JP2009295847A - Mounting device and mounting method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、マウント装置及びマウント方法に係り、特に、減圧雰囲気で半導体ウエハ等の被着体とリングフレームとを接着シートを介して一体化させることに適したマウント装置及びマウント方法に関する。 The present invention relates to a mounting apparatus and a mounting method, and more particularly, to a mounting apparatus and a mounting method suitable for integrating an adherend such as a semiconductor wafer and a ring frame through an adhesive sheet in a reduced pressure atmosphere.
半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と称する)の処理工程には、多数のチップに個片化するダイシング工程が含まれ、当該ダイシング工程に先だって、ウエハをリングフレームにマウントすることが行われている。このマウントは、リングフレームと、当該リングフレームの内周側に配置されるウエハとに接着シート(ダイシングシート)を貼付することによって行われる。
特許文献1には、接着シートが貼付されたリングフレームと、ゴムシートに支持されたウエハとをケース内で相対的に配置し、前記接着シートの上方に形成された空間と、ゴムシートの下方に形成された空間との圧力を制御し、ゴムシートの弾性変形を介してウエハを接着シートに貼付する構成が開示されている。
また、特許文献2には、外周部の板厚が相対的に厚く設けられて当該外周部を補強部としたウエハが開示されている。
In
Patent Document 2 discloses a wafer in which the outer peripheral portion is provided with a relatively thick plate and the outer peripheral portion is used as a reinforcing portion.
しかしながら、特許文献1の構成にあっては、前記ゴムシートの下面側空間と接着シートの上面側空間との圧力を等しく保ちながら減圧しなければならない構成であるため、その圧力制御が非常に複雑になる、という不都合がある。
また、ウエハは、その下面側全域がゴムシートに接触する状態で支持される全接触型であり、ウエハの下面とゴムシートとの間に埃等の異物が付着していた場合には、接着シートを貼付するための圧力が作用したときに、ウエハに割れ等の損傷をもたらす。
特に、特許文献2に開示されたウエハは、その外周部が相対的に厚くなるように段差部を備えているものであるため、当該ウエハを対象としてリングフレームにマウントする場合には、前記ゴムシートの弾性変形時に、前記段差部が形成されている位置でウエハが割れ易くなる、という不都合がある。
However, in the configuration of
In addition, the wafer is an all-contact type that is supported in a state where the entire lower surface side is in contact with the rubber sheet. If foreign matter such as dust adheres between the lower surface of the wafer and the rubber sheet, the wafer is bonded. When pressure for applying the sheet is applied, the wafer is damaged such as cracking.
In particular, since the wafer disclosed in Patent Document 2 is provided with a stepped portion so that the outer peripheral portion thereof is relatively thick, when the wafer is mounted on a ring frame, the rubber is used. When the sheet is elastically deformed, there is an inconvenience that the wafer is easily broken at the position where the step portion is formed.
[発明の目的]
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、複雑な減圧制御をすることなく、接着シートを被着体に貼付することができるマウント装置及びマウント方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、被着体を支持する領域を限定的に設けることで、被着体に押圧力が付与された際に生じ得る損傷要因を効果的に排除することのできるマウント装置及びマウント方法を提供することにある。
更に、本発明の目的は、肉厚が異なる形状を備えた被着体を対象としても、当該被着体に割れ等の損傷をもたらすことなくマウントすることができるマウント装置及びマウント方法を提供することにある。
[Object of invention]
The present invention has been devised by paying attention to such inconveniences, and an object of the present invention is to provide a mounting apparatus and a mounting method capable of attaching an adhesive sheet to an adherend without complicated pressure reduction control. Is to provide.
Another object of the present invention is to provide a limited area for supporting the adherend, thereby effectively eliminating damage factors that may occur when a pressing force is applied to the adherend. To provide a mounting device and a mounting method.
Furthermore, an object of the present invention is to provide a mounting apparatus and a mounting method capable of mounting an adherend having shapes having different thicknesses without causing damage such as cracks on the adherend. There is.
