JP2012038880A - Sheet pasting device and pasting method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sheet pasting device and a pasting method capable of preventing a slack caused in an adhesive sheet pasted on a ring frame from staying on a surface adhered to an object to be adhered and becoming a wrinkle.SOLUTION: The sheet pasting device comprises: a first case 13 and a second case 12 which accommodate a table 11 for supporting an object to be adhered W and have a decompression chamber C formed therein; support means 15 which supports a ring frame RF and directs an adhesive sheet S for blocking an open portion of the ring frame to the object to be adhered; and pressing means 20 and P2 for pressing the adhesive sheet S against the object to be adhered W. The device pastes the adhesive sheet S to the object to be adhered W while reducing a pressure in the decompression chamber C. The support means 15 comprises a frame support part 35 for supporting the ring frame RF, and a sheet support part 36 for supporting a portion of the adhesive sheet S which is located inside the ring frame RF and outside the object to be adhered W.

Description

本発明はシート貼付装置及び貼付方法に係り、更に詳しくは、半導体ウエハ等の被着体に、予めリングフレームの開口部を閉塞するように貼付された接着シートを貼付する際に、当該接着シートの弛みを取って貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法に関する。   The present invention relates to a sheet sticking apparatus and a sticking method, and more specifically, when sticking an adhesive sheet that is stuck in advance so as to close an opening of a ring frame on an adherend such as a semiconductor wafer. The present invention relates to a sheet sticking apparatus and a sticking method that can take a slack of the sticking.

従来より、半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する場合がある）には、その回路面を保護するための保護シートを貼付したり、裏面にダイシングテープやダイボンディング用の接着シートを貼付したりすることが行われている。   Conventionally, a protective sheet for protecting the circuit surface is affixed to a semiconductor wafer (hereinafter sometimes simply referred to as a “wafer”), or a dicing tape or an adhesive sheet for die bonding is affixed to the back surface. It has been done.

特許文献１には、上ケースと下ケースとにより構成されたケース内に弾性シートを配置して上部減圧室と下部減圧室とを形成するとともに、弾性シートの上方に予めリングフレームの開口部を閉塞するように貼付された粘着シート（接着シート）とウエハとを配置し、上下の減圧室を減圧した後に、下部減圧室を大気圧に近づけるように制御することで、弾性シートを変形させて粘着シートをウエハの中央部から外側に向かって貼付する構成が開示されている。   In Patent Document 1, an elastic sheet is arranged in a case constituted by an upper case and a lower case to form an upper decompression chamber and a lower decompression chamber, and an opening of a ring frame is previously provided above the elastic sheet. By placing the adhesive sheet (adhesive sheet) and the wafer attached so as to be closed, and depressurizing the upper and lower decompression chambers, the lower decompression chamber is controlled to approach atmospheric pressure, thereby deforming the elastic sheet. The structure which sticks an adhesive sheet toward the outer side from the center part of a wafer is disclosed.

特開平１０−２３３４３０号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-233430

しかしながら、特許文献１に開示されたシート貼付装置にあっては、予めリングフレームの開口部を閉塞するように貼付された接着シートに弛みが生じていた場合、ウエハと接着シートとの接着面内に皺を発生させてしまい、シート貼付不良となってしまう不都合がある。   However, in the sheet sticking device disclosed in Patent Document 1, in the case where the adhesive sheet previously stuck so as to close the opening of the ring frame is loose, the adhesive surface between the wafer and the adhesive sheet This causes inconvenience that wrinkles are generated and sheet sticking is poor.

［発明の目的］
本発明の目的は、予めリングフレームの開口部を閉塞するように貼付された接着シートに弛みが生じていても、この弛みが被着体との接着面内に位置して皺となることを防止することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。 [Object of invention]
The object of the present invention is that even if the adhesive sheet previously stuck so as to close the opening of the ring frame is loose, this looseness is located within the adhesion surface with the adherend and becomes a wrinkle. It is providing the sheet sticking apparatus and sticking method which can prevent.

