JP2010001146A - 薄膜状ワークの積層方法および積載装置 - Google Patents

Abstract

【課題】薄膜状ワークの吸着支持あるいは開放動作の安定性および信頼性に優れ、薄膜状ワークを効率良く積層できるようにした積載方法を提供する。
【解決手段】薄膜状ワークＷ１，Ｗ２同士の間に薄膜状のセパレータＳｐを介在させながらワークＷ１，Ｗ２をセパレータＳｐとともに多段にわたって積層する方法である。第１の工程として、吸着パッド１５にてセパレータＳｐを吸着支持したならば、それと重ね合わせるようにワークＷ２を吸着支持した上で積層位置Ｐ３にある既存ワークの上に積層する。第２の工程として、吸着手段パッド１５にてセパレータＳｐを吸着支持したならば、それと重ね合わせるようにワークＷ１を吸着支持した上で積層位置Ｐ３にある既存ワークの上に積層する。これらの第１の工程と第２の工程を交互に繰り返す。
【選択図】図６

Description

本発明は、薄膜状ワークの積載方法と積載装置に関し、特に二種類の薄膜状（箔状）ワーク同士の間に同じく薄膜状のセパレータを介在させながらそれらのワークを多段にわたって積層するのに好適な薄膜状ワークの積層方法および積載装置に関するものである。

例えばリチウムイオン電池を構成することになる積層部材として薄膜状の正極および負極同士の間に同じく薄膜状のセパレータを挟み込みながらそれらの部材を多段に自動積層したいとの要請がある。この場合において、薄膜状のワークを確実に吸着支持したり、逆に確実に開放できる技術が重要な要素となり、例えば特許文献１に記載のようなハンドリング治具が提案されている。
特開２００４−３９７１２号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたハンドリング治具は、薄膜状のワークの全面を多孔質の板材で吸着支持する負圧吸引式のものではあっても、手作業での積層作業を前提としているため、積層作業の効率化（高速化）および作業性向上の上でなおも改善の余地を残している。

本発明はこのような課題に着目してなされたものであり、とりわけ薄膜状ワークの吸着支持あるいは開放動作の安定性および信頼性に優れ、薄膜状ワークを効率良く積層できるようにした積載方法および積載装置を提供しようとするものである。

本発明は、二種類の薄膜状ワーク同士の間に同じく薄膜状のセパレータを介在させながらそれらのワークを多段にわたって積層する方法として、吸着手段にてセパレータを吸着支持したならば、そのセパレータと重ね合わせるように一方の薄膜状ワークを吸着支持した上で積層位置にある既存ワークの上に積層する。次いで、吸着手段にてセパレータを吸着支持したならば、そのセパレータと重ね合わせるように他方の薄膜状ワークを吸着支持した上で積層位置にある既存ワークの上に積層する。そして、上記のような二つの工程を交互に繰り返すものとする。

本発明によれば、それぞれのワークとセパレータを個別に積層する場合と比べて、セパレータとワークを二枚重ねにして積層する方式であるため、積層効率が飛躍的に向上し、積層作業の効率化（高速化）および作業性向上に大きく貢献できるようになる。

図１はリチウムイオン電池を構成することになる積層体たるスタックＳの一例を示し、正極側の電極として機能することになる一方の薄膜状（箔状）ワークＷ１と負極側の電極として機能することになる他方の薄膜状（箔状）ワークＷ２とを両者の間に同じく薄膜状（箔状）のセパレータＳｐを介装しながら多段にわたって積層したものである。

ここでは、正極として機能することになる一方のワークＷ１として例えば厚さが８４μｍ程度のアルミ箔を使用し、負極として機能することになる他方のワークＷ２として例えば厚さが８２μｍ程度の銅箔を使用している。さらに、セパレータＳｐは例えば厚さが２５μｍ程度の絶縁性を有した樹脂フィルムであり、セパレータＳｐは同時に通気性を有している。いずれのワークＷ１，Ｗ２およびセパレータＳｐ共にいわゆる腰が弱く、それ自体の剛性がきわめて乏しいという特殊性を有している。なお、それぞれのワークＷ１，Ｗ２およびセパレータＳｐ共に例えばその大きさが１２０ｍｍ×２１０ｍｍ程度のものであるが、各ワークＷ１，Ｗ２の大きさに比べてセパレータＳｐの大きさが一回り大きいこともある。

