JP2009290068A - 窒化物半導体発光素子とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】垂直電極構造を有する窒化物半導体発光素子の作製において、プロセス上の問題および素子特性上の問題を改善する。
【解決手段】窒化物半導体発光素子は、順次積層されたn型窒化物半導体層(3)、窒化物半導体発光層(4)、およびp型窒化物半導体層(5)を含む窒化物半導体積層構造と、反り防止層(9)と、支持基板(11)とがこの順に接合されていることを特徴としている。
【選択図】図2
【解決手段】窒化物半導体発光素子は、順次積層されたn型窒化物半導体層(3)、窒化物半導体発光層(4)、およびp型窒化物半導体層(5)を含む窒化物半導体積層構造と、反り防止層(9)と、支持基板(11)とがこの順に接合されていることを特徴としている。
【選択図】図2
Description
本発明は窒化物半導体発光素子とその製造方法に関し、特に大面積化が可能であって発光効率と静電耐圧の改善も可能な窒化物半導体発光素子とその製造方法に関する。
周知のように、順次積層されたn型の化合物半導体、化合物半導体活性層(発光層)、およびp型の化合物半導体を含む半導体積層構造に電圧を印加することにより、n型半導体層中に含まれる電子とp型半導体中に含まれる正孔とを活性層内で再結合させることによる発光を利用する化合物半導体発光素子がある。このような半導体発光素子の周知の例として発光ダイオードなどが市販されており、これらの発光素子は電子と正孔とが効率よく再結合する直接遷移型半導体を利用しているので発光効率が非常に高い。したがって、これらの発光素子は、現在では照明、家電製品のディスプレイ、道路の信号機などに利用されている。
ここで、照明やディスプレイに用いられている白色発光ダイオードは、例えば青色発光ダイオードと黄色領域に蛍光波長を有するYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)などの蛍光体とを組み合わせて作製される。そして、青色発光ダイオードには、窒化物半導体が利用されている。
一般的に実用化されている窒化物半導体発光素子の作製方法においては、結晶成長用基板(以下、「成長基板」と称す)としてのウエハ状のサファイア基板上に順次積層されたn型GaN層、活性層、およびp型GaN層を含む半導体積層構造を成長させる。
しかし、サファイア基板は絶縁体であるので、正電極と負電極はサファイア基板の同一面側に形成される。すなわち、p型GaN層からn型GaN層に達するまで部分的エッチングを行ない、そのエッチングによって部分的に露出されたn型GaN層上に負電極が設けられ、そしてp型GaN層上には正電極が設けられる。この場合、1つの発光素子チップ当たりの活性層領域が減少する。また、サファイア基板をステム上にマウントした後に、発光素子に電圧印加するために2本のボンディングワイヤが必要である。さらに、発光素子内で発生する熱に関して、サファイア基板を介する放熱性が良好ではない。
このような観点から、特許文献1の特開2001−313422号公報による窒化物半導体発光素子の作製方法においては、サファイア成長基板を研磨などによって除去し、半導体積層構造を上下方向に挟む一対の正負の電極(以下、この正負の電極構造を「垂直電極構造」とも称す)が形成される。
また、特許文献2の特開2000−101139号公報においては、窒化物半導体積層構造からサファイア成長基板を除去する方法として、それらの界面に基板側からレーザ光を照射する方法が開示されている。
なお、後述のように、サファイア成長基板が除去される窒化物半導体積層構造は、メッキ層、部分的に導電体領域を含む樹脂層、GaAs層などによる導電性支持基板で保持され得る。
特開2001−313422号公報
特開2000−101139号公報
特開2000−277804号公報
特開2004−047704号公報
特開2000−021772号公報
伊勢秀夫著、「電鋳技術と応用」、1996年、槇書店発行