前記目的を達成するため、本発明に係るマウント装置は、リングフレームの内周側に板状の被着体を配置して当該被着体を支持するテーブルと、前記リングフレームの内周側を塞ぐ大きさの接着シートをリングフレームに貼付する貼付手段と、前記テーブルを収容するとともに内部に減圧室を形成する開閉可能なケースとを含み、前記ケースを閉塞して減圧室の圧力を所定制御することで接着シートを介して被着体をリングフレームに一体化させるマウント装置において、前記テーブルに相対する位置でケース内に配置された挟込手段を更に含み、当該挟込手段は、前記ケースを閉塞して単一の減圧室が形成された状態で、前記テーブルと相互に作用して被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込む、という構成を採っている。 In order to achieve the above object, a mounting apparatus according to the present invention includes a table for arranging a plate-shaped adherend on the inner peripheral side of a ring frame and supporting the adherend, and an inner peripheral side of the ring frame. A sticking means for sticking an adhesive sheet of a size to be closed to the ring frame, and an openable / closable case for accommodating the table and forming a decompression chamber therein, and controlling the pressure in the decompression chamber by closing the case In the mounting device that integrates the adherend into the ring frame via the adhesive sheet, further includes a sandwiching unit disposed in the case at a position facing the table, the sandwiching unit including the case In a state where a single decompression chamber is formed by closing the plate, the structure is such that only the outer peripheral portion of the adherend is sandwiched with the adhesive sheet by interacting with the table.
また、本発明は、リングフレームの内周側に板状の被着体を配置して当該被着体を支持するテーブルと、前記リングフレーム及び板状部材に臨む位置に帯状の接着シートを供給する供給手段と、前記テーブルを収容するとともに内部に減圧室を形成する開閉可能なケースと、前記ケースを閉塞して減圧室の圧力を所定制御することで接着シートを介して被着体をリングフレームに一体化させた後に、前記接着シートを所定の大きさに切断する切断手段とを備えたマウント装置において、前記テーブルに相対する位置でケース内に配置された挟込手段を更に含み、当該挟込手段は、前記ケースを閉塞して単一の減圧室が形成された状態で、前記テーブルと相互に作用して被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込む、という構成を採ることができる。 The present invention also provides a table for supporting the adherend by arranging a plate-like adherend on the inner peripheral side of the ring frame, and a belt-like adhesive sheet at a position facing the ring frame and the plate-like member. A supply means that accommodates the table, and an openable / closable case that forms a decompression chamber therein, and the adherend is ringed through an adhesive sheet by closing the case and controlling the pressure in the decompression chamber to a predetermined level. In a mounting device comprising a cutting means for cutting the adhesive sheet into a predetermined size after being integrated with the frame, the mounting apparatus further includes a sandwiching means disposed in the case at a position facing the table, The sandwiching means adopts a configuration in which the case is closed and a single decompression chamber is formed to interact with the table and sandwich only the outer periphery of the adherend together with the adhesive sheet. It can be.
前記マウント装置において、前記テーブルは、前記被着体の外周部を下方から支持する支持凸部を備えた内側テーブルと、前記リングフレームを支持する外側テーブルとを含み、前記内側テーブルと挟込手段は、前記接着シートと被着体との間に、前記減圧室から独立した貼付前空間を形成するように設けられている。 In the mounting apparatus, the table includes an inner table having a support convex portion that supports an outer peripheral portion of the adherend from below, and an outer table that supports the ring frame, and the inner table and the sandwiching means. Is provided so as to form a pre-sticking space independent of the decompression chamber between the adhesive sheet and the adherend.
また、前記挟込手段は、前記被着体の外周部を挟み込む挟込凸部を備え、当該挟込手段と前記テーブルは、前記接着シートと被着体との間に、前記減圧室から独立した貼付前空間を形成する、という構成を採ることができる。 Further, the sandwiching means includes a sandwiching projection that sandwiches the outer periphery of the adherend, and the sandwiching means and the table are independent of the decompression chamber between the adhesive sheet and the adherend. It is possible to adopt a configuration in which a space before pasting is formed.
更に、本発明に係るマウント方法は、リングフレームの内周側に板状の被着体を載置する工程と、前記リングフレームの内周側を塞ぐ大きさの接着シートを前記リングフレームに貼付する工程と、前記リングフレームと被着体とを収容して単一の減圧室を形成する工程と、前記減圧室を減圧する工程と、前記被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込む工程と、前記減圧室の減圧を解除して接着シートを被着体に貼付して当該被着体をリングフレームに一体化させる工程とを含む手法を採っている。 Furthermore, the mounting method according to the present invention includes a step of placing a plate-shaped adherend on the inner peripheral side of the ring frame, and an adhesive sheet having a size for closing the inner peripheral side of the ring frame is attached to the ring frame. A step of accommodating the ring frame and the adherend to form a single decompression chamber, a step of decompressing the decompression chamber, and a step of sandwiching only the outer peripheral portion of the adherend together with the adhesive sheet And a step of releasing the decompression of the decompression chamber and attaching the adhesive sheet to the adherend and integrating the adherend with the ring frame.
