JP2010006881A - アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物とそれを用いた半導体装置 - Google Patents
アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物とそれを用いた半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010006881A JP2010006881A JP2008165116A JP2008165116A JP2010006881A JP 2010006881 A JP2010006881 A JP 2010006881A JP 2008165116 A JP2008165116 A JP 2008165116A JP 2008165116 A JP2008165116 A JP 2008165116A JP 2010006881 A JP2010006881 A JP 2010006881A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- epoxy resin
- underfill
- resin composition
- epoxy
- amino
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Epoxy Resins (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
【課題】ヒートサイクル時の応力を低減でき、アンダーフィルの密着性が高く、しかも流動性が良好でありブリードが発生することもないアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物とそれを用いた半導体装置を提供する。
【解決手段】常温で液状のエポキシ樹脂、硬化剤、および硬化促進剤を必須成分とするアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物であって、アミノシランカップリング剤とエポキシ基含有オルガノポリシロキサンとの反応生成物であるアミノ変性シロキサンをアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物の全量に対して0.1〜1質量%含有することを特徴とする。
【選択図】なし
【解決手段】常温で液状のエポキシ樹脂、硬化剤、および硬化促進剤を必須成分とするアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物であって、アミノシランカップリング剤とエポキシ基含有オルガノポリシロキサンとの反応生成物であるアミノ変性シロキサンをアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物の全量に対して0.1〜1質量%含有することを特徴とする。
【選択図】なし
Description
本発明は、アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物とそれを用いた半導体装置に関するものである。
近年、樹脂封止型半導体装置は、高密度化、高集積化、および動作の高速化の傾向にあり、従来型のパッケージよりもさらに小型化、薄型化できる半導体チップのパッケージが要求されているが、このような要求に対応するものとしてフリップチップ実装が一般に採用されている。
フリップチップ実装では、半導体チップの外部接続用パッドにバンプ電極を直接形成し、このバンプ電極を用いて回路基板にフェースダウンで接続、搭載する。そして半導体チップと回路基板の間隙にはアンダーフィル材が充填される(特許文献1、2参照)。アンダーフィル材は、半導体チップと回路基板間の熱膨張率の差異によって発生するはんだ接合部の応力を緩和し、耐湿性、気密性を確保するなどの機能を有している。
このような構造のため、実装面積は半導体チップとほぼ同じ面積で済み、さらにバンプの高さは通常数十μm以下と低く、ワイヤボンディング接続の場合のようにワイヤまで樹脂封止する必要がないので実装後の高さも低くすることができ、小型化、薄型化などの要求に応えることができる。
従来、フリップチップ実装に用いられるアンダーフィル材としては液状のエポキシ樹脂組成物などが代表的なものとして用いられているが、Low−k(低誘電率)用途、鉛フリーはんだ用途などのアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物には低応力化が要求されており、低温でのデバイスおよびフィレットの保護と、高温時のバンプ補強を両立させることが重要な課題とされている。従来、アンダーフィルのヒートサイクル時の低応力化を達成するために、シリコーンゴム、シリコーンパウダー、シリコーンオイルなどの低応力化剤をアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物に配合することが提案されている。
特開2004−018718号公報
特開2007−224124号公報
しかしながら、これらの低応力化剤は、アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物の流動性の悪化を生じる場合があり、また低分子量成分のシリコーンオイルを用いた場合にはブリードが発生する場合があった。そのため、アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物の作業性や信頼性を損なうという問題点があった。
本発明は、以上の通りの事情に鑑みてなされたものであり、ヒートサイクル時の応力を低減でき、アンダーフィルの密着性が高く、しかも流動性が良好でありブリードが発生することもないアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物とそれを用いた半導体装置を提供することを課題としている。
本発明は、上記の課題を解決するために、以下のことを特徴としている。
第1に、本発明のアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物は、常温で液状のエポキシ樹脂、硬化剤、および硬化促進剤を必須成分とするアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物であって、アミノシランカップリング剤とエポキシ基含有オルガノポリシロキサンとの反応生成物であるアミノ変性シロキサンをアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物の全量に対して0.1〜1質量%含有することを特徴とする。