前記目的を達成するため、本発明は、被着体を支持するテーブルと、当該テーブルを収容するとともに内部に減圧室を形成する第１ケース及び第２ケースと、接着シートによって開口部が閉塞されたリングフレームを支持するとともに、当該接着シートを被着体に臨む位置に支持する支持手段と、前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含み、前記減圧室を形成して減圧下で前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、前記支持手段は、前記リングフレームを支持するフレーム支持部と、当該リングフレームより内側であって前記被着体より外側の接着シート部分を支持するシート支持部とを有する、という構成を採っている。   In order to achieve the above object, the present invention provides a table for supporting an adherend, a first case and a second case for accommodating the table and forming a decompression chamber therein, and an opening that is closed by an adhesive sheet. The pressure frame is formed by supporting means for supporting the ring frame and supporting the adhesive sheet at a position facing the adherend, and pressing means for pressing and sticking the adhesive sheet to the adherend. In the sheet sticking apparatus for sticking the adhesive sheet to the adherend under reduced pressure, the support means includes a frame support portion for supporting the ring frame, an inner side of the ring frame, and an outer side of the adherend. It has the structure of having the sheet | seat support part which supports this adhesive sheet part.

本発明において、前記フレーム支持部とシート支持部とを相対的に昇降させる駆動手段を有する、という構成を採っている。   The present invention employs a configuration in which drive means for moving the frame support portion and the seat support portion up and down relatively is provided.

また、本発明は、接着シートによって開口部が閉塞されたリングフレームを用意する工程と、被着体を支持する工程と、前記被着体に前記接着シートが臨む位置で前記リングフレームを支持するとともに、当該リングフレームより内側であって前記被着体より外側の接着シート部分を支持する工程と、前記被着体及び接着シートを減圧室内で収容する工程と、前記減圧室を減圧する工程と、前記減圧された減圧室内で前記接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを含む、という手法を採っている。   The present invention also provides a step of preparing a ring frame whose opening is closed by an adhesive sheet, a step of supporting an adherend, and a support of the ring frame at a position where the adhesive sheet faces the adherend. And a step of supporting an adhesive sheet portion inside the ring frame and outside the adherend, a step of accommodating the adherend and the adhesive sheet in a decompression chamber, and a step of decompressing the decompression chamber; And a step of pressing and adhering the adhesive sheet to the adherend in the decompressed decompression chamber.

本発明によれば、フレーム支持部と、シート支持部とを有する支持手段を設けたため、予めリングフレームの開口部を閉塞するように貼付された接着シートに弛みが生じていても、シート支持部がこの弛みをなくして当該接着シートを被着体に貼付することができ、従来のように弛みが被着体との接着面内に位置して皺となってしまい、シート貼付不良が発生するといった不都合を解消することができる。しかも、接着シートを中央部から外側に向かって被着体に貼付するため、被着体と接着シートとの間に空間を介在させることなく確実に接着シートを貼付することができる。
また、フレーム支持部とシート支持部とを相対的に昇降させる駆動手段を設けた場合、接着シートの弛みの大小に関わらず、皺をなくして当該接着シートを被着体に貼付することができる。
なお、本明細書において、減圧は真空をも含む概念とする。 According to the present invention, since the supporting means having the frame supporting portion and the sheet supporting portion is provided, the sheet supporting portion can be used even if the adhesive sheet previously stuck to close the opening of the ring frame is loosened. The adhesive sheet can be affixed to the adherend without the slack, and the slack is located in the adhesive surface with the adherend as in the past, resulting in poor sheet adhesion. Such inconveniences can be solved. And since an adhesive sheet is affixed on a to-be-adhered body toward the outer side from a center part, an adhesive sheet can be reliably affixed without interposing a space between an adherend and an adhesive sheet.
In addition, when the driving means for moving the frame support portion and the sheet support portion relative to each other is provided, the adhesive sheet can be attached to the adherend without wrinkles regardless of the looseness of the adhesive sheet. .
Note that in this specification, reduced pressure includes a vacuum.