また、本発明に係るマウント方法は、リングフレームの内周側に板状の被着体を載置する工程と、前記リングフレーム及び被着体に臨む位置に帯状の接着シートを供給する工程と、前記リングフレームと被着体とを収容して単一の減圧室を形成する工程と、前記減圧室を減圧する工程と、前記被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込む工程と、前記減圧室の減圧を解除して接着シートを被着体に貼付して前記被着体をリングフレームに一体化させる工程と、前記接着シートを所定の大きさに切断する切断工程とを手法を採用することもできる。 The mounting method according to the present invention includes a step of placing a plate-shaped adherend on the inner peripheral side of the ring frame, and a step of supplying a band-shaped adhesive sheet to a position facing the ring frame and the adherend. A step of accommodating the ring frame and the adherend to form a single decompression chamber, a step of decompressing the decompression chamber, a step of sandwiching only an outer peripheral portion of the adherend together with an adhesive sheet, Adopting the method of releasing the decompression of the decompression chamber and attaching the adhesive sheet to the adherend to integrate the adherend into the ring frame and cutting the adhesive sheet into a predetermined size You can also
前記マウント方法において、前記被着体の外周部を下方から支持する支持凸部と、この支持凸部に対応するとともに接着シートの上方から当該接着シートを挟み込む挟込凸部とにより被着体の外周部を接着シートと共に挟み込む、という方法を採ることが好ましい。 In the mounting method, a support convex portion that supports the outer peripheral portion of the adherend from below, and a sandwich convex portion that corresponds to the support convex portion and sandwiches the adhesive sheet from above the adhesive sheet. It is preferable to adopt a method of sandwiching the outer peripheral portion together with the adhesive sheet.
本発明によれば、減圧室を減圧した状態で、テーブルと挟込手段とにより、被着体の外周部が接着シートと共に挟み込まれる構成であるため、減圧室を大気開放するように圧力制御するだけで接着シートが被着体に貼付されることとなる。
これにより、複数の減圧室を設けた場合に要求される複数の圧力制御弁、配管及び圧力のバランス調整等は一切不要となり、複雑な構成、圧力制御若しくは管理が不要となる。
更に、減圧室を減圧した状態で、テーブルと挟込手段とにより、被着体と接着シートとの間に独立した貼付前空間が形成されるように構成したことで、減圧室を大気開放するように圧力制御を行うことにより、貼付前空間が大気圧によって実質的に消失して接着シートが被着体に貼付され、リングフレームに被着体をマウントすることができる。
また、被着体は外周部のみがテーブルに支持されることとなるため、被着体とテーブルとの接触面積を少なくすることができる。そのため、テーブル上の異物が被着体に押し付けられるようなことがないため、ウエハ等の脆質性を備えた被着体であっても損傷を効果的に回避することができる。
なお、本明細書において、減圧とは真空をも含む概念として用いられ、また、「貼付前空間」とは、被着体と接着シートとを挟み込む力が作用しない領域における被着体と接着シートとの間に生じる隙間について用いられる。更に、リングは、必ずしも閉ループを意味するものではなく、例えば、平面視C字状等のループ形状となるリングも含む。
According to the present invention, since the outer periphery of the adherend is sandwiched together with the adhesive sheet by the table and the sandwiching means while the decompression chamber is decompressed, pressure control is performed so that the decompression chamber is opened to the atmosphere. Only the adhesive sheet is attached to the adherend.
This eliminates the need for a plurality of pressure control valves, piping, and pressure balance adjustment required when a plurality of decompression chambers are provided, and eliminates the need for complicated configuration, pressure control, or management.
Further, the decompression chamber is opened to the atmosphere by the configuration in which an independent pre-pasting space is formed between the adherend and the adhesive sheet by the table and the sandwiching means while the decompression chamber is decompressed. By performing pressure control in this manner, the space before application is substantially lost due to atmospheric pressure, the adhesive sheet is attached to the adherend, and the adherend can be mounted on the ring frame.
Moreover, since only the outer peripheral part of the adherend is supported by the table, the contact area between the adherend and the table can be reduced. Therefore, foreign matter on the table is not pressed against the adherend, so that damage can be effectively avoided even with an adherend having brittleness such as a wafer.
In this specification, the term “reduced pressure” is used as a concept including a vacuum, and the “space before application” refers to an adherend and an adhesive sheet in a region where a force sandwiching the adherend and the adhesive sheet does not act. It is used for the gap generated between the two. Further, the ring does not necessarily mean a closed loop, and includes a ring having a loop shape such as a C shape in a plan view.
