JP2009303379A - Spindle device and method of manufacturing spindle device - Google Patents

Spindle device and method of manufacturing spindle device Download PDF

Info

Publication number
JP2009303379A
JP2009303379A JP2008154513A JP2008154513A JP2009303379A JP 2009303379 A JP2009303379 A JP 2009303379A JP 2008154513 A JP2008154513 A JP 2008154513A JP 2008154513 A JP2008154513 A JP 2008154513A JP 2009303379 A JP2009303379 A JP 2009303379A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
motor
peripheral surface
housing
fixed
stator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008154513A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5338149B2 (en
Inventor
Atsushi Takahashi
淳 高橋
Hiroshi Aizawa
浩志 相沢
Naoya Kobayashi
直也 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NSK Ltd
Original Assignee
NSK Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NSK Ltd filed Critical NSK Ltd
Priority to JP2008154513A priority Critical patent/JP5338149B2/en
Publication of JP2009303379A publication Critical patent/JP2009303379A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5338149B2 publication Critical patent/JP5338149B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Turning (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Motor Or Generator Cooling System (AREA)
  • Manufacture Of Motors, Generators (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To align the rotor and the stator correctly and simply in a spindle device with a built-in motor. <P>SOLUTION: A spindle device 1 includes a rotating shaft 10 to the front side of which a tool A can be fixed, a body housing 13 which houses the rotating shaft 10 on the central axis P and supports the rotating shaft 10 rotatably through a bearing 12, a motor 11 provided on the rear side of the rotating shaft 10 and rotary driving the rotating shaft 10, and a motor housing 14 fixed to the rear part of the body housing 13 and housing the motor 11. The motor 11 includes a motor shaft 40 fixed to the rear part of the rotating shaft 10 coaxially with the rotating shaft 10, an annular rotor 41 fixed to the outer circumferential surface of the motor shaft 40, and an annular stator 42 fixed to the inner circumferential surface of the motor housing 14 to face the rotor 41. An annular alignment surface E is formed concentrically to the inner circumferential surface 42a of the stator 42 at a position on the inner circumferential surface of the motor housing 14 where the stator 42 is not fixed or on the outer circumferential surface of the motor housing 14. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、スピンドル装置及びスピンドル装置の製造方法に関する。   The present invention relates to a spindle device and a method for manufacturing the spindle device.

例えばシリコンウェハ、ガラス、セラミック等の脆性材の研削加工などには、一般的に工具を回転軸により回転させるスピンドル装置が用いられている。特にシリコンウェハ等の高精度の加工には、高回転精度、低振動等が要求され、このような加工には、モータを内蔵して直接駆動するモータビルトインのスピンドル装置が適している。   For example, a spindle device that rotates a tool around a rotating shaft is generally used for grinding a brittle material such as a silicon wafer, glass, or ceramic. In particular, high-precision processing such as silicon wafers requires high rotational accuracy, low vibration, and the like. For such processing, a motor built-in spindle device that incorporates a motor and is directly driven is suitable.

上記モータビルトインのスピンドル装置は、例えば前方側に工具を取り付け可能な回転軸を備えた本体ハウジングを有し、その本体ハウジングの後方側には、モータ部を内蔵するモータハウジングが固定されている。モータ部は、前記回転軸の後方部に固定されたモータ軸と、そのモータ軸の外周面に固定された環状のロータと、ロータの外周を囲むようにモータハウジングの内周面に固定された環状のステータを有している。モータ部は、給電によりロータとステータとの間に生じる電磁力を用いてモータ軸及び回転軸を回転させ、工具を回転させている（特許文献１参照）。   The motor built-in spindle device has, for example, a main body housing having a rotating shaft to which a tool can be attached on the front side, and a motor housing containing a motor unit is fixed on the rear side of the main body housing. The motor unit is fixed to the inner peripheral surface of the motor housing so as to surround the outer periphery of the rotor, the motor shaft fixed to the rear portion of the rotating shaft, the annular rotor fixed to the outer peripheral surface of the motor shaft It has an annular stator. The motor unit rotates the tool by rotating the motor shaft and the rotating shaft using electromagnetic force generated between the rotor and the stator by power feeding (see Patent Document 1).

特開２００６−３３６８２６号公報JP 2006-336826 A

しかしながら、上述のようなモータビルトインのスピンドル装置では、ロータとステータの回転中心がずれていると、例えばモータ部の電磁力や遠心力等の作用により振動が生じ、また所望のトルクが得られなくなる。このため、スピンドル装置の組み立て時には、ロータとステータの芯合わせが必要になる。   However, in the motor built-in spindle device as described above, if the rotation center of the rotor and the stator is deviated, for example, vibration is generated by the action of electromagnetic force or centrifugal force of the motor unit, and a desired torque cannot be obtained. . For this reason, when assembling the spindle device, it is necessary to align the rotor and the stator.

芯合わせを行う方法として、回転振れを検出するセンサを、芯合わせを行うステータの内周面に接触させてその回転振れを検出し、それを見ながら当該回転振れが無くなるように、ステータと一体のモータハウジングを本体ハウジングに固定することが考えられる。しかし、上述のスピンドル装置では、ロータとステータとの間隔が狭く、センサをロータとステータとの間に入れることができないため、上記方法を用いて正確な芯合わせを行うことはできない。   As a method of centering, a sensor that detects rotational runout is brought into contact with the inner peripheral surface of the stator that performs centering to detect the rotational runout, and it is integrated with the stator so that the rotational runout disappears while looking at it. It is conceivable to fix the motor housing to the main body housing. However, in the above-described spindle device, since the distance between the rotor and the stator is narrow and the sensor cannot be inserted between the rotor and the stator, accurate centering cannot be performed using the above method.

このため、例えばステータと一体のモータハウジングを本体ハウジングに取り付けるためのインローの隙間を可能な限り狭くして、ステータとロータの芯合わせを図ることが考えられる。しかしながら、この場合もインローの隙間分は回転中心がずれるので、十分に正確な芯合わせは難しい。また、特許文献１には、ステータをばねで支持してダンパーによって振動を抑制し、芯合わせを不要にしようとすることが提案されているが、この場合、構造が複雑になり高価な装置なる。   For this reason, for example, it is conceivable that the gap between the inlays for attaching the motor housing integral with the stator to the main body housing is made as narrow as possible so that the stator and the rotor are aligned. However, in this case as well, since the center of rotation is shifted in the gap of the spigot, it is difficult to sufficiently align the center. Further, Patent Document 1 proposes that a stator is supported by a spring and vibrations are suppressed by a damper so as to eliminate the need for centering. In this case, however, the structure becomes complicated and the apparatus becomes expensive. .

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、上述のようなモータビルトインのスピンドル装置において、ロータとステータの芯合わせを正確かつ簡単に行えるようにすることをその目的とする。   The present invention has been made in view of this point, and an object of the present invention is to enable accurate and simple centering of a rotor and a stator in a motor built-in spindle device as described above.

