図１８で示すように、除塵される除塵対象１０が、除塵ヘッド１５０の直下を、搬送方向に搬送される。この場合、除塵対象１０の上面が除塵対象面となる。除塵ヘッド１５０では、上流側噴射室１５１（Ｐ）から洗浄ガスが除塵対象１０の除塵対象面に噴射され、飛散した塵埃が下流側吸引室１５２（Ｖ）にて吸引されることにより、除塵対象１０の除塵対象面の除塵が行われることになる。   First, as shown in FIG. 18, the dust removal target 10 to be removed is transported in the transport direction directly under the dust removal head 150. In this case, the upper surface of the dust removal target 10 is the dust removal target surface. In the dust removal head 150, the cleaning gas is injected from the upstream injection chamber 151 (P) onto the dust removal target surface of the dust removal target 10, and the scattered dust is sucked in the downstream suction chamber 152 (V), thereby removing the dust. Ten dust removal target surfaces are removed.

そしてそのまま搬入が続いて、図１９で示すように、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間が除塵ヘッド１５０の直下に到達したとき、除塵ヘッド１５０の上流側噴射室１５１（Ｐ）からの洗浄ガスが通過孔２４０を通過し、受け部２００の受け空間２３０の曲面（半円筒体２１０の内側の半円状の曲面）で受ける。このような洗浄ガスは曲面に沿って移動したり、対向板２２０の裏面に到達して方向を転換させて通過孔２４０へ移動し、下流側吸引室１５２（Ｖ）にて洗浄ガスが上側に吸引される。噴射量よりも吸引量を多くすることで、除塵対象方向へ吹き漏れるおそれを低減することができる。隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間を通過した洗浄ガスが無用な塵埃を飛散させるということがなくなり、除塵環境を良好に保つ。さらに洗浄ガスを噴出させた状態での連続除塵を可能とし、設備の簡素化や不要な異物混入のおそれの低減も実現している。本形態の除塵装置５はこのようなものである。   Then, the carrying-in continues, and as shown in FIG. 19, when the gap between the two adjacent dust removal objects 10 reaches just below the dust removal head 150, the upstream ejection chamber 151 (P) of the dust removal head 150 The cleaning gas passes through the passage hole 240 and is received by the curved surface of the receiving space 230 of the receiving portion 200 (the semicircular curved surface inside the semicylindrical body 210). Such cleaning gas moves along the curved surface, or reaches the back surface of the counter plate 220 and changes its direction to move to the passage hole 240. The cleaning gas is moved upward in the downstream suction chamber 152 (V). Sucked. By increasing the suction amount more than the injection amount, it is possible to reduce the possibility of blowing out in the dust removal target direction. The cleaning gas that has passed through the gap between the two adjacent dust removal objects 10 does not scatter unwanted dust, and the dust removal environment is kept good. Furthermore, continuous dust removal in a state where the cleaning gas is ejected is possible, and the simplification of equipment and the reduction of the possibility of unnecessary foreign matters being mixed are realized. The dust removing device 5 of this embodiment is like this.

続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図２０は他の形態の除塵装置の除塵時の動作説明図、図２１は他の形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。なお、図２０，図２１では断面図で図示し、側壁部の図示を省略している。除塵装置６は、除塵ヘッド１６０、受け部２００、搬送部３００、移動部４００を備える。除塵装置６は除塵対象１０に対して除塵を行う。先に図１〜図９を用いて説明した除塵装置１と比較すると、本形態の除塵装置６は、除塵ヘッド１６０の構成のみが相違する以外は他の構成は同じであり、同じ構成については同じ符号を付すとともに重複する説明を省略し、除塵ヘッド１６０についてのみ説明する。   Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 20 is a diagram for explaining the operation of the dust removing device of another embodiment at the time of dust removal, and FIG. 21 is a diagram for explaining the operation of the dust removing device of another embodiment at the time of injection between dust removal objects. 20 and 21 are cross-sectional views, and the side walls are not shown. The dust removing device 6 includes a dust removing head 160, a receiving unit 200, a transport unit 300, and a moving unit 400. The dust removal device 6 performs dust removal on the dust removal target 10. Compared with the dust removing device 1 described above with reference to FIGS. 1 to 9, the dust removing device 6 of the present embodiment is the same except for the configuration of the dust removing head 160. Only the dust removal head 160 will be described with the same reference numerals attached and the redundant description omitted.