特許文献1によれば、サファイア成長基板とその上の窒化物半導体積層構造とを含むウエハから成長基板を研磨によって除去する工程において、ウエハに反りがある場合はウエハが割れる問題があった。そこで、特許文献1においては、ウエハの反りを防止するために、サファイア成長基板上の窒化物半導体積層構造の最上層に第1金属層のオーミック電極層と厚み10μm以上の第2金属層の反り防止層を順次堆積している。この反り防止層によってウエハの反りを軽減することが可能である。しかしながら、特許文献1においては、研磨によってサファイア成長基板を除去するには非常に長い時間を要するという問題がある。
特許文献1おいては、サファイア成長基板が除去される半導体積層構造は、メッキ層または部分的に導電体領域を含む樹脂層による導電性支持基板で保持される。また、特許文献3の特開2000−277804号公報の製法では、サファイア成長基板が除去される半導体積層構造のための支持基板として、GaAsなどの導電性基板を利用する。しかし、サファイア成長基板とGaAs支持基板との熱膨張係数は異なるので、成長基板上の半導体積層構造と支持基板とが金属層を介する加熱圧着で接合される過程においてウエハが反る問題が生じる。
ここで、ウエハの反り量は、ウエハ面内で一番高い部分と低い部分の高低差で定義される。このようなウエハの反り量が80μm以上ある場合、特許文献2に開示されているように半導体積層構造から成長基板をレーザ照射によって剥離除去しようとする場合に、半導体積層構造と成長基板との界面にレーザを均一に照射することが難しく、半導体積層構造にダメージを与えることなく成長基板を剥離除去することが困難となる。特に、特許文献3におけるように半導体積層構造に支持基板を加熱圧着させる場合、ウエハ面積が大きいほどその反り量が大きくなるので、成長基板の剥離除去はさらに困難となる。
また、支持基板の作成方法として特許文献1では無電解メッキを利用し、特許文献4の特開2004−47704では電界メッキによって支持基板を作成しているが、メッキ自体の応力によってウエハが反るので、特許文献3の場合と同様の問題が生じる。
実際に、2インチ径のサファイア基板上に成長した窒化物半導体積層構造上に電解メッキで厚さ100μmのCu層で支持基板を形成した場合、ウエハに約80μmの反り量が発生して、サファイア成長基板の剥離除去は容易ではなかった。
本発明者の検討結果によれば、ウエハの反り量が80μm未満の場合には成長基板の剥離除去は可能であるが、その反り量が80μm以上では窒化物半導体積層構造にダメージを生じる傾向が顕著になる。また、ウエハの反り量が40μm未満の場合は、窒化物半導体積層構造の一部分にダメージを生じる傾向が残るが、成長基板の剥離がしやすくなる。さらに、ウエハの反り量が20μm未満の場合には、窒化物半導体積層構造にダメージを生じる傾向が顕著に軽減されるとともに、成長基板の剥離がさらに容易になる。
このことは、レーザビームの焦点がビーム軸方向に20μmずれることによって、単位面積当たりに照射されるレーザエネルギが約20%低下することになり、その結果として成長基板の剥離を行なうための付与エネルギが十分でなくなることと符合する。そして、ここで述べられているウエハの反り量はウエハの面積によらず、その反り量が大きいほど成長基板の剥離に影響を及ぼす。
また、支持基板が付与されることによって反ったウエハにおいては、成長基板が剥離除去された後においても反りを生じ、フォトリソグラフィやチップ分割などのプロセスを行なうことが困難になる。さらに、ウエハに含まれる窒化物半導体積層構造が反ることにより、III族原子とV族原子との異種原子で構成される結晶の歪に起因する内部電界が発光層に印加され、発光効率の低下や発光波長のシフトなどの問題を生じ得る。
上述のように、垂直電極構造を有する窒化物半導体発光素子の作製に関して、特許文献3と特許文献4による方法においては、特許文献1による方法とは異なって、支持基板を付与することに起因してウエハが反ることによるプロセス上の問題および素子特性上の問題が生じる。
そこで、本発明は、垂直電極構造を有する窒化物半導体発光素子の作製において、プロセス上の問題および素子特性上の問題を改善することを目的としている。