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(第1実施形態)
図1には、本発明の第1実施形態に係るマウント装置の一部を断面した概略正面図が示されている。この図において、マウント装置10は、閉ループ状のリングフレームRF及び被着体としての板状部材、具体的には、略円形のウエハWを支持するテーブル11と、当該テーブル11を収容するとともに、内部に単一の減圧室C(図3参照)を形成する開閉可能なケース12と、当該ケース12を開放した状態で、リングフレームRFの内周側を塞ぐ大きさを備えた感圧接着性の接着シートSをリングフレームRFに貼付する貼付手段13とを備えて構成されている。ここで、本実施形態におけるウエハWは、特に限定されるものではないが、外周部側に段部W1を介して相対的に厚くすることで補強部W2を有するウエハWがマウントの対象物とされている。
(First embodiment)
FIG. 1 is a schematic front view showing a cross section of a part of the mount device according to the first embodiment of the present invention. In this figure, the
前記テーブル11は、ウエハWを支持した状態で当該ウエハWの下面側に位置する平面部15と、この平面部15の外周側に位置してウエハWの外周部のみを下方から支持する支持凸部16とを有する平面視略円形の内側テーブル17と、この内側テーブル17を収容する大きさを備えているとともに、リングフレームRFを支持する平面視略円形の外側テーブル18と、当該外側テーブル18の底部19上面に配置されて内側テーブル17を上下に移動可能に支持する直動モータM1とを備えて構成されている。内側テーブル17の平面部15及び外側テーブル18の底部19には連通孔15A、19Aがそれぞれ形成されており、ウエハWが内側テーブル17に支持されたときのウエハWと内側テーブル17との間に形成される空間C1と、接着シートSをリングフレームRFに貼付したときの当該接着シートSと外側テーブル18との間に形成される空間C2(図3参照)が減圧室Cに連通して当該減圧室Cの一部を形成するようになっている。ここで、外側テーブル18は、直動モータM2を介してケース12内で上下に移動可能に支持されている。
The table 11 has a
前記ケース12は、図1中下部側に位置する第1のケース21と、上部側に位置する第2のケース22とからなる。第1のケース21は、底部24と、この底部24の外周側に位置する起立部25とを備え、底部24の上面側に直動モータM2が支持されている。第1のケース21は起立部25に接続された配管26を介して三方電磁弁28に接続されているとともに、単軸ロボット30によって図1中左右方向に沿って移動可能に設けられている。なお、三方電磁弁28は図示しない減圧ポンプに接続される配管31と、大気導入のための配管32に接続され、減圧室C内を減圧したり、その減圧を解除して大気圧としたりすることができる。
The
前記第2のケース22は、頂部34と垂下部35とにより構成され、テーブル11に相対する位置において、頂部34の下面側に挟込手段37が配置されている。この挟込手段37は、直動モータM3を介して上下に移動可能に設けられた挟込プレート38と、当該挟込プレート38の下面外周側に設けられた円環状の挟込凸部40とを含む。挟込凸部40は、支持凸部16と略同一形状とされ、これにより、挟込凸部40が上方から接着シートSを介してウエハWの外周部上面側のみ、すなわち補強部W2を押圧して挟み込むようになっている。また、挟込プレート38の面内には、貫通孔38Aが形成されており、挟込手段37によって接着シートS及びウエハWを内側テーブル17との間に挟み込んだ状態においても、接着シートSと挟込プレート38との間に形成される空間C3(図4参照)は、減圧室Cに連通して当該減圧室Cの一部を構成することとなる。なお、垂下部35の下端面には、Oリング42が受容されている。
The
前記第2のケース22は、図示しない移動手段を介して上下方向に移動可能に支持されており、第1のケース21側に下降して垂下部35の下端面が起立部25の上端側に押し当てられたときに、第1のケース21と相互に作用して減圧室Cを形成する。
The
前記貼付手段13は、フレームFに支持され、帯状の剥離シートRLに接着シートSが仮着された原反Rを繰出可能に支持する支持ローラ45と、剥離シートRLを反転する方向に案内して接着シートSを剥離するピールプレート46と、接着シートSをリングフレームRFに押圧する押圧ローラ47と、原反Rに繰出力を付与する駆動手段48と、剥離シートRLの巻取ローラ49とにより構成されている。駆動手段48は、モータM4の出力軸に連結された駆動ローラ50と、この駆動ローラ50との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ51とからなる。なお、接着シートSは、平面形状がリングフレームRFの内径よりも大きい略円形とされており、当該接着シートSは、剥離シートRLに所定間隔を隔てて仮着されている。
The affixing means 13 is supported by a frame F, and supports a
次に、第1実施形態に係るシート貼付方法について図2ないし図5をも参照しながら説明する。 Next, the sheet sticking method according to the first embodiment will be described with reference to FIGS.