上記目的を達成するための本発明は、スピンドル装置であって、前方側に回転具を取り付け可能な回転軸と、前記回転軸を中心軸上に収容し、当該回転軸を軸受を介して回転自在に支持する本体ハウジングと、前記回転軸の後方側に設けられ、前記回転軸を回転駆動するモータ部と、前記本体ハウジングの後方部に固定され、前記モータ部を収容するモータハウジングと、を有し、前記モータ部は、前記回転軸の後方部に当該回転軸と同軸上に固定されたモータ軸と、当該モータ軸の外周面に固定された環状のロータと、当該ロータに対向しモータハウジングの内周面に固定された環状のステータを有し、前記モータハウジングの内周面の前記ステータが固定されていない位置又は前記モータハウジングの外周面には、前記ステータの内周面と同心の環状の位置合わせ面が形成されていることを特徴とする。   The present invention for achieving the above object is a spindle device, wherein a rotary shaft to which a rotating tool can be attached on the front side, the rotary shaft is accommodated on a central axis, and the rotary shaft is rotated via a bearing. A body housing that is freely supported, a motor portion that is provided on the rear side of the rotating shaft and that rotationally drives the rotating shaft, and a motor housing that is fixed to the rear portion of the body housing and accommodates the motor portion. The motor unit includes a motor shaft fixed coaxially to the rotation shaft at a rear portion of the rotation shaft, an annular rotor fixed to the outer peripheral surface of the motor shaft, and a motor facing the rotor. An annular stator fixed to the inner peripheral surface of the housing, and the inner peripheral surface of the stator at a position where the stator is not fixed on the inner peripheral surface of the motor housing or the outer peripheral surface of the motor housing Wherein the positioning surface of the concentric annular are formed.

本発明によれば、モータハウジングの内周面又は外周面に、ステータの内周面と同心の環状の位置合わせ面が形成されているので、スピンドル装置の製造時に、モータハウジングの位置合わせ面を基準にして、例えば当該位置合わせ面に回転振れセンサを当てて、モータハウジングを本体ハウジングに対し軸が一致するように固定することができる。このため、モータハウジングの内周面に固定されたステータと、本体ハウジングの回転軸と同軸のモータ軸及びロータとの芯合わせを正確かつ簡単に行うことができる。   According to the present invention, since the annular alignment surface concentric with the inner peripheral surface of the stator is formed on the inner peripheral surface or the outer peripheral surface of the motor housing, the alignment surface of the motor housing is used when the spindle device is manufactured. As a reference, for example, a rotation shake sensor can be applied to the alignment surface, and the motor housing can be fixed to the main body housing so that the axis coincides. For this reason, the stator fixed to the inner peripheral surface of the motor housing and the motor shaft and rotor coaxial with the rotation shaft of the main body housing can be accurately and easily aligned.

前記スピンドル装置において、前記ステータを前記モータハウジングに固定した状態で、モータハウジングを加工機に固定し、当該加工機により、前記モータハウジングの内周面又は外周面の少なくとも一部と、前記ステータの内周面とを同時加工することにより、前記位置合わせ面が形成されていてもよい。かかる場合、ステータの内周面と同心の環状の位置合わせ面を精度よく簡単に形成できる。   In the spindle device, in a state where the stator is fixed to the motor housing, the motor housing is fixed to a processing machine, and by the processing machine, at least a part of an inner peripheral surface or an outer peripheral surface of the motor housing, and the stator The alignment surface may be formed by simultaneously processing the inner peripheral surface. In this case, an annular alignment surface concentric with the inner peripheral surface of the stator can be easily formed with high accuracy.

また、前記スピンドル装置は、前記本体ハウジングの前方側に形成された開口部に設けられ、当該本体ハウジングの内周面との間に本体ハウジングの内部と外部を連通する隙間を形成し、前記回転軸により回転する回転体と、前記モータ部を冷却するための冷却用気体を前記モータハウジング内に導入するための気体導入部と、前記モータハウジング内に供給された前記冷却用気体を、前記本体ハウジングと前記回転体の前記隙間に供給し、当該隙間から前記本体ハウジングの外部に流出させるための気体流路と、をさらに有するようにしてもよい。かかる場合、モータ部の冷却用気体を、回転体と本体ハウジングの隙間に供給し、当該隙間から本体ハウジングの外部に流出できるので、回転体と本体ハウジングの隙間から異物が侵入することを抑制できる。また、モータ部の冷却用気体を用いて異物の侵入を抑制できるので、新たに気体供給装置などを設ける必要がなく、スピンドル装置の構造の複雑化や高コスト化を抑制できる。なお、上記「回転体」は、回転軸と一体であっても別体であってもよい。   The spindle device is provided in an opening formed on the front side of the main body housing, and forms a gap that communicates the inside and the outside of the main body housing between the inner peripheral surface of the main body housing and the rotation. A rotating body that rotates by a shaft; a gas introduction part for introducing a cooling gas for cooling the motor part into the motor housing; and the cooling gas supplied into the motor housing. You may make it further have a gas flow path for supplying to the said clearance gap between a housing and the said rotary body, and making it flow out of the said main body housing from the said clearance gap. In such a case, the cooling gas for the motor unit can be supplied to the gap between the rotating body and the main body housing and can flow out of the main body housing through the gap, so that foreign matter can be prevented from entering through the gap between the rotating body and the main body housing. . Further, since the intrusion of foreign matter can be suppressed using the cooling gas of the motor unit, it is not necessary to newly provide a gas supply device or the like, and the complexity and cost increase of the structure of the spindle device can be suppressed. The “rotating body” may be integrated with the rotating shaft or may be a separate body.

別の観点による本発明は、スピンドル装置の製造方法であって、本体ハウジング内の中心軸上に軸受を介して回転自在に支持された回転軸に対し、環状のロータが外周面に固定されたモータ軸を、軸が一致するように固定する工程と、環状のステータが内周面に固定されたモータハウジングに対し、当該モータハウジングの内周面の前記ステータが固定されていない位置又はモータハウジングの外周面に、前記ステータの内周面と同心の環状の位置合わせ面を形成する工程と、前記位置合わせ面を基準にして、前記モータハウジングを前記本体ハウジングに対し、軸が一致するように固定して、前記ロータと前記ステータを同心円状に対向配置する工程と、を有することを特徴とする。かかる場合、位置合わせ面を基準にして、モータハウジングが、本体ハウジングに対し軸が一致しロータとステータが同心円状になるように固定されるので、モータハウジングのステータと、本体ハウジングの回転軸に同軸のモータ軸及びロータとの芯合わせを正確かつ簡単に行うことができる。   Another aspect of the present invention is a method of manufacturing a spindle device, wherein an annular rotor is fixed to an outer peripheral surface of a rotation shaft that is rotatably supported via a bearing on a central shaft in a main body housing. A step of fixing the motor shaft so that the shafts coincide with each other, and a position where the stator is not fixed on the inner peripheral surface of the motor housing relative to the motor housing in which the annular stator is fixed to the inner peripheral surface, or the motor housing Forming an annular alignment surface concentric with the inner peripheral surface of the stator on the outer peripheral surface of the stator, and the axis of the motor housing with respect to the main body housing so as to coincide with each other on the basis of the alignment surface And fixing and arranging the rotor and the stator concentrically facing each other. In such a case, the motor housing is fixed so that the axis coincides with the main body housing and the rotor and the stator are concentric with respect to the alignment surface, so that the stator of the motor housing and the rotation shaft of the main body housing are fixed. Centering with the coaxial motor shaft and rotor can be performed accurately and easily.