このような除塵ヘッド１６０は、図２０で示すように、除塵対象の搬送方向（本形態では例示的に図面右から左へ向かう矢印方向とした）に向かって、上流側吸引室１６１（Ｖ）、下流側噴射室１６２（Ｐ）、となるように並べられて構成されており、搬送部３００の上側に配置されている。上流側吸引室１６１（Ｖ）は図示しない吸気ポンプへ、また、下流側噴射室１６２（Ｐ）は図示しない送風ポンプへ接続されるものとする。噴射口１６２ａから噴射された洗浄ガスや吹き上げられた塵埃は周囲のエアとともに、吸引口１６１ａを通じて上流側吸引室１６１へ吸引される。この塵埃を含むエアは、除塵ヘッド１６０の排気口、排気流路、および、排気配管を介して、外部へ排気される。除塵ヘッド１６０はこのようなものである。   As shown in FIG. 20, such a dust removal head 160 has an upstream suction chamber 161 (V) in the direction in which dust is to be removed (in this embodiment, the arrow direction from the right to the left in the drawing is illustrative). The downstream injection chambers 162 (P) are arranged side by side, and are arranged on the upper side of the transport unit 300. The upstream suction chamber 161 (V) is connected to an intake pump (not shown), and the downstream injection chamber 162 (P) is connected to a blower pump (not shown). The cleaning gas and dust blown up from the injection port 162a are sucked into the upstream suction chamber 161 through the suction port 161a together with the surrounding air. The air containing the dust is exhausted to the outside through the exhaust port of the dust removal head 160, the exhaust passage, and the exhaust pipe. The dust removal head 160 is like this.

続いて、除塵装置６による除塵動作について説明する。
下流側噴射室１６２で流入口から洗浄ガスを流入させ、イオナイザ１２０から放出されたプラスイオン・マイナスイオンを洗浄ガスに加え、噴射口１６２ａから噴射させる。
複数の除塵対象１０が、所定の間隔を隔てて搬送部３００上を順次搬送され、逐次除塵が行われるものとする。この場合除塵ヘッド１６０は、下流側噴射室１６２（Ｐ）による洗浄ガスの噴射、および、上流側吸引室１６１（Ｖ）による塵埃の吸引を常時行っているものとする。 Next, the dust removal operation by the dust remover 6 will be described.
In the downstream injection chamber 162, the cleaning gas is introduced from the inflow port, and positive ions and negative ions discharged from the ionizer 120 are added to the cleaning gas and injected from the injection port 162a.
It is assumed that the plurality of dust removal targets 10 are sequentially transported on the transport unit 300 at a predetermined interval, and dust removal is performed sequentially. In this case, it is assumed that the dust removal head 160 constantly performs cleaning gas injection by the downstream injection chamber 162 (P) and dust suction by the upstream suction chamber 161 (V).

まず、図２０で示すように、除塵される除塵対象１０が、除塵ヘッド１６０の直下を、搬送方向に搬送される。この場合、除塵対象１０の上面が除塵対象面となる。除塵ヘッド１６０では、下流側噴射室１６２（Ｐ）から洗浄ガスが除塵対象１０の除塵対象面に噴射され、飛散した塵埃が上流側吸引室１６１（Ｖ）にて吸引されることにより、除塵対象１０の除塵対象面の除塵が行われることになる。   First, as shown in FIG. 20, the dust removal target 10 to be removed is transported in the transport direction directly under the dust removal head 160. In this case, the upper surface of the dust removal target 10 is the dust removal target surface. In the dust removal head 160, the cleaning gas is jetted from the downstream injection chamber 162 (P) onto the dust removal target surface of the dust removal target 10, and the scattered dust is sucked in the upstream suction chamber 161 (V), whereby the dust removal target. Ten dust removal target surfaces are removed.