本発明による窒化物半導体発光素子は、順次積層されたn型窒化物半導体層、窒化物半導体発光層、およびp型窒化物半導体層を含む窒化物半導体積層構造と、反り防止層と、支持基板とがこの順に接合されていることを特徴としている。
なお、反り防止層は、支持基板より硬い金属層、合金層、または誘電体層の1層以上を含むことが好ましい。反り防止層が金属層または合金層の場合には、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、およびBeの1種以上を含み得る。反り防止層は、40HV以上の硬度を有することが好ましい。
また、反り防止層と支持基板との間にAuを含む層をさらに含んでもよく、反り防止層はAuの拡散を防止するようにも作用し得ることが好ましい。反り防止層は、支持基板の反りに対して逆方向に反るように作用していることが好ましい。支持基板の熱伝導率は、1.5W/cm・K以上であることが好ましい。
窒化物半導体積層構造に含まれる最外層のp型窒化物半導体層上の全面に、インジュウム錫酸化物、インジュウムモリブデン酸化物、酸化インジュウム、酸化錫、カドミウム錫酸化物、酸化ガリウム、インジュウム亜鉛酸化物、ガリュウム亜鉛酸化物、および酸化亜鉛のいずれかの酸化物の層または厚さ1nm以上200nm以下の金属層を含むp側電極が形成されていることが好ましい。他方、窒化物半導体積層構造に含まれる最外層のn型窒化物半導体層上の一部に、n側金属電極が形成されていることが好ましい。このn側金属電極は、50nmから150nmの範囲内の直径を有しかつ200nm以上の厚さを有していることが好ましい。
以上のような窒化物半導体発光素子を製造するための方法においては、結晶成長用のウエハ状成長基板上に窒化物半導体積層構造を成長させ、この窒化物半導体積層構造上に反り防止層を介在させて支持基板を接合し、支持基板が接合されたウエハ状態において、そのウエハの反り量がウエハ面の高低差において80μm未満であることが好ましい。
反り防止層は、電解メッキによって形成されることが好ましい。支持基板も、反り防止層上にメッキによって形成されることが好ましい。成長基板は、サファイア、GaN、SiC、LiGaO2、およびLiAlO2のいずれかを含み得る。窒化物半導体積層構造は成長基板に接するバッファ層を含み、成長基板はバッファ層が吸収するレーザ光に対して透光性であることが好ましい。バッファ層がGaNを含む場合、レーザ光は355nm以下の中心波長を有することが好ましい。成長基板の表面は、ストライプ状、円形状、または多角形状の凹凸を有することが好ましい。
本発明によれば、成長基板、窒化物半導体積層構造、反り防止層、および支持基板を含むウエハにおいて、反り防止層はウエハの反りを抑制する効果を有している。そして、レーザ光照射によって窒化物半導体積層構造から成長基板を剥離する際に、ウエハの反りによるレーザビーム焦点のズレを軽減でき、窒化物半導体積層構造にダメージを与えることなく成長基板を容易に除去することができる。
また、成長基板が剥離除去されたウエハをチップ分割するためにレーザスクライブを利用する場合においても、反り防止層はそのウエハの反りを抑制し、チップ分割を容易化するように作用し得る。
さらに、反り防止層によって反りが抑制された窒化物半導体積層構造においては、歪による内部電界の発生が抑制され、その内部電界による発光層内における量子閉じ込めシュタルク効果が抑制され、発光ピーク波長のシフトおよび電子と正孔の再結合確率の低下が防止され得る。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1による窒化物半導体発光素子の作製途中における積層構造を示す模式的断面図である。この図において、サファイア成長基板1上にアンドープGaNバッファ層2、n型GaN層3、GaN/InGaN量子井戸を含む発光層4、およびp型GaN層5が順次に積層されている。
図1は、本発明の実施形態1による窒化物半導体発光素子の作製途中における積層構造を示す模式的断面図である。この図において、サファイア成長基板1上にアンドープGaNバッファ層2、n型GaN層3、GaN/InGaN量子井戸を含む発光層4、およびp型GaN層5が順次に積層されている。