本実施形態に係るシート貼付装置の概略断面図。The schematic sectional drawing of the sheet sticking apparatus which concerns on this embodiment. 接着シートに初期接着部を形成した状態を示す概略断面図。The schematic sectional drawing which shows the state which formed the initial stage adhesive part in the adhesive sheet. 減圧下で被着体に接着シートが貼付された状態を示す概略断面図。The schematic sectional drawing which shows the state by which the adhesive sheet was affixed on the to-be-adhered body under pressure reduction. 大気圧下で被着体に接着シートが貼付された状態を示す概略断面図。The schematic sectional drawing which shows the state by which the adhesive sheet was affixed on the to-be-adhered body under atmospheric pressure. 変形例に係るシート貼付装置の概略断面図。The schematic sectional drawing of the sheet sticking apparatus which concerns on a modification.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷを支持するテーブル１１と、ウエハＷを臨む位置に接着シートＳを配置するとともに、当該接着シートＳとでウエハＷを収容可能な密閉された第１空間Ｃ１を形成する下部ケース（第１ケース）１３と、第１空間Ｃ１の圧力を制御可能であって、図示しない減圧ポンプ、エアレギュレータ、電磁弁等によって構成された第１圧力制御手段Ｐ１と、接着シートＳを間に挟んで第１空間Ｃ１の反対側に接着シートＳとで密閉された第２空間Ｃ２（図２参照）を形成する上部ケース（第２ケース）１２と、第２空間Ｃ２の圧力を制御可能であって、図示しない減圧ポンプ、エアレギュレータ、電磁弁等によって構成された第２圧力制御手段Ｐ２と、接着シートＳにウエハＷを当接させる当接手段１６とを備えて構成されている。なお、第２圧力制御手段Ｐ２は押圧手段としても機能する。また、第１空間Ｃ１と第２空間Ｃ２とで減圧室Ｃが構成される。ここで、本実施形態におけるウエハＷは、裏面研削によって外周に環状の凸部Ｗ１が形成されたものが採用されている。   In FIG. 1, a sheet sticking apparatus 10 can accommodate a wafer W with a table 11 that supports a wafer W as an adherend and an adhesive sheet S at a position facing the wafer W, and the adhesive sheet S. A lower case (first case) 13 that forms a sealed first space C1, and a pressure in the first space C1 can be controlled, and is configured by a decompression pump, an air regulator, a solenoid valve, and the like (not shown). An upper case (second case) 12 that forms a second space C2 (see FIG. 2) sealed with the pressure control means P1 and the adhesive sheet S on the opposite side of the first space C1 with the adhesive sheet S interposed therebetween. The pressure of the second space C2 can be controlled, and the wafer W is brought into contact with the adhesive sheet S and the second pressure control means P2 constituted by a decompression pump, an air regulator, an electromagnetic valve, etc. (not shown). Is constituted by a contact means 16. The second pressure control means P2 also functions as a pressing means. Moreover, the decompression chamber C is comprised by the 1st space C1 and the 2nd space C2. Here, as the wafer W in the present embodiment, a wafer having an annular convex portion W1 formed on the outer periphery by back surface grinding is employed.

前記テーブル１１は、図示しない保持手段を介して上面側でウエハＷを保持可能に形成されている。このテーブル１１は、下部ケース１３内に支持された当接手段１６である駆動機器としての直動モータ２０の出力軸２１の上端に固定され、当該出力軸２１の進退により昇降可能となっている。なお、直動モータ２０は押圧手段としても機能する。   The table 11 is formed so as to be able to hold the wafer W on the upper surface side through holding means (not shown). The table 11 is fixed to the upper end of the output shaft 21 of the linear motion motor 20 as a driving device which is a contact means 16 supported in the lower case 13, and can be moved up and down by the advancement and retraction of the output shaft 21. . The direct acting motor 20 also functions as a pressing unit.

前記上部ケース１２は平面視円形の平坦な板状体により形成されているとともに、図示しない駆動機器を介して上下に移動可能に設けられている。この上部ケース１２の中央部には、厚み方向に貫通するパイプ２３が設けられ、当該パイプ２３に接続された配管２５が第２圧力制御手段Ｐ２に接続されている。上部ケース１２の下面外周縁部には、弾性体からなる円環状の外側弾性部材２６が配置されており、その内側の同心円上には、ウエハＷの凸部Ｗ１に相対する位置に配置可能な弾性体からなる内側弾性部材２７が配置されている。これら外側弾性部材２６、内側弾性部材２７及び上部ケース１２の各下面は、面一に連なるように設けられているが、各弾性部材２６、２７の下面位置が上部ケース１２の下面位置に対して相対的に上下方に突没するように構成してもよい。   The upper case 12 is formed of a flat plate having a circular shape in plan view, and is provided so as to be movable up and down via a driving device (not shown). A pipe 23 penetrating in the thickness direction is provided at the center of the upper case 12, and a pipe 25 connected to the pipe 23 is connected to the second pressure control means P2. An annular outer elastic member 26 made of an elastic body is disposed on the outer peripheral edge of the lower surface of the upper case 12, and can be disposed on a concentric circle inside thereof at a position facing the convex portion W <b> 1 of the wafer W. An inner elastic member 27 made of an elastic body is disposed. The lower surfaces of the outer elastic member 26, the inner elastic member 27, and the upper case 12 are provided so as to be flush with each other, but the lower surface position of each elastic member 26, 27 is relative to the lower surface position of the upper case 12. You may comprise so that it may project in the up-down direction relatively.

