JP2010031346A - 酸化亜鉛薄膜及び薄膜積層体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基材上に蒸着プロセスを経て形成される酸化亜鉛薄膜であり、該薄膜はCuKα線を用いたX線回折法により酸化亜鉛の(002)面からの回折線が得られ、最大ピーク強度If(cps:酸化亜鉛)を膜厚(nm)と透明基材が示すハローの最大ピーク強度Is(cps:透明基材)とで除した数が0.15以下とすることとし、さらに該薄膜の波長550nmにおける屈折率が1.98以下とすること。
【選択図】図2
Description
酸化亜鉛薄膜の成膜は、図4に示すような概略構造を有するDCマグネトロンスパッタリング装置を用いて行った。図4は、該装置を上方から観察したときの要部を示すものである。ターゲット1にZnターゲットを用い、透明基材(フロート法で得られたソーダ石灰ケイ酸塩ガラス)3を基材ホルダー2に保持させた後、真空チャンバー8内を、真空ポンプ5を用いて排気した。尚、図3では、ターゲット1は2個描かれているが、本例では、下流側のバッキングプレート11にはターゲットを設けなかった。
CO2流量比を変更した以外は実施例1と同様の手順で酸化亜鉛薄膜を得た。実施例2では、CO2流量比を50体積%、実施例3では、CO2流量比を37体積%、実施例4ではCO2流量比を12体積%とした。
真空チャンバー8内の雰囲気ガスは、ガス導入管7より、O2およびN2ガスを導入し、ガス流量をマスフロコントローラー(図示せず)により制御し、N2流量比[{N2/(O2+N2)}×100]を16体積%とした。CO2ガスをN2ガスに変更した以外は、実施例1と同様の手順で酸化亜鉛薄膜を得た。
N2流量比を50体積%に変更した以外は実施例1と同様の手順で酸化亜鉛薄膜を得た。
CO2やN2を使用せず、O2流量比を100体積%とした以外は、実施例1と同様の手順で酸化亜鉛薄膜を得た。
(1)実施例1乃至6、及び比較例1で得られた酸化亜鉛薄膜の評価
得られた薄膜を、CuKα線を用いたX線回折法にて評価し、薄膜の結晶化指数を評価した。また、屈折率は、自記分光光度計を用いて測定した膜面反射率、ガラス面反射率および透過率から、薄膜光学シミュレーションによって評価し、薄膜の内部応力は、片持ち梁法によって評価した。評価結果を表1に示す。また、結晶化指数と薄膜の内部応力との関係を図2に示す。さらに屈折率と内部応力との関係を図3に示す。結晶化指数の低下に伴い内部応力の低下が見られた。また、屈折率が1.96以下でさらなる内部応力の低下が見られた。
薄膜積層体を、図4に示すような概略構造を有するDCマグネトロンスパッタリング装置を用いて作製した。バッキングプレート11を3個設置し、上流側のターゲット1にZnターゲットを用い、その下流側ターゲット1にAgターゲット、さらに下流側ターゲット1にZnAlO(Al 4wt%含有ZnO)ターゲットを用いた。
第2の酸化亜鉛膜を成膜時にCO2流量比を37体積%とした以外は実施例7と同様の手順で薄膜積層体を得た。
第2の酸化亜鉛膜の成膜中に、CO2を使用せず、N2流量比を16体積%とした以外は、実施例7と同様の手順で低放射積層体を得た。
第2層酸化亜鉛膜の成膜中、CO2やN2を使用せず、O2流量比を100体積%とした以外は、実施例7と同様の手順で低放射積層体を得た。
(2)実施例7及至9、及び比較例2で得られた低放射積層体の評価
薄膜積層体が形成された透明基材を、温度30℃、相対湿度90%の環境下で2週間保持し、20cm角(20cm×20cm=400cm2)の領域内に発生した直径0.3mm以上の欠陥数を計測した。
2 基材ホルダー
3 透明基板
4 カソードマグネット
5 真空ポンプ
6 開閉バルブ
7 ガス導入管
8 真空チャンバー
9 電源コード
10 DC電源
11 バッキングプレート
12 搬送ロール
Claims (4)
- 透明基材上に蒸着プロセスを経て形成される酸化亜鉛薄膜であり、該薄膜はCuKα線を用いたX線回折法により酸化亜鉛の(002)面からの回折線が得られ、最大ピーク強度If(cps:酸化亜鉛)を膜厚(nm)と透明基材が示すハローの最大ピーク強度Is(cps:透明基材)とで除した数が0.15以下であることを特徴とする酸化亜鉛薄膜。
- 酸化亜鉛薄膜の波長550nmにおける屈折率が1.98以下であることを特徴とする請求項1に記載の酸化亜鉛薄膜。
- 膜厚が20〜100nmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の酸化亜鉛薄膜。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の酸化亜鉛薄膜と金属薄膜とを有する薄膜積層体。
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