p型GaN層5上にはPdのコンタクト層6が成膜され、その密着性向上のための熱処理が行なわれる。Pdコンタクト層6上には、Agの反射金属層7、Ti(厚さ100nm)/Pt(厚さ30nm)の積層順のバリア層8、およびHf(厚さ5μm)の反り防止層9が順次積層される。
Hf反り防止層9上には、Au(厚さ3μm)の貼付け金属層が形成される。他方、Si支持基板11上には、Ti(厚さ100nm)/Pt(厚さ30nm)/Au(厚さ0.5μm)/AuSn(厚さ3μm)の積層順の貼付け金属積層が形成される。そして、これらの貼付け金属層に含まれるAu層とAuSn層とを対向させて重ね合わせ、加熱圧着によって接合金属層10が形成される。
図2は、図1の工程の後において、正電極と負電極が形成された窒化物半導体発光素子を模式的断面図で示している。この図2の発光素子を作製するためには、図1中のアンドープGaNバッファ層2に波長355nmのレーザ光を照射して熱分解させ、成長基板1とバッファ層2が除去される。こうして露出されたn型GaN層3上には正電極としてのTi/AlまたはTi/Auのパッド電極12が形成され、Si基板11の下面上には負電極としてのTi/Al/Ti電極13が形成される。
なお、成長基板としての材料はサファイアに限られず、GaN結晶層に格子整合可能であってバッファ層が吸収する光を透過し得る材料であればよく、例えばSiC、GaN、LiGaO2、LiAlO2などを利用することもできる。
また、成長基板上に堆積される窒化物半導体層の結晶品質を高めるために、成長基板表面にはストライブ状、円形状、三角形状、その他の多角形状などの微細な凹凸が形成されていてもよい。このような微細な表面を含む成長基板に関しては、特許文献5の特開2000−021772号公報を参照されたい。
p型窒化物半導体層用のコンタクト金属層の材料としては、Au、Ag、Pt、Ti、Pd、Al、Ni、Pdなど用いることができる。ただし、このコンタクト金属層は、隣接する反射金属層へ効率的に光を透過させかつ自身の導電性を確保する必要が有るので、1nm以上200nm以下の厚みを有することが好ましい。なお、p型窒化物半導体層用のコンタクト層の材料としては金属に限られず、導電性を有しかつ透過率の良好なインジュウム錫酸化物(ITO)、インジュウムモリブデン酸化物(IMO)、酸化インジュウム(IO)、酸化錫(TO)、カドミウム錫酸化物(CdTO)、酸化ガリウム(GaO)、インジュウム亜鉛酸化物(InZnO)、ガリュウム亜鉛酸化物(GaZnO)、酸化亜鉛(ZnO)などの透明導電性酸化物を利用することも可能である。
本実施形態1では反射金属層としてAg層を用いているが、Al、Ag、Ni、Ti、Pt、およびAuの1種以上を含む金属層を用いることもできる。反射金属層に隣接するバリア層としても、Ni、Ti、およびPtの1種以上を含む金属層を用いることができる。
反り防止層はHf層に限られず、支持基板より硬い材料を利用して形成することができる。例えば、硬度が40HVであるCu支持基板を用いる場合、硬度40HV以上で好ましくは100HV以上の金属、合金、誘電体(部分的領域)などを反り防止層に利用することができる。
反り防止層は1以上の構成層を含むことができ、各構成層の厚みは0.01〜100μmであることが好ましく、0.05〜10μmであることがより好ましく、0.1〜1μmであることがさらに好ましい。
図3の模式的断面図においては図2の発光素子の変形例が示されており、バリア層と反り防止層との構成のみが変更されている。すなわち、図3の発光素子においては、Ti/Ptバリア層8aの上面側と下面側にHf反り防止層9aとHf反り防止層9bがそれぞれ設けられている。
反り防止層の材料としては、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、およびBeの1種以上含む金属または合金であればよい。
また、反り防止層の材料として誘電体を用いる場合には、垂直電極構造における電流経路を確保するために、誘電体の反り防止層の一部をエッチングやリフトオフを用いて除去すればよい。