そしてそのまま搬入が続いて、図２１で示すように、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間が除塵ヘッド１６０の直下に到達したとき、除塵ヘッド１６０の下流側噴射室１６２（Ｐ）から洗浄ガスが通過孔２４０を通過し、受け部２００の受け空間２３０の曲面（半円筒体２１０の内側の半円状の曲面）で受ける。このような洗浄ガスは曲面２３０に沿って移動したり、対向板２２０の裏面に到達して方向を転換させて通過孔２４０へ向けて移動し、上流側吸引室１６１（Ｖ）にて洗浄ガスが上側に吸引される。噴射量よりも吸引量を多くすることで、除塵対象方向へ吹き漏れるおそれを低減することができる。隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間を通過した洗浄ガスが無用な塵埃を飛散させるということがなくなり、除塵環境を良好に保つ。さらに洗浄ガスを噴出させた状態での連続除塵を可能とし、設備の簡素化や不要な異物混入のおそれの低減も実現している。本形態の除塵装置６はこのようなものである。   Then, the carry-in is continued, and as shown in FIG. 21, when the gap between the two adjacent dust removal objects 10 reaches just below the dust removal head 160, the downstream ejection chamber 162 (P) of the dust removal head 160 The cleaning gas passes through the passage hole 240 and is received by the curved surface of the receiving space 230 of the receiving portion 200 (the semicircular curved surface inside the semicylindrical body 210). Such a cleaning gas moves along the curved surface 230, or reaches the back surface of the counter plate 220, changes its direction, moves toward the passage hole 240, and is cleaned in the upstream suction chamber 161 (V). Is sucked upward. By increasing the suction amount more than the injection amount, it is possible to reduce the possibility of blowing out in the dust removal target direction. The cleaning gas that has passed through the gap between the two adjacent dust removal objects 10 does not scatter unwanted dust, and the dust removal environment is kept good. Furthermore, continuous dust removal in a state where the cleaning gas is ejected is possible, and the simplification of equipment and the reduction of the possibility of unnecessary foreign matter mixing are realized. The dust removing device 6 of this embodiment is like this.

また、更なる変形形態が可能であり、例えば、図１６，図１７で説明した除塵ヘッド１４０、図１８，図１９で説明した除塵ヘッド１５０、図２０，図２１で説明した除塵ヘッド１６０に対して、図１０，図１１を用いて説明した受け部５００を対向させた除塵装置としても良い。一例として、図１６，図１７で説明した除塵ヘッド１４０に対して、図１０，図１１を用いて説明した受け部５００を対向させた除塵装置について図を参照しつつ説明する。図２２は、他の形態の除塵装置の説明図である。このような円弧体５１０に噴射口１４２ａ，１４３ａから洗浄ガスを噴射しても洗浄ガスを受けて吸引口１４１ａから吸引させることができ、本発明の除塵装置７として機能する。
また、図１８，図１９で説明した除塵ヘッド１５０に対して、図１０，図１１を用いて説明した受け部５００を対向させた除塵装置や、図２０，図２１で説明した除塵ヘッド１６０に対して、図１０，図１１を用いて説明した受け部５００を対向させた除塵装置でも同様に機能する。このような除塵装置としても良い。 Further modifications are possible, for example, with respect to the dust removal head 140 described in FIGS. 16 and 17, the dust removal head 150 described in FIGS. 18 and 19, and the dust removal head 160 described in FIGS. 20 and 21. Thus, a dust removing device in which the receiving portion 500 described with reference to FIGS. As an example, a dust removing device in which the receiving portion 500 described with reference to FIGS. 10 and 11 is opposed to the dust removing head 140 described with reference to FIGS. 16 and 17 will be described with reference to the drawings. FIG. 22 is an explanatory view of another type of dust removing device. Even when the cleaning gas is jetted from the jet ports 142a and 143a onto the arcuate body 510, the cleaning gas can be received and sucked from the suction port 141a, and functions as the dust removing device 7 of the present invention.
In addition, the dust removing device 150 described with reference to FIGS. 10 and 11 or the dust removing head 160 described with reference to FIGS. On the other hand, the dust remover with the receiving portion 500 described with reference to FIGS. 10 and 11 functions similarly. Such a dust removing device may be used.