図1に示されるように、図示しない移載手段を介してリングフレームRFが外側テーブル18上に移載され、更に、ウエハWが内側テーブル17上に移載されると、第1のケース21が貼付手段13の下方に位置する(図2参照)。なお、ウエハWは、補強部W2の下面が支持凸部16の上面に位置するように載置される。そして、直動モータM2を介して外側テーブル18が上昇する。この上昇により、リングフレームRFの上面が第1のケース21の起立部25の上端面より上方に位置するようになる。
As shown in FIG. 1, when the ring frame RF is transferred onto the outer table 18 via transfer means (not shown), and further, the wafer W is transferred onto the inner table 17, the
次いで、第1のケース21が単軸モータ30に沿って図2中矢印a方向に移動し、リングフレームRFが所定の貼付開始位置に移動したことが図示しないセンサにより検出されたときに、駆動手段48が駆動して原反Rに繰出力を付与し、ピールプレート46を介して剥離シートRLから接着シートSを剥離しつつ当該接着シートSがリングフレームRFの内周側を塞ぐように貼付される。
Next, when the
第1のケース21が第2のケース22の直下まで移動すると、図示しない移動手段を介して第2のケース22が下降し、第1のケース21とで単一の減圧室Cが形成される(図3参照)。この状態で、三方電磁弁28を制御し、配管31を介して減圧室Cを減圧する。そして、減圧室Cが減圧状態となったときに、内側テーブル17が上昇するとともに、挟込手段37の挟込プレート38が下降し、挟込凸部40が支持凸部16と相互に作用してウエハWの補強部W2のみを接着シートSと共に挟み込む。これにより、脆弱なウエハWの内側の面に押圧力が加わることを防止して、回路が形成された面に外力が加わることを防止できるようになっている。また、この挟み込みにより、ウエハWの内側と接着シートSとの間に減圧室Cから遮断されて独立した貼付前空間C4(図4参照)が形成される。
When the
このようにして貼付前空間C4が形成された後、三方電磁弁28を制御し、配管32から大気を導入して減圧室Cの減圧が解除される。この大気開放により、貼付前空間C4は、図5に示されるように、大気圧によって実質的に消失して接着シートSがウエハWに貼付され、これによってウエハWが接着シートSを介してリングフレームRFにマウントされることとなる。
After the pre-sticking space C4 is thus formed, the three-
接着シートSの貼付が完了すると、第2のケース22が上昇してケース11を開放する。そして、リングフレームRFにマウントされたウエハWは、図示しない搬送手段を介して次工程に搬送される。
When the application of the adhesive sheet S is completed, the
従って、このような第1実施形態によれば、単一の減圧室C内でウエハWの内側の面に押圧力を付与することなく接着シートSを貼付することができる。また、貼付前空間C4を形成し、減圧室Cの減圧を解除する圧力制御によって貼付前空間C4を消失させて接着シートSをウエハWに貼付することができ、従来のような、複数の減圧室を同じ圧力に保ちながら減圧するといった複雑な圧力制御は不要となり、減圧室C内の減圧制御も極めて簡単なものとなる。また、ウエハWはその外周側下面が内側テーブル17に支持される構成であるため、テーブル11の上面に埃等の異物が存在することがあっても、ウエハWを損傷させてしまうような不都合は生じない。更に、ウエハWの被着面側にバンプ等の凹凸が存在する場合であっても、気泡を混入させることなくシートSを貼付することができる。また、ウエハWは内側テーブル17に支持された面形状を維持する構成、つまり、従来例のようにゴムシートの弾性変形によって面形状が変形しない構成であるため、外周に補強部W2を備えた形状であっても、当該補強部W2を形成するための段部W1位置でウエハWが割れてしまうような不都合も解消することができる。 Therefore, according to the first embodiment as described above, the adhesive sheet S can be stuck in the single decompression chamber C without applying a pressing force to the inner surface of the wafer W. Further, the adhesive sheet S can be stuck to the wafer W by forming the pre-sticking space C4 and erasing the pre-sticking space C4 by pressure control for releasing the decompression of the decompression chamber C. Complicated pressure control such as reducing the pressure while maintaining the same pressure in the chamber is unnecessary, and the pressure reduction control in the pressure reducing chamber C is extremely simple. In addition, since the lower surface of the outer peripheral side of the wafer W is supported by the inner table 17, even if foreign matter such as dust is present on the upper surface of the table 11, the wafer W may be damaged. Does not occur. Furthermore, even if there are bumps and other irregularities on the surface of the wafer W to be adhered, the sheet S can be stuck without mixing bubbles. Further, since the wafer W is configured to maintain the surface shape supported by the inner table 17, that is, the surface shape is not deformed by the elastic deformation of the rubber sheet as in the conventional example, the reinforcing portion W2 is provided on the outer periphery. Even in the shape, it is possible to eliminate the inconvenience that the wafer W is broken at the position of the stepped portion W1 for forming the reinforcing portion W2.