第2に、上記第1のアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物において、アミノ変性シロキサンは、100〜120℃で加熱溶融したエポキシ基含有オルガノポリシロキサンに、エポキシ基含有オルガノポリシロキサンに対して5〜30質量%のアミノシランカップリング剤を添加し、10〜30分攪拌混合し反応させて得られたものであることを特徴とする。
第3に、本発明の半導体装置は、上記第1または第2のアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物を用いて半導体チップと回路基板との間が封止されていることを特徴とする。
上記第1の発明によれば、アミノシランカップリング剤とエポキシ基含有オルガノポリシロキサンとの反応生成物であるアミノ変性シロキサンを配合することにより、シロキサン構造に起因してアンダーフィルを低弾性率化してヒートサイクル時の応力を低減することができ、さらにアミノシランカップリング剤のアミノ基に起因してアンダーフィルの密着性を高めることができる。さらに、アミノシランカップリング剤とエポキシ基含有オルガノポリシロキサンとを予め反応させているので、低分子量成分および硬化反応に寄与しない成分が除去され、従ってブリードの発生を防止できる。また、アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物の充填時における流動性を損なうこともない。
上記第2の発明によれば、上記特定のアミノ変性シロキサンを用いることで、上記第1の発明の効果に加え、ヒートサイクル時の応力低減とアンダーフィルの密着性向上を確実に達成することができると共に、流動性を確保することができ、ブリードの発生も確実に防止することができる。
上記第3の発明によれば、上記第1および第2の発明のアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物を用いているので、半導体チップおよび回路基板とアンダーフィル材との密着性に優れ、ヒートサイクル試験における耐熱性に優れた信頼性の高い半導体装置とすることができる。
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明に用いられる常温(25℃)で液状のエポキシ樹脂は、1分子内に2官能基以上のエポキシ基を有するものであり、その具体例としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂などが挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明に用いられる硬化剤の具体例としては、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ピロメリット酸等の酸無水物系硬化剤、ジアミノジフェニルメタン、メタフェニレンジアミン等のアミン系硬化剤、フェノールノボラック樹脂等のフェノール系硬化剤などが挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
硬化剤の配合量は、好ましくは、硬化剤のエポキシ樹脂に対する化学量論上の当量比(硬化剤当量/エポキシ基当量)が0.6〜1.4となる量であり、より好ましくは当量比が0.75〜1.0となる量である。当量比が小さ過ぎると、硬化不足、硬化物の耐熱性低下、硬化物の強度低下などを生じる場合がある。一方、当量比が大き過ぎると、硬化物の耐熱性低下、硬化物の吸湿量の増加などを生じる場合がある。
本発明に用いられる硬化促進剤の具体例としては、2−メチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール等のイミダゾール系化合物、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−7−ウンデセン等の第三級アミン、マイクロカプセル型硬化促進剤などが挙げられる。
硬化促進剤の配合量は、アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物の全量に対して好ましくは0.3〜5質量%である。当該配合量が少な過ぎるとゲル化時間の遅延をもたらす場合があり、当該配合量が多過ぎると硬化の進行が早くなり過ぎる場合がある。
本発明のアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物には、無機充填材を配合することができる。無機充填材としては、特に制限なく適宜のものを用いることができ、その具体例としては、溶融シリカ、結晶シリカ、微粉シリカ、アルミナ、窒化珪素、マグネシアなどが挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。中でも、低粘度化と流動特性の向上の点からは、球状の溶融シリカが好ましい。球状の溶融シリカの平均粒子径は、好ましくは0.2〜30μm、より好ましくは0.2〜5μmである。なお、平均粒子径はレーザー回折散乱法などにより測定することができる。
無機充填材の配合量は、アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物の全量に対して好ましくは30〜75質量%である。当該配合量が少な過ぎると熱膨張係数が大きくなり半導体装置の信頼性が低下する場合がある。一方、当該配合量が多過ぎると粘度が高くなり半導体チップと回路基板との間隙への充填性が低下する場合がある。
本発明のアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物には、アミノシランカップリング剤とエポキシ基含有オルガノポリシロキサンとの反応生成物であるアミノ変性シロキサンが配合される。
アミノシランカップリング剤の具体例としては、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−トリエトキシシリル−N−(1,3−ジメチル−ブチリデン)プロピルアミン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
エポキシ基含有オルガノポリシロキサンとしては、例えばエポキシ変性シリコーンオイル、エポキシポリエーテル変性シリコーンオイルなどを用いることができ、その粘度は、好ましくは500〜5000cP(25℃)である。例えば、直鎖状ジメチルシリコーン骨格の側鎖または末端にエポキシ基を導入したものなどが挙げられる。
例えば、下記式(I)で表されるエポキシ基含有オルガノポリシロキサンを用いることができる。