また、更なる変形形態が可能であり、例えば、図１６，図１７で説明した二個の噴射口１４２ａ，１４３ａを有する除塵ヘッド１４０に対して、二個の円弧体による受け部を対向させた除塵装置としても良い。図２３は、他の形態の除塵装置の説明図である。第１支持部５３０、第１円弧体５４０からなる受け部が第１移動部４１０により矢印ｂ方向に移動可能に構成されており、第１円弧体５４０は噴射口１４２ａの下側に配置される。同様に第２支持部５５０、第２円弧体５６０からなる受け部が第２移動部４２０により矢印ｃ方向に移動可能に構成されており、第２円弧体５６０は噴射口１４３ａの下側に配置される。このような第１円弧体５４０、第２円弧体５６０に噴射口１４２ａ，１４３ａから洗浄ガスを噴射しても洗浄ガスを受けて吸引口１４１ａから吸引させることができ、本発明の除塵装置８として機能する。このような除塵装置８としても良い。   Further modifications are possible. For example, the receiving portion formed by the two arcuate bodies is opposed to the dust removing head 140 having the two ejection ports 142a and 143a described with reference to FIGS. A dust removing device may be used. FIG. 23 is an explanatory view of another type of dust removing device. A receiving portion including the first support portion 530 and the first arcuate body 540 is configured to be movable in the direction of arrow b by the first moving unit 410, and the first arcuate body 540 is disposed below the injection port 142a. . Similarly, the receiving portion including the second support portion 550 and the second arcuate body 560 is configured to be movable in the direction of the arrow c by the second moving unit 420, and the second arcuate body 560 is disposed below the injection port 143a. Is done. Even if the cleaning gas is sprayed from the jet ports 142a and 143a to the first arc body 540 and the second arc body 560, the cleaning gas can be received and sucked from the suction port 141a. Function. Such a dust removing device 8 may be used.

以上説明した本形態の除塵装置１〜８は、さらなる変形形態が可能であり、例えば、受け部２００，５００，６００の下側に吸引ホースを連通させ、受け空間に流れ込む洗浄ガスを吸引ホースを通じて排気ポンプで他の箇所へ排気したり、または、除塵に影響のない箇所に吸引ホースの他端を配置してそのまま放出排気するようにしても良い。
さらには除塵ヘッド１１０，１４０，１５０，１６０のイオナイザ１２０を取り去った形態、除塵ヘッド１１０，１４０，１５０，１６０のイオナイザに代えて超音波発振子を搭載した形態、除塵ヘッド１１０，１４０，１５０，１６０のイオナイザ１２０に超音波発振子も加えた形態としても良い。このような形態としても本発明の実施は可能である。 The dust removing apparatuses 1 to 8 of the present embodiment described above can be further modified. For example, the suction hose is connected to the lower side of the receiving portions 200, 500, and 600, and the cleaning gas flowing into the receiving space is passed through the suction hose. An exhaust pump may be used for exhausting to another location, or the other end of the suction hose may be disposed at a location where there is no influence on dust removal and discharged as it is.
Furthermore, a form in which the ionizer 120 of the dust removal heads 110, 140, 150, 160 is removed, a form in which an ultrasonic oscillator is mounted instead of the ionizer of the dust removal heads 110, 140, 150, 160, a dust removal head 110, 140, 150, An ultrasonic oscillator may be added to the 160 ionizer 120. Even in such a form, the present invention can be implemented.