前記下部ケース１３は、上部開放型の有底円筒形状に設けられ、支持手段１５を有している。下部ケース１３の底壁１３Ａには、厚み方向に貫通するパイプ３１が設けられ、当該パイプ３１に接続された配管３３が第１圧力制御手段Ｐ１に接続されている。   The lower case 13 is provided in an open top cylindrical shape with a bottom, and has support means 15. The bottom wall 13A of the lower case 13 is provided with a pipe 31 penetrating in the thickness direction, and a pipe 33 connected to the pipe 31 is connected to the first pressure control means P1.

前記支持手段１５は、接着シートＳによって開口部が閉塞されたリングフレームＲＦを支持するフレーム支持部３５と、当該リングフレームＲＦより内側であってウエハＷより外側の接着シートＳ部分を支持するシート支持部３６と、フレーム支持部３５とシート支持部３６とを相対的に昇降させる駆動手段である駆動機器としての直動モータＬＭにより構成されている。本実施形態では、フレーム支持部３５は、下部ケース１３を構成する周壁１３Ｂにより構成され、その上面に載置されたリングフレームＲＦを位置決めして保持する図示しない保持手段が設けられている。シート支持部３６は、フレーム支持部３５の内周側に配置された筒体３８と、当該筒体３８の上端面に配置され、外側弾性部材２６と同形状に設けられた弾性体からなる受け側弾性部材４０とにより構成されている。シート支持部３６は、フレーム支持部３５の上面にリングフレームＲＦを載置したときに、直動モータＬＭを介して接着シートＳの弛みを無くす働きをする。この弛み量が予め分かっている場合は、直動モータＬＭは省略できる。なお、受け側弾性部材４０の上面は、接着シートＳの接着剤が付着しないように、フッ素樹脂等がコーティングされた非接着処理面として形成されている。また、外側、内側弾性部材２６、２７及び受け側弾性部材４０を構成する弾性体は、ゴム、樹脂等が例示できる。   The support means 15 includes a frame support portion 35 that supports the ring frame RF whose opening is closed by the adhesive sheet S, and a sheet that supports the portion of the adhesive sheet S that is inside the ring frame RF and outside the wafer W. It is comprised by the linear motion motor LM as a drive device which is a drive means which raises / lowers the support part 36, the flame | frame support part 35, and the sheet | seat support part 36 relatively. In the present embodiment, the frame support portion 35 is constituted by a peripheral wall 13B constituting the lower case 13, and is provided with a holding means (not shown) that positions and holds the ring frame RF placed on the upper surface thereof. The seat support portion 36 includes a cylindrical body 38 disposed on the inner peripheral side of the frame support portion 35, and a receiving body that is disposed on the upper end surface of the cylindrical body 38 and is provided with the same shape as the outer elastic member 26. The side elastic member 40 is comprised. The sheet support portion 36 functions to eliminate the slackness of the adhesive sheet S via the linear motor LM when the ring frame RF is placed on the upper surface of the frame support portion 35. If this amount of slack is known in advance, the direct acting motor LM can be omitted. The upper surface of the receiving side elastic member 40 is formed as a non-adhesion treated surface coated with a fluororesin or the like so that the adhesive of the adhesive sheet S does not adhere. Moreover, rubber | gum, resin, etc. can be illustrated as an elastic body which comprises the outer side, inner side elastic members 26 and 27, and the receiving side elastic member 40. FIG.

次に、本実施形態におけるシート貼付方法について、図２ないし図４をも参照しながら説明する。   Next, the sheet sticking method in this embodiment is demonstrated, referring also to FIG. 2 thru | or FIG.