そして、本実施の形態では、後述する吸着パッド１５にてセパレータＳｐを吸着支持した上でそれに重ね合わせるように他方のワークＷ２を吸着支持して二枚セットとし、これを所定の積載位置までハンドリングして積層する。続いて、吸着パッド１５にて再度セパレータＳｐを吸着支持した上でそれに重ね合わせるように一方のワークＷ１を吸着支持して二枚セットとし、これを所定の積載位置までハンドリングして既存ワークの上に積層する。このようなセパレータＳｐと他方のワークＷ２とをセットとした積層作業と、セパレータＳｐと一方のワークＷ１とをセットとした積層作業とを交互に繰り返すことで、図１に示したように双方のワークＷ１，Ｗ２同士の間にセパレータＳｐを介装した状態でこれらのワークＷ１，Ｗ２をセパレータＳｐとともに多段に積層することになる。なお、先に例示した厚さのワークＷ１，Ｗ２およびセパレータＳｐの場合には、総厚が例えば７〜１５ｍｍ程度になるまで積層する。

図２は上記のような積層作業を司るシステムの概略平面図を示しており、同システムはハンドリング手段としてのいわゆるスカラ型の２台の産業用ロボット（以下、単に「ロボット」という。）１，２を主要素として構成してある。第１，第２のハンドリング手段としてのロボット１，２の周囲には２台のワークパレット３，４のほか、セパレータ待機位置として機能することになるワーク置き台としてのベルトコンベヤ５、および積載位置Ｐ３として機能することになる積載パレット６をそれぞれ配置してある。

一方のワークパレット３には一方のワークＷ１の積層体（第１の積層体）、すなわち一方のワークＷ１，Ｗ１‥を整列した状態で多段に積層してなる一方のワークＷ１の積層体７を搭載してある。同様に、他方のワークパレット４には他方のワークＷ２の積層体（第２の積層体）、すなわち他方のワークＷ２，Ｗ２‥を整列した状態で多段に積層してなる他方のワークＷ２の積層体８を搭載してある。

図３は上記ワークパレット３，４の詳細を示し、水平なパレット本体９上に複数のガイドピン１０を突設してあるとともに、パレット本体９の一つの対角線の延長線上に平面視にてアングル状の一対の位置決めガイド１１を正対するように突設してある。複数のガイドピン１０よりも一対の位置決めガイド１１の方がパレット本体９からの突出高さが大きく、それらの複数のガイドピン１０および位置決めガイド１１で囲まれた領域がワークＷ１またはＷ２の積層体７，８の搭載スペースとなっていて、それぞれにワークＷ１またはＷ２の積層体７，８が整列された状態で搭載されている。

なお、ワークパレット３，４におけるワークＷ１またはＷ２の積層体７，８の最上面レベルは各ガイドピン１０の上端よりも高く且つ位置決めガイド１１の上端よりも低くなるように予め設定されていて、後述するようにワークパレット３，４からのワークＷ１またはＷ２の取り出しによりそのワークＷ１またはＷ２の積層体７，８の最上面レベルが各ガイドピン１０の上端に近付くことになるが、一定の周期でワークパレット３，４上のワークＷ１またはＷ２の積層体７，８が図示外のリフト手段により所定量だけリフトアップされることで、ワークＷ１またはＷ２の積層体７，８の最上面レベルは常に各ガイドピン１０の上端よりも高く且つ位置決めガイド１１の上端よりも低い位置に維持することができる。

図２において、ベルトコンベヤ５にはセパレータ裁断装置１２を隣接配置してある。このセパレータ裁断装置１２は、図示外のロール状のセパレータ素材から二枚のセパレータＳｐ，Ｓｐをセットとして切り出すものであり、切り出されたセパレータＳｐ，Ｓｐは同図に示すセパレータ待機位置Ｐ１，Ｐ２までベルトコンベヤ５にて搬送されて待機することになる。

同じく図２において、積層パレット６はベルトコンベヤ１３に載せられた状態で同図の積載位置Ｐ３で待機していて、後述するように一方のロボット１によるセパレータＳｐと一方のワークＷ１の積層と、他方のロボット２によるセパレータＳｐと他方のワークＷ２の積層とを交互に受けることになる。セパレータＳｐおよびワークＷ１，Ｗ２の積層数が所定数に達すると、図１に示すスタックＳができ上がったことにほかならないから、積層パレット６はベルトコンベヤ６によりその積層位置Ｐ３から次工程へと送り出されるとともに、代わって空載状態の積層パレット６が積層位置Ｐ３まで搬入される。