図4の模式的断面図においても図2の発光素子の変形例が示されており、バリア層と反り防止層との構成のみが変更されている。すなわち、図4の発光素子においては、Agの反射金属層7とTi/Ptバリア層8bとの間に誘電体の反り防止層9cが設けられている。この誘電体反り防止層9cの一部領域には開口部が設けられており、その開口部においてAgの反射金属層7とTi/Ptバリア層8bとが接している。
図5の模式的断面図においても図2の発光素子の変形例が示されており、バリア層と反り防止層との構成のみが変更されている。すなわち、図5の発光素子においては、Hfの反り防止層9dがバリア層の機能を兼ねて果し、図2中のTi/Ptバリア層8が省略されている。この場合、反り防止層9dが十分に厚く形成されており、接合金属層10中のAuがAg反射層7内へ拡散することを抑制し得る。
本実施形態1では接合金属層10を形成するためにAuSn層を含む貼付け金属層が利用されたが、AuSn層は必ずしも必要ではなく、Al、Ag、Ni、Ti、Pt、In、Au、AuSn、およびAuSiの1種以上を含む金属層を含む貼付け金属層を利用することもできる。また、貼付け金属層の代わりに、導電性接着剤を利用することも可能である。
本実施形態1ではSiの支持基板11が用いられたが、支持基板としてはSiC基板、GaN基板、GaP基板、GaAs基板、InP基板、ZnSe基板、ZnO基板、Cu基板、CuW基板、W基板などから選択することもできる。なお、支持基板は発光素子の放熱性を良好にする観点からは、SiやGaNの熱伝導率が1.3〜1.5W/cm・Kであるので、熱伝導率が1.5W/cm・K以上の支持基板を用いることが好ましい。
本実施形態1では波長355nmのレーザでバッファ層を熱分解してサファイア基板の除去を行なうが、レーザ光の波長は成長基板を透過し得る波長であってバッファ層が吸収し得る波長であればよい。なお、成長基板が除去された半導体積層構造の露出表面におけるダメージはレーザ光の波長が短い場合に少ないので、Nd:YAGレーザの三次高調波(355nm)に比べて四次高調波(266nm)を用いる方が好ましい。
本実施形態1で用いられるレーザ照射装置はウエハの反りに追随してフォーカスを合わせ得る機能を有していない簡素な光学系を含んでいる。したがって、レーザで成長基板を除去する際にウエハに大きな反り量が存在する場合には、レーザのフォーカス位置がバッファ層からずれてしまって成長基板の剥離を均一に行なうことができない。
フォーカス位置が40μmずれている場合でも、レーザパワーを強くすることによって、フォーカス位置からずれた部分でもバッファ層を分解するに必要なエネルギを供給することは可能である。しかし、レーザパワーが強化された場合には、フォーカスが合っている部分へ過剰なエネルギが供給され、窒化物半導体積層構造がダメージを受ける問題が生じ得る。より具体的には、レーザのフォーカス位置がバッファ層から20μmずれるだけでエネルギ密度が約20%低下し、バッファ層を十分に分解すること容易でなくなる。
実際に、17mm角の成長基板の場合、反り防止層を含まない従来の条件下では反り量が30μm以上になり、成長基板から窒化物半導体積層構造を均一に剥離させることができない。しかし、本実施形態1では反り防止層によって反り量が20μm以下に低減されるので、成長基板から窒化物半導体積層構造を均一に剥離させることが可能である。
また、2インチ径のサファイア成長基板上に形成した窒化物半導体積層構造上にCuメッキ支持基板を形成した場合、ウエハの反り量は80μm程度になった。この場合にはウエハ全面に均一にレーザ照射することができず、成長基板から半導体積層構造を剥離できない領域が残ったり、半導体積層構造にダメージを受けた領域が生じたりした。ただし、1回のレーザ照射で剥離なかった領域においても、レーザのフォーカス位置を調整して再度レーザ照射を行なうことによって剥離を完了させることができた。
他方、2インチ径のウエハで40μm程度に反り量を調整した場合においては、半導体積層構造にダメージを受ける領域が生じるが、成長基板から半導体積層構造を剥離除去させることはできた。
