JP2010027357A - 紫外線照射用光源および光照射器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】紫外線照射用光源の水冷ジャケットの内管と外管を支持するジャケットホルダにリリーフ弁を取り付ける。また、紫外線照射用光源を支持する基台のリリーフ弁の下方に開口を形成し、この開口の下に漏水センサを取り付けた貯水容器を設ける。
【選択図】 図1
Description
また、冷却ジャケットを備えた紫外線照射用光源を使用する光照射器に関する。
1つは、点灯中のランプ100を冷却し適切な温度に保つことである。点灯時のランプ100の発光管の温度は、発光管内の水銀や金属を蒸発させるため500℃〜900℃が適切と言われている。500℃以下になると、ランプ100に封入された水銀等の金属が蒸発しなくなり不点灯を生じる。また、900℃以上になると、発光管を構成する石英が失透する。
まず、冷却水104は、上記した500℃〜900℃の発光管からの輻射熱を吸収する。また、ランプ100から放射される光の中に含まれる、紫外線処理に不要な可視から赤外にかけての光の成分を吸収する。この働きにより、被処理物への加熱を小さく抑えることができる。
しかし、配管の詰まりの発生など何らかの原因で、ランプ100の点灯中に水冷ジャケット101中の冷却水104の流れが停止すると、ランプ100からの熱により、水冷ジャケット101中の冷却水104の温度は上昇し、5分〜10分ほどで沸騰する。
冷却水104が沸騰すると、水冷ジャケット101内の圧力が高くなり、その圧力が水冷ジャケット101の耐圧を超えると、水漏れや破損を引き起こすことがある。
また、冷却水の供給配管や排水配管に流量センサや圧力センサを設けたとしても、冷却水が流れなくなったときに温度が上昇し水漏れや破損などが生じやすいのは水冷ジャケットの部分であるので、水冷ジャケットの圧力や流量は間接的にしか検知できない。
紫外線照射用光源のリリーフ弁が開くと、水冷ジャケット内の水が外に漏れるが、漏れた冷却水は、基台の開口から貯水容器内に進入し、漏水センサが漏水を検知し、光照射器の動作が停止する。
また、リリーフ弁は、電気信号やソフトウエアを介することなく、例えば制御系に電気が供給されていなくても動作するので、二重の安全機構(ダブルセイフ)として、水冷ジャケット内の圧力が上がるのを防ぐことができる。
同図に示すように、棒状の紫外線ランプ100は、二重管型の水冷ジャケット101内に配置される。水冷ジャケット101の内管102と外管103の両端はジャケットホルダ200が挿入されている。
また、ジャケットホルダ200一方には、その下部に貫通孔(ドレイン口)205が形成され、ここにリリーフ弁206を接続する。
リリーフ弁は、主に液体(水や油等)の圧力上昇を防ぐために用いられ、液体の圧力が所定の値(あらかじめ設定された値)になると、その圧力の上昇に応じて自動的に開く機能をもつバルブである。
紫外線ランプ100は、水冷ジャケット101の内管102内に挿入され、ランプ100の発光管外表面と内管102との間にわずかな隙間(例えば1mmから0.5mm)ができるように、両側からランプホルダ206により支持される。
ランプホルダ206はジャケットホルダ200にねじ止めされ、水冷ジャケット101とランプ100とが一体となった紫外線照射用光源を構成する。
プレート209に固定された紫外線照射用光源は、光照射器の基台300載せられて位置決めされる。この基台300にも、紫外線照射用光源から放射される光を通過する開口(光出射口)301が形成されている。
また、基台300の紫外線照射用光源のリリーフ弁206のすぐ下になる位置には、開口303が形成され、その開口303の下には漏水センサ305を取り付けた貯水容器(漏水パン)304が設けられる。
リリーフ弁206が開いて流れ出た冷却水は、開口303から貯水容器304の中に流れ込む。
なお、リリーフ弁206が開く圧力は、水冷ジャケット101の耐水圧力よりも低く、冷却水が流れているときの水圧よりも高く設定する。
同図に示すように、光出射口301の光出射側には紫外線を通過するガラス(例えば石英)303が設けられ、このガラス400を通過した光が、ワークステージ401に載置した被照射物(ワーク)Wに対して照射される。なお、紫外線照射用光源の、光出射口301とは反対側には、紫外線照射用光源からの光を光出射口側に反射するミラー302が設けられる。
紫外線照射用光源の水冷ジャケット101の冷却水入り口108と冷却水出口109には、冷却水循環装置403からの配管が接続され、冷却水が循環する。なお、冷却水出口109と冷却水循環装置403とを結ぶ配管には、流量計404が取り付けられ、水冷ジャケット101内に流れる冷却水の流量を常時測定する。
漏水センサ305は、漏水検知器307に接続され、漏水検知器307は漏水を検知すると、その信号を制御部406に送る。
貯水容器304の中に水が溜まると、漏水センサ305が動作し、漏水検知器407は漏水を検知する。漏水検知器407は、光照射器の制御部406に漏水信号を送る。制御部406はそれに基づき、漏水の警報408をブザーや警報灯などで表示する。
そこで、リリーフ弁206から出た水を利用し、これを漏水センサ305が漏水として検知し、制御部406にその信号を送る。
そのために、リリーフ弁206は貯水容器304できるだけ接近させて設けることが望ましい。貯水容器304は紫外線照射用光源が載る基台300の開口303の下側に取り付けるので、リリーフ弁206は、それに近い水冷ジャケット101のジャケットホルダ200の重力方向下方に取り付ける。
101 水冷ジャケット
104 冷却水
200 ジャケットホルダ
206 リリーフ弁
300 ベースプレート
304 貯水容器
305 漏水センサ
403 冷却水循環装置
405 ランプ点灯装置
406 制御部
407 漏水検知器
Claims (2)
- 発光管の内部に一対の電極を有する紫外線放電ランプを、内管と外管との間に冷却水を流す水冷ジャケット内に配置した紫外線照射用光源において、
上記水冷ジャケットの両端には、上記内管と外管の間隔を保持するジャケットホルダが取り付けられており、
上記ジャケットホルダには、上記冷却水の圧力が高くなると該冷却水を上記水冷ジャケットから排出する弁が取付けられていることを特徴とする紫外線照射用光源。 - 請求項1に記載の紫外線照射用光源を光出射口が形成された基台上に支持し、該基台に形成した光出射口より上記紫外線照射用光源からの光を出射する光照射器において、
上記基台には、上記紫外線照射用光源の弁の下方に開口が形成され、該開口の下には、漏水センサを取り付けた貯水容器が設けられていることを特徴とする光照射器。
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