本発明を実施するための最良の形態の除塵装置の側面図である。It is a side view of the dust removing apparatus of the best form for implementing this invention. 本発明を実施するための最良の形態の除塵装置の断面図である。It is sectional drawing of the dust removal apparatus of the best form for implementing this invention. 本発明を実施するための最良の形態の除塵装置の斜視外観図である。1 is a perspective external view of a dust removing apparatus of the best mode for carrying out the present invention. 除塵ヘッドの内外構造を示す図であって、図４（ａ）はＡ矢視図、図４（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図、図４（ｃ）はＣ−Ｃ線断面図である。FIGS. 4A and 4B are diagrams showing an internal and external structure of the dust removal head, in which FIG. 4A is a view taken along an arrow A, FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line BB, and FIG. . Ｃ−Ｃ線断面の斜視図である。It is a perspective view of a CC line section. 除塵ヘッドの内部構造を示す図であって、図６（ａ）はＤ−Ｄ線断面図、図６（ｂ）はＥ−Ｅ線断面図である。FIG. 6A is a cross-sectional view taken along the line DD, and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the line EE. 受け部の構成図である。It is a block diagram of a receiving part. 本発明を実施するための最良の形態の除塵時の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing at the time of dust removal of the best form for implementing this invention. 本発明を実施するための最良の形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing at the time of the injection between the dust removal objects of the dust removal apparatus of the best form for implementing this invention. 他の形態の除塵装置の側面図である。It is a side view of the dust removing device of another form. 他の形態の除塵装置の断面図である。It is sectional drawing of the dust removal apparatus of another form. 円弧体の製造を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining manufacture of a circular arc body. 他の形態の除塵装置の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing of the dust removal apparatus of another form. 他の形態の除塵装置の側面図である。It is a side view of the dust removing device of another form. 他の形態の除塵装置の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing of the dust removal apparatus of another form. 他の形態の除塵装置の除塵時の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing at the time of dust removal of the dust removal apparatus of another form. 他の形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing at the time of the injection between the dust removal objects of the dust removal apparatus of another form. 他の形態の除塵装置の除塵時の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing at the time of dust removal of the dust removal apparatus of another form. 他の形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing at the time of the injection between the dust removal objects of the dust removal apparatus of another form. 他の形態の除塵装置の除塵時の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing at the time of dust removal of the dust removal apparatus of another form. 他の形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing at the time of the injection between the dust removal objects of the dust removal apparatus of another form. 他の形態の除塵装置の説明図である。It is explanatory drawing of the dust removal apparatus of another form. 他の形態の除塵装置の説明図である。It is explanatory drawing of the dust removal apparatus of another form.

符号の説明Explanation of symbols

１，２，３，４，５，６，７，８：除塵装置
１０：除塵対象
１００：除塵ヘッド
１１０：除塵ヘッド本体
１１１：噴射室
１１１ａ：噴射口
１１１ｂ：流入口
１１１ｃ：噴射室底部
１１２：上流側吸引室
１１２ａ：吸引口
１１２ｂ：排気口
１１２ｃ：吸引室底部
１１３：下流側吸引室
１１３ａ：吸引口
１１３ｂ：排気口
１１３ｃ：吸引室底部
１１４：天板
１１５ａ，１１５ｂ：側壁
１１６ａ，１１６ｂ：内壁
１１６ｃ：隔壁
１１６ｄ：溝部
１１６ｅ：通過孔
１２０：イオナイザ
１２１：突出部
１２２：エミッタ
１２３：切り欠き部
１２４：通過孔
１３０：側壁部
１４０：除塵ヘッド
１４１：吸引室
１４１：吸引口
１４２：上流側噴射室
１４２ａ：噴射口
１４３：下流側噴射室
１４３ａ：噴射口
１５０：除塵ヘッド
１５１：上流側噴射室
１５１ａ：噴射口
１５２：下流側吸引室
１５２ａ：吸引口
１６０：除塵ヘッド
１６１：上流側吸引室
１６１ａ：吸引口
１６２：下流側噴射室
１６２ａ：噴射口
２００：受け部
２１０：半円筒体
２２０：対向板
２３０：受け空間
２４０：通過孔
２５０：支持部
２６０：側壁
３００：搬送部
４００：移動部
４１０：第１移動部
４２０：第２移動部
５００：受け部
５１０：円弧体
５２０：支持部
５３０：第１支持部
５４０：第１円弧体
５５０：第２支持部
５６０：第２円弧体
６００：受け部
６１０：箱体
６２０：支持部 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8: Dust removal device 10: Dust removal target 100: Dust removal head 110: Dust removal head body 111: Injection chamber 111a: Injection port 111b: Inflow port 111c: Injection chamber bottom 112: Upstream suction chamber 112a: Suction port 112b: Exhaust port 112c: Suction chamber bottom 113: Downstream suction chamber 113a: Suction port 113b: Exhaust port 113c: Suction chamber bottom 114: Top plates 115a, 115b: Side walls 116a, 116b: Inner walls 116c: Partition 116d: Groove 116e: Passage hole 120: Ionizer 121: Protrusion 122: Emitter 123: Notch 124: Passage hole 130: Side wall 140: Dust removal head 141: Suction chamber 141: Suction port 142: Upstream injection Chamber 142a: Injection port 143: Downstream injection chamber 143a: Injection port 150: Dust removal head 151: Upstream injection chamber 151a Ejection port 152: Downstream suction chamber 152a: Suction port 160: Dust removal head 161: Upstream suction chamber 161a: Suction port 162: Downstream ejection chamber 162a: Ejection port 200: Receiving part 210: Semi-cylindrical body 220: Counter plate 230 : Receiving space 240: passage hole 250: support part 260: side wall 300: transport part 400: moving part 410: first moving part
420: second moving unit 500: receiving unit 510: arc body 520: support unit 530: first support unit 540: first arc unit 550: second support unit 560: second arc unit 600: receiving unit 610: box 620: support part