以上の観点から、ウエハの反り量は80μm以下でなければならず、40μm以下であることが好ましく、20μm以下であることがより好ましい。
(実施形態2)
図6は、本発明の実施形態2による窒化物半導体発光素子の作製途中における積層構造を示す模式的断面図である。この図6の積層構造は、図1に比べて、接合金属層10が電解メッキ用のAuシード層10aに変更され、Si支持基板11が厚さ約100μmのCuメッキ層の支持基板11aに変更されていることのみにおいて異なっている。
図6は、本発明の実施形態2による窒化物半導体発光素子の作製途中における積層構造を示す模式的断面図である。この図6の積層構造は、図1に比べて、接合金属層10が電解メッキ用のAuシード層10aに変更され、Si支持基板11が厚さ約100μmのCuメッキ層の支持基板11aに変更されていることのみにおいて異なっている。
図7は、図6の工程の後において、正電極と負電極が形成された窒化物半導体発光素子を模式的断面図で示している。この図7の発光素子を作製するためには、図2の場合と同様に、図6中のアンドープGaNバッファ層2に波長355nmのレーザ光を照射し、成長基板1とバッファ層2が除去される。こうして露出されたn型GaN層3上には正電極としてのTi/AlまたはTi/Auのパッド電極12が形成され、Cuメッキ支持基板11aの下面上には負電極としてのTi/Al/Ti電極13が形成される。
なお、メッキ層による支持基板の形成はCuメッキに限られず、Auメッキ、Agメッキ、Niメッキ、Cuメッキ、およびFeメッキの少なくともいずれかを利用してもよい。メッキ支持基板はCu、Ni、Au、Ag、およびFeの少なくとも1種を含むことができ、その厚みはウエハのハンドリングが可能となる50〜250μmの範囲内であればよく、80〜120μmの範囲内であることが好ましい。
一般的に窒化物半導体積層構造上に形成されるメッキ支持基板の厚は100μm前後程度であるが、メッキ支持基板が50μm程度に薄くてもウエハをハンドリングすることは可能である。ただし、メッキ支持基板が薄い場合には、ウエハの取扱いには破損に対する注意を要する。他方、メッキ支持基板を厚くする場合にはウエハの取扱いに問題を生じることはないが、メッキ支持基板を形成する時間と費用が増大するので、200〜250μm程度までの厚さが望ましいと考えられる。したがって、メッキ支持基板の厚さは80〜120μm程度であることが、メッキに要する時間と費用およびウエハ取扱いの容易性など考慮して最適であると考えられる。
電解メッキ用シード層の材料はAuに限られず、導電性や密着性の良好な金属を用いることができる。また、形成されるべきメッキ支持基板と同じ材料でシード層を成膜することも可能である。さらに、本実施例のおけるように反り防止層が導電性の金属層である場合、反り防止層上にシード層を成膜せずに直接メッキ支持基板を形成することも可能である。
(実施形態3)
図8は、本発明の実施形態3による窒化物半導体発光素子の積層構造を示す模式的断面図である。この図8の発光素子は、図2に比べて、Ti/Ptバッファ層9上にHf反り防止層9を形成する代わりに電解メッキ用のAuシード層9eとNiメッキ層9fを積層していることのみにおいて異なっている。
図8は、本発明の実施形態3による窒化物半導体発光素子の積層構造を示す模式的断面図である。この図8の発光素子は、図2に比べて、Ti/Ptバッファ層9上にHf反り防止層9を形成する代わりに電解メッキ用のAuシード層9eとNiメッキ層9fを積層していることのみにおいて異なっている。
本実施形態3ではSi支持基板11が用いられているが、Si支持基板の代わりに、図7におけるようなメッキ支持基板が形成されてもよいことは言うまでもない。また、本実施形態3の発光素子に含まれるそれぞれの金属層としても、実施形態1および2おいて対応する金属層に関して例示された種々の金属層から選択することができる。