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について、図6ないし図10を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、前記第1実施形態と同一若しくは同等の構成部分については必要に応じて同一符号を用いるものとし、説明を省略若しくは簡略にする。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the following description, the same or equivalent components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals as necessary, and the description is omitted or simplified.
第2実施形態は、第1実施形態における貼付手段13に代えて、供給手段60を採用するとともに、第1のケース21を第2のケース22の直下において、図示しない移動手段を介して上下に移動可能に設けた構成に特徴を有するものである。
The second embodiment employs a supply means 60 instead of the sticking means 13 in the first embodiment, and the
前記供給手段60は、帯状の接着シートSの接着剤層側に帯状の剥離シートRLが仮着された原反Rを支持するロック機構を有する支持ローラ61と、剥離シートRLを回収する巻取手段62と、接着シートSを剥離シートRLから剥離するピールプレート63と、接着シートSをウエハWの被着面すなわち上面とリングフレームRFの上面に臨む位置に引き出すとともに、リングフレームRFに貼付された接着シートSの外周側となる不要接着シートS1を巻き取る引出巻取手段65と、ウエハW及びリングフレームRFに貼付された接着シートSをリングフレームRFの大きさ内で切断する切断手段66(図9参照)と、引出巻取手段65を図6中左右方向に移動可能に支持する移動手段68とを備えて構成されている。なお、第2実施形態における接着シートSの幅は、ケース12の内径よりも小さいものが採用されている。従って、接着シートSをウエハW及びリングフレームRFに臨む位置に引き出してケース12を閉塞した状態においても、ケース12が上下に仕切られることなく単一の減圧室Cを形成することとなる。
The supply means 60 includes a
前記巻取手段62は、フレームF1に支持されたモータM5の駆動により回転する駆動ローラ70と、この駆動ローラ70との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ71と、モータM5によって駆動ローラ70と同期回転して剥離シートRLを巻き取る剥離シート巻取ローラ74とにより構成されている。
The winding means 62 includes a driving
前記引出巻取手段65は、フレームF2に支持されたモータM6の駆動により回転する駆動ローラ75と、この駆動ローラ75との間に不要接着シートS1を挟み込むピンチローラ76と、モータM6によって駆動ローラ75と同期回転して不要接着シートS1を巻き取る不要シート巻取ローラ77とにより構成されている。
The drawing and winding
前記移動手段68は図6中左右方向に延びる単軸ロボット80により構成され、当該単軸ロボット80のスライダ81にフレームF2が固定されて引出巻取手段65が左右方向に移動可能となっている。
The moving means 68 is constituted by a single-
前記切断手段66は、図9に示されるように、ケース12が開放した状態において、図示しない移動手段を介してテーブル11の上方に位置可能に設けられている。この切断手段66は、図示しないモータの出力軸に連結された回転軸82と、この回転軸82に固定されて水平面内で回転可能なアーム83と、当該アーム83に設けられたロータリーカッター85とにより構成されている。なお、切断手段66は、常時はケース12の側方に位置するようになっている。
その他の構成は、実質的に第1実施形態と同様となっている。
As shown in FIG. 9, the cutting means 66 is provided so as to be positioned above the table 11 via a moving means (not shown) when the
Other configurations are substantially the same as those of the first embodiment.
次に、第2実施形態に係るマウント方法について説明する。 Next, a mounting method according to the second embodiment will be described.