Claims (12)

吸引口を有する吸引室、および、噴射口を有する噴射室、をそれぞれ少なくとも各１個有する除塵ヘッドと、
除塵ヘッド内へ複数の除塵対象を順次搬送する搬送部と、
除塵ヘッドに対向するように配置され、噴射室の噴射口から噴射された洗浄ガスを受けて方向を転換させる受け部と、
を備え、
除塵対象に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、除塵対象から跳ね返る洗浄ガスをその吸引口から吸引し、また、
隣接する二個の除塵対象間の隙間に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、受け部で方向を転換させた洗浄ガスをその吸引口から吸引することを特徴とする除塵装置。 A dust removing head having at least one each of a suction chamber having a suction port and a jet chamber having a jet port;
A transport unit that sequentially transports a plurality of dust removal targets into the dust removal head;
A receiving portion that is disposed so as to face the dust removal head and changes the direction by receiving the cleaning gas injected from the injection port of the injection chamber;
With
The suction chamber when spraying the cleaning gas from the injection port of the injection chamber toward the dust removal target sucks the cleaning gas that bounces off the dust removal target from the suction port,
The suction chamber when injecting the cleaning gas from the injection port of the injection chamber toward the gap between two adjacent dust removal objects sucks the cleaning gas whose direction has been changed by the receiving portion from the suction port. Dust removal device. 請求項１に記載の除塵装置において、
前記受け部は、洗浄ガスが通過する通過孔と、平面と曲面とにより仕切られて通過孔と連通する断面弓形空間であって曲面が吸引口や噴射口と対向するとともに平面が除塵対象の搬送方向と略平行に位置する受け空間と、を含み、
噴射室の噴射口から噴射されて通過孔を通過した洗浄ガスを受け空間の曲面で受けた後に受け空間の平面で方向を転換させ、吸引室の吸引口から吸引することを特徴とする除塵装置。 The dust removing device according to claim 1,
The receiving portion is a cross-sectional arcuate space that is partitioned by a passage hole through which the cleaning gas passes and a plane and a curved surface and communicates with the passage hole. The curved surface faces the suction port and the injection port, and the plane is a carrier for dust removal. A receiving space located substantially parallel to the direction,
A dust remover characterized by receiving a cleaning gas injected from an injection port of an injection chamber and passing through a passage hole, receiving the gas on the curved surface of the space, then changing the direction on the plane of the receiving space and sucking it from the suction port of the suction chamber . 請求項１に記載の除塵装置において、
除塵対象の搬送方向と略平行の表面を有する対向板と、
対向板に形成され、噴射口と吸引口とが面する通過孔と、
対向板に固定される半円筒体と、
対向板の平面と半円筒体の曲面とにより仕切られ、半円筒体の曲面が吸引口や噴射口と対向するとともに対向板の平面が除塵対象の搬送方向と略平行に位置する断面弓形空間であって通過孔と連通する受け空間と、
を備え、
噴射室の噴射口から噴射されて通過孔を通過した洗浄ガスを受け空間の曲面で受けた後に受け空間の平面で方向を転換させ、吸引室の吸引口から吸引することを特徴とする除塵装置。 The dust removing device according to claim 1,
A counter plate having a surface substantially parallel to the conveying direction of the dust removal object;
A through hole formed in the opposing plate and facing the injection port and the suction port;
A semi-cylindrical body fixed to the opposing plate;
A cross-sectional arcuate space that is partitioned by the plane of the opposing plate and the curved surface of the semi-cylindrical body, the curved surface of the semi-cylindrical body is opposed to the suction port and the ejection port, and the plane of the opposing plate is positioned substantially parallel to the conveying direction of the dust removal target. A receiving space communicating with the passage hole,
With
A dust remover characterized by receiving a cleaning gas injected from an injection port of an injection chamber and passing through a passage hole, receiving the gas on the curved surface of the space, then changing the direction on the plane of the receiving space and sucking it from the suction port of the suction chamber . 請求項１に記載の除塵装置において、
前記受け部は、