本実施形態3において反り防止層をメッキで形成することは、厚い反り防止層を安価かつ容易に付与し得る利点のみならず、形成される反り防止層の内部応力状態を自在に制御できる利点を有する。すなわち、メッキ液の種類、電流密度、温度、電着浴の種類、電着浴液の濃度、添加剤、応力減少剤の添加、添加剤の添加量、電着浴液中の硫黄濃度の管理、さらには陽極材の材質などの少なくともいずれかを適宜に設定することによって、メッキで堆積される金属層中の圧縮応力または引張応力を容易に制御することが可能である。メッキ層における内部応力の制御の詳細に関しては、非特許文献1の伊勢秀夫著、「電鋳技術と応用」、1996年、槇書店発行を参照されたい。
メッキ層の内部応力は電着応力と称され、電着応力が正の値のときは引張応力であり、負の値のときは圧縮応力となる。もちろん、電着応力がゼロのときは無応力となる。
例えば、電流密度が高くなるほど電着応力は大きくなる。また、メッキ液の温度が高くなるほど電着応力は小さくなる。さらに、メッキの種類によって引張応力と圧縮応力を選択することができ、Auのメッキの場合は一般に圧縮応力が生じ、Cu、Ni、およびFeのメッキの場合は一般に引張応力が生じる。
電着浴がワット浴の場合には電着応力は大きくなり、全スルファミン酸ニッケル浴の場合にはワット浴に比べ電着応力が小さくなる。また、スルファミン酸ニッケル浴の場合には電着応力はワット浴の場合に比べ小さいが、全スルファミン酸ニッケル浴に比べて大きい。
電着浴液の濃度比によって、引張応力と圧縮応力の選択が可能である。例えば、CuSO4・5H2O:H2SO4=87:24.5の場合は引張応力になり、CuSO4・5H2O:H2SO4=87:73.5の場合は圧縮応力になる。
メッキ液への添加剤として光沢剤や応力減少剤を添加することによって、圧縮応力と引張応力の変換が可能である。例えば、Cuメッキの場合には、添加剤(チオ尿素・ゼラチン・β−ナフチルキノリン・ロッセル塩)の濃度が高くなるにしたがって引張応力が増大して最大値を示し、それから零になり、さらに圧縮応力に変化する。添加剤ナフタレンジスルフォン酸(Niメッキの応力緩和剤)も、Cuメッキに関して同様の作用をする。
Niメッキの場合、硫酸ニッケル、スルファミン酸ニッケル、ホウフッ化ニッケルなどのメッキ液中の応力減少剤は、第1光沢剤として使用されているものであって、芳香族炭化水素[ベンゼンやナフタレンなど]にスルフォン酸、スルフォン酸塩、スルフォンアミド、スルフォンイミド、スルフォン酸などが付いたものである。
代表的な応力減少剤として、サッカリン、パラトルエンスルフォンアミド、ベンゼンスルフォンアミド、ベンゼンスルフォンイミド、ベンゼンジスルフォン酸ナトリウム、ベンゼントリスルフォン酸ナトリウム、ナフタレンジスルフォン酸ナトリウム、ナフタレントリスルフォン酸ナトリウムなどが挙げられる。
また、添加剤の添加量の調節によっても、引張応力と圧縮応力の制御が可能である。例えば、電着中の液中の硫黄含有率が高くなれば、電着応力は小さくなって圧縮応力となる。すなわち、電着中の液中の硫黄濃度などを調節することによって、電着応力の制御が可能となる。
さらに、陽極材の材質によって液中の硫黄含有率が変わるので、陽極材の材質によっても電着応力を制御することが可能である。例えば、白金メッキしたチタン板を陽極にしてスルファミン酸ニッケル浴で電着した場合には、電着応力が圧縮応力になる。
以上のように、電解メッキ層の応力状態は種々のメッキ条件の変更で容易に制御できるので、支持基板の反りと逆方向の反りを生じる傾向のある反り防止層を形成することによって、ウエハの反り量を軽減することが可能である。
以上のように、本発明によれば、垂直電極構造を有する窒化物半導体発光素子の作製において、プロセス上の問題および素子特性上の問題を改善することができる。
1 サファイア成長基板、2 アンドープGaNバッファ層、3 n型GaN層、4 GaN/InGaN量子井戸を含む発光層、5 p型GaN層、6 Pdコンタクト層、7 Ag反射金属層、8,8a,8b Ti/Ptバリア層、9,9a,9b Hf反り防止層、9c 誘電体反り防止層、9d 厚いHf反り防止層、9e メッキシード層、9f Niメッキ反り防止層、10 接合金属層、10a メッキシード層、11 Si支持基板、11a Cuメッキ支持基板、12 Ti/Auパッド電極、13 Ti/Al/Ti電極。