図6に示されるように、第1及び第2のケース21、22が相互に離間してケース12を開放している状態で、支持ローラ61に支持された原反Rのリード端を所定長さ引き出し、ピールプレート63の先端位置で剥離シートRLを接着シートSから剥離し、当該剥離シートRLを剥離シート巻取ローラ74に固定する。一方、接着シートSは、図6中二点鎖線で示される位置にある引出巻取手段65の不要シート巻取ローラ77に固定する。
As shown in FIG. 6, with the first and
図示しない移載手段を介してリングフレームRFが外側テーブル18上に移載され、更に、ウエハWの補強部W2の下面が支持凸部16に支持されるように移載されると、駆動ローラ75の回転をロックした状態で、引出巻取手段65が図6中二点鎖線位置から実線で示される位置に移動し、この動作に同期して、巻取手段62が駆動して剥離シートRLの回収が行われる。これにより、第1のケース21の上方を横切って、ウエハW及びリングフレームRFの上面に臨む位置に接着シートSが供給されることとなる。
When the ring frame RF is transferred onto the outer table 18 via transfer means (not shown), and further transferred so that the lower surface of the reinforcing portion W2 of the wafer W is supported by the support
次いで、第1のケース21が図示しない移動手段を介して上昇するとともに、第2のケース22が図示しない移動手段を介して下降し、第1のケース21とで単一の減圧室C(図7参照)が形成される。この状態で、電磁弁28を制御し、配管31を介して減圧室Cを減圧する。
そして、減圧室Cが減圧状態となったときに、内側テーブル17が上昇するとともに、挟込プレート38が下降し、挟込凸部40が支持凸部16と相互に作用してウエハWの外周部のみを接着シートSと共に挟み込む。これにより、脆弱なウエハWの内側の面に押圧力が加わることを防止して、回路が形成された面に外力が加わることを防止できるようになっている。また、この挟み込みにより、ウエハWの内側と接着シートSとの間に貼付前空間C4(図7参照)が形成され、当該貼付前空間C4が形成された後に前記第1実施形態と同様に減圧室Cを大気圧とすることで、貼付前空間C4を消失させて接着シートSがウエハWに貼付されることとなる(図8参照)。
Next, the
When the decompression chamber C is in a decompressed state, the inner table 17 is raised, the sandwiching
接着シートSの貼付が完了すると、図9に示されるように、第2のケース22が第1のケース21から離間する上方に移動し、ケース12の側方に退避している切断手段66が第1のケース21上に移動し、リングフレームRFの面内で接着シートSが閉ループ状に切断される。
When the application of the adhesive sheet S is completed, as shown in FIG. 9, the
接着シートSの切断が行われた後は、支持ローラ61と駆動ローラ70とをロックした状態で、駆動ローラ75及び不要シート巻取ローラ77が回転しながら図6中二点鎖線で示される位置に移動し、これにより、前記切断によって生じた不要接着シートS1が巻き取られることとなる(図10参照)。
After the cutting of the adhesive sheet S, the position indicated by the two-dot chain line in FIG. 6 while the driving
接着シートSを介してリングフレームRFにマウントされたウエハWは、図示しない搬送手段を介して所定箇所に搬送される。 The wafer W mounted on the ring frame RF via the adhesive sheet S is transferred to a predetermined location via a transfer means (not shown).
従って、このような第2実施形態によっても前記第1実施形態と同様の効果を奏することができる。 Therefore, the same effect as that of the first embodiment can be obtained by the second embodiment.
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
Although the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, the present invention is not limited to this.
That is, the invention has been illustrated and described with particular reference to particular embodiments, but it should be understood that the above-described embodiments are not deviated from the technical idea and scope of the invention. On the other hand, various modifications can be made by those skilled in the art in shape, quantity, and other detailed configurations.
Therefore, the description limited to the shape disclosed above is an example for easy understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member which remove | excluded one part or all part is included in this invention.
例えば、前記実施形態では、接着シートSとして感圧性接着シートを用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、ダイボンディング用の感熱接着性の接着シート等を採用することもできる。この場合、テーブルにヒータを内蔵させたり、配管26を介して供給される空気を温風とすればよい。
For example, in the above-described embodiment, a pressure-sensitive adhesive sheet is used as the adhesive sheet S, but the present invention is not limited to this, and a heat-sensitive adhesive sheet for die bonding can also be adopted. In this case, a heater may be built in the table, or the air supplied via the
更に、被着体はウエハWに限らず、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。また、ウエハW若しくは板状部材は、厚みが等しいものであっても適用することができる。 Furthermore, the adherend is not limited to the wafer W, and other plate-like members such as a glass plate, a steel plate, or a resin plate can be targeted. The semiconductor wafer may be a silicon wafer or a compound wafer. . Further, the wafer W or the plate-like member can be applied even if they have the same thickness.