前記ステータを前記モータハウジングに固定した状態で、モータハウジングを加工機に固定し、当該加工機により、前記モータハウジングの内周面又は外周面の少なくとも一部と、前記ステータの内周面とを同時加工することにより、前記位置合わせ面を形成するようにしてもよい。かかる場合、ステータの内周面と同心の環状の位置合わせ面を精度よく簡単に形成できる。   In a state where the stator is fixed to the motor housing, the motor housing is fixed to a processing machine, and by the processing machine, at least a part of the inner peripheral surface or outer peripheral surface of the motor housing and the inner peripheral surface of the stator are The alignment surface may be formed by simultaneous processing. In this case, an annular alignment surface concentric with the inner peripheral surface of the stator can be easily formed with high accuracy.

また、前記モータハウジングを前記本体ハウジングに仮止めし、当該モータハウジングを回転させて前記位置合わせ面の回転振れを検出し、当該回転振れが最小になるように、前記モータハウジングを前記本体ハウジングに固定するようにしてもよい。かかる場合、モータハウジングと本体ハウジングとの同軸性が向上し、モータハウジングのステータと、本体ハウジングの回転軸に同軸のモータ軸及びロータとの芯合わせをより正確に行うことができる。   In addition, the motor housing is temporarily fixed to the main body housing, the motor housing is rotated to detect the rotational shake of the alignment surface, and the motor housing is attached to the main body housing so that the rotational shake is minimized. It may be fixed. In this case, the coaxiality between the motor housing and the main body housing is improved, and the motor housing and the rotor coaxial with the rotation shaft of the main body housing can be aligned more accurately.

前記ロータの外周面は、前記モータ軸と同心になるように加工されていてもよい。かかる場合、ロータの外周面とモータ軸との同軸性を向上できる。   The outer peripheral surface of the rotor may be processed so as to be concentric with the motor shaft. In such a case, the coaxiality between the outer peripheral surface of the rotor and the motor shaft can be improved.

前記モータ軸を前記回転軸に仮止めし、当該モータ軸を回転させて前記ロータの外周面の回転振れを検出し、当該回転振れが最小になるように、前記モータ軸を前記回転軸に固定するようにしてもよい。かかる場合、ロータの外周面及びモータ軸と、回転軸及び本体ハウジングとの同軸性を向上できる。   Temporarily fix the motor shaft to the rotating shaft, rotate the motor shaft to detect rotational runout of the outer peripheral surface of the rotor, and fix the motor shaft to the rotary shaft so that the rotational runout is minimized You may make it do. In such a case, the coaxiality between the outer peripheral surface of the rotor and the motor shaft, the rotating shaft and the main body housing can be improved.

本発明によれば、ロータとステータの芯合わせを正確かつ簡単に行うことができるので、低振動で安価なスピンドル装置を実現できる。   According to the present invention, since the centering of the rotor and the stator can be performed accurately and easily, a low-vibration and inexpensive spindle device can be realized.

以下、図面を参照して、本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係るスピンドル装置１の構成の概略を示す説明図である。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory diagram showing an outline of the configuration of a spindle device 1 according to the present embodiment.

スピンドル装置１は、前方側に回転具としての工具Ａを取り付け可能な回転軸１０と、回転軸１０の後方側に設けられ、回転軸１０を回転駆動するモータ部１１と、回転軸１０をエア軸受１２を介して回転自在に支持する本体ハウジング１３と、本体ハウジング１３の後方部に固定され、モータ部１１を収容するモータハウジング１４を有している。   The spindle device 1 includes a rotary shaft 10 to which a tool A as a rotating tool can be attached on the front side, a motor unit 11 that is provided on the rear side of the rotary shaft 10 and rotationally drives the rotary shaft 10, and the rotary shaft 10 is air-operated. It has a main body housing 13 that is rotatably supported via a bearing 12, and a motor housing 14 that is fixed to the rear portion of the main body housing 13 and accommodates the motor portion 11.

本体ハウジング１３は、例えば両端に開口部を有する円筒状に形成され、その中心軸Ｐ上に回転軸１０を収容している。回転軸１０は、前方端部に径の大きい回転体としての前方フランジ１０ａを有している。この前方フランジ１０ａは、本体ハウジング１３の前方部を構成するシールリング部１３ａの開口部Ｂに位置し、シールリング部１３ａの内周面と前方フランジ１０ａの外周面との間には、隙間Ｄが形成されている。また、シールリング部１３ａの内周面には、前方フランジ１０ａの外周面に近づくように内側に突出した環状の突条部２０が形成されている。この突条部２０の内周面には、環状の凹部２０ａが形成されている。前方フランジ１０ａの前面側には、工具Ａを取り付けることができる。   The main body housing 13 is formed in a cylindrical shape having openings at both ends, for example, and accommodates the rotary shaft 10 on the central axis P thereof. The rotating shaft 10 has a front flange 10a as a rotating body having a large diameter at the front end. The front flange 10a is located at the opening B of the seal ring portion 13a that constitutes the front portion of the main body housing 13, and there is a gap D between the inner peripheral surface of the seal ring portion 13a and the outer peripheral surface of the front flange 10a. Is formed. Further, an annular ridge 20 projecting inward so as to approach the outer peripheral surface of the front flange 10a is formed on the inner peripheral surface of the seal ring portion 13a. An annular recess 20 a is formed on the inner peripheral surface of the protrusion 20. The tool A can be attached to the front side of the front flange 10a.

回転軸１０は、後方端部にも径の大きい後方フランジ１０ｂを有している。エア軸受１２は、前方フランジ１０ａと後方フランジ１０ｂとの間であって、本体ハウジング１３の内周面と回転軸１０の外周面との間に介在されている。エア軸受１２は、回転軸１０の軸方向に２つ並列して設けられている。本体ハウジング１３の壁内には、外部からエア軸受１２に軸受用エアを供給する軸受用エア供給流路３０が形成されている。この軸受用エアの供給により、エア軸受１２と回転軸１０との間の隙間Ｃに軸受用エアが供給され、回転軸１０が、本体ハウジング１３の中心軸Ｐ上でエア軸受１２に非接触で支持されて回転できる。また、本体ハウジング１３には、空間Ｈからシールリング部１３ａの内周面に通じるエア流路３１が形成されている。このエア流路３１により、エア軸受１２から排出された軸受用エアを前方フランジ１０ａとシールリング部１３ａとの隙間Ｄに供給できる。   The rotating shaft 10 has a rear flange 10b having a large diameter at the rear end. The air bearing 12 is interposed between the front flange 10 a and the rear flange 10 b and between the inner peripheral surface of the main body housing 13 and the outer peripheral surface of the rotary shaft 10. Two air bearings 12 are provided in parallel in the axial direction of the rotary shaft 10. In the wall of the main body housing 13, a bearing air supply passage 30 for supplying bearing air to the air bearing 12 from the outside is formed. By supplying the bearing air, the bearing air is supplied to the gap C between the air bearing 12 and the rotary shaft 10, and the rotary shaft 10 is not in contact with the air bearing 12 on the central axis P of the main body housing 13. Supported and can rotate. The main body housing 13 is formed with an air flow path 31 that leads from the space H to the inner peripheral surface of the seal ring portion 13a. By this air flow path 31, the bearing air discharged from the air bearing 12 can be supplied to the gap D between the front flange 10a and the seal ring portion 13a.