図１に示されるように、下部ケース１３に対して上部ケース１２を離間させた開放状態において、図示しない搬送手段を介してウエハＷをテーブル１１上に載置し、図示しない保持手段で当該ウエハＷを保持する。その後、接着シートＳによって開口部が閉塞されたリングフレームＲＦを図示しない搬送手段でフレーム支持部３５上に載置する。そして、フレーム支持部３５は図示しない保持手段でリングフレームＲＦを固定すると、直動モータＬＭが駆動され、接着シートＳの弛みが無くなるように、シート支持部３６が昇降される。   As shown in FIG. 1, in an open state in which the upper case 12 is separated from the lower case 13, the wafer W is placed on the table 11 via a transfer means (not shown), and the wafer is held by a holding means (not shown). Hold W. Thereafter, the ring frame RF whose opening is closed by the adhesive sheet S is placed on the frame support 35 by a conveying means (not shown). Then, when the ring frame RF is fixed by a holding means (not shown), the frame support portion 35 is driven so that the linear motion motor LM is driven and the sheet support portion 36 is moved up and down so that the adhesive sheet S is not loosened.

次いで、外側弾性部材２６が受け側弾性部材４０とで接着シートＳを上下から挟み込むように上部ケース１２を下降させると、下部ケース１３の上部開放部が接着シートＳによって閉塞されて密閉された第１空間Ｃ１が形成されるとともに、上部ケース１２と接着シートＳとで密閉された第２空間Ｃ２が形成される。その後、第１、第２圧力制御手段Ｐ１、Ｐ２を介して第１、第２空間Ｃ１、Ｃ２内が同じ減圧率で減圧され、第１、第２空間Ｃ１、Ｃ２内は、最終的に同じ所定の内圧状態とされる。そして、第２圧力制御手段Ｐ２を介して第２空間Ｃ２内だけに大気を導入し、当該第２空間Ｃ２内の圧力を第１空間Ｃ１内の圧力に比べて相対的に高い圧力とすることで、図２に示されるように、接着シートＳが下方に膨らみ、その中央部を、ウエハＷに最も接近した初期接着部Ｓ１として形成する。なお、第１圧力制御手段Ｐ１を介して第１空間Ｃ１内だけを更に減圧したり、第２圧力制御手段Ｐ２及び第１圧力制御手段Ｐ１を介して第２空間Ｃ２内だけに大気を導入し、且つ、第１空間Ｃ１内だけを更に減圧したりすることで、第２空間Ｃ２内の圧力を第１空間Ｃ１内の圧力に比べて相対的に高い圧力として初期接着部Ｓ１を形成してもよい。   Next, when the upper case 12 is lowered so that the outer elastic member 26 sandwiches the adhesive sheet S from above and below with the receiving elastic member 40, the upper open portion of the lower case 13 is closed and sealed by the adhesive sheet S. A first space C1 is formed, and a second space C2 sealed by the upper case 12 and the adhesive sheet S is formed. Thereafter, the first and second spaces C1 and C2 are depressurized at the same pressure reduction rate via the first and second pressure control means P1 and P2, and the first and second spaces C1 and C2 are finally the same. A predetermined internal pressure state is set. Then, the atmosphere is introduced only into the second space C2 via the second pressure control means P2, and the pressure in the second space C2 is set to be relatively higher than the pressure in the first space C1. As shown in FIG. 2, the adhesive sheet S swells downward, and the central part thereof is formed as the initial adhesive part S <b> 1 closest to the wafer W. Note that only the first space C1 is further depressurized via the first pressure control means P1, or the atmosphere is introduced only into the second space C2 via the second pressure control means P2 and the first pressure control means P1. In addition, by further reducing only the pressure in the first space C1, the pressure in the second space C2 is set to be relatively higher than the pressure in the first space C1, thereby forming the initial bonding portion S1. Also good.