[式中、Rはそれぞれ独立に水素原子または1価の置換もしくは非置換の炭化水素基であり、lは0以上の整数、mは0以上の整数、nは0以上の整数であり、Xはそれぞれ独立に下記式(II-a)、(II-b)、および(II-c)から選ばれるいずれかのエポキシ含有基である。
(式中、aは2〜15の整数、bは0〜100の整数、cは0〜100の整数であり、b+cは1〜100の整数である。)
(式中、dは2〜15の整数を示す。)
(式中、eは2〜15の整数を示す。)
Yは、下記式(III)で示されるポリエーテル基である。
Yは、下記式(III)で示されるポリエーテル基である。
(式中、Aは水素原子、1価の炭化水素基、またはR2−(CO)−(R2は1価の炭化水素基を示す。)であり、xは2〜15の整数、yは0〜100の整数、zは0〜100の整数であり、y+zは1〜100の整数である。)
R1は、上記R、X、およびYから選ばれる任意の基であるが、mが0の場合、R1の少なくとも1個はXである。]
エポキシ基含有オルガノポリシロキサンの配合量は、アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物の全量に対して0.1〜1質量%である。当該配合量が少な過ぎると応力低減効果、密着付与効果が十分に得られない場合があり、当該配合量が多過ぎるとブリードが発生する場合がある。
R1は、上記R、X、およびYから選ばれる任意の基であるが、mが0の場合、R1の少なくとも1個はXである。]
エポキシ基含有オルガノポリシロキサンの配合量は、アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物の全量に対して0.1〜1質量%である。当該配合量が少な過ぎると応力低減効果、密着付与効果が十分に得られない場合があり、当該配合量が多過ぎるとブリードが発生する場合がある。
本発明のアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物には、本発明の効果を損なわない範囲内において、さらに他の成分を配合することができる。このような他の成分の具体例としては、難燃剤、顔料、溶剤、反応性希釈剤、レベリング剤、消泡剤などが挙げられる。
本発明のアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物は、エポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤、エポキシ基含有オルガノポリシロキサン、および必要に応じて他の成分を同時にまたは別々に配合し、必要に応じて加熱処理や冷却処理を行いながら、撹拌、溶解、混合、分散を行うことにより調製することができる。
上記の撹拌、溶解、混合、分散には、ディスパー、プラネタリーミキサー、ボールミル、3本ロールなどを組み合わせて用いることができる。
本発明の半導体装置は、上記のようにして得られたアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物により、ICチップ、LSIチップなどの半導体チップと回路基板(インターポーザ)との間を封止することにより製造することができる。例えば、セラミック基板やFRグレードなどの回路基板の回路パターン面に多数のバンプを介して半導体チップが搭載されたもののバンプ間の間隙に本発明のアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物をディスペンサーなどを用いて塗布、充填した後、加熱硬化し、次いで半導体チップ全体の封止を行うなどの後工程を経て、フリップチップ実装による半導体装置を製造することができる。
なお、加熱硬化の条件は、特に限定されるものではなくアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物の配合組成などに応じて適宜に変更すればよいが、例えば120〜170℃、0.5〜5時間である。
本発明の半導体装置におけるパッケージ形態の具体例としては、各種のエリアアレイ型パッケージ、例えばBGA(Ball Grid Array)、CSP(Chip Size Package)などが挙げられる。
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。なお、表1に示す配合量は質量部を表す。
表1に示す配合量で各成分が配合されたアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物を、各配合成分を常法に従って撹拌、溶解、混合、分散することにより調製した。
表1に示す配合成分として、以下のものを用いた。
常温で液状のエポキシ樹脂:ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ジャパン・エポキシレジン(株)製、エピコート828、エポキシ当量 189
常温で液状のエポキシ樹脂:ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ジャパン・エポキシレジン(株)製、エピコート806、エポキシ当量 165
硬化剤:メチルテトラヒドロ無水フタル酸、新日本理化(株)製、MH−700、酸無水物当量166
硬化促進剤:1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、四国化成工業(株)製、キュアゾール 1B2MZ
無機充填材:球状の溶融シリカ、(株)アドマテックス製、SO−C1、平均粒子径 0.3μm
アミノ変性シロキサンa:100〜120℃で加熱溶融したエポキシ基含有オルガノポリシロキサン(エポキシポリエーテル変性シリコーンオイル、東レ・ダウコーニング(株)製、SF8421EG、粘度3000cP(25℃))100質量部にアミノシランカップリング剤(N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業(株)製、KBM−603)5質量部を添加し、10〜30分攪拌混合し反応させて調製した。
アミノ変性シロキサンb:KBM−603の添加量を10質量部とした以外はアミノ変性シロキサンaと同様の方法で調製した。
アミノ変性シロキサンc:KBM−603の添加量を20質量部とした以外はアミノ変性シロキサンaと同様の方法で調製した。
アミノ変性シロキサンd:KBM−603の添加量を30質量部とした以外はアミノ変性シロキサンaと同様の方法で調製した。
常温で液状のエポキシ樹脂:ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ジャパン・エポキシレジン(株)製、エピコート828、エポキシ当量 189
常温で液状のエポキシ樹脂:ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ジャパン・エポキシレジン(株)製、エピコート806、エポキシ当量 165