モータハウジング１４は、両端が開口した円筒状の本体部１４ａと、本体部１４ａの後方の開口部を閉鎖する底部１４ｂを有し、その内部にモータ部１１が設けられている。   The motor housing 14 has a cylindrical main body portion 14a that is open at both ends, and a bottom portion 14b that closes the rear opening portion of the main body portion 14a, and the motor portion 11 is provided therein.

モータ部１１は、例えば回転軸１０の後方部に当該回転軸１０と同軸上に固定されたモータ軸４０と、モータ軸４０の外周面に固定された環状のロータ４１と、ロータ４１に対向しモータハウジング１４の内周面に固定された環状のステータ４２を有している。   The motor unit 11 faces the rotor 41, for example, a motor shaft 40 that is coaxially fixed to the rear portion of the rotating shaft 10, an annular rotor 41 that is fixed to the outer peripheral surface of the motor shaft 40, and the rotor 41. An annular stator 42 is fixed to the inner peripheral surface of the motor housing 14.

ロータ４１は、モータ軸４０に圧入固定され、そのモータ軸４０は、例えばボルト等により、回転軸１０の後方フランジ１０ｂの後面に回転軸１０と同軸になるように固定されている。ロータ４１の外周面４１ａは、モータ軸４０と一体で加工されており、モータ軸４０と同心になっている。   The rotor 41 is press-fitted and fixed to the motor shaft 40, and the motor shaft 40 is fixed to the rear surface of the rear flange 10b of the rotating shaft 10 so as to be coaxial with the rotating shaft 10 by, for example, bolts. The outer peripheral surface 41 a of the rotor 41 is processed integrally with the motor shaft 40 and is concentric with the motor shaft 40.

ステータ４２は、モータハウジング１４の本体部１４ａの内周面であって、ロータ４１と対向する位置に圧入固定されている。本体部１４ａの内周面の後方端部には、環状の位置合わせ面Ｅが形成されている。この位置合わせ面Ｅは、ステータ４２の内周面４２ａを加工する際にそのステータ４２の内周面４２ａと一体に加工されている。つまり、位置合わせ面Ｅは、本体部１４ａにステータ４２を固定した状態で、当該本体部１４ａを加工機に固定し、当該加工機により、ステータ４２の内周面４２ａと本体部１４ａの内周面の後方端部とを同時に一体に加工することにより形成されている。したがって、位置合わせ面Ｅは、ステータ４２の内周面４２ａと同心になっている。   The stator 42 is press-fitted and fixed at a position facing the rotor 41 on the inner peripheral surface of the main body 14 a of the motor housing 14. An annular alignment surface E is formed at the rear end of the inner peripheral surface of the main body 14a. The alignment surface E is processed integrally with the inner peripheral surface 42a of the stator 42 when the inner peripheral surface 42a of the stator 42 is processed. That is, the alignment surface E fixes the main body 14a to the processing machine in a state where the stator 42 is fixed to the main body 14a, and the processing machine allows the inner peripheral surface 42a of the stator 42 and the inner periphery of the main body 14a to be aligned. It is formed by processing the rear end portion of the surface integrally at the same time. Therefore, the alignment surface E is concentric with the inner peripheral surface 42 a of the stator 42.

モータハウジング１４の本体部１４ａは、例えばボルト等により、本体ハウジング１３の後方端部に固定されている。また、本体部１４ａのステータ４２と接触する内周面には、周方向に環状の溝５０が形成されている。溝５０には、モータハウジング１４の外部に通じる冷却水流入孔５１と、冷却水流出孔５２が接続されている。これらの溝５０、冷却水流入孔５１及び冷却水流出孔５２により、冷却水の流路が形成され、外部の冷却水を冷却水流入孔５１から流入し、溝５０を通過させてモータ部１１を冷却し、冷却水流出孔５２から排出することができる。   The main body portion 14a of the motor housing 14 is fixed to the rear end portion of the main body housing 13 with, for example, bolts. An annular groove 50 is formed in the circumferential direction on the inner peripheral surface of the main body portion 14a that comes into contact with the stator 42. A cooling water inflow hole 51 and a cooling water outflow hole 52 communicating with the outside of the motor housing 14 are connected to the groove 50. The grooves 50, the cooling water inflow holes 51, and the cooling water outflow holes 52 form a flow path of the cooling water, and external cooling water flows from the cooling water inflow holes 51 and passes through the grooves 50 to be supplied to the motor unit 11. Can be cooled and discharged from the cooling water outflow hole 52.

次に、以上のように構成されたスピンドル装置１の製造方法について説明する。まず、例えば図２に示すように回転軸１０が、本体ハウジング１３の中心軸Ｐ上にエア軸受１２により支持された状態で固定される。このとき、回転軸１０と本体ハウジング１３の同軸性が確保されており、この同軸の回転軸１０と本体ハウジング１３が芯合わせの基準となる。一方、モータ軸４０の外周面には、ロータ４１が圧入固定され、その後ロータ４１の外周面４１ａは、上述したようにモータ軸４０の外周面と一体的に加工され、モータ軸４０と同心になっている。   Next, a method for manufacturing the spindle device 1 configured as described above will be described. First, as shown in FIG. 2, for example, the rotary shaft 10 is fixed on the central axis P of the main body housing 13 while being supported by the air bearing 12. At this time, the coaxiality of the rotating shaft 10 and the main body housing 13 is ensured, and the coaxial rotating shaft 10 and the main body housing 13 serve as a reference for alignment. On the other hand, the rotor 41 is press-fitted and fixed to the outer peripheral surface of the motor shaft 40, and then the outer peripheral surface 41a of the rotor 41 is processed integrally with the outer peripheral surface of the motor shaft 40 as described above, and is concentric with the motor shaft 40. It has become.

