JP2009524955A - 電子音響部材 - Google Patents
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Abstract
Description
第1オイラー角λは、
実質的にゼロであるオイラー角とは、特に−5°から+5°の間にある角度領域のことをいう。これは角λおよびθに関して当てはまる。しかし、−3°から+3°の間の角度領域であることも可能である。
基板上には、波長λ0を有する音波を励起するための電極が形成されている金属層が配置されている。これは、部材の通過領域にある周波数における波長である。電極は、変換器の周期的電極グリッドを形成することが可能であり、波動伝播方向で測定された2つの反対の極性を有する電極間の距離は半波長である。
ある。
図1に基づきオイラー角を説明する。結晶物理学的座標系(x,y,z)の軸線は、単結晶の単位格子の結晶軸(a,b,c)に沿って合わせられる。第1オイラー角λは、z
軸を中心とする座標系の回転を示す。図1を参照のこと。一度回転された座標系は(x’,y’,z)で示される。第2オイラー角μは、一度回転された座標系のx’軸を中心とする回転を示す。その際、座標系(x’,y’’,Z)に移行する。第3オイラー角θは、二度回転された座標系のZ軸を中心とする回転を示す。ここで得られた座標系(X,Y,Z)のX軸は、音波の伝播方向とされる方向に合わせられている。音波は平面X、Yで広がり、これは基板の平面断面でもある。Z軸はこの平面に対する垂線である。
DK スルーホール
E1、E2 電極
KF1 接触面
S1 第1基板
S2 第2基板
ZS 中間層
X 波動伝播方向
Y、Z 空間方向
x、x’、y、y’、y’’、z 空間方向
λ 第1オイラー角
μ 第2オイラー角
θ 第3オイラー角
Claims (15)
- 水平方向に偏向されるせん断波が励起可能である、請求項1に記載の部材。
- レイリー波が励起可能である、請求項3に記載の部材。
- 波長λ0の音波の励起のための電極を有し、前記基板上に配置される金属層を有する、請求項1から4のいずれか一項に記載の部材。
- 前記金属層がタングステン層を含み、波長に対するその厚さは最大10%である、請求項5に記載の部材。
- 誘導バルク音波により作動し、
追加の基板と中間層とを含み、
前記金属層が、前記基板と前記中間層との間に配置されており、
前記中間層が、前記金属層と前記追加の基板との間に配置されており、
前記基板および前記追加の基板内の波動の伝播速度が、前記中間層内の伝播速度より高い、
請求項5または6に記載の部材。 - 誘導バルク音波により作動し、
外層と中間層とを含み、
前記金属層が、前記基板と前記中間層との間に配置されており、
前記中間層が、前記金属層と前記外層との間に配置されており、
前記基板および前記外層内の波動の伝播速度が、前記中間層内の伝播速度より高い、
請求項5または6に記載の部材。 - 前記中間層がSiOxからなり、1.6≦x≦2.1である、請求項7または8に記載の部材。
- 前記中間層がSiOxからなり、1.95≦x≦2.05である、請求項9に記載の部材。
- 前記中間層の厚さが、波長λ0に対して20%から200%である、請求項6から10のいずれか一項に記載の部材。
- 前記追加の基板がSiからなる、請求項6から11に記載の部材。
- 前記基板および前記追加の基板がそれぞれ少なくとも10λ0の厚さを有する、請求項6から12のいずれか一項に記載の部材。
- 第2オイラー角μに関しては、67°≦μ≦−61°である、請求項1に記載の部材。
- 第2オイラー角μに関しては、28°≦μ≦32°である、請求項3に記載の部材。
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