硬化剤:メチルテトラヒドロ無水フタル酸、新日本理化(株)製、MH−700、酸無水物当量166
硬化促進剤:1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、四国化成工業(株)製、キュアゾール 1B2MZ
無機充填材:球状の溶融シリカ、(株)アドマテックス製、SO−C1、平均粒子径 0.3μm
アミノ変性シロキサンa:100〜120℃で加熱溶融したエポキシ基含有オルガノポリシロキサン(エポキシポリエーテル変性シリコーンオイル、東レ・ダウコーニング(株)製、SF8421EG、粘度3000cP(25℃))100質量部にアミノシランカップリング剤(N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業(株)製、KBM−603)5質量部を添加し、10〜30分攪拌混合し反応させて調製した。
アミノ変性シロキサンb:KBM−603の添加量を10質量部とした以外はアミノ変性シロキサンaと同様の方法で調製した。
アミノ変性シロキサンc:KBM−603の添加量を20質量部とした以外はアミノ変性シロキサンaと同様の方法で調製した。
アミノ変性シロキサンd:KBM−603の添加量を30質量部とした以外はアミノ変性シロキサンaと同様の方法で調製した。
上記のようにして得られたアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物を用いて下記の評価を行った。
[ブリード性試験]
アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物をセラミック基板に0.03g塗布し、これを予め100℃に加熱した熱盤上に10分間放置した後、硬化物とセラミック基板との界面における透明樹脂の発生(ブリード)を目視で確認し、下記基準に従って評価した。
○:ブリードあり
×:ブリードなし
[密着性試験]
アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物をセラミック基板に塗布し、塗布面に2mm角のシリコンチップ(ポリイミド膜コート)を設置し、150℃で2時間アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物を硬化させることでセラミック基板にシリコンチップを接着した。接着後の積層基板について、(株)アークテック製のボンドテスターシリーズ4000を用いて接着力を測定し、下記基準に従って評価を行った。
○:90MPa以上
△:50MPa以上90MPa未満
×:50MPa未満
[ヒートサイクル試験]
半導体チップ(10mm×700μm)、バンプ(Sn−Ag−Cu 2000ピン)、基板(熱硬化性ソルダーレジストコート樹脂基板)を用いたTEGの半導体チップと基板との間にアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物を100℃で充填し、その後150℃で1時間硬化したものを試験用TEGとした。
[ブリード性試験]
アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物をセラミック基板に0.03g塗布し、これを予め100℃に加熱した熱盤上に10分間放置した後、硬化物とセラミック基板との界面における透明樹脂の発生(ブリード)を目視で確認し、下記基準に従って評価した。
○:ブリードあり
×:ブリードなし
[密着性試験]
アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物をセラミック基板に塗布し、塗布面に2mm角のシリコンチップ(ポリイミド膜コート)を設置し、150℃で2時間アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物を硬化させることでセラミック基板にシリコンチップを接着した。接着後の積層基板について、(株)アークテック製のボンドテスターシリーズ4000を用いて接着力を測定し、下記基準に従って評価を行った。
○:90MPa以上
△:50MPa以上90MPa未満
×:50MPa未満
[ヒートサイクル試験]
半導体チップ(10mm×700μm)、バンプ(Sn−Ag−Cu 2000ピン)、基板(熱硬化性ソルダーレジストコート樹脂基板)を用いたTEGの半導体チップと基板との間にアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物を100℃で充填し、その後150℃で1時間硬化したものを試験用TEGとした。
温度サイクル試験は、液槽ヒートサイクル機によって−55℃/+125℃(各5分ずつ)を1000サイクル連続で処理することによって行い、処理後の試験用TEGにおける剥離、クラック、電気的導通を確認し、いずれの異常もないものをOK、いずれかについて異常があるものをNGとして下記基準に従って評価した。
○:1000サイクルOK
×:1000サイクルNG
ブリード性試験、密着性試験、ヒートサイクル試験の評価結果を表1に示す。
○:1000サイクルOK
×:1000サイクルNG
ブリード性試験、密着性試験、ヒートサイクル試験の評価結果を表1に示す。
表1より、アミノシランカップリング剤とエポキシ基含有オルガノポリシロキサンとの反応生成物であるアミノ変性シロキサンをアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物の全量に対して0.1〜1質量%配合した実施例1〜4のアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物は、ブリードの発生がなく、密着性が良好であり、ヒートサイクル試験の結果も良好であった。
一方、アミノ変性シロキサンを配合しなかった比較例1では、密着性とヒートサイクル性が大きく低下した。
また、アミノ変性シロキサンを配合したが配合量が0.1質量%未満または1質量%超であった比較例2〜4では、ブリード性、密着性、ヒートサイクル性のいずれかの物性について低下が見られた。
Claims (3)
- 常温で液状のエポキシ樹脂、硬化剤、および硬化促進剤を必須成分とするアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物であって、アミノシランカップリング剤とエポキシ基含有オルガノポリシロキサンとの反応生成物であるアミノ変性シロキサンをアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物の全量に対して0.1〜1質量%含有することを特徴とするアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物。