そして、本体ハウジング１３の回転軸１０の後方部に、モータ軸４０が固定される。このモータ軸４０の固定作業は、図３に示すようにまず、モータ軸４０がボルト等により回転軸１０に仮止めされる。そして、次に、ロータ４１の外周面４１ａに回転振れセンサＦが当接され、モータ軸４０が回転されてロータ４１の外周面４１ａの回転振れが検出される。そして、当該回転振れが最小になるように、回転軸１０に対するモータ軸４０の固定位置が調整される。こうして、芯合わせの基準となる回転軸１０に対し、モータ軸４０が軸が一致するように固定される。   The motor shaft 40 is fixed to the rear portion of the rotating shaft 10 of the main body housing 13. As shown in FIG. 3, the motor shaft 40 is fixed temporarily to the rotary shaft 10 with bolts or the like as shown in FIG. Next, the rotational shake sensor F is brought into contact with the outer peripheral surface 41 a of the rotor 41, the motor shaft 40 is rotated, and the rotational shake of the outer peripheral surface 41 a of the rotor 41 is detected. And the fixed position of the motor shaft 40 with respect to the rotating shaft 10 is adjusted so that the said rotational shake may become the minimum. In this way, the motor shaft 40 is fixed so that the axis coincides with the rotating shaft 10 which is a reference for alignment.

一方、図４に示すようにモータハウジング１４の本体部１４ａには、ステータ４２の内周面４２ａと同心の環状の位置合わせ面Ｅが形成される。この位置合わせ面Ｅは、上述のようにステータ４２が固定された本体部１４ａを加工機に固定し、当該加工機により、ステータ４２の内周面４２ａと本体部１４ａの内周面の後方端部とを一体で加工することにより形成される。   On the other hand, as shown in FIG. 4, an annular alignment surface E concentric with the inner peripheral surface 42 a of the stator 42 is formed on the main body portion 14 a of the motor housing 14. The alignment surface E fixes the main body portion 14a to which the stator 42 is fixed as described above to a processing machine, and the processing machine allows the inner peripheral surface 42a of the stator 42 and the rear end of the inner peripheral surface of the main body portion 14a. It is formed by processing the part integrally.

そして、芯合わせの基準となる本体ハウジング１３の後方端部に、モータハウジング１４が固定される。このモータハウジング１４の固定作業は、図５に示すようにまず、底部１４ｂを取り外した状態のモータハウジング１４（本体部１４ａ）がボルト等により本体ハウジング１３に仮止めされる。次に、本体部１４ａの位置合わせ面Ｅに回転振れセンサＦが当接される。その後、回転振れセンサＦが当接した状態で、モータ軸４０及び回転軸１０が固定され、本体ハウジング１３と本体部１４ａが一体に回転され、位置合わせ面Ｅの回転振れが検出される。そして、当該回転振れが最小になるように、本体部１４ａが本体ハウジング１３に固定される。こうして、本体部１４ａが本体ハウジング１３に対し、軸が一致するように固定され、ロータ４１とステータ４２が同心円状に対向配置される。その後、図１に示したように位置合わせ面Ｅのある本体部１４ａの後方端部に、ボルト等により底部１４ｂが固定される。   Then, the motor housing 14 is fixed to the rear end portion of the main body housing 13 which serves as a reference for alignment. As shown in FIG. 5, the motor housing 14 is first temporarily fixed to the main housing 13 with bolts or the like, with the motor housing 14 (main body 14 a) from which the bottom 14 b has been removed. Next, the rotational shake sensor F is brought into contact with the alignment surface E of the main body portion 14a. Thereafter, the motor shaft 40 and the rotary shaft 10 are fixed in a state where the rotational shake sensor F is in contact, the main body housing 13 and the main body portion 14a are rotated together, and the rotational shake of the alignment surface E is detected. And the main-body part 14a is fixed to the main body housing 13 so that the said rotational shake may become the minimum. Thus, the main body portion 14a is fixed to the main body housing 13 so that the axes thereof coincide with each other, and the rotor 41 and the stator 42 are concentrically opposed to each other. Thereafter, as shown in FIG. 1, the bottom portion 14b is fixed to the rear end portion of the main body portion 14a having the alignment surface E by a bolt or the like.

以上の実施の形態によれば、モータハウジング１４の内周面に、ステータ４２の内周面４２ａと同心の環状の位置合わせ面Ｅが形成されているので、スピンドル装置の製造時に、モータハウジング１４の位置合わせ面Ｅを基準にして、当該位置合わせ面Ｅに回転振れセンサＦを当てて、モータハウジング１４を本体ハウジング１３に対し軸が一致するように固定することができる。こうすることにより、モータハウジング１４に固定されたステータ４２と、本体ハウジング１３の回転軸１０に同軸に固定されたモータ軸４０及びロータ４１との回転中心が一致するので、ステータ４２とロータ４１の芯合わせを正確かつ簡単に行うことができる。   According to the above embodiment, since the annular alignment surface E concentric with the inner peripheral surface 42a of the stator 42 is formed on the inner peripheral surface of the motor housing 14, the motor housing 14 is manufactured at the time of manufacturing the spindle device. With reference to the alignment surface E, the rotation shake sensor F can be applied to the alignment surface E to fix the motor housing 14 to the main body housing 13 so that the axes thereof coincide with each other. As a result, the rotation centers of the stator 42 fixed to the motor housing 14 and the motor shaft 40 and the rotor 41 fixed coaxially to the rotation shaft 10 of the main body housing 13 coincide with each other. Centering can be performed accurately and easily.

また、以上の実施の形態では、スピンドル装置１において、ステータ４２をモータハウジング１４に固定した状態で、モータハウジング１４を加工機に固定し、当該加工機により、ステータ４２の内周面４２ａと、モータハウジング１４の内周面の一部とを同時加工することにより、位置合わせ面Ｅが形成されている。このため、ステータ４２の内周面４２ａと同心の環状の位置合わせ面Ｅを精度よく簡単に形成できる。   In the above embodiment, in the spindle device 1, the motor housing 14 is fixed to the processing machine in a state where the stator 42 is fixed to the motor housing 14, and by the processing machine, the inner peripheral surface 42 a of the stator 42, An alignment surface E is formed by simultaneously processing a part of the inner peripheral surface of the motor housing 14. For this reason, the annular alignment surface E concentric with the inner peripheral surface 42a of the stator 42 can be easily formed with high accuracy.

また、以上の実施の形態では、スピンドル装置１を製造する際に、モータハウジング１４を本体ハウジング１３に仮止めし、当該モータハウジング１４を回転させて位置合わせ面Ｅの回転振れを検出し、当該回転振れが最小になるように、モータハウジング１４を本体ハウジング１３に固定するようにしている。このため、モータハウジング１４と本体ハウジング１３との同軸性が向上し、ステータ４２とロータ４１との芯合わせをより正確に行うことができる。   Further, in the above embodiment, when manufacturing the spindle device 1, the motor housing 14 is temporarily fixed to the main body housing 13, the motor housing 14 is rotated to detect the rotational shake of the alignment surface E, and The motor housing 14 is fixed to the main body housing 13 so that rotational runout is minimized. For this reason, the coaxiality of the motor housing 14 and the main body housing 13 is improved, and the stator 42 and the rotor 41 can be more accurately aligned.