図４は２台でセットとされた図２のスカラ型ロボット１，２の一例を示し、そのアーム１４の先端に吸着手段たる吸着ハンドまたは吸着グリッパとして機能することになる吸着パッド１５を旋回可能で且つ昇降可能に支持させてある。

この吸着パッド１５は、図５に示すように、例えばアルマイト等の非鉄金属製の平板からなるパッドホルダ１６に同じく平板状で且つ多孔質のカーボン（ポーラスカーボン）製のパッド本体１７をエポキシ系の接着剤等により固定支持させたものであって、パッド本体１７についてはパッドホルダ１６との接合面および吸着面１７ａを除く外周面（側面）には封孔処理を施してある。

パッド本体１７は、図３にも示すように、セパレータＳｐやワークＷ１，Ｗ２の大きさよりも一回り大きな矩形状のポーラスカーボン基板のうち一方の対角線上にて正対する隅部を三角形状に切除した変形六角形状のものであって（切除部を符号Ｃ１で示す。）、パッドホルダ１６もまたこのパッド本体１７よりも一回り大きな相似形のものとなっている。そして、パッドホルダ１６に形成したバキュームポート１８をパッド本体１７に臨ませてあるとともに、バキュームポート１８は図示しない真空ポンプ等の負圧吸引源に接続してあることから、バキュームポート１８からパッド本体１７に及んだ負圧吸引力は吸着面１７ａの全面に作用し、結果としてパッド本体１７の吸着面１７ａの全面でセパレータＳｐやワークＷ１またはＷ２を吸着支持することができる。

すなわち、図３に示すように、吸着パッド１５のパッド本体１７の形状がワークパレット３，４上のワークＷ１またはＷ２の形状よりも一回り大きな形状であっても、切除部Ｃ１があることによって吸着パッド１５とワークパレット３，４上の位置決めガイド１１との干渉を無理なく回避できるようになっている。

ここで、吸着パッド１５は、パッドホルダ１６にパッド本体１７を接着接合したものであることは先に述べたとおりである。そして、パッドホルダ１６またはパッド本体１７の接合面にはバキュームポート１８につながる図示外の多数の放射状の通気溝、あるいはバキュームポート１８に臨むバスタブ状の凹面部を形成してあり、当該通気溝または凹面部以外の部分においてパッドホルダ１６とパッド本体１７を接着接合してある。これにより、パッドホルダ１６とパッド本体１７との接合面での通気性が損なわれることがなく、先にも述べたようにバキュームポート１８からパッド本体１７に及んだ負圧吸引力は吸着面１７ａの全面に作用し、結果としてパッド本体１７の吸着面１７ａの全面でセパレータＳｐやワークＷ１またはＷ２を吸着支持することができる構造となっている。

なお、上記吸着パッド１５のパッド本体１７としては、ポーラスカーボン製のものに代えて、例えば金属製、非鉄金属製あるいは樹脂製の空洞状態のパッド本体に多数の細孔を形成したものでも良い。要は、パッド本体の全面でワークＷ１，Ｗ２またはセパレータＳｐを吸着支持できる機能があれば良い。

このように構成されたシステムでは、図２に示した二台のロボット１，２の交互自律動作に基づいて図１のスタックＳの積層作業を行うものとする。

より詳しくは、図２に示すセパレータ待機位置Ｐ１，Ｐ２にはセパレータ裁断装置１２によって切り出された二枚のセパレータＳｐ，Ｓｐが予め待機しているとともに、ベルトコンベヤ６上の積載位置Ｐ３には積載パレット６が待機している。さらに双方のロボット１，２共に例えばワークパレット３，４と正対する原点位置で待機している。

この状態で、最初に図２に示す他方のロボット２がセパレータ待機位置Ｐ２まで移動して、そのセパレータ待機位置Ｐ２にある一方のセパレータＳｐを吸着パッド１５の負圧吸引力にて吸着支持してピックアップし、次いでそのままワークパレット４まで移動して先に吸着パッド１５が吸着支持しているセパレータＳｐと重ね合わせるようにしてそのワークパレット４上の一枚の他方のワークＷ２を吸着支持してピックアップする。