- アミノ変性シロキサンは、100〜120℃で加熱溶融したエポキシ基含有オルガノポリシロキサンに、エポキシ基含有オルガノポリシロキサンに対して5〜30質量%のアミノシランカップリング剤を添加し、10〜30分攪拌混合し反応させて得られたものであることを特徴とする請求項1に記載のアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物。
- 請求項1または2に記載のアンダーフィル用エポキシ樹脂組成物を用いて半導体チップと回路基板との間が封止されていることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008165116A JP2010006881A (ja) | 2008-06-24 | 2008-06-24 | アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物とそれを用いた半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008165116A JP2010006881A (ja) | 2008-06-24 | 2008-06-24 | アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物とそれを用いた半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010006881A true JP2010006881A (ja) | 2010-01-14 |
Family
ID=41587732
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008165116A Pending JP2010006881A (ja) | 2008-06-24 | 2008-06-24 | アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物とそれを用いた半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010006881A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014058080A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-04-03 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置 |
-
2008
- 2008-06-24 JP JP2008165116A patent/JP2010006881A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014058080A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-04-03 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5354753B2 (ja) | アンダーフィル材及び半導体装置 | |
TWI338019B (ja) | ||
JP6789495B2 (ja) | アンダーフィル用樹脂組成物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP4892164B2 (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 | |
KR20120092505A (ko) | 반도체-캡슐화 액상 에폭시 수지 조성물 및 반도체 장치 | |
WO2008044496A1 (fr) | Composition de résine liquide destinée à étanchéifier des éléments électroniques, et appareil électronique utilisant cette composition | |
KR20110095159A (ko) | 에폭시 수지 조성물 및 반도체 장치 | |
TWI480326B (zh) | 用於含低k介電質之半導體裝置中作為底填密封劑之可固化樹脂組合物 | |
JP5692212B2 (ja) | 電子部品用液状樹脂組成物及びこれを用いた電子部品装置 | |
JP6233441B2 (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 | |
JP4931079B2 (ja) | アンダーフィル用液状熱硬化性樹脂組成物とそれを用いた半導体装置 | |
JP4176619B2 (ja) | フリップチップ実装用サイドフィル材及び半導体装置 | |
JP3773022B2 (ja) | フリップチップ型半導体装置 | |
JP2004051734A (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP3925803B2 (ja) | フリップチップ実装用サイドフィル材及び半導体装置 | |
JP2001055487A (ja) | フリップチップ型半導体装置用封止材及びフリップチップ型半導体装置 | |
JP5593259B2 (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物 | |
JP4966123B2 (ja) | 封止用液状エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP2009057575A (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 | |
JP5105099B2 (ja) | 半導体封止用液状エポキシ樹脂組成物、及びそれをアンダーフィル材として用いて封止したフリップチップ型半導体装置 | |
JP2010144144A (ja) | アンダーフィル用液状エポキシ樹脂組成物、及び半導体装置 | |
JP6388228B2 (ja) | 半導体封止用液状エポキシ樹脂組成物とそれを用いた半導体装置 | |
JP2004256646A (ja) | アンダーフィル用樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2010006881A (ja) | アンダーフィル用エポキシ樹脂組成物とそれを用いた半導体装置 | |
WO2005080502A1 (ja) | アンダーフィル用液状エポキシ樹脂組成物および同組成物を用いて封止した半導体装置 |