初期接着部Ｓ１が形成された後、図２中二点鎖線で示されるように、直動モータ２０を駆動してテーブル１１を上昇させると、先ず初めにウエハＷの上面中央部に初期接着部Ｓ１が接触し、その後もテーブル１１を上昇させることで、図３に示されるように、ウエハＷの凸部Ｗ１と内側弾性部材２７とで接着シートＳを挟み込む状態となり、テーブル１１の上昇を停止させる。このとき、第２空間Ｃ２の中であって、接着シートＳと内側弾性部材２７の内側との間に密閉された第３空間Ｃ３が形成されるとともに、第１空間Ｃ１の中であって、接着シートＳとウエハＷの凸部Ｗ１との間に密閉された第４空間Ｃ４が形成される。その後、第２圧力制御手段Ｐ２を介して第３空間Ｃ３内が徐々に大気圧となるように、当該第３空間Ｃ３内に大気が導入されると、図４に示されるように、第４空間Ｃ４は、第３空間Ｃ３の大気圧に押されて消滅する。このとき、直動モータ２０と第２圧力制御手段Ｐ２とが押圧手段として機能する。   After the initial bonding portion S1 is formed, when the table 11 is moved up by driving the linear motor 20 as shown by a two-dot chain line in FIG. When S1 comes into contact and then the table 11 is raised, as shown in FIG. 3, the adhesive sheet S is sandwiched between the convex portion W1 of the wafer W and the inner elastic member 27, and the rise of the table 11 is stopped. Let At this time, a third space C3 is formed in the second space C2 and sealed between the adhesive sheet S and the inner side of the inner elastic member 27, and in the first space C1, A sealed fourth space C4 is formed between the adhesive sheet S and the convex portion W1 of the wafer W. After that, when the atmosphere is introduced into the third space C3 so that the third space C3 gradually becomes atmospheric pressure via the second pressure control means P2, as shown in FIG. The space C4 disappears when pushed by the atmospheric pressure of the third space C3. At this time, the linear motion motor 20 and the second pressure control means P2 function as pressing means.

この後、第１圧力制御手段Ｐ１を介して第１空間Ｃ１が徐々に大気圧となるように、当該第１空間Ｃ１内に大気が導入され、第１空間Ｃ１内が大気圧になったときに、上部ケース１２を上昇させる。その後、接着シートＳに貼付されたウエハＷは、図示しない搬送手段によって取り出され、別工程へ搬送されることとなり、以降上記同様の動作が繰り返される。   Thereafter, when the atmosphere is introduced into the first space C1 so that the first space C1 gradually becomes atmospheric pressure via the first pressure control means P1, and the first space C1 becomes atmospheric pressure. Then, the upper case 12 is raised. Thereafter, the wafer W attached to the adhesive sheet S is taken out by a transfer means (not shown) and transferred to another process, and thereafter the same operation as described above is repeated.

従って、このような実施形態によれば、予めリングフレームＲＦの開口部を閉塞するように貼付された接着シートＳに弛みが生じていても、シート支持部３６がこの弛みをなくして当該接着シートＳをウエハＷに貼付することができる。   Therefore, according to such an embodiment, even if the adhesive sheet S pasted so as to close the opening of the ring frame RF is loosened, the sheet support portion 36 eliminates this loosening and the adhesive sheet S can be attached to the wafer W.

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。 As described above, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this.
In other words, the present invention has been illustrated and described mainly with respect to specific embodiments, but without departing from the scope of the technical idea and object of the present invention, the shape, position, or With respect to the arrangement and the like, those skilled in the art can make various changes as necessary.

例えば、図５に示されるように、上部ケース１２が弾性シート７０を有する構成とし、この弾性シート７０を膨らませて接着シートＳをウエハＷに押圧して貼付するようにしてもよい。この場合、上部ケース１２と弾性シート７０とで形成された空間が第２空間Ｃ２となる。   For example, as shown in FIG. 5, the upper case 12 may be configured to have an elastic sheet 70, and the elastic sheet 70 may be inflated and the adhesive sheet S may be pressed against the wafer W and pasted. In this case, the space formed by the upper case 12 and the elastic sheet 70 becomes the second space C2.

更に、前記実施形態では、ウエハＷが外周に凸部Ｗ１を備えた形状としたが、凸部Ｗ１を有しないウエハや、電極としてのバンプを有するウエハを対象とすることもできる。   Further, in the above-described embodiment, the wafer W has a shape having the convex portion W1 on the outer periphery. However, a wafer having no convex portion W1 or a wafer having bumps as electrodes can be targeted.

また、上部ケース１２及び下部ケース１３は、上下を反転させた配置としてもよく、横向きに開閉する配置としてもよい。更に、前記実施形態では、上部ケース１２が上下に移動可能としたが、下部ケース１３を上下に移動可能としたり、上部、下部ケース１２、１３がそれぞれ移動可能としたりすることもできる。また、外側弾性部材２６と内側弾性部材２７とを一体の部材で構成してもよいし、上部ケース１２の下面側全面に、弾性体を設けてもよい。   Further, the upper case 12 and the lower case 13 may be arranged upside down or may be arranged to open and close in the horizontal direction. Further, in the above embodiment, the upper case 12 can be moved up and down, but the lower case 13 can be moved up and down, and the upper and lower cases 12 and 13 can be moved respectively. In addition, the outer elastic member 26 and the inner elastic member 27 may be configured as an integral member, or an elastic body may be provided on the entire lower surface side of the upper case 12.