なお、先に述べたように、セパレータＳｐはそれ自体が通気性を有していることから、吸着パッド１５の負圧吸引力にてセパレータＳｐが吸着支持されている状態で、さらにそれに重ね合わせるようにして他方のワークＷ２を吸着支持することが可能である。

こうして吸着パッド１５がセパレータＳｐと他方のワークＷ２とを吸着支持してピックアップすると、ロボット２は積載位置Ｐ３まで移動して、その積載位置Ｐ３にある積載パレット６の上にそれまで吸着支持していた他方のワークＷ２とセパレータＳｐとをワークＷ２を下側にして移載して解放する。この解放動作は、吸着パッド１５のバッド本体１７の内部を含むそれまでの負圧吸引通路を大気開放することにより行う。

このような他方のロボット２の自律動作の開始よりも所定時間遅れてもう一方のロボット１が自律動作を開始して、ロボット２側と同様な動作を繰り返す。このロボット１の自律動作は、最初にロボット１がセパレータ待機位置Ｐ１まで移動して、そのセパレータ待機位置Ｐ１にある一方のセパレータＳｐを吸着パッド１５にて吸着支持してピックアップし、次いでそのままワークパレット３まで移動して先に吸着パッド１５が吸着支持しているセパレータＳｐと重ね合わせるようにしてそのワークパレット３上の一枚の一方のワークＷ１を吸着支持してピックアップする。

こうして吸着パッド１５がセパレータＳｐと一方のワークＷ１とを吸着支持してピックアップすると、ロボット１は積載位置Ｐ３まで移動して、その積載位置Ｐ３にある積載パレット６の上にそれまで吸着支持していた一方のワークＷ１とセパレータＳｐとをワークＷ１を下側にして移載して解放する。

このようなロボット２の自律動作による積載作業とロボット１の自律動作による積載作業とを交互に繰り返すことで図１に示すスタックＳが積層されることになる。

ここで、一台のロボット１または２の自律動作に着目した一連の動きを図示すれば図６のとおりとなる。例えばロボット２の場合、ベルトコンベヤ５上のセパレータ待機位置Ｐ２において吸着パッド１５にてセパレータＳｐを吸着支持してピックアップしたならば、続いてワークパレット４まで移動し、既に吸着支持しているセパレータＳｐに重ね合わせるようにしてそのワークパレット４上のワークＷ２の積層体８から最上面の一枚のワークＷ２を吸着支持してピックアップすることになる。そして、ロボット２はベルトコンベヤ１３上の積載位置Ｐ３で待機している積載パレット６側に移動し、その積載パレット６上にのワークＷ２とセパレータＳｐとをワークＷ２を下側にして移載して解放することになる。これらの自律動作はロボット１側についても同様である。

また、セパレータＳｐとセットにしたワークＷ１，Ｗ２の積層を司る吸着パッド１５の詳細を図５に、その吸着パッド１５がワークパレット３，４上のワークＷ１またはＷ２を吸着支持する際の吸着パッド１５とワークパレット３，４との相対位置関係を図３に示してある。

図３から明らかなように、ワークＷ１またはＷ２を吸着支持するための吸着パッド１５の形状がワークＷ１またはＷ２の形状よりも一回り大きく設定されていたとしても、吸着パッド１５には切除部Ｃ１を形成してあるために、ワークＷ１またはＷ２を吸着支持してピックアップする際にその吸着パッド１５がワークパレット３，４側の位置決めガイド１１と干渉することはなく、吸着パッド１５のパッド本体１７にてワークＷ１またはＷ２を確実に吸着支持してピックアップすることが可能である。また、吸着パッド１５に切除部Ｃ１を形成してあることによって、その部分ではワークＷ１，Ｗ２またはセパレータＳｐが露出していて、ワークＷ１，Ｗ２またはセパレータＳｐを吸着支持する際に負圧吸引力が及ばないが、その負圧吸引力が及ばない面積は負圧吸引力が及ぶ面積に比べてきわめて小さいためにワークＷ１，Ｗ２またはセパレータＳｐの積層作業の支障となることはない。