Claims (17)
- 順次積層されたn型窒化物半導体層、窒化物半導体発光層、およびp型窒化物半導体層を含む窒化物半導体積層構造と、
反り防止層と、
支持基板とがこの順に接合されていることを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 前記反り防止層は、前記支持基板より硬い金属層、合金層、または誘電体層の1層以上を含むことを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記反り防止層は、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、およびBeの1種以上を含むことを特徴とする請求項2に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記反り防止層は40HV以上の硬度を有することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記反り防止層と前記支持基板との間にAuを含む層をさらに含み、前記反り防止層はAuの拡散を防止するようにも作用し得ることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記反り防止層は前記支持基板の反りに対して逆方向に反るように作用していることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記支持基板の熱伝導率は1.5W/cm・K以上であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記窒化物半導体積層構造に含まれる最外層の前記p型窒化物半導体層上の全面にインジュウム錫酸化物、インジュウムモリブデン酸化物、酸化インジュウム、酸化錫、カドミウム錫酸化物、酸化ガリウム、インジュウム亜鉛酸化物、ガリュウム亜鉛酸化物、および酸化亜鉛のいずれかの酸化物の層または厚さ1nm以上200nm以下の金属層を含むp側電極を有することを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記窒化物半導体積層構造に含まれる最外層の前記n型窒化物半導体層上の一部にn側金属電極を有することを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記n側金属電極は50nmから150nmの範囲内の直径を有しかつ200nm以上の厚さを有していることを特徴とする請求項9に記載の窒化物半導体発光素子。
- 請求項1から10のいずれかの窒化物半導体発光素子を製造するための方法であって、
結晶成長用のウエハ状成長基板上に前記窒化物半導体積層構造を成長させ、
前記窒化物半導体積層構造上に前記反り防止層を介在させて前記支持基板を接合し、
前記支持基板が接合されたウエハ状態において、そのウエハの反りがウエハ面の高低差において80μm未満であることを特徴とする製造方法。 - 前記反り防止層は電解メッキによって形成されることを特徴とする請求項11に記載の製造方法。
- 前記支持基板は前記反り防止層上にメッキによって形成されることを特徴とする請求項11または12に記載の製造方法。
- 前記成長基板はサファイア、GaN、SiC、LiGaO2、およびLiAlO2のいずれかを含むことを特徴とする請求項11から13のいずれかに記載の製造方法。
- 前記窒化物半導体積層構造は前記成長基板に接するバッファ層を含み、前記成長基板は前記バッファ層が吸収するレーザ光に対して透光性であることを特徴とする請求項11から14のいずれかに記載の製造方法。
- 前記バッファ層はGaNを含み、前記レーザ光は355nm以下の中心波長を有することを特徴とする請求項15に記載の製造方法。
- 前記成長基板の表面はストライプ状、円形状、または多角形状の凹凸を有することを特徴とする請求項11から16のいずれかに記載の製造方法。
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