また、挟込手段37は、内側テーブル17との間で接着シートS及びウエハWを挟み込んで貼付前空間C4を形成することができるものである限り、設計変更してもよい。 The sandwiching means 37 may be changed in design as long as the adhesive sheet S and the wafer W can be sandwiched between the inner table 17 to form the pre-sticking space C4.
10 マウント装置
11 テーブル
12 ケース
13 貼付手段
14 ケース
16 支持凸部
17 内側テーブル
18 外側テーブル
37 挟込手段
40 挟込凸部
60 供給手段
66 切断手段
C 減圧室
C4 貼付前空間
RF リングフレーム
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記テーブルに相対する位置でケース内に配置された挟込手段を更に含み、当該挟込手段は、前記ケースを閉塞して単一の減圧室が形成された状態で、前記テーブルと相互に作用して被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込むことを特徴とするマウント装置。 A table for supporting the adherend by arranging a plate-like adherend on the inner peripheral side of the ring frame; and an attaching means for attaching an adhesive sheet having a size for closing the inner peripheral side of the ring frame to the ring frame; An openable and closable case that accommodates the table and forms a decompression chamber therein, and the adherend is attached to the ring frame via an adhesive sheet by closing the case and controlling the pressure in the decompression chamber to a predetermined level. In the mounting device to be integrated,
It further includes clamping means arranged in the case at a position facing the table, and the clamping means interacts with the table in a state where the case is closed to form a single decompression chamber. A mounting apparatus characterized by sandwiching only the outer peripheral portion of the adherend together with the adhesive sheet.
前記テーブルに相対する位置でケース内に配置された挟込手段を更に含み、当該挟込手段は、前記ケースを閉塞して単一の減圧室が形成された状態で、前記テーブルと相互に作用して被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込むことを特徴とするマウント装置。 A table for arranging a plate-like adherend on the inner peripheral side of the ring frame and supporting the adherend; a supply means for supplying a belt-like adhesive sheet to a position facing the ring frame and the plate-like member; An openable / closable case that houses a table and forms a decompression chamber therein, and the adherend is integrated with the ring frame via an adhesive sheet by closing the case and controlling the pressure in the decompression chamber to a predetermined level. Later, in a mounting device comprising a cutting means for cutting the adhesive sheet into a predetermined size,
It further includes clamping means arranged in the case at a position facing the table, and the clamping means interacts with the table in a state where the case is closed to form a single decompression chamber. A mounting apparatus characterized by sandwiching only the outer peripheral portion of the adherend together with the adhesive sheet.
前記リングフレームの内周側を塞ぐ大きさの接着シートを前記リングフレームに貼付する工程と、
前記リングフレームと被着体とを収容して単一の減圧室を形成する工程と、
前記減圧室を減圧する工程と、
前記被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込む工程と、
前記減圧室の減圧を解除して接着シートを被着体に貼付して当該被着体をリングフレームに一体化させる工程と、を含むマウント方法。 A step of placing a plate-shaped adherend on the inner peripheral side of the ring frame;
Attaching an adhesive sheet of a size that closes the inner peripheral side of the ring frame to the ring frame;
Accommodating the ring frame and the adherend to form a single decompression chamber;
Depressurizing the decompression chamber;
Sandwiching only the outer periphery of the adherend together with the adhesive sheet;
Releasing the reduced pressure in the decompression chamber, attaching the adhesive sheet to the adherend, and integrating the adherend with the ring frame.
前記リングフレーム及び被着体に臨む位置に帯状の接着シートを供給する工程と、
前記リングフレームと被着体とを収容して単一の減圧室を形成する工程と、
前記減圧室を減圧する工程と、
前記被着体の外周部のみを接着シートと共に挟み込む工程と、
前記減圧室の減圧を解除して接着シートを被着体に貼付して前記被着体をリングフレームに一体化させる工程と、
前記接着シートを所定の大きさに切断する切断工程と、を含むマウント方法。 A step of placing a plate-shaped adherend on the inner peripheral side of the ring frame;
Supplying a band-shaped adhesive sheet to a position facing the ring frame and the adherend;
Accommodating the ring frame and the adherend to form a single decompression chamber;
Depressurizing the decompression chamber;
Sandwiching only the outer periphery of the adherend together with the adhesive sheet;
Releasing the reduced pressure in the decompression chamber and attaching the adhesive sheet to the adherend to integrate the adherend into a ring frame; and
A cutting step of cutting the adhesive sheet into a predetermined size.
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