噴射口と吸引口とが面する曲面状の受け面を有する円弧体を備え、円弧体の受け面で方向を転換させた洗浄ガスを吸引室の吸引口から吸引することを特徴とする除塵装置。 The dust removing device according to claim 1,
The receiving part is
A dust removing device comprising a circular arc body having a curved receiving surface facing an injection port and a suction port, and suctioning a cleaning gas whose direction is changed by the receiving surface of the circular arc body from a suction port of a suction chamber . 請求項１に記載の除塵装置において、
前記受け部は、
噴射口と吸引口とが面する平面状の受け面を有する箱体を備え、箱体の受け面で方向を転換させた洗浄ガスを吸引室の吸引口から吸引することを特徴とする除塵装置。 The dust removing device according to claim 1,
The receiving part is
A dust removing device comprising a box having a flat receiving surface facing an injection port and a suction port, wherein the cleaning gas whose direction is changed by the receiving surface of the box is sucked from the suction port of the suction chamber . 請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記除塵ヘッドは、噴射室とこれを挟む上流、下流の吸引室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする除塵装置。 In the dust removal apparatus as described in any one of Claims 1-5,
The dust removing device is characterized in that an ejection chamber and upstream and downstream suction chambers sandwiching the ejection chamber are arranged side by side along a conveyance direction of a dust removal target. 請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記除塵ヘッドは、吸引室とこれを挟む上流、下流の噴射室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする除塵装置。 In the dust removal apparatus as described in any one of Claims 1-5,
The dust removing head is characterized in that a suction chamber and upstream and downstream injection chambers sandwiching the suction chamber are arranged side by side along a conveyance direction of a dust removal target. 請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記除塵ヘッドは、上流の噴射室と下流の吸引室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする除塵装置。 In the dust removal apparatus as described in any one of Claims 1-5,
The dust removing head is characterized in that an upstream ejection chamber and a downstream suction chamber are arranged side by side along the conveyance direction of a dust removal target. 請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記除塵ヘッドは、上流の吸引室と下流の噴射室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする除塵装置。 In the dust removal apparatus as described in any one of Claims 1-5,
The dust removing head is characterized in that an upstream suction chamber and a downstream injection chamber are arranged side by side along the conveying direction of the dust removal target. 請求項１〜請求項９の何れか一項に記載の除塵装置において、
噴射室内に配置されており、高電圧が印加されたエミッタ近傍でイオンを生成するイオナイザを備え、噴射室の噴射口からイオンを含む洗浄ガスを噴射することを特徴とする除塵装置。 In the dust removal apparatus as described in any one of Claims 1-9,
A dust removing device, comprising: an ionizer that is disposed in an injection chamber and that generates ions in the vicinity of an emitter to which a high voltage is applied, and injects a cleaning gas containing ions from an injection port of the injection chamber. 請求項１〜請求項１０の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記受け部を除塵ヘッドに対して離接させる移動部を備えることを特徴とする除塵装置。 In the dust removing apparatus according to any one of claims 1 to 10,
A dust removing device comprising: a moving part that moves the receiving part to and away from the dust removing head. 請求項１１に記載の除塵装置において、
前記受け部および前記移動部を一組とし、複数の噴射部と同数組の前記受け部および前記移動部を設けることを特徴とする除塵装置。 The dust removing device according to claim 11, wherein
A dust removing device comprising the receiving portion and the moving portion as a set, wherein the receiving portion and the moving portion are provided in the same number as a plurality of jetting portions.