さらに、図６から明らかなように、一般的には吸着パッド１５に吸着支持されてセパレータＳｐと二枚重ね状態にあるワークＷ１またはＷ２を積載パレット６上に移載して解放した後に吸着パレット１５を上昇させると、吸着パッド１５の急激な動きに伴う空気の流れあるいは圧力変化により移載したばかりのワークＷ１またはＷ２あるいはセパレータＳｐが引っ張られたり、あるいはめくれが生じ、その移載したばかりのワークＷ１またはＷ２あるいはセパレータＳｐのほか、既存のワークＷ１，Ｗ２またはセパレータＳｐにたるみやずれが発生して、積層トラブルにつながる可能性がある。

これに対して本実施の形態では、先に述べたように吸着パッド１５に切除部Ｃ１を形成してあって、その分ではワークＷ１，Ｗ２またはセパレータＳｐが露出するようにしてあるため、吸着パッド１５がワークＷ１，Ｗ２あるいはセパレータＳｐを解放した後に直ちに上昇動作しても、その上昇動作に伴う空気の流れあるいは圧力変化の影響を少なくすることができ、移載したばかりのワークＷ１またはＷ２あるいはセパレータＳｐが引っ張られたり、あるいはめくれが生じるのを抑制でき、結果としてその移載したばかりのワークＷ１またはＷ２あるいはセパレータＳｐのほか、既存のワークＷ１，Ｗ２またはセパレータＳｐのたるみやずれを未然に防止できるようになる。

加えて、図７に示すように、吸着パッド１５に吸着支持されてセパレータＳｐと二枚重ね状態にあるワークＷ１またはＷ２を積載パレット６上に移載して解放した後に吸着パレット１５を上昇動作させる際に、それまでの負圧吸引力に代えて吸着パッド１５のパッド本体１７から圧縮空気を吹き出すとともに、吸着パッド１５の上昇ストロークの途中、例えば解放したばかりのワークＷ１，Ｗ２またはセパレータＳｐから数十ミリ程度上昇した時点で吸着パッド１５の動きを一旦停止させるものとする。

こうすることにより、吸着パッド１５がワークＷ１，Ｗ２あるいはセパレータＳｐを解放した後に直ちに上昇動作しても、その上昇動作に伴う空気の流れあるいは圧力変化の影響を一段と少なくすることができ、移載したばかりのワークＷ１またはＷ２あるいはセパレータＳｐが引っ張られたり、あるいはめくれが生じるのを抑制でき、結果としてその移載したばかりのワークＷ１またはＷ２あるいはセパレータＳｐのほか、既存のワークＷ１，Ｗ２またはセパレータＳｐのたるみやずれをより確実に防止できるようになる。

このように本実施の形態によれば、いわゆる腰が弱くて剛性がきわめて低いためにとかくその取り扱いが厄介とされるワークＷ１，Ｗ２あるいはセパレータＳｐの積層作業を人手に頼ることなく効率良く行うことができる。

なお、図２の例では、セパレータ裁断装置１２にて裁断したばかりのセパレータＳｐをベルトコンベヤ５上のセパレータ待機位置Ｐ１，Ｐ２にて待機させるようにしているが、ワークパレット３，４側のワークＷ１またはＷ２の積層体７，８と同様に、予め裁断して積層してあるセパレータ積層体をセパレータ待機位置Ｐ１，Ｐ２に待機させておき、このセパレータ積層体から一枚づつセパレータをピックアップするようにしても良い。

図８は本発明の第２の実施の形態を示す。この第２の実施の形態では、図２と比較すると明らかなように、ベルトコンベヤ１３をはさんで略左右対称となるように、ロボット１，２のほかワークパレット３，４、ベルトコンベヤ５およびセパレータ裁断装置１２を増設配置したものである。

したがって、この第２の実施の形態によれば、図２のシステムと比べて積層能力が実質的に２倍に増強されたことになり、ワークＷ１，Ｗ２あるいはセパレータＳｐの積層作業を一段と効率良く行えるようになる。

本発明に係る積層システムにより積層されたスタック（積層体）の一例を示す図で、（Ａ）はその概略斜視図、（Ｂ）は同図（Ａ）の要部拡大断面図。 本発明に係る積層システムの全体構成を示す平面説明図。 図２のワークパレットの詳細を示す図で、（Ａ）はその平面説明図、（Ｂ）は同図（Ａ）の正面説明図。 図２のロボットの詳細を示す正面説明図。 図４の吸着パッドの詳細を示す図で、（Ａ）はその正面説明図、（Ｂ）は同図（Ａ）の平面説明図、（Ｃ）は同図（Ａ）の下面説明図。 図４の一台のロボットの動きに着目した作動説明図。 ワーク解放時の別の挙動を示す説明図。 本発明の第２の実施の形態として図２のシステムの変形例を示す平面説明図。