ロータ４１の外周面４１ａは、モータ軸４０と同心になるように加工されているので、ロータ４１の外周面４１ａとモータ軸４０との同軸性が向上されている。また、モータ軸４０を回転軸１０に仮止めし、当該モータ軸４０を回転させてロータ４１の外周面４１ａの回転振れを検出し、当該回転振れが最小になるように、モータ軸４０を回転軸１０に固定するようにしている。このため、ロータ４１の外周面４１ａと回転軸１０との同軸性が向上されている。したがって、本体ハウジング１３や回転軸１０を基準に固定されているステータ４２とロータ４１との芯合わせをより正確に行うことができる。   Since the outer peripheral surface 41a of the rotor 41 is processed so as to be concentric with the motor shaft 40, the coaxiality between the outer peripheral surface 41a of the rotor 41 and the motor shaft 40 is improved. Further, the motor shaft 40 is temporarily fixed to the rotating shaft 10 and the motor shaft 40 is rotated to detect the rotational vibration of the outer peripheral surface 41a of the rotor 41, and the motor shaft 40 is rotated so that the rotational vibration is minimized. The shaft 10 is fixed. For this reason, the coaxiality of the outer peripheral surface 41a of the rotor 41 and the rotating shaft 10 is improved. Therefore, the stator 42 and the rotor 41 fixed on the basis of the main body housing 13 and the rotating shaft 10 can be aligned more accurately.

以上の実施の形態で記載したスピンドル装置１は、モータ部１１を冷却するための冷却用気体をモータハウジング１４内に導入するための気体導入部と、モータハウジング１４内に供給された冷却用気体を、本体ハウジング１３のシールリング部１３ａと前方フランジ１０ａの隙間Ｄに供給し、当該隙間Ｄから本体ハウジング１３の外部に流出させるための気体流路と、をさらに備えていてもよい。   The spindle device 1 described in the above embodiment includes a gas introduction unit for introducing a cooling gas for cooling the motor unit 11 into the motor housing 14 and a cooling gas supplied into the motor housing 14. To the gap D between the seal ring portion 13a of the main body housing 13 and the front flange 10a, and a gas flow path for allowing the gas to flow out of the main body housing 13 from the gap D.

図６は、かかる一例を示すものであり、例えば後方フランジ１０ｂとモータ部１１との間のモータハウジング１４の内周面には、冷却用気体としての冷却用エアの導入を行う環状のエア導入リング６０が設けられている。エア導入リング６０の内部には、外周面から中心方向に延びてその後モータ部１１のある後方側の側面に連通するエア導入流路６１が形成されている。モータハウジング１４の壁内には、エア導入流路６１に通じるエア導入孔６２が形成されている。これにより、外部からエア導入孔６２とエア導入リング６０のエア導入流路６１を通じて、モータハウジング１４の内部に冷却用エアを供給できる。また、冷却用エアをモータ部１１の前方側から後方側に向けて供給できる。なお、本実施の形態では、例えばエア導入リング６０とエア導入孔６２により気体導入部が構成されている。   FIG. 6 shows such an example. For example, on the inner peripheral surface of the motor housing 14 between the rear flange 10b and the motor unit 11, an annular air introduction for introducing cooling air as a cooling gas is shown. A ring 60 is provided. Inside the air introduction ring 60 is formed an air introduction flow path 61 that extends in the center direction from the outer peripheral surface and then communicates with the rear side surface where the motor unit 11 is located. An air introduction hole 62 communicating with the air introduction flow path 61 is formed in the wall of the motor housing 14. Thereby, cooling air can be supplied to the inside of the motor housing 14 from the outside through the air introduction hole 62 and the air introduction passage 61 of the air introduction ring 60. Further, the cooling air can be supplied from the front side to the rear side of the motor unit 11. In the present embodiment, for example, a gas introduction part is configured by the air introduction ring 60 and the air introduction hole 62.

さらにモータハウジング１４の内周面のモータ部１１よりも後方側には、エア流路７０のエア流入口７０ａが形成されている。エア流路７０は、モータハウジング１４と本体ハウジング１３の壁内を通って前方側のエア流路３１に合流している。これにより、モータハウジング１４内の冷却用エアをエア流入口７０ａから流入し、エア流路７０とエア流路３１を通ってシールリング部１３ａの内側に供給し、前方フランジ１０ａと突条部２０との隙間Ｄから本体ハウジング１３の外部に冷却用エアを流出できる。なお、本実施の形態では、エア流路７０、３１により、気体流路が形成されている。   Further, an air inlet 70 a of the air flow path 70 is formed on the inner peripheral surface of the motor housing 14 on the rear side of the motor portion 11. The air flow path 70 passes through the walls of the motor housing 14 and the main body housing 13 and merges with the air flow path 31 on the front side. As a result, cooling air in the motor housing 14 flows in from the air inlet 70a, is supplied to the inside of the seal ring portion 13a through the air flow path 70 and the air flow path 31, and the front flange 10a and the ridge portion 20 are supplied. The cooling air can flow out of the main body housing 13 from the gap D. In the present embodiment, a gas flow path is formed by the air flow paths 70 and 31.

また、シールリング部１３ａには、突条部２０の内周面の凹部２０ａから外周面に通じるドレイン抜き穴８０が形成されている。これにより、何らかの原因で研削水等の異物がシールリング部１３ａの内部に侵入した場合には、ドレイン抜き穴８０を通じて異物を除去できる。   Further, a drain hole 80 is formed in the seal ring portion 13a so as to communicate from the concave portion 20a on the inner peripheral surface of the ridge portion 20 to the outer peripheral surface. Thereby, when a foreign matter such as grinding water enters the inside of the seal ring portion 13 a for some reason, the foreign matter can be removed through the drain hole 80.

この例によれば、モータ部１１の冷却用気体を、前方フランジ１０ａとシールリング部１３ａの隙間Ｄに供給し当該隙間Ｄから本体ハウジング１３の外部に流出させるので、例えば工具Ａによる研削加工で用いられる研削水等の異物が隙間Ｄを通じて本体ハウジング１３の内部に侵入することを抑制できる。これにより、研削水に含まれる切粉が本体ハウジング１３の内部に侵入しエア軸受１２やモータ部１１を破損することを防止できる。また、モータ部１１の冷却用エアを用いて本体ハウジング１３の内部への異物の侵入を抑制するので、新たにエアの供給装置等を設ける必要がなく、スピンドル装置１の構成の複雑化、高コスト化を抑制できる。   According to this example, the cooling gas for the motor part 11 is supplied to the gap D between the front flange 10a and the seal ring part 13a and flows out of the main body housing 13 through the gap D. It is possible to suppress foreign matter such as used grinding water from entering the main body housing 13 through the gap D. Thereby, it is possible to prevent chips contained in the grinding water from entering the inside of the main body housing 13 and damaging the air bearing 12 and the motor unit 11. Further, since the cooling air of the motor unit 11 is used to suppress the entry of foreign matter into the main body housing 13, it is not necessary to provide a new air supply device or the like, making the configuration of the spindle device 1 complicated and high. Cost reduction can be suppressed.

なお、以上の実施の形態では、エア流路７０がモータハウジング１４の壁内や本体ハウジング１３の壁内を通過していたが、モータハウジング１４や本体ハウジング１３の外部を通るようにしてもよい。   In the above embodiment, the air flow path 70 passes through the wall of the motor housing 14 and the wall of the main body housing 13. However, the air flow path 70 may pass outside the motor housing 14 and the main body housing 13. .