また、フレーム支持部３５を下部ケース１３の周壁１３Ｂにより構成したが、下部ケース１３内で独立してリングフレームＲＦを支持する構成としてもよい。   Further, although the frame support portion 35 is configured by the peripheral wall 13B of the lower case 13, the frame support portion 35 may be configured to support the ring frame RF independently in the lower case 13.

更に、本発明における被着体は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。 Furthermore, the adherend in the present invention is not limited to the semiconductor wafer W, and other adherends such as a glass plate, a steel plate, or a resin plate can also be targeted. It may be a wafer or a compound semiconductor wafer.
The drive device in the embodiment includes an electric device such as a rotation motor, a linear motion motor, a linear motor, a single-axis robot, and an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder. In addition to these, a combination of them directly or indirectly may be employed (some of them overlap with those exemplified in the embodiment).

１０ シート貼付装置
１１ テーブル
１２ 上部ケース（第２ケース）
１３ 下部ケース（第１ケース）
１５ 支持手段
２０ 直動モータ（押圧手段）
３５ フレーム支持部
３６ シート支持部
Ｃ 減圧室
ＬＭ 直動モータ（駆動手段）
Ｐ２ 第２圧力制御手段（押圧手段）
ＲＦ リングフレーム
Ｓ 接着シート
Ｗ 半導体ウエハ（被着体） 10 Sheet pasting device 11 Table 12 Upper case (second case)
13 Lower case (first case)
15 support means 20 linear motion motor (pressing means)
35 Frame support part 36 Sheet support part C Decompression chamber LM Linear motion motor (drive means)
P2 Second pressure control means (pressing means)
RF ring frame S Adhesive sheet W Semiconductor wafer (Substrate)

Claims (3)

被着体を支持するテーブルと、当該テーブルを収容するとともに内部に減圧室を形成する第１ケース及び第２ケースと、接着シートによって開口部が閉塞されたリングフレームを支持するとともに、当該接着シートを被着体に臨む位置に支持する支持手段と、前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含み、前記減圧室を形成して減圧下で前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、
前記支持手段は、前記リングフレームを支持するフレーム支持部と、当該リングフレームより内側であって前記被着体より外側の接着シート部分を支持するシート支持部とを有することを特徴とするシート貼付装置。 A table for supporting the adherend, a first case and a second case for accommodating the table and forming a decompression chamber therein, a ring frame whose opening is closed by an adhesive sheet, and the adhesive sheet Supporting means for supporting the adhesive sheet at a position facing the adherend, and pressing means for pressing and adhering the adhesive sheet to the adherend, forming the decompression chamber and attaching the adhesive sheet under reduced pressure In the sheet sticking device that sticks to the body,
The support means includes a frame support portion that supports the ring frame, and a sheet support portion that supports an adhesive sheet portion inside the ring frame and outside the adherend. apparatus. 前記フレーム支持部とシート支持部とを相対的に昇降させる駆動手段を有することを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。   The sheet sticking apparatus according to claim 1, further comprising a driving unit that moves the frame support part and the sheet support part up and down relatively. 接着シートによって開口部が閉塞されたリングフレームを用意する工程と、
被着体を支持する工程と、
前記被着体に前記接着シートが臨む位置で前記リングフレームを支持するとともに、当該リングフレームより内側であって前記被着体より外側の接着シート部分を支持する工程と、
前記被着体及び接着シートを減圧室内で収容する工程と、
前記減圧室を減圧する工程と、
前記減圧された減圧室内で前記接着シートを被着体に押圧して貼付する工程と、を含むことを特徴とするシート貼付方法。 Preparing a ring frame whose opening is closed by an adhesive sheet;
A step of supporting the adherend;
Supporting the ring frame at a position where the adhesive sheet faces the adherend, and supporting an adhesive sheet portion inside the ring frame and outside the adherend;
Storing the adherend and the adhesive sheet in a decompression chamber;
Depressurizing the decompression chamber;
And a step of pressing and adhering the adhesive sheet to an adherend in the decompressed decompression chamber.
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