符号の説明

１…産業用ロボット（ハンドリング手段）
２…産業用ロボット（ハンドリング手段）
３…ワークパレット
４…ワークパレット
５…ベルトコンベヤ（ワーク置き台）
６…積層パレット
７…ワークＷ１の積層体
８…ワークＷ２の積層体
１４…ロボットアーム
１５…吸着パッド（吸着手段）
１７…パッド本体
Ｐ１…セパレータ待機位置
Ｐ２…セパレータ待機位置
Ｐ３…積層位置
Ｓ…スタック（積層体）
Ｓｐ…薄膜状のセパレータ
Ｗ１…薄膜状ワーク（一方のワーク）
Ｗ２…薄膜状ワーク（他方のワーク）

Claims (8)

1. 二種類の薄膜状ワーク同士の間に同じく薄膜状のセパレータを介在させながらそれらのワークを多段にわたって積層する方法であって、
   吸着手段にてセパレータを吸着支持したならば、そのセパレータと重ね合わせるように一方の薄膜状ワークを吸着支持した上で積層位置にある既存ワークの上に積層する第１の工程と、
   吸着手段にてセパレータを吸着支持したならば、そのセパレータと重ね合わせるように他方の薄膜状ワークを吸着支持した上で積層位置にある既存ワークの上に積層する第２の工程と、
   を含んでいて、
   これらの第１の工程と第２の工程を交互に繰り返すことを特徴とする薄膜状ワークの積層方法。
2. セパレータが通気性を有しているとともに、吸着手段が負圧吸引式のものであることを特徴とする請求項１に記載の薄膜状ワークの積層方法。
3. 産業用ロボットを母機としてそのロボットアームに吸着手段として多孔質の吸着パッドを支持させ、産業用ロボットの自律動作により積層作業を実行することを特徴とする請求項２に記載の薄膜状ワークの積層方法。
4. 二種類の薄膜状ワーク同士の間に同じく薄膜状のセパレータを介在させながらそれらのワークを多段にわたって積層する装置であって、
   それぞれに吸着手段を備えた第１，第２のハンドリング手段と、
   通気性のあるセパレータが置かれたワーク置き台と、
   一方の薄膜状ワークを積層してなる第１のワーク積層体と、
   他方の薄膜状ワークを積層してなる第２のワーク積層体と、
   上記薄膜状ワークを積み上げるための積層パレットと、
   を備えていて、
   第１のハンドリング手段は、吸着手段にてワーク置き台上のセパレータを吸着支持したならば、そのセパレータと重ね合わせるように第１のワーク積層体から一方の薄膜状ワークを吸着支持した上で積層パレット上の既存ワークの上に積層する一方、
   第２のハンドリング手段は、吸着手段にてワーク置き台上のセパレータを吸着支持したならば、そのセパレータと重ね合わせるように第２のワーク積層体から他方の薄膜状ワークを吸着支持した上で積層パレット上の既存ワークの上に積層するようになっていることを特徴とする薄膜状ワークの積層装置。
5. 上記セパレータが通気性を有しているとともに、吸着手段が負圧吸引式のものであることを特徴とする請求項４に記載の薄膜状ワークの積層装置。
6. 上記第１，第２のハンドリング手段は産業用ロボットを母機とするものであって、そのロボットアームに吸着手段として多孔質の吸着パッドを支持させてあることを特徴とする請求項５に記載の薄膜状ワークの積層装置。
7. 上記吸着パッドが吸着支持している薄膜状ワークを開放する際に、それまでの負圧吸引力に代えて吸着パッドから圧縮空気を噴射するようになっていることを特徴とする請求項６に記載の薄膜状ワークの積載装置。
8. 上記吸着パッドからの薄膜状ワークの開放は、吸着パッドから圧縮空気を噴射しながら当該吸着パッドを上昇動作させることで行い、その上昇動作の途中で吸着パッドの動きを一旦停止させるようになっていることを特徴とする請求項７に記載の薄膜状ワークの積載装置。

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