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に相到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to such examples. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the ideas described in the claims, and these are naturally within the technical scope of the present invention. It is understood that it belongs.

例えば以上の実施の形態では、位置合わせ面Ｅがモータハウジング１４の内周面の後端部に形成されていたが、ステータ４２が固定されている位置以外であれば、モータハウジング１４の内周面の他の位置に形成されていてもよいし、モータハウジング１４の外周面に形成されていてもよい。   For example, in the above embodiment, the alignment surface E is formed at the rear end portion of the inner peripheral surface of the motor housing 14, but the inner periphery of the motor housing 14 is at any position other than the position where the stator 42 is fixed. It may be formed at other positions on the surface, or may be formed on the outer peripheral surface of the motor housing 14.

スピンドル装置の構成の概略を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the outline of a structure of a spindle apparatus. 本体ハウジングと、モータ軸を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a main body housing and a motor shaft. モータ軸のロータの外周面に回転振れセンサを接触させた状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which made the rotational shake sensor contact the outer peripheral surface of the rotor of a motor shaft. モータハウジングの本体部の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the main-body part of a motor housing. モータハウジングの位置合わせ面に回転振れセンサを接触させた状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which made the rotation shake sensor contact the alignment surface of a motor housing. スピンドル装置の他の構成例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the other structural example of a spindle apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１ スピンドル装置
１０ 回転軸
１１ モータ部
１２ エア軸受
１３ 本体ハウジング
１４ モータハウジング
４０ モータ軸
４１ ロータ
４２ ステータ
Ａ 工具
Ｄ 隙間
Ｅ 位置合わせ面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Spindle apparatus 10 Rotating shaft 11 Motor part 12 Air bearing 13 Main body housing 14 Motor housing 40 Motor shaft 41 Rotor 42 Stator A Tool D Gap E Alignment surface

Claims (8)

スピンドル装置であって、
前方側に回転具を取り付け可能な回転軸と、
前記回転軸を中心軸上に収容し、当該回転軸を軸受を介して回転自在に支持する本体ハウジングと、
前記回転軸の後方側に設けられ、前記回転軸を回転駆動するモータ部と、
前記本体ハウジングの後方部に固定され、前記モータ部を収容するモータハウジングと、を有し、
前記モータ部は、前記回転軸の後方部に当該回転軸と同軸上に固定されたモータ軸と、当該モータ軸の外周面に固定された環状のロータと、当該ロータに対向しモータハウジングの内周面に固定された環状のステータを有し、
前記モータハウジングの内周面の前記ステータが固定されていない位置又は前記モータハウジングの外周面には、前記ステータの内周面と同心の環状の位置合わせ面が形成されていることを特徴とする、スピンドル装置。 A spindle device,
A rotating shaft to which a rotating tool can be attached on the front side;
A main body housing that houses the rotary shaft on a central axis and rotatably supports the rotary shaft via a bearing;
A motor unit that is provided on the rear side of the rotating shaft and that rotationally drives the rotating shaft;
A motor housing fixed to a rear portion of the main body housing and housing the motor portion;
The motor unit includes a motor shaft fixed coaxially to the rotary shaft at a rear portion of the rotary shaft, an annular rotor fixed to the outer peripheral surface of the motor shaft, an inner surface of the motor housing facing the rotor. Having an annular stator fixed to the peripheral surface;
An annular alignment surface concentric with the inner peripheral surface of the stator is formed at a position where the stator is not fixed on the inner peripheral surface of the motor housing or at the outer peripheral surface of the motor housing. Spindle device. 前記ステータを前記モータハウジングに固定した状態で、モータハウジングを加工機に固定し、当該加工機により、前記モータハウジングの内周面又は外周面の少なくとも一部と、前記ステータの内周面とを同時加工することにより、前記位置合わせ面が形成されていることを特徴とする、請求項１に記載のスピンドル装置。   In a state where the stator is fixed to the motor housing, the motor housing is fixed to a processing machine, and by the processing machine, at least a part of the inner peripheral surface or outer peripheral surface of the motor housing and the inner peripheral surface of the stator are The spindle device according to claim 1, wherein the alignment surface is formed by simultaneous processing. 前記本体ハウジングの前方側に形成された開口部に設けられ、当該本体ハウジングの内周面との間に本体ハウジングの内部と外部を連通する隙間を形成し、前記回転軸により回転する回転体と、
前記モータ部を冷却するための冷却用気体を前記モータハウジング内に導入するための気体導入部と、
前記モータハウジング内に供給された前記冷却用気体を、前記本体ハウジングと前記回転体の前記隙間に供給し、当該隙間から前記本体ハウジングの外部に流出させるための気体流路と、をさらに有することを特徴とする、請求項１又は２に記載のスピンドル装置。 A rotating body that is provided in an opening formed on the front side of the main body housing, forms a gap that communicates the inside and the outside of the main body housing with an inner peripheral surface of the main body housing, and rotates around the rotating shaft; ,
A gas introduction part for introducing a cooling gas for cooling the motor part into the motor housing;
A gas flow path for supplying the cooling gas supplied into the motor housing to the gap between the main body housing and the rotating body and allowing the gas to flow out of the main body housing from the gap. The spindle device according to claim 1, wherein the spindle device is characterized in that: スピンドル装置の製造方法であって、
本体ハウジング内の中心軸上に軸受を介して回転自在に支持された回転軸に対し、環状のロータが外周面に固定されたモータ軸を、軸が一致するように固定する工程と、
環状のステータが内周面に固定されたモータハウジングに対し、当該モータハウジングの内周面の前記ステータが固定されていない位置又はモータハウジングの外周面に、前記ステータの内周面と同心の環状の位置合わせ面を形成する工程と、
前記位置合わせ面を基準にして、前記モータハウジングを前記本体ハウジングに対し、軸が一致するように固定して、前記ロータと前記ステータを同心円状に対向配置する工程と、を有することを特徴とする、スピンドル装置の製造方法。 A method of manufacturing a spindle device,
A step of fixing a motor shaft having an annular rotor fixed to an outer peripheral surface to a rotating shaft rotatably supported via a bearing on a central axis in a main body housing so that the axes coincide;
For a motor housing in which an annular stator is fixed to the inner peripheral surface, an annular shape that is concentric with the inner peripheral surface of the stator at the position where the stator is not fixed on the inner peripheral surface of the motor housing or the outer peripheral surface of the motor housing Forming the alignment surface of
Fixing the motor housing with respect to the main body housing so that the axes coincide with each other on the basis of the alignment surface, and concentrically facing the rotor and the stator. A method of manufacturing a spindle device. 前記ステータを前記モータハウジングに固定した状態で、モータハウジングを加工機に固定し、当該加工機により、前記モータハウジングの内周面又は外周面の少なくとも一部と、前記ステータの内周面とを同時加工することにより、前記位置合わせ面を形成することを特徴とする、請求項４に記載のスピンドル装置の製造方法。   In a state where the stator is fixed to the motor housing, the motor housing is fixed to a processing machine, and by the processing machine, at least a part of the inner peripheral surface or outer peripheral surface of the motor housing and the inner peripheral surface of the stator are The method of manufacturing a spindle device according to claim 4, wherein the alignment surface is formed by simultaneous processing. 前記モータハウジングを前記本体ハウジングに仮止めし、当該モータハウジングを回転させて前記位置合わせ面の回転振れを検出し、当該回転振れが最小になるように、前記モータハウジングを前記本体ハウジングに固定することを特徴とする、請求項４又は５に記載のスピンドル装置の製造方法。   The motor housing is temporarily fixed to the main body housing, the motor housing is rotated to detect rotational shake of the alignment surface, and the motor housing is fixed to the main housing so that the rotational shake is minimized. 6. The method for manufacturing a spindle device according to claim 4, wherein the spindle device is manufactured. 前記ロータの外周面は、前記モータ軸と同心になるように加工されていることを特徴とする、請求項４〜６のいずれかに記載のスピンドル装置の製造方法。   The method for manufacturing a spindle device according to claim 4, wherein an outer peripheral surface of the rotor is processed to be concentric with the motor shaft. 前記モータ軸を前記回転軸に仮止めし、当該モータ軸を回転させて前記ロータの外周面の回転振れを検出し、当該回転振れが最小になるように、前記モータ軸を前記回転軸に固定することを特徴とする、請求項４〜７のいずれかに記載のスピンドル装置の製造方法。   Temporarily fix the motor shaft to the rotating shaft, rotate the motor shaft to detect rotational runout of the outer peripheral surface of the rotor, and fix the motor shaft to the rotary shaft so that the rotational runout is minimized The method of manufacturing a spindle device according to claim 4, wherein:
JP2008154513A 2008-06-12 2008-06-12 Spindle device, method for manufacturing spindle device, and grinding machine Expired - Fee Related JP5338149B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008154513A JP5338149B2 (en) 2008-06-12 2008-06-12 Spindle device, method for manufacturing spindle device, and grinding machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008154513A JP5338149B2 (en) 2008-06-12 2008-06-12 Spindle device, method for manufacturing spindle device, and grinding machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009303379A true JP2009303379A (en) 2009-12-24
JP5338149B2 JP5338149B2 (en) 2013-11-13

Family

ID=41549676

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008154513A Expired - Fee Related JP5338149B2 (en) 2008-06-12 2008-06-12 Spindle device, method for manufacturing spindle device, and grinding machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5338149B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014140906A (en) * 2013-01-22 2014-08-07 Disco Abrasive Syst Ltd Spindle
CN108372317A (en) * 2018-04-03 2018-08-07 台州屹捷数控机床有限公司 Electro spindle is driven in one kind
JP2020518744A (en) * 2017-05-03 2020-06-25 プラッサー ウント トイラー エクスポート フォン バーンバウマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＰｌａｓｓｅｒ ＆ Ｔｈｅｕｒｅｒ， Ｅｘｐｏｒｔ ｖｏｎ Ｂａｈｎｂａｕｍａｓｃｈｉｎｅｎ， Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ ｍ．ｂ．Ｈ． Tamping unit for compacting track sleepers

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58108748U (en) * 1982-01-20 1983-07-25 三菱電機株式会社 rotating electric machine
JPS61270042A (en) * 1985-05-22 1986-11-29 Toyoda Mach Works Ltd Spindle mechanism of machine tool
JPS6338903U (en) * 1986-08-27 1988-03-12
JPH04281355A (en) * 1991-03-05 1992-10-06 Fanuc Ltd Motor having adjustable central position
JP2002292534A (en) * 2001-03-29 2002-10-08 Toshiba Mach Co Ltd Spindle unit and method for centering the same
JP2006336826A (en) * 2005-06-06 2006-12-14 Ntn Corp Hydrostatic gas bearing spindle

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58108748U (en) * 1982-01-20 1983-07-25 三菱電機株式会社 rotating electric machine
JPS61270042A (en) * 1985-05-22 1986-11-29 Toyoda Mach Works Ltd Spindle mechanism of machine tool
JPS6338903U (en) * 1986-08-27 1988-03-12
JPH04281355A (en) * 1991-03-05 1992-10-06 Fanuc Ltd Motor having adjustable central position
JP2002292534A (en) * 2001-03-29 2002-10-08 Toshiba Mach Co Ltd Spindle unit and method for centering the same
JP2006336826A (en) * 2005-06-06 2006-12-14 Ntn Corp Hydrostatic gas bearing spindle

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014140906A (en) * 2013-01-22 2014-08-07 Disco Abrasive Syst Ltd Spindle
JP2020518744A (en) * 2017-05-03 2020-06-25 プラッサー ウント トイラー エクスポート フォン バーンバウマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＰｌａｓｓｅｒ ＆ Ｔｈｅｕｒｅｒ， Ｅｘｐｏｒｔ ｖｏｎ Ｂａｈｎｂａｕｍａｓｃｈｉｎｅｎ， Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ ｍ．ｂ．Ｈ． Tamping unit for compacting track sleepers
JP7009507B2 (en) 2017-05-03 2022-01-25 プラッサー ウント トイラー エクスポート フォン バーンバウマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Tamping unit for tamping orbital sleepers
CN108372317A (en) * 2018-04-03 2018-08-07 台州屹捷数控机床有限公司 Electro spindle is driven in one kind

Also Published As

Publication number Publication date
JP5338149B2 (en) 2013-11-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201911689A (en) Rotary driving device, method of assembling rotary driving device, axial flow blower, method of assembling axial flow blower and laser oscillator
CN201559121U (en) Grinding wheel spindle using air bearing
CN101786256A (en) Improved grinding wheel spindle using air bearing
JP2011220264A (en) Centrifugal compressor
JP2007154678A (en) Fluid machine
JP5338149B2 (en) Spindle device, method for manufacturing spindle device, and grinding machine
US10284049B2 (en) Electric motor having labyrinth
JP2009279673A (en) Spindle device and method of suppressing entry of foreign matter into spindle device
JP4832257B2 (en) High speed air spindle
JPH09233762A (en) Built-in motor
JP5201337B2 (en) Spindle device and method for manufacturing spindle device
JP2006167821A (en) Attachment fitting method and spindle device
CN212486323U (en) Motor with fan
KR200469260Y1 (en) An Air Spindle having poriferous Air-plate
JP2009293403A (en) Air compressor
JP2005134208A (en) Optical rotary encoder
US10284048B2 (en) Electric motor for suppressing entry of foreign substances
JP4989140B2 (en) Air spindle drive
JP5338209B2 (en) Machine tool spindle equipment
JP2009281462A (en) Aerostatic journal bearing spindle
JP2004230496A (en) Rotary chuck mechanism
JP6720629B2 (en) Centrifugal pump and method of manufacturing centrifugal pump
JP2009068547A (en) Spindle device
JP2009068546A (en) Spindle device
JP2009066680A (en) Spindle device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110609

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20121219

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130107

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130306

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130709

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130722

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5338149

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees