JP2009277834A - Method of manufacturing chip resistor, and chip resistor - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a chip resistor in which the chip resistor has sufficient surge resistance characteristics even when the chip resistor is a compact type, and especially, a resistance element has a long effective length and a slit fall is prevented to eliminate the need for an extra process, and the chip resistor. <P>SOLUTION: The method of manufacturing the chip resistor includes: a slit forming process (S12) of forming a primary slit and a secondary slit on an upper surface of a substrate element body having been sintered and forming projection bank portions on both sides along the slits on the upper surface of the substrate element body by making a substrate material fused by laser irradiation swell and re-sintering it; and resistance element-upper surface electrode forming processes (S13, S14) of forming the resistance element and an upper surface electrode so that the effective length of the resistance element as the length of an area of the resistance element which is not connected to the upper surface electrode is 60 to 95% of the length of an insulating substrate in an inter-electrode direction and the effective width of the resistance element is 70 to 95% of the width of the insulating substrate. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、チップ抵抗器とその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a chip resistor and a manufacturing method thereof.

従来より、チップ抵抗器を製造する際に、予め一次スリットと二次スリットとが形成された基板に抵抗体や電極部を形成する方法を用いるのが一般的である。   Conventionally, when manufacturing a chip resistor, it is common to use a method in which a resistor or an electrode portion is formed on a substrate on which a primary slit and a secondary slit are formed in advance.

すなわち、図7に示すような構成のチップ抵抗器Bを製造する方法としては、図8に示す方法により形成され、まず、上面に一次スリットと二次スリットが予め形成されている無垢のアルミナ基板(このアルミナ基板は、複数のチップ抵抗器の絶縁基板の大きさを少なくとも有する大判のものである)を用意し、このアルミナ基板の裏面に下面電極を形成する(S111)。その後、アルミナ基板の上面に上面電極を形成し(S112)、さらに、アルミナ基板の上面に抵抗体を形成する(S113)。その後、カバーコートを形成した(S114)後に、抵抗体のトリミングを行い(S115)、保護膜を形成する(S116)。その後、一次スリットに沿って基板を分割した(S117)後に、側面電極を形成し(S118)、二次スリットに沿って分割し(S119)、その後、メッキを行って(S120)チップ抵抗器を製造する。   That is, as a method of manufacturing the chip resistor B configured as shown in FIG. 7, a solid alumina substrate formed by the method shown in FIG. 8 and firstly formed with a primary slit and a secondary slit in advance on its upper surface. (This alumina substrate is a large one having at least the size of an insulating substrate of a plurality of chip resistors), and a bottom electrode is formed on the back surface of the alumina substrate (S111). Thereafter, an upper surface electrode is formed on the upper surface of the alumina substrate (S112), and a resistor is formed on the upper surface of the alumina substrate (S113). Thereafter, after the cover coat is formed (S114), the resistor is trimmed (S115), and a protective film is formed (S116). Then, after dividing the substrate along the primary slit (S117), side electrodes are formed (S118), divided along the secondary slit (S119), and then plated (S120). To manufacture.

上記の方法によって製造されたチップ抵抗器Bは、絶縁基板10と、抵抗体20と、上面電極30と、下面電極40と、側面電極50と、メッキ60と、カバーコート70と、保護膜80とを有しており、メッキ60は、ニッケルメッキ62と、錫メッキ64の2層により形成されている。   The chip resistor B manufactured by the above method includes the insulating substrate 10, the resistor 20, the upper electrode 30, the lower electrode 40, the side electrode 50, the plating 60, the cover coat 70, and the protective film 80. The plating 60 is formed of two layers of nickel plating 62 and tin plating 64.

また、近時、チップ抵抗器の小型化の要求が高まってきており、チップ抵抗器の小型化に伴い、抵抗体の有効面積を大きくすることが求められている。例えば、特許文献1に記載のチップ抵抗器においては、抵抗体の幅を絶縁性基板の幅の約70%として抵抗体の有効幅を一般の場合よりも長くしている。   Recently, there has been an increasing demand for miniaturization of chip resistors, and with the miniaturization of chip resistors, it is required to increase the effective area of the resistor. For example, in the chip resistor described in Patent Document 1, the effective width of the resistor is made longer than that of a general case by setting the width of the resistor to about 70% of the width of the insulating substrate.

また、特許文献2には、チップ型抵抗器の製造に際して、絶縁基板への抵抗体ペーストのスクリーン印刷後に印刷した抵抗体ペーストに滲みやダレを生じないようにするために、抵抗体配設面に一対の互いに平行なガイド壁を突設する点が開示されている。
特開2004−23006号公報 特開2001−118703号公報
Further, Patent Document 2 discloses a resistor arrangement surface in order to prevent bleeding and sagging in a resistor paste printed after screen printing of a resistor paste on an insulating substrate in manufacturing a chip resistor. The point that a pair of mutually parallel guide walls protrudes is disclosed.
JP 2004-23006 A JP 2001-118703 A

しかし、予めスリットが形成されたアルミナ基板は、平板状のグリーンシートの上面側に刃型を押し当てて、一次スリットと二次スリットとを形成した後に、該グリーンシートを焼成することによって得られるので、図9に示すように、一次スリットS1と二次スリットS2に歪みが生じてしまう。つまり、予めスリットが形成されたアルミナ基板は、一般的にスリットに歪みが生じている。   However, an alumina substrate having slits formed in advance is obtained by pressing the blade mold against the upper surface side of the flat green sheet to form the primary slit and the secondary slit, and then firing the green sheet. Therefore, as shown in FIG. 9, distortion occurs in the primary slit S1 and the secondary slit S2. That is, the alumina substrate in which the slit is formed in advance generally has a distortion in the slit.

アルミナ基板の上面に抵抗体を形成する際に、抵抗体の幅方向(電極間方向とは直角の方向)に長く形成しようとすると、二次スリットに抵抗体ペーストが入り込んでしまう、いわゆるスリット落ちが生じてしまい、特に、上記のように、スリットに歪みがあるアルミナ基板を用いると、スリット落ちが生じやすくなってしまい、さらには、チップ抵抗器のサイズが小型になるほど、抵抗体の端部と二次スリットとの距離が短くなり、また、スリットの歪みの影響を強く受けるので、スリット落ちしやすくなる。特に、二次スリットに抵抗体がスリット落ちすると、トリミングを正確に行うことができなくなる。   When a resistor is formed on the upper surface of the alumina substrate, so long as the resistor is formed in the width direction (direction perpendicular to the direction between the electrodes), the resistor paste enters the secondary slit. In particular, when an alumina substrate having a slit in the slit as described above is used, the slit is likely to drop, and further, as the size of the chip resistor is reduced, the end of the resistor is reduced. Since the distance between the secondary slit and the secondary slit becomes short and the influence of the distortion of the slit is strong, the slit is easily dropped. In particular, if the resistor falls into the secondary slit, trimming cannot be performed accurately.

抵抗体の二次スリットへのスリット落ちを防止するために、特許文献2のようにガイド壁を突設する方法も考えられるが、ガイド壁を形成する工程が別途必要になり、また、抵抗体を幅方向に長く形成しようとすると、ガイド壁を形成すること自体無理があり、ガイド壁それ自体がスリット落ちするおそれがある。   In order to prevent the resistor from dropping into the secondary slit, a method of projecting a guide wall as in Patent Document 2 is also conceivable. However, a separate step of forming the guide wall is required, and the resistor If it is going to be formed long in the width direction, it is impossible to form the guide wall itself, and the guide wall itself may be slit off.

また、チップ抵抗器が小型化すると、その分抵抗体の長さが小さくなってしまい、良好な負荷特性、特に、耐サージ特性を十分得ることができないという問題がある。   Further, when the chip resistor is reduced in size, the length of the resistor is reduced accordingly, and there is a problem that good load characteristics, particularly surge resistance characteristics cannot be obtained sufficiently.

そこで、本発明は、小型のチップ抵抗器を製造する場合でも、良好な負荷特性、特に、耐サージ特性を十分得ることができるチップ抵抗器の製造方法及びチップ抵抗器を提供するとともに、抵抗体のスリット落ちを防止することができ、スリット落ち防止のための工程が別途必要ないチップ抵抗器の製造方法を提供することを目的とするものである。   Therefore, the present invention provides a chip resistor manufacturing method and a chip resistor capable of sufficiently obtaining good load characteristics, in particular, surge resistance characteristics, even when a small chip resistor is manufactured. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a chip resistor that can prevent slit dropping and that does not require a separate process for preventing slit dropping.

本発明は上記問題点を解決するために創作されたものであって、第1には、チップ抵抗器の製造方法であって、チップ抵抗器における絶縁基板の素体となる基板素体で、該絶縁基板の複数個分の大きさを少なくとも有し、焼成済みの基板素体の上面に、一次分割用のスリットである一次スリットと二次分割用のスリットである二次スリットとをレーザースクライブにより形成し、レーザースクライブをすることにより、基板素体の上面の一次スリットと二次スリットに沿った両側に、レーザー照射により溶融した基板材料が盛り上がって再焼結することにより基板素体の上面よりも上方に突出した突堤部を形成するスリット形成工程と、基板素体の上面に抵抗体を形成するとともに、抵抗体の両側に接続された上面電極を形成する抵抗体・上面電極形成工程で、抵抗体における上面電極に接続していない領域の電極間方向の長さである抵抗体の有効長をチップ抵抗器として基板素体が分割された状態となった絶縁基板の電極間方向の長さの60%以上95%以下となり、かつ、抵抗体における電極間方向と直角方向である幅方向の幅をチップ抵抗器として基板素体が分割された状態となった絶縁基板の幅方向の長さの70%以上95%以下となるように、抵抗体と上面電極とを形成する抵抗体・上面電極形成工程と、抵抗体の上面に抵抗体のトリミング時の熱衝撃を緩和するためのカバーコートを形成するカバーコート形成工程と、抵抗体にトリミングを行って抵抗体の抵抗値を調整する抵抗値調整工程と、を有することを特徴とする。   The present invention was created to solve the above problems, and firstly, a chip resistor manufacturing method, which is a substrate body that is an element of an insulating substrate in a chip resistor, A laser scriber having a primary slit which is a slit for primary division and a secondary slit which is a slit for secondary division is provided on the upper surface of the substrate body which is at least as large as the plurality of insulating substrates. The substrate material melted by laser irradiation rises and re-sinters on both sides along the primary slit and the secondary slit on the upper surface of the substrate body by laser scribe. A slit forming step for forming a jetty protruding upward, and a resistor on the upper surface of the substrate body and an upper surface electrode connected to both sides of the resistor In the electrode forming step, the electrode of the insulating substrate in which the substrate body is divided with the effective length of the resistor, which is the length in the inter-electrode direction, of the region not connected to the upper surface electrode in the resistor as a chip resistor Of the insulating substrate in which the substrate body is in a state in which the width in the width direction, which is 60% or more and 95% or less of the length in the gap direction and perpendicular to the direction between the electrodes in the resistor, is the chip resistor. Resistor / upper surface electrode forming process for forming the resistor and the upper surface electrode so as to be 70% to 95% of the length in the width direction, and mitigating thermal shock during trimming of the resistor on the upper surface of the resistor A cover coat forming step for forming a cover coat for the purpose of adjusting the resistance value of the resistor by trimming the resistor and adjusting the resistance value of the resistor.

この第1の構成のチップ抵抗器によれば、抵抗体の有効長が絶縁基板の長さの60%以上95%以下で、抵抗体の有効幅が絶縁基板の幅の70%以上95%以下となるので、耐サージ特性を十分得ることができ、特に、抵抗体の有効長や有効幅を長く形成しても、絶縁基板の上面の周縁にはレーザースクライブによりスリットを形成することにより突堤部が設けられるので、抵抗体のスリット落ち(特に、二次スリット落ち)を防止することができる。また、焼成済みの基板素体にスリットを形成するので、スリットの歪みを防止でき、これによっても、抵抗体のスリット落ちを防止でき、チップ抵抗器が小型化しても抵抗体のスリット落ちを防止できる。また、スリットを形成する工程で同時に突堤部を形成するので、別途スリット落ちを防止するための工程が必要とならない。   According to the chip resistor having the first configuration, the effective length of the resistor is 60% to 95% of the length of the insulating substrate, and the effective width of the resistor is 70% to 95% of the width of the insulating substrate. Therefore, it is possible to obtain sufficient surge resistance, and in particular, even if the effective length and width of the resistor are made long, a jetty is formed by forming a slit by laser scribe on the periphery of the upper surface of the insulating substrate. Therefore, it is possible to prevent the resistor from falling off the slit (in particular, from the secondary slit). In addition, since slits are formed in the fired substrate body, it is possible to prevent distortion of the slits, which also prevents the resistor from falling off the slit and prevents the resistor from falling off even if the chip resistor is downsized. it can. Further, since the jetty portion is simultaneously formed in the step of forming the slit, a separate step for preventing the drop of the slit is not required.

なお、上記第1の構成において、「抵抗体における上面電極に接続していない領域の電極間方向の長さである抵抗体の有効長をチップ抵抗器として基板素体が分割された状態となった絶縁基板の電極間方向の長さの80%以上95%以下となり、かつ、抵抗体における電極間方向と直角方向である幅方向の幅をチップ抵抗器として基板素体が分割された状態となった絶縁基板の幅方向の長さの80%以上95%以下となるように、抵抗体と上面電極とを形成する」ものとするのが好ましい。   In the first configuration, “the substrate element is in a state where the effective length of the resistor, which is the length in the inter-electrode direction of the region not connected to the upper surface electrode in the resistor, is used as a chip resistor. The substrate body is divided into a chip resistor having a width in the width direction that is perpendicular to the inter-electrode direction of the resistor as a chip resistor that is 80% or more and 95% or less of the length in the inter-electrode direction of the insulating substrate. It is preferable that the resistor and the upper surface electrode are formed so as to be 80% to 95% of the length in the width direction of the insulating substrate.

また、上記カバーコート形成工程においては、一次スリットの方向と平行な方向であるカバーコート形成方向に帯状に形成し、該カバーコート形成方向にチップ抵抗器複数個分を有する形成領域に一度にカバーコートを形成するのが好ましい。このように、帯状にカバーコートを形成することにより、幅方向に従来よりも大きく形成された抵抗体を幅方向に確実に被覆することができる。   Further, in the cover coat forming step, a band is formed in the cover coat forming direction, which is parallel to the primary slit direction, and the formation region having a plurality of chip resistors in the cover coat forming direction is covered at a time. A coat is preferably formed. Thus, by forming the cover coat in a strip shape, it is possible to reliably cover the resistor formed in the width direction larger than the conventional one in the width direction.

また、第2には、上記第1の構成において、レーザースクライブにおいて、レーザー方式をYAGレーザー、波長を1000〜1100μm、出力を7〜9W、Qレートを40〜60kHz、加工速度を60〜80mm/sとすることを特徴とする。上記条件でレーザースクライブすることにより、突堤部を高く形成することができ、よりスリット落ちを防止することができる。   Second, in the first configuration, in the laser scribe, the laser system is YAG laser, the wavelength is 1000 to 1100 μm, the output is 7 to 9 W, the Q rate is 40 to 60 kHz, and the processing speed is 60 to 80 mm / It is set as s. By laser scribing under the above conditions, the jetty portion can be formed high, and slit dropping can be further prevented.

また、第3には、上記第1又は第2の構成において、上記抵抗体・上面電極形成工程において、抵抗体と上面電極の接続領域において上面電極を抵抗体の上面に積層して形成することにより、上面電極と抵抗体とを接続させ、抵抗値調整工程の後に、抵抗体における上面電極に被覆されていない領域と上面電極の内側の領域とを被覆する保護膜を形成する保護膜形成工程と、基板素体を一次スリットに沿って分割する一次分割工程と、基板素体を分割してなる短冊状基板の電極間方向の側面に側面電極を形成する側面電極形成工程で、側面電極の上側部分が、上面電極における保護膜に被覆されていない領域と保護膜の電極間方向の端部領域とを被覆し、側面電極の上側部分の内側の端部が上面電極の内側の端部よりも内側位置となるように側面電極を形成する側面電極形成工程と、短冊状基板を二次スリットに沿って分割する二次分割工程と、側面電極に対してメッキを行なうメッキ工程と、を有することを特徴とする。   Third, in the first or second configuration, in the resistor / upper surface electrode forming step, an upper surface electrode is laminated on the upper surface of the resistor in a connection region between the resistor and the upper surface electrode. The protective film forming step of connecting the upper surface electrode and the resistor, and forming a protective film covering the region not covered by the upper surface electrode and the inner region of the upper surface electrode after the resistance value adjusting step And a primary dividing step of dividing the substrate body along the primary slit, and a side electrode forming step of forming a side electrode on the side surface in the inter-electrode direction of the strip substrate obtained by dividing the substrate body, The upper portion covers the region of the upper surface electrode that is not covered with the protective film and the end region in the interelectrode direction of the protective film, and the inner end portion of the upper portion of the side electrode is more than the inner end portion of the upper surface electrode. To be in the inner position And the side electrode forming step of forming a surface electrode, characterized a secondary dividing step of dividing the strip-shaped substrate along the secondary slit, and a plating step of performing plating with respect to the side surface electrode, to have a.

この第3の構成においては、上面電極が抵抗体の上面に積層して接続するので、トリミングに際して抵抗値計測用のプローブ(端子)を接触させる面積を十分確保することができ、正確にトリミングを行なうことができる。また、側面電極の上側部分の内側の端部が上面電極の内側の端部よりも内側になるように形成されているので、抵抗体が電極間方向に長くなっても側面電極の密着力を上げることができ、プリント基板に実装した際にプリント基板が大きく撓んだ場合であっても電極部が剥がれるのを防止することができる。側面電極と保護膜の接着面積が大きいので、腐食ガスが側面電極と保護膜の界面から侵入しにくくなり、上面電極や抵抗体の腐食を防止することができる。   In this third configuration, since the upper surface electrode is laminated and connected to the upper surface of the resistor, it is possible to secure a sufficient area for contacting the resistance measurement probe (terminal) at the time of trimming. Can be done. In addition, since the inner edge of the upper part of the side electrode is formed to be inside the inner edge of the upper surface electrode, even if the resistor becomes longer in the inter-electrode direction, the adhesion of the side electrode is improved. Even when the printed circuit board is greatly bent when mounted on the printed circuit board, the electrode portion can be prevented from peeling off. Since the adhesion area between the side electrode and the protective film is large, it is difficult for the corrosive gas to enter from the interface between the side electrode and the protective film, and corrosion of the top electrode and the resistor can be prevented.

また、上記保護膜形成工程においては、一次スリットの方向と平行な方向である保護膜形成方向に帯状に形成し、該保護膜形成方向にチップ抵抗器複数個分を有する形成領域に一度に保護膜を形成するのが好ましい。このように、帯状に保護膜を形成することにより、幅方向に従来よりも大きく形成された抵抗体を幅方向に確実に被覆することができる。   Further, in the protective film forming step, a band is formed in the protective film forming direction which is parallel to the primary slit direction, and protection is performed at once on a forming region having a plurality of chip resistors in the protective film forming direction. A film is preferably formed. In this way, by forming the protective film in a strip shape, it is possible to reliably cover the resistor formed in the width direction in the width direction.

また、第4には、チップ抵抗器であって、略直方体形状の絶縁基板と、絶縁基板の上面に形成された抵抗体と、抵抗体の両側に接続して形成された上面電極と、抵抗体が外部に露出しないように抵抗体を保護する保護膜と、少なくとも絶縁基板の側面に形成され、上面電極の端部に接続された側面電極と、少なくとも側面電極の表面に形成されたメッキと、を有し、抵抗体における上面電極に接続していない領域の電極間方向の長さである抵抗体の有効長が絶縁基板の電極間方向の長さの60%以上95%以下であり、かつ、抵抗体における電極間方向と直角方向である幅方向の幅が絶縁基板の幅方向の長さの70%以上95%以下であることを特徴とする。   Fourth, the chip resistor is a substantially rectangular parallelepiped insulating substrate, a resistor formed on the upper surface of the insulating substrate, an upper surface electrode connected to both sides of the resistor, a resistor A protective film for protecting the resistor so that the body is not exposed to the outside, a side electrode formed on at least a side surface of the insulating substrate and connected to an end of the upper surface electrode, and a plating formed on at least the surface of the side electrode The effective length of the resistor, which is the length in the inter-electrode direction of the region not connected to the upper surface electrode in the resistor, is 60% or more and 95% or less of the length in the inter-electrode direction of the insulating substrate, In addition, the width of the resistor in the width direction perpendicular to the inter-electrode direction is 70% to 95% of the length in the width direction of the insulating substrate.

この第4の構成のチップ抵抗器においては、抵抗体の有効長が絶縁基板の長さの60%以上95%以下で、抵抗体の有効幅が絶縁基板の幅の70%以上95%以下となるので、良好な負荷特性、特に、耐サージ特性を十分得ることができる。   In the chip resistor having the fourth configuration, the effective length of the resistor is 60% to 95% of the length of the insulating substrate, and the effective width of the resistor is 70% to 95% of the width of the insulating substrate. Therefore, satisfactory load characteristics, in particular, surge resistance characteristics can be sufficiently obtained.

なお、上記第4の構成において、「抵抗体における上面電極に接続していない領域の電極間方向の長さである抵抗体の有効長が絶縁基板の電極間方向の長さの80%以上95%以下であり、かつ、抵抗体における電極間方向と直角方向である幅方向の幅が絶縁基板の幅方向の長さの80%以上95%以下である」とするのが好ましい。また、上記第4の構成において、抵抗体の上面に抵抗体のトリミング時の熱衝撃を緩和するためのカバーコートを形成した構成としてもよい。   In the fourth configuration, the effective length of the resistor, which is the length in the inter-electrode direction of the region not connected to the upper surface electrode in the resistor, is 80% or more of the length in the inter-electrode direction of the insulating substrate. And the width in the width direction perpendicular to the inter-electrode direction of the resistor is preferably 80% or more and 95% or less of the length in the width direction of the insulating substrate ”. In the fourth configuration, a cover coat may be formed on the upper surface of the resistor to relieve a thermal shock during trimming of the resistor.

また、上記第4の構成において、「略直方体形状の絶縁基板」を「略直方体形状の絶縁基板で、その上面の周縁に沿って、チップ抵抗器の製造過程において、絶縁基板の複数個分の大きさを少なくとも有し、焼成済みの基板素体の上面に、一次分割用のスリットである一次スリットと二次分割用のスリットである二次スリットとをレーザースクライブにより形成し、レーザースクライブをすることにより、基板素体の上面の一次スリットと二次スリットに沿った両側に、レーザー照射により溶融した基板材料が盛り上がって再焼結することにより絶縁基板の上面よりも上方に突出して形成された突堤部を有する絶縁基板」としてもよい。   Further, in the fourth configuration, the “substantially rectangular parallelepiped insulating substrate” is a “substantially rectangular parallelepiped insulating substrate, and along the periphery of the upper surface thereof, in the process of manufacturing the chip resistor, a plurality of insulating substrates. Laser scribing is performed by forming a primary slit, which is a slit for primary division, and a secondary slit, which is a slit for secondary division, on the upper surface of a substrate body that has at least a size and has been baked. As a result, the substrate material melted by the laser irradiation was raised and re-sintered on both sides along the primary slit and the secondary slit on the upper surface of the substrate body, and formed to protrude above the upper surface of the insulating substrate. It may be an “insulating substrate having a jetty”.

また、第5には、上記第4の構成において、抵抗体と上面電極の接続領域において上面電極が抵抗体の上面に積層して形成され、保護膜が、抵抗体における上面電極に被覆されていない領域と上面電極の内側の領域とを被覆し、側面電極が、上面電極における保護膜に被覆されていない領域と保護膜の電極間方向の端部領域を被覆し、側面電極の内側の端部が、上面電極の内側の端部よりも内側に位置していることを特徴とする。   Fifth, in the fourth configuration, the upper electrode is formed on the upper surface of the resistor in the connection region between the resistor and the upper electrode, and the protective film is covered with the upper electrode of the resistor. The side electrode covers the region not covered by the protective film on the upper surface electrode and the end region in the direction between the electrodes of the protective film, and covers the inner edge of the side electrode. The portion is located on the inner side of the inner end portion of the upper surface electrode.

よって、上面電極が抵抗体の上面に積層して接続しているので、トリミングに際して抵抗値計測用のプローブ(端子)を接触させる面積を十分確保することができ、正確にトリミングを行なうことができる。また、保護膜が、抵抗体における上面電極に被覆されていない領域と上面電極の内側の領域とを被覆し、側面電極が、上面電極における保護膜に被覆されていない領域と保護膜の電極間方向の端部領域を被覆し、側面電極の内側の端部が、上面電極の内側の端部よりも内側に位置しているので、抵抗体が電極間方向に長くなっても側面電極の密着力を上げることができ、プリント基板に実装した際にプリント基板が大きく撓んだ場合であっても電極部が剥がれるのを防止することができる。側面電極と保護膜の接着面積が大きいので、腐食ガスが側面電極と保護膜の界面から侵入しにくくなり、上面電極や抵抗体の腐食を防止することができる。   Therefore, since the upper surface electrode is laminated and connected to the upper surface of the resistor, a sufficient area for contacting the resistance measurement probe (terminal) can be secured during trimming, and the trimming can be performed accurately. . The protective film covers a region of the resistor that is not covered with the upper surface electrode and a region inside the upper surface electrode, and the side electrode is between the region of the upper surface electrode that is not covered with the protective film and the electrode of the protective film. Covers the end region in the direction, and the inner end of the side electrode is located on the inner side of the inner end of the upper surface electrode, so that the side electrode adheres even if the resistor becomes longer in the inter-electrode direction. The force can be increased, and even when the printed circuit board is largely bent when mounted on the printed circuit board, the electrode portion can be prevented from peeling off. Since the adhesion area between the side electrode and the protective film is large, it is difficult for the corrosive gas to enter from the interface between the side electrode and the protective film, and corrosion of the top electrode and the resistor can be prevented.

なお、上記第4の構成を以下の構成としてもよい。すなわち、「チップ抵抗器であって、略直方体形状の絶縁基板で、その上面の周縁に沿って、チップ抵抗器の製造過程において、絶縁基板の複数個分の大きさを少なくとも有し、焼成済みの基板素体の上面に、一次分割用のスリットである一次スリットと二次分割用のスリットである二次スリットとをレーザースクライブにより形成し、レーザースクライブをすることにより、基板素体の上面の一次スリットと二次スリットに沿った両側に、レーザー照射により溶融した基板材料が盛り上がって再焼結することにより絶縁基板の上面よりも上方に突出して形成された突堤部を有する絶縁基板と、絶縁基板の上面に形成された抵抗体と、抵抗体に接続された上面電極で、少なくともその一部が抵抗体の両側の上面に積層して形成された上面電極と、抵抗体における上面電極に被覆されていない領域と上面電極の内側の領域とを被覆する保護膜と、絶縁基板の側面に形成されるとともに、上面電極における保護膜に被覆されていない領域と保護膜の電極間方向の端部領域を被覆する側面電極と、側面電極の表面に形成されたメッキと、を有し、抵抗体における上面電極に接続していない領域の電極間方向の長さである抵抗体の有効長が絶縁基板の電極間方向の長さの80%以上95%以下であり、かつ、抵抗体における電極間方向と直角方向である幅方向の幅が絶縁基板の幅方向の長さの80%以上95%以下であり、側面電極の内側の端部が、上面電極の内側の端部よりも内側に位置していることを特徴とするチップ抵抗器。」としてもよい。   The fourth configuration may be the following configuration. That is, “a chip resistor, which is an approximately rectangular parallelepiped-shaped insulating substrate, and has at least a size corresponding to a plurality of insulating substrates in the manufacturing process of the chip resistor along the periphery of the upper surface thereof, and has been fired. A primary slit that is a slit for primary division and a secondary slit that is a slit for secondary division are formed by laser scribing on the upper surface of the substrate element body, and by laser scribing, An insulating substrate having a ridge portion formed on both sides along the primary slit and the secondary slit so that the substrate material melted by laser irradiation rises and is re-sintered so as to protrude above the upper surface of the insulating substrate. A resistor formed on the upper surface of the substrate and an upper electrode connected to the resistor, and at least a part of the upper electrode is formed by laminating the upper surface on both sides of the resistor A protective film that covers a region of the resistor that is not covered by the upper surface electrode and a region inside the upper surface electrode; and a region that is formed on the side surface of the insulating substrate and that is not covered by the protective film of the upper surface electrode The side electrode covering the end region in the interelectrode direction of the film, and the plating formed on the surface of the side electrode, and the length in the interelectrode direction of the region not connected to the upper surface electrode in the resistor The effective length of a certain resistor is 80% or more and 95% or less of the length in the inter-electrode direction of the insulating substrate, and the width in the width direction perpendicular to the inter-electrode direction in the resistor is in the width direction of the insulating substrate. The chip resistor may be 80% or more and 95% or less of the length, and the inner end of the side electrode is located inside the inner end of the upper surface electrode. "

本発明に基づくチップ抵抗器の製造方法及びチップ抵抗器によれば、抵抗体の有効長が絶縁基板の長さの60%以上95%以下で、抵抗体の有効幅が絶縁基板の幅の70%以上95%以下となるので、耐サージ特性を十分得ることができる。特に、チップ抵抗器の製造方法においては、抵抗体の有効長や有効幅を長く形成しても、絶縁基板の上面の周縁にはレーザースクライブによりスリットを形成することにより突堤部が設けられるので、抵抗体のスリット落ち(特に、二次スリット落ち)を防止することができる。また、焼成済みの基板素体にスリットを形成するので、スリットの歪みを防止でき、これによっても、抵抗体のスリット落ちを防止でき、チップ抵抗器が小型化しても抵抗体のスリット落ちを防止できる。また、スリットを形成する工程で同時に突堤部を形成するので、別途スリット落ちを防止するための工程が必要とならない。   According to the chip resistor manufacturing method and the chip resistor according to the present invention, the effective length of the resistor is 60% to 95% of the length of the insulating substrate, and the effective width of the resistor is 70% of the width of the insulating substrate. % Or more and 95% or less, sufficient surge resistance can be obtained. In particular, in the method of manufacturing a chip resistor, even if the effective length and effective width of the resistor are formed long, the pier portion is provided by forming a slit by laser scribing on the periphery of the upper surface of the insulating substrate. It is possible to prevent the resistor from falling off the slit (in particular, secondary slit dropping). In addition, since slits are formed in the fired substrate body, it is possible to prevent distortion of the slits, which also prevents the resistor from falling off the slit and prevents the resistor from falling off even if the chip resistor is downsized. it can. Further, since the jetty portion is simultaneously formed in the step of forming the slit, a separate step for preventing the drop of the slit is not required.

本発明においては、小型のチップ抵抗器を製造する場合でも、抵抗体の有効長(特に、幅方向の有効長)を長くとることができ、スリット落ちを防止することができるチップ抵抗器の製造方法及びチップ抵抗器を提供するという目的を以下のようにして実現した。   In the present invention, even when a small chip resistor is manufactured, it is possible to increase the effective length of the resistor (especially, the effective length in the width direction), and to manufacture a chip resistor that can prevent slit dropping. The object of providing a method and a chip resistor was realized as follows.

本発明に基づくチップ抵抗器Aは、図1に示すように構成され、絶縁基板10と、抵抗体20と、上面電極30と、下面電極40と、側面電極50と、メッキ60と、カバーコート70と、保護膜80とを有している。なお、図において、Y1−Y2方向は、X1−X2方向に直角な方向であり、Z1−Z2方向は、X1−X2方向及びY1−Y2方向に直角な方向である。   A chip resistor A according to the present invention is configured as shown in FIG. 1, and includes an insulating substrate 10, a resistor 20, an upper electrode 30, a lower electrode 40, a side electrode 50, a plating 60, a cover coat. 70 and a protective film 80. In the figure, the Y1-Y2 direction is a direction perpendicular to the X1-X2 direction, and the Z1-Z2 direction is a direction perpendicular to the X1-X2 direction and the Y1-Y2 direction.

ここで、絶縁基板10は、含有率96%程度のアルミナにて形成された絶縁体である。この絶縁基板10は、全体には、略直方体形状を呈している。なお、図1に示す例では、絶縁基板10は平面視では長方形状を呈するが、他の形状、例えば、正方形状でもよい。なお、チップ抵抗器Aはいわゆる1608タイプのサイズであり、絶縁基板10の大きさは、平面視において、例えば、長辺(電極間方向の辺)が1.49mm〜1.51mm(好適には、1.50mm)で、短辺が0.78mm〜0.80mm(好適には、0.794mm)となっている。なお、チップ抵抗器Aがいわゆる1005タイプのサイズであり、絶縁基板10の長辺が0.89mm〜0.91mm(好適には、0.90mm)で、短辺が0.48mm〜0.50mm(好適には、0.49mm)としてもよい。また、絶縁基板10の大きさはこれに限定されることなく他のサイズであってもよく、また、絶縁基板10の長辺と短辺の長さは、上記の長さに限定されず他の長さであってもよい。   Here, the insulating substrate 10 is an insulator formed of alumina having a content rate of about 96%. The insulating substrate 10 has a substantially rectangular parallelepiped shape as a whole. In the example shown in FIG. 1, the insulating substrate 10 has a rectangular shape in plan view, but may have another shape, for example, a square shape. Note that the chip resistor A has a so-called 1608 type size, and the insulating substrate 10 has, for example, a long side (side in the direction between electrodes) of 1.49 mm to 1.51 mm (preferably in a plan view). 1.50 mm) and the short side is 0.78 mm to 0.80 mm (preferably 0.794 mm). The chip resistor A has a so-called 1005 type size, the long side of the insulating substrate 10 is 0.89 mm to 0.91 mm (preferably 0.90 mm), and the short side is 0.48 mm to 0.50 mm. (Preferably, it may be 0.49 mm). In addition, the size of the insulating substrate 10 is not limited to this, and may be other sizes, and the lengths of the long side and the short side of the insulating substrate 10 are not limited to the above lengths. May be the length.

また、絶縁基板10の上面の周縁には突堤部10a(図2参照)が形成されている。この突堤部10aは、絶縁基板10の上面の四辺の周縁に沿って連続して形成されていて、絶縁基板10の上面(つまり、突堤部10a以外の上面)に対して盛り上がって形成されており、この突堤部10aの絶縁基板10の上面に対する高さTは、3〜10μmに形成されている。この突堤部10aは、チップ抵抗器Aの製造工程において、アルミナ基板にレーザースクライブにより一次スリットと二次スリットとを形成した際に形成されるものである。詳しくは後述する。   Further, a jetty portion 10a (see FIG. 2) is formed on the periphery of the upper surface of the insulating substrate 10. The jetty portion 10a is continuously formed along the peripheral edges of the four sides of the upper surface of the insulating substrate 10, and is formed so as to rise with respect to the upper surface of the insulating substrate 10 (that is, the upper surface other than the jetty portion 10a). The height T of the jetty portion 10a with respect to the upper surface of the insulating substrate 10 is 3 to 10 μm. The jetty portion 10a is formed when the primary slit and the secondary slit are formed on the alumina substrate by laser scribing in the manufacturing process of the chip resistor A. Details will be described later.

また、抵抗体20は、図1に示すように、絶縁基板10の上面に設けられ、長手方向(電極間方向、通電方向としてもよい))に帯状に形成されていて、平面視において略長方形状に形成されている。この抵抗体20の電極間方向の端部は絶縁基板10の端部までは形成されておらず、抵抗体20の電極間方向の端部と絶縁基板10の電極間方向の端部との間には所定の間隔が形成されている。また、抵抗体20の幅方向の端部は絶縁基板10の端部までは形成されておらず、抵抗体20の幅方向の端部と絶縁基板10の幅方向の端部との間には所定の間隔が形成されている。ここで、抵抗体20の幅方向(Y1−Y2方向)の長さWbは、絶縁基板10の幅方向の長さWaに対して70%以上95%以下の長さに形成されている。つまり、抵抗体20の有効幅は、絶縁基板10の幅の70%以上95%以下に形成されている。この抵抗体20は、酸化ルテニウム系メタルグレーズ厚膜により形成されている。なお、より好適には、抵抗体20の幅方向の長さWbを絶縁基板10の幅方向の長さWaに対して80%以上95%以下の長さとする。   Further, as shown in FIG. 1, the resistor 20 is provided on the upper surface of the insulating substrate 10 and is formed in a strip shape in the longitudinal direction (inter-electrode direction or energization direction), and is substantially rectangular in plan view. It is formed in a shape. The end of the resistor 20 in the interelectrode direction is not formed up to the end of the insulating substrate 10, and is between the end of the resistor 20 in the interelectrode direction and the end of the insulating substrate 10 in the interelectrode direction. Is formed with a predetermined interval. Further, the end of the resistor 20 in the width direction is not formed up to the end of the insulating substrate 10, and between the end of the resistor 20 in the width direction and the end of the insulating substrate 10 in the width direction. A predetermined interval is formed. Here, the length Wb in the width direction (Y1-Y2 direction) of the resistor 20 is 70% to 95% of the length Wa in the width direction of the insulating substrate 10. That is, the effective width of the resistor 20 is 70% or more and 95% or less of the width of the insulating substrate 10. The resistor 20 is formed of a ruthenium oxide metal glaze thick film. More preferably, the length Wb of the resistor 20 in the width direction is 80% or more and 95% or less of the length Wa of the insulating substrate 10 in the width direction.

また、上面電極30は、絶縁基板10の上面の長手方向(X1−X2方向(図1参照))の両端部領域に一対形成されていて、平面視において略方形状を呈している。つまり、一方の上面電極30は、絶縁基板10の上面のX1側の端部から所定の長さに形成されているとともに、他方の上面電極30は、絶縁基板10の上面のX2側の端部から所定長さに形成されている。また、上面電極30の幅方向の幅は、抵抗体20の幅方向の幅と略同一に形成されていて、幅方向には、上面電極30と絶縁基板10の端部には隙間が形成されている。この上面電極30は、具体的には、銀系厚膜(銀系メタルグレーズ厚膜)により形成されている。   Further, a pair of upper surface electrodes 30 are formed at both end regions in the longitudinal direction (X1-X2 direction (see FIG. 1)) of the upper surface of the insulating substrate 10 and have a substantially rectangular shape in plan view. That is, one upper surface electrode 30 is formed to have a predetermined length from the end portion on the X1 side of the upper surface of the insulating substrate 10, and the other upper surface electrode 30 is an end portion on the X2 side of the upper surface of the insulating substrate 10. To a predetermined length. Further, the width in the width direction of the upper surface electrode 30 is formed substantially the same as the width in the width direction of the resistor 20, and a gap is formed between the upper surface electrode 30 and the end portion of the insulating substrate 10 in the width direction. ing. Specifically, the upper surface electrode 30 is formed of a silver-based thick film (silver-based metal glaze thick film).

また、上面電極30は、抵抗体20の端部領域に積層して形成されている。つまり、上面電極30における外側の領域(絶縁基板10の端部(電極間方向の端部)側の領域)は、絶縁基板10の上面に形成されているが、内側の領域は、抵抗体20の上面に積層して形成されている。   Further, the upper surface electrode 30 is formed by being stacked on the end region of the resistor 20. That is, the outer region (region on the end portion (end portion in the inter-electrode direction) side) of the upper surface electrode 30 is formed on the upper surface of the insulating substrate 10, but the inner region is the resistor 20. It is formed by laminating on the upper surface.

また、抵抗体20における上面電極30に被覆されていない領域の電極間方向の長さLbは、絶縁基板10の電極間方向の長さLaに対して60%以上95%以下の長さに形成されている。つまり、抵抗体20の有効長は、絶縁基板10の長さの60%以上95%以下に形成されている。なお、より好適には、抵抗体20における上面電極30に被覆されていない領域の電極間方向の長さLbを絶縁基板10の電極間方向の長さLaに対して80%以上95%以下の長さとする。   Further, the length Lb in the interelectrode direction of the region not covered by the upper surface electrode 30 in the resistor 20 is formed to be 60% or more and 95% or less with respect to the length La in the interelectrode direction of the insulating substrate 10. Has been. That is, the effective length of the resistor 20 is formed to be 60% or more and 95% or less of the length of the insulating substrate 10. More preferably, the length Lb in the interelectrode direction of the region not covered by the upper electrode 30 in the resistor 20 is 80% or more and 95% or less with respect to the length La in the interelectrode direction of the insulating substrate 10. Length.

また、下面電極40は、図1に示すように、上記絶縁基板10の下面の長手方向(X1−X2方向(図1参照))の両端部領域に一対形成されていて、底面視において略方形状を呈している。この下面電極40の長さ(X1−X2方向の長さ)は、上面電極30と略同一の長さに形成されているが、下面電極40の長さは任意としてもよい。また、下面電極40の幅方向(Y1−Y2方向)の長さは、絶縁基板10の幅方向の長さと略同一に形成されている。この下面電極40は、銀系厚膜(銀系メタルグレーズ厚膜)により形成されている。   Further, as shown in FIG. 1, a pair of lower surface electrodes 40 are formed in both end regions in the longitudinal direction (X1-X2 direction (see FIG. 1)) of the lower surface of the insulating substrate 10, and are substantially rectangular in bottom view. It has a shape. The length of the lower surface electrode 40 (the length in the X1-X2 direction) is substantially the same as that of the upper surface electrode 30, but the length of the lower surface electrode 40 may be arbitrary. Further, the length in the width direction (Y1-Y2 direction) of the lower surface electrode 40 is formed substantially the same as the length in the width direction of the insulating substrate 10. The lower surface electrode 40 is formed of a silver-based thick film (silver-based metal glaze thick film).

なお、この下面電極40の構成を省略して、側面電極50の下側部分50bにより下面電極の代わりとしてもよい。   Note that the configuration of the lower surface electrode 40 may be omitted, and the lower portion 50b of the side surface electrode 50 may be substituted for the lower surface electrode.

また、側面電極50は、上面電極30の一部と、保護膜80の一部と、下面電極40の全てと、絶縁基板10の側面(つまり、X1側の側面と、X2側の側面)を被覆するように断面略コ字状に層状に形成されている。この側面電極50は、X1側の端部とX2側の端部にそれぞれ設けられている。この側面電極50は、樹脂(具体的には、エポキシ樹脂)と銀粉末とを含む樹脂・銀系厚膜により形成されている。なお、この側面電極50をスパッタ法による金属薄膜により形成してもよい。   Further, the side electrode 50 includes a part of the upper surface electrode 30, a part of the protective film 80, the entire lower surface electrode 40, and the side surface of the insulating substrate 10 (that is, the side surface on the X1 side and the side surface on the X2 side). It is formed in a layer shape with a substantially U-shaped cross section so as to cover. The side electrodes 50 are provided at the end on the X1 side and the end on the X2 side, respectively. The side electrode 50 is formed of a resin / silver-based thick film containing a resin (specifically, an epoxy resin) and silver powder. In addition, you may form this side electrode 50 with the metal thin film by a sputtering method.

また、側面電極50は、図1に示すように、断面略コ字状を呈し、側面電極50の上側部分50a(つまり、側面電極50において上面電極30と保護膜80に積層する部分)が上面電極30の上面の一部と保護膜80の上面の一部に積層して形成されている。つまり、上面電極30の上面の一部に保護膜80の端部が積層して形成され、側面電極50は、上面電極30における保護膜80に被覆されていない領域を被覆するとともに、保護膜80における端部領域を被覆している。また、側面電極50における上側部分50aの電極間方向の長さは、上面電極30の電極間方向の長さよりも長く形成されていて、上側部分50aの内側の端部は、上面電極30の内側の端部よりも内側(つまり、中央側)に位置している。つまり、側面電極50の上側部分50aの内側の端部間の長さLcは、一対の上面電極30の内側の端部間の長さLbよりも小さく形成されている。また、側面電極50の幅方向(Y1−Y2方向)の長さは、絶縁基板10の幅方向の長さと略同一に形成されている。よって、側面電極50の上側部分50aは、平面視において、上面電極30の平面領域を全て含むように形成されている。また、側面電極50の下側部分50bは、下面電極40の表面を全て被覆している。なお、側面電極50における上側部分50aと下側部分50bを除く中間部分が、主として絶縁基板10の側面に上下方向に形成されている。   Further, as shown in FIG. 1, the side electrode 50 has a substantially U-shaped cross section, and the upper portion 50a of the side electrode 50 (that is, the portion of the side electrode 50 laminated on the upper electrode 30 and the protective film 80) is the upper surface. A part of the upper surface of the electrode 30 and a part of the upper surface of the protective film 80 are stacked. That is, the end portion of the protective film 80 is laminated on a part of the upper surface of the upper electrode 30, and the side electrode 50 covers a region of the upper electrode 30 that is not covered with the protective film 80, and the protective film 80. The end region at is covered. In addition, the length of the upper portion 50 a in the side electrode 50 in the inter-electrode direction is longer than the length of the upper electrode 30 in the inter-electrode direction, and the inner end of the upper portion 50 a is the inner side of the upper electrode 30. It is located on the inner side (that is, the center side) than the end portion of. That is, the length Lc between the inner ends of the upper portion 50 a of the side electrode 50 is formed to be smaller than the length Lb between the inner ends of the pair of upper surface electrodes 30. The length in the width direction (Y1-Y2 direction) of the side electrode 50 is formed substantially the same as the length in the width direction of the insulating substrate 10. Therefore, the upper portion 50a of the side electrode 50 is formed so as to include the entire planar region of the upper surface electrode 30 in plan view. Further, the lower portion 50 b of the side electrode 50 covers the entire surface of the lower electrode 40. An intermediate portion of the side electrode 50 excluding the upper portion 50a and the lower portion 50b is formed mainly in the vertical direction on the side surface of the insulating substrate 10.

また、メッキ60は、ニッケルメッキ(Niメッキ)62と、錫メッキ64とから構成されていて、X1側の端部領域とX2側の端部領域にそれぞれ設けられている。つまり、チップ抵抗器の接続用の電極部の表面にメッキ60が設けられていて、内側層がニッケルメッキ62で、外側層が錫メッキ64となっている。   The plating 60 is composed of nickel plating (Ni plating) 62 and tin plating 64, and is provided in the end region on the X1 side and the end region on the X2 side, respectively. That is, the plating 60 is provided on the surface of the electrode portion for connecting the chip resistor, the inner layer is the nickel plating 62, and the outer layer is the tin plating 64.

ここで、ニッケルメッキ62は、側面電極50の全体を被覆するように側面電極50の表面に形成されている。このニッケルメッキ62は、電気メッキにより略均一の膜厚で形成されている。このニッケルメッキ62は、ニッケルにて形成されており、上面電極30等の内部電極のはんだ食われを防止するために形成されている。このニッケルメッキは、ニッケル以外にも銅メッキが用いられる場合もある。   Here, the nickel plating 62 is formed on the surface of the side electrode 50 so as to cover the entire side electrode 50. The nickel plating 62 is formed with a substantially uniform film thickness by electroplating. The nickel plating 62 is made of nickel and is formed to prevent solder erosion of internal electrodes such as the upper surface electrode 30. In addition to nickel, this nickel plating may use copper plating.

また、錫メッキ64は、ニッケルメッキ62の表面を被覆するように略均一の膜厚で配設されている。なお、錫メッキ以外にはんだメッキが用いられる場合もある。   Further, the tin plating 64 is disposed with a substantially uniform film thickness so as to cover the surface of the nickel plating 62. Note that solder plating may be used in addition to tin plating.

なお、上記上面電極30と下面電極40と側面電極50とメッキ60とで、電極部が形成されている。つまり、チップ抵抗器Aにおいては、電極間方向の端部にそれぞれ電極部が形成されている。   The upper surface electrode 30, the lower surface electrode 40, the side surface electrode 50, and the plating 60 form an electrode portion. That is, in the chip resistor A, the electrode portions are formed at the end portions in the inter-electrode direction.

また、カバーコート70は、抵抗体20の上面に形成され、抵抗体20へのトリミング時の熱衝撃を緩和するために形成されている。このカバーコート70は、電極間方向には、抵抗体20の長さよりも短く形成されていて、抵抗体20の電極間方向の端部領域がカバーコート70から露出し、また、カバーコート70の幅方向の長さは、絶縁基板10の幅方向の長さと略同一に形成されている。このカバーコート70は、ガラス系材料により形成されていて、具体的には、ホウ珪酸鉛ガラス系厚膜により形成されている。   Further, the cover coat 70 is formed on the upper surface of the resistor 20 and is formed to alleviate the thermal shock during trimming of the resistor 20. The cover coat 70 is formed shorter in the inter-electrode direction than the length of the resistor 20, and the end region of the resistor 20 in the inter-electrode direction is exposed from the cover coat 70. The length in the width direction is formed substantially the same as the length in the width direction of the insulating substrate 10. The cover coat 70 is made of a glass-based material, specifically, a lead borosilicate glass thick film.

なお、抵抗体20とカバーコート70には、トリミングによるトリミング溝20T(図1参照)が形成されている。   The resistor 20 and the cover coat 70 are formed with trimming grooves 20T (see FIG. 1) by trimming.

また、保護膜80は、図1に示すように、カバーコート70と、抵抗体20の一部(抵抗体20におけるカバーコート70と上面電極30に被覆されていない領域)と、上面電極30の一部を被覆するように設けられている。つまり、保護膜80は、抵抗体における上面電極に被覆されていない領域と上面電極の内側の領域とを被覆し、少なくとも抵抗体20の露出領域を被覆するように形成されている。すなわち、この保護膜80の形成位置をさらに詳しく説明すると、幅方向には、絶縁基板10の幅と略同一に形成され、さらに、電極間方向には、抵抗体20の長さと略同一に形成され、保護膜80の電極間方向の端部位置は、抵抗体20の電極間方向の端部位置と水平方向において略同一の位置となっている。この保護膜80は、樹脂、具体的には、エポキシ・フェノール系樹脂により形成されている。以上のように、保護膜80は、抵抗体20が露出した領域を被覆していて、抵抗体20が外部に露出しないように抵抗体20を保護するものである。   Further, as shown in FIG. 1, the protective film 80 includes a cover coat 70, a part of the resistor 20 (a region of the resistor 20 that is not covered with the cover coat 70 and the upper electrode 30), and the upper electrode 30. It is provided to cover a part. That is, the protective film 80 is formed so as to cover a region of the resistor that is not covered with the top electrode and a region inside the top electrode, and at least cover an exposed region of the resistor 20. That is, the formation position of the protective film 80 will be described in more detail. The protective film 80 is formed in the width direction substantially the same as the width of the insulating substrate 10, and is formed in the inter-electrode direction substantially the same as the length of the resistor 20. The end position of the protective film 80 in the interelectrode direction is substantially the same position in the horizontal direction as the end position of the resistor 20 in the interelectrode direction. The protective film 80 is formed of a resin, specifically, an epoxy / phenolic resin. As described above, the protective film 80 covers the region where the resistor 20 is exposed, and protects the resistor 20 so that the resistor 20 is not exposed to the outside.

上記構成のチップ抵抗器Aの製造方法について図3、図4等を使用して説明すると、まず、上面と裏面の両面にスリットが形成されていない無垢のアルミナ基板(このアルミナ基板は、複数のチップ抵抗器の絶縁基板の大きさを少なくとも有する大判のものであり、平板状のグリーンシート(含有率96%程度のアルミナを含有するグリーンシート)を予め焼成したものである)(基板素体)を用意し、このアルミナ基板の裏面(すなわち、底面)に下面電極を形成する(S11、下面電極形成工程)。つまり、下面電極用のペースト(例えば、銀系メタルグレーズ等の銀系ペースト)を印刷し、乾燥・焼成する。なお、この下面電極の形成に際しては、隣接するチップ抵抗器について同時に下面電極を形成する。さらには、電極間方向に直角な方向には、帯状に連続して下面電極を形成する。   The manufacturing method of the chip resistor A having the above-described structure will be described with reference to FIGS. 3 and 4. First, a solid alumina substrate in which slits are not formed on both the upper surface and the back surface (this alumina substrate has a plurality of A large-sized chip resistor having at least the size of an insulating substrate of a chip resistor, which is obtained by firing a flat plate-like green sheet (a green sheet containing alumina with a content of about 96%) in advance (substrate body) Is prepared, and a lower surface electrode is formed on the back surface (that is, the bottom surface) of the alumina substrate (S11, lower surface electrode forming step). That is, a paste for the lower surface electrode (for example, a silver-based paste such as silver-based metal glaze) is printed, dried and fired. In forming the lower surface electrode, the lower surface electrode is simultaneously formed for adjacent chip resistors. Furthermore, in the direction perpendicular to the inter-electrode direction, a bottom electrode is formed continuously in a strip shape.

アルミナ基板の上面に一次スリットS1と二次スリットS2を形成する(S12、スリット形成工程)。つまり、図4(a)に示すように、Y1−Y2方向に一次スリットS1を形成するとともに、X1−X2方向に二次スリットS2を形成する。この一次スリットは一次分割用のスリットであり、X1−X2方向に隣接するチップ抵抗器の境界位置にY1−Y2方向に一次スリットを形成する。また、二次スリットは二次分割用のスリットであり、Y1−Y2方向に隣接するチップ抵抗器の境界位置にX1−X2方向に二次スリットを形成する。   A primary slit S1 and a secondary slit S2 are formed on the upper surface of the alumina substrate (S12, slit forming step). That is, as shown in FIG. 4A, the primary slit S1 is formed in the Y1-Y2 direction and the secondary slit S2 is formed in the X1-X2 direction. This primary slit is a slit for primary division, and forms a primary slit in the Y1-Y2 direction at the boundary position between the chip resistors adjacent in the X1-X2 direction. The secondary slit is a slit for secondary division, and a secondary slit is formed in the X1-X2 direction at the boundary position of the chip resistor adjacent in the Y1-Y2 direction.

この一次スリットS1と二次スリットS2は、レーザースクライブにより形成する。このようにレーザースクライブによりスリットを形成することにより、図5に示すように、スリットに沿ってスリットの両側に突堤部10aが形成される。すなわち、一次スリットS1に沿って一次スリットS1の両側に突堤部10aが形成されるとともに、二次スリットS2に沿って二次スリットS2の両側に突堤部10aが形成される。これは、レーザースクライブによりレーザーを照射することにより溶融した基板材料が盛り上がった状態で再焼結することにより、基板素体の上面よりも上方に突出した突堤部10aが形成されるのである。   The primary slit S1 and the secondary slit S2 are formed by laser scribing. By forming the slits by laser scribing in this way, as shown in FIG. 5, the jetty portions 10a are formed on both sides of the slit along the slit. That is, the jetty portions 10a are formed on both sides of the primary slit S1 along the primary slit S1, and the jetty portions 10a are formed on both sides of the secondary slit S2 along the secondary slit S2. This is because re-sintering is performed in a state where the molten substrate material is raised by irradiating a laser with laser scribing, thereby forming a jetty portion 10a protruding above the upper surface of the substrate body.

レーザースクライブの条件としては、レーザー方式がYAGレーザー、波長が1000〜1100μm(好適には、1064nm)、出力が7〜9W(好適には、8W)、Qレートが40〜60kHz(好適には、50kHz)、加工速度が60〜80mm/s(好適には、70mm/s)とすることにより、スリットの深さが40〜50μmのスリットが形成され、突堤部10aの高さは、3〜10μmに形成される。特に、レーザー方式がYAGレーザー、波長が1000〜1100μm(好適には、1064nm)、出力が7〜9W(好適には、8W)、Qレートが40〜60kHz(好適には、50kHz)、加工速度が60〜80mm/s(好適には、70mm/s)とすることにより、形成される突堤部10aの高さを高く形成することができる。なお、一次スリットの深さを50μmとし、二次スリットの深さを40μmにするのが好ましく、その場合には、加工速度を一次スリットを二次スリットよりも遅くする。   The laser scribing conditions are as follows: the laser system is YAG laser, the wavelength is 1000 to 1100 μm (preferably 1064 nm), the output is 7 to 9 W (preferably 8 W), and the Q rate is 40 to 60 kHz (preferably 50 kHz) and a processing speed of 60 to 80 mm / s (preferably 70 mm / s), a slit with a depth of 40 to 50 μm is formed, and the height of the jetty 10 a is 3 to 10 μm. Formed. In particular, the laser system is a YAG laser, the wavelength is 1000 to 1100 μm (preferably 1064 nm), the output is 7 to 9 W (preferably 8 W), the Q rate is 40 to 60 kHz (preferably 50 kHz), the processing speed Is set to 60 to 80 mm / s (preferably 70 mm / s), the height of the formed jetty 10a can be increased. In addition, it is preferable that the depth of the primary slit is 50 μm and the depth of the secondary slit is 40 μm. In this case, the processing speed of the primary slit is slower than that of the secondary slit.

次に、上記アルミナ基板の上面に抵抗体20を形成する(S13、抵抗体形成工程)(図4(b)参照)。つまり、抵抗体20の抵抗体ペーストを印刷した後に乾燥・焼成して抵抗体を形成する。なお、この抵抗体ペーストは、酸化ルテニウム系ペースト(例えば、酸化ルテニウム系メタルグレーズ)である。   Next, the resistor 20 is formed on the upper surface of the alumina substrate (S13, resistor forming step) (see FIG. 4B). That is, after the resistor paste of the resistor 20 is printed, the resistor is formed by drying and baking. The resistor paste is a ruthenium oxide paste (for example, ruthenium oxide metal glaze).

この抵抗体を形成するに際して、抵抗体の有効長が絶縁基板10の長さの60%以上95%以下(好適には、80%以上95%以下)で、抵抗体の有効幅が絶縁基板10の幅の70%以上95%以下(好適には、80%以上95%以下)となるように抵抗体を形成する。つまり、幅方向には、二次スリットS2間の距離(厳密には、ある二次スリットS2の幅方向の中間位置と隣接する二次スリットS2の幅方向の中間位置との間の距離(つまり、この距離がチップ抵抗器となった際の絶縁基板10の幅方向の長さとなる))の70%以上95%以下(好適には、80%以上95%以下)となるように抵抗体を形成し、また、長さ方向(電極間方向)にも、一次スリットS1間の距離(厳密には、ある一次スリットS1の幅方向の中間位置と隣接する一次スリットS1の幅方向の中間位置との間の距離(つまり、この距離がチップ抵抗器となった際の絶縁基板10の電極間方向の長さとなる))の60%以上95%以下(好適には、80%以上95%以下)となるように抵抗体を形成するが、長さ方向には、上面電極と積層した領域は有効長に含まれないので、所望の有効長よりも長く抵抗体を形成する。   In forming this resistor, the effective length of the resistor is 60% or more and 95% or less (preferably 80% or more and 95% or less) of the length of the insulating substrate 10, and the effective width of the resistor is 10% or less. The resistor is formed so as to be 70% to 95% (preferably 80% to 95%) of the width. That is, in the width direction, the distance between the secondary slits S2 (strictly speaking, the distance between the intermediate position in the width direction of a certain secondary slit S2 and the intermediate position in the width direction of the adjacent secondary slit S2 (that is, The distance is 70% or more and 95% or less (preferably 80% or more and 95% or less) of the width of the insulating substrate 10 when this distance becomes a chip resistor)). In the length direction (inter-electrode direction), the distance between the primary slits S1 (strictly speaking, the intermediate position in the width direction of a certain primary slit S1 and the intermediate position in the width direction of the adjacent primary slit S1 60% or more and 95% or less (preferably 80% or more and 95% or less) of the distance (that is, this distance becomes the length between the electrodes of the insulating substrate 10 when it becomes a chip resistor) The resistor is formed so that Since regions laminated with electrodes not included in the effective length, to form a long resistor than the desired effective length.

なお、この抵抗体を形成するに際して、上記のように、抵抗体の有効長が絶縁基板10の長さの60%以上95%以下で、抵抗体の有効幅が絶縁基板10の幅の70%以上95%以下となるように抵抗体を形成し、従来のチップ抵抗器に比べて、抵抗体の端部がスリットに近接して形成されることになるが、上記のように、一次スリットと二次スリットに沿って突堤部10aが設けられるので、抵抗体ペーストはこの突堤部によりスリットに落ちることがない。これにより、抵抗体ペーストの二次スリット落ちを防止することができる。   When forming this resistor, the effective length of the resistor is 60% or more and 95% or less of the length of the insulating substrate 10 and the effective width of the resistor is 70% of the width of the insulating substrate 10 as described above. The resistor is formed so as to be 95% or less, and the end of the resistor is formed close to the slit as compared with the conventional chip resistor. Since the jetty portion 10a is provided along the secondary slit, the resistor paste does not fall into the slit by the jetty portion. Thereby, the secondary slit fall of a resistor paste can be prevented.

次に、アルミナ基板の上面に上面電極を形成する(S14、上面電極形成工程)(図4(c)参照)。すなわち、上面電極ペーストをその一部が抵抗体に積層するように印刷し、乾燥・焼成する。この場合の上面電極ペーストは、銀系ペースト(例えば、銀系メタルグレーズペースト)である。なお、チップ抵抗器となった場合に隣接するチップ抵抗器の上面電極で互いに隣接し合う上面電極については1つの印刷領域で形成する。   Next, an upper surface electrode is formed on the upper surface of the alumina substrate (S14, upper surface electrode forming step) (see FIG. 4C). That is, the top electrode paste is printed so that a part thereof is laminated on the resistor, dried and fired. The upper surface electrode paste in this case is a silver-based paste (for example, a silver-based metal glaze paste). In addition, when it becomes a chip resistor, the upper surface electrode which adjoins mutually by the upper surface electrode of an adjacent chip resistor is formed in one printing area | region.

なお、上記抵抗体形成工程(S13)と上面電極形成工程(S14)とで、抵抗体・上面電極形成工程が構成される。   The resistor forming process (S13) and the upper electrode forming process (S14) constitute a resistor / upper electrode forming process.

次に、カバーコートを形成する(S15、カバーコート形成工程)。つまり、抵抗体20における上面電極30に被覆されていない領域の上面と、上面電極の内側の領域の上面に、ホウ珪酸鉛ガラス系のガラスペーストを印刷して焼成し、カバーコート70を形成する。この場合、カバーコートは、電極間方向とは直角の方向(図4の例では、一次スリットS1の方向と平行な方向(Y1−Y2方向))であるカバーコート形成方向に帯状に形成し、該カバーコート形成方向にチップ抵抗器複数個分を有する形成領域に一度にカバーコートを形成して、チップ抵抗器複数個分のカバーコートを帯状に連続して形成する。つまり、アルミナ基板上に形成された複数の抵抗体のうち一次スリットS1の方向に並んだ抵抗体群の一方の端から他方の端まで帯状に連続してカバーコートを形成する。このように、帯状にカバーコートを形成することにより、幅方向に従来よりも大きく形成された抵抗体を幅方向に確実に被覆することができる。また、このように、帯状にカバーコートを形成することにより、チップ抵抗器Aにおいて、カバーコート70は、図2に示すように、絶縁基板10の幅方向の端部にまで形成されることになる。   Next, a cover coat is formed (S15, cover coat forming step). That is, a lead borosilicate glass-based glass paste is printed and fired on the upper surface of the region not covered by the upper electrode 30 and the upper surface of the region inside the upper electrode to form the cover coat 70. . In this case, the cover coat is formed in a band shape in the cover coat forming direction which is a direction perpendicular to the inter-electrode direction (in the example of FIG. 4, a direction parallel to the direction of the primary slit S1 (Y1-Y2 direction)). A cover coat is formed at a time on the formation region having a plurality of chip resistors in the cover coat forming direction, and a plurality of chip resistors are continuously formed in a strip shape. That is, a cover coat is continuously formed in a strip shape from one end to the other end of the resistor group arranged in the direction of the primary slit S1 among the plurality of resistors formed on the alumina substrate. Thus, by forming the cover coat in a strip shape, it is possible to reliably cover the resistor formed in the width direction larger than the conventional one in the width direction. Further, by forming the cover coat in a strip shape in this way, in the chip resistor A, the cover coat 70 is formed up to the end in the width direction of the insulating substrate 10 as shown in FIG. Become.

次に、抵抗体20にトリミング溝を形成してトリミングを行なうことにより抵抗値を調整する(S16、抵抗体調整工程)。つまり、レーザートリミングにより抵抗体20にトリミング溝を形成する。なお、抵抗体と上面電極の接続領域においては、上面電極が抵抗体の上面に積層しているので、抵抗体が上面電極の上面に積層している場合に比べて、トリミングに際して抵抗値計測用のプローブ(端子)を接触させる面積を十分確保することができ、正確にトリミングを行なうことができる。   Next, a resistance value is adjusted by forming a trimming groove in the resistor 20 and performing trimming (S16, resistor adjusting step). That is, a trimming groove is formed in the resistor 20 by laser trimming. In the connection region between the resistor and the upper surface electrode, the upper surface electrode is laminated on the upper surface of the resistor. Therefore, compared to the case where the resistor is laminated on the upper surface of the upper surface electrode, the resistance value measurement is performed at the time of trimming. A sufficient area for contacting the probe (terminal) can be ensured, and trimming can be performed accurately.

次に、保護膜を形成する(S17、保護膜形成工程)。つまり、カバーコート70の全ての領域と、抵抗体20のカバーコートと上面電極に被覆されていない領域と、上面電極の内側の領域とを覆うように保護膜を形成する。つまり、樹脂ペーストを印刷し、乾燥・硬化させる。その後は、一次スリットに沿って一次分割する(S18、一次分割工程)。この場合、保護膜は、電極間方向とは直角の方向(図4の例では、一次スリットS1の方向と平行な方向(Y1−Y2方向))である保護膜形成方向に帯状に形成し、該保護膜形成方向にチップ抵抗器複数個分を有する形成領域に一度に保護膜を形成する。つまり、アルミナ基板上に形成された複数の抵抗体のうち一次スリットS1の方向に並んだ抵抗体群の一方の端から他方の端まで帯状に連続して保護膜を形成する。このように、帯状に保護膜を形成することにより、幅方向に従来よりも大きく形成された抵抗体を幅方向に確実に被覆することができる。また、このように、帯状に保護膜を形成することにより、チップ抵抗器Aにおいて、保護膜80は、図2に示すように、絶縁基板10の幅方向の端部にまで形成されることになる。 Next, a protective film is formed (S17, protective film forming step). That is, the protective film is formed so as to cover the entire region of the cover coat 70, the region not covered by the cover coat and the upper surface electrode of the resistor 20, and the region inside the upper surface electrode. That is, the resin paste was printed and dried and cured. After that, primary division is performed along the primary slit (S18, primary division step). In this case, the protective film is formed in a band shape in the protective film forming direction which is a direction perpendicular to the inter-electrode direction (in the example of FIG. 4, a direction parallel to the direction of the primary slit S1 (Y1-Y2 direction)) A protective film is formed at a time in a formation region having a plurality of chip resistors in the protective film forming direction. That is, the protective film is continuously formed in a strip shape from one end to the other end of the resistor group arranged in the direction of the primary slit S1 among the plurality of resistors formed on the alumina substrate. In this way, by forming the protective film in a strip shape, it is possible to reliably cover the resistor formed in the width direction in the width direction. Further, by forming the protective film in a strip shape in this way, in the chip resistor A, the protective film 80 is formed up to the end in the width direction of the insulating substrate 10 as shown in FIG. Become.

次に、上記短冊状基板に対して、側面電極50を形成する(S19、側面電極形成工程)。つまり、側面電極用ペーストを印刷し、乾燥・硬化する。なお、側面電極用ペーストを印刷し、乾燥・焼成する方法としてもよく、また、スパッタ法により金属薄膜を形成することにより側面電極を形成してもよい。   Next, the side electrode 50 is formed with respect to the said strip-shaped board | substrate (S19, side electrode formation process). That is, the side electrode paste is printed, dried and cured. The side electrode paste may be printed, dried and fired, or the side electrode may be formed by forming a metal thin film by sputtering.

なお、この側面電極の形成に際しては、側面電極の上側部分50aの内側の端部が上面電極の内側の端部よりも内側になるようにする。   In forming the side electrode, the inner end of the upper portion 50a of the side electrode is set to be inside the inner end of the upper surface electrode.

その後、二次スリットに沿って二次分割する(S20、二次分割工程)。次に、メッキを形成する(S21、メッキ工程)。つまり、ニッケルメッキを形成し、その後、錫メッキを形成する。以上のようにして、チップ抵抗器Aを形成する。   Then, secondary division is performed along the secondary slit (S20, secondary division process). Next, plating is formed (S21, plating step). That is, nickel plating is formed, and then tin plating is formed. As described above, the chip resistor A is formed.

チップ抵抗器Aの使用状態について説明すると、配線基板(プリント基板としてもよい)に実装して使用する。配線基板への実装においては、図6に示すように、チップ抵抗器Aは、配線基板100上に形成されたランド102にハンダフィレット110を介して実装される。その際、図6に示すように、錫メッキ64は溶融してハンダの中に拡散してハンダフィレット110と一体化する。   The usage state of the chip resistor A will be described. The chip resistor A is used by being mounted on a wiring board (may be a printed board). In mounting on a wiring board, the chip resistor A is mounted on a land 102 formed on the wiring board 100 via a solder fillet 110 as shown in FIG. At that time, as shown in FIG. 6, the tin plating 64 is melted and diffused into the solder to be integrated with the solder fillet 110.

以上のように、本実施例のチップ抵抗器及びその製造方法によれば、抵抗体20の有効長が絶縁基板10の長さの60%以上95%以下(好適には、80%以上95%以下)で、抵抗体20の有効幅が絶縁基板10の幅の70%以上95%以下(好適には、80%以上95%以下)となっているので、耐サージ特性を十分得ることができ、特に、抵抗体20の有効長や有効幅を長く形成しても、絶縁基板10の上面の周縁にはレーザースクライブによりスリットを形成することによる突堤部10aが設けられているので、抵抗体のスリット落ち(特に、二次スリット落ち)を防止することができる。   As described above, according to the chip resistor of this embodiment and the manufacturing method thereof, the effective length of the resistor 20 is 60% to 95% of the length of the insulating substrate 10 (preferably 80% to 95%). The effective width of the resistor 20 is not less than 70% and not more than 95% (preferably not less than 80% and not more than 95%) of the width of the insulating substrate 10, so that sufficient surge resistance can be obtained. In particular, even if the effective length and effective width of the resistor 20 are long, the jetty portion 10a is formed on the periphery of the upper surface of the insulating substrate 10 by forming a slit by laser scribing. Slit dropping (especially secondary slit dropping) can be prevented.

また、チップ抵抗器の製造工程において、一旦焼成したアルミナ基板にスリットを形成しているので、スリットの歪みを防止でき、これによっても、抵抗体のスリット落ちを防止でき、チップ抵抗器が小型化しても抵抗体のスリット落ちを防止できる。   Also, in the chip resistor manufacturing process, slits are formed in the once-baked alumina substrate, so that distortion of the slits can be prevented, which can also prevent the slits of the resistor from falling off, and the chip resistors can be downsized. However, the slit of the resistor can be prevented.

また、スリットを形成する工程で同時に突堤部10aを形成するので、特許文献2のように別途スリット落ちを防止するための工程が必要とならない。   Further, since the jetty portion 10a is formed at the same time in the process of forming the slit, there is no need for a separate process for preventing the slit from dropping as in Patent Document 2.

また、側面電極50の上側部分50aの内側の端部が上面電極30の内側の端部よりも内側になるように形成されているので、抵抗体20が電極間方向に長くなっても側面電極50の密着力を上げることができ、プリント基板に実装した際にプリント基板が大きく撓んだ場合であっても電極部が剥がれるのを防止することができる。つまり、従来のチップ抵抗器(図7参照)のように、側面電極50における上面電極30の上面に積層している上側部分の内側の端部を保護膜80の端部の位置とした場合には、抵抗体20の電極間方向の長さを長くして有効長を長く確保しようとすると、これに伴い保護膜80が長くなるとともに上面電極30が短くなるので、側面電極50の上側部分の長さが短くなってしまう。すると、プリント基板に実装した際に、ハンダフィレットの応力によって電極部が剥がれてしまうおそれがあるが、本実施例の場合には、保護膜80が、抵抗体20における上面電極30に被覆されていない領域と上面電極30の内側の領域とを被覆し、側面電極50が、上面電極30における保護膜80に被覆されていない領域と保護膜80の電極間方向の端部領域を被覆し、側面電極50の内側の端部が、上面電極30の内側の端部よりも内側に位置していて、側面電極50の上側部分50aが長く形成されているので、そのようなおそれがない。また、側面電極50と保護膜80の接着面積が大きいので、腐食ガスが側面電極50と保護膜80の界面から侵入しにくくなり、上面電極30や抵抗体20の腐食を防止することができる。   Further, since the inner end portion of the upper portion 50a of the side electrode 50 is formed to be inside the inner end portion of the upper surface electrode 30, the side electrode is formed even if the resistor 20 becomes longer in the inter-electrode direction. 50 can be increased, and even when the printed circuit board is greatly bent when mounted on the printed circuit board, the electrode portion can be prevented from peeling off. That is, when the inner end of the upper portion of the side electrode 50 laminated on the upper surface of the upper surface electrode 30 is set as the position of the end of the protective film 80 as in the conventional chip resistor (see FIG. 7). If the length of the resistor 20 in the inter-electrode direction is increased to secure a long effective length, the protective film 80 is increased and the upper surface electrode 30 is shortened accordingly. The length will be shortened. Then, when mounted on a printed circuit board, the electrode portion may be peeled off due to the stress of the solder fillet. In the present embodiment, the protective film 80 is covered with the upper surface electrode 30 of the resistor 20. The side electrode 50 covers the region of the top electrode 30 that is not covered with the protective film 80 and the end region of the protective film 80 in the inter-electrode direction, and covers the side surface. Since the inner end portion of the electrode 50 is located inside the inner end portion of the upper surface electrode 30 and the upper portion 50a of the side electrode 50 is formed longer, there is no such fear. Further, since the adhesion area between the side electrode 50 and the protective film 80 is large, the corrosive gas hardly enters from the interface between the side electrode 50 and the protective film 80, and corrosion of the top electrode 30 and the resistor 20 can be prevented.

なお、上記の説明において、抵抗体20の電極間方向の端部は絶縁基板10の端部までは形成されていないものとして説明したが、抵抗体20の電極間方向の端部が絶縁基板10の端部までは形成されていて、上面電極30の全ての領域が抵抗体20の上面に形成されているものとしてもよい。この場合には、上記抵抗体形成工程においては、電極間方向(二次スリットの方向と平行な方向)である抵抗体形成方向に抵抗体を帯状に形成し、該抵抗体形成方向にチップ抵抗器複数個分を有する形成領域に一度に抵抗体を形成して、チップ抵抗器複数個分の抵抗体を帯状に連続して形成する。つまり、アルミナ基板上に形成された複数の抵抗体のうち二次スリットS2の方向に並んだ抵抗体群の一方の端から他方の端まで帯状に連続して抵抗体を形成する。   In the above description, the end of the resistor 20 in the inter-electrode direction is not formed up to the end of the insulating substrate 10. However, the end of the resistor 20 in the inter-electrode direction is the insulating substrate 10. It is also possible that all the regions of the upper surface electrode 30 are formed on the upper surface of the resistor 20. In this case, in the resistor forming step, the resistor is formed in a strip shape in the resistor forming direction which is the direction between the electrodes (the direction parallel to the direction of the secondary slit), and the chip resistor is formed in the resistor forming direction. Resistors are formed at a time in a formation region having a plurality of resistors, and resistors for a plurality of chip resistors are continuously formed in a strip shape. That is, the resistors are continuously formed in a strip shape from one end to the other end of the resistor group arranged in the direction of the secondary slit S2 among the plurality of resistors formed on the alumina substrate.

また、上記の説明においては、抵抗体と上面電極の接続領域においては、上面電極を抵抗体の端部の上面に積層して形成するものとしたが、抵抗体を上面電極の端部の上面に積層して形成してもよい。   In the above description, in the connection region between the resistor and the upper surface electrode, the upper surface electrode is laminated on the upper surface of the end portion of the resistor, but the resistor is formed on the upper surface of the end portion of the upper surface electrode. You may laminate and form.

また、上記の説明においては、抵抗体の有効長と有効幅の両方を通常よりも大きい長さや幅に限定したが、これに限らずに抵抗体の有効長と有効幅のいずれか一方のみを限定した場合でも耐サージ特性は向上する。   In the above description, both the effective length and effective width of the resistor are limited to a length and width larger than usual. However, the present invention is not limited to this, and only one of the effective length and effective width of the resistor is used. Even if limited, surge resistance is improved.

また、上記の説明においては、側面電極50の下側部分50bは、下面電極40の表面を全て被覆しているとしたが、下面電極40の表面の一部(外側領域)のみを被覆し、下面電極40の内側領域は側面電極50から露出している構成としてもよく、その場合には、メッキ60は、下面電極40の側面電極50から露出した領域の表面にも形成されることになる。   In the above description, the lower portion 50b of the side electrode 50 covers the entire surface of the lower electrode 40, but covers only a part of the surface (outer region) of the lower electrode 40, The inner region of the lower electrode 40 may be exposed from the side electrode 50, and in this case, the plating 60 is also formed on the surface of the region exposed from the side electrode 50 of the lower electrode 40. .

本発明の実施例に基づくチップ抵抗器の構成を示す図であり、(a)は断面図であり、(b)は平面図である。It is a figure which shows the structure of the chip resistor based on the Example of this invention, (a) is sectional drawing, (b) is a top view. 本発明の実施例に基づくチップ抵抗器の構成を示す要部断面図であり、特に、図1のP−P線で破断した断面の要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows the structure of the chip resistor based on the Example of this invention, and is principal part sectional drawing of the cross section fractured | ruptured by the PP line | wire of FIG. 本発明の実施例に基づくチップ抵抗器の製造方法を示すフローチャートである。5 is a flowchart illustrating a method for manufacturing a chip resistor according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施例に基づくチップ抵抗器の製造方法を示す要部平面図である。It is a principal part top view which shows the manufacturing method of the chip resistor based on the Example of this invention. レーザースクライブによりスリットを形成した際の基板素体の要部断面図であるIt is principal part sectional drawing of the board | substrate base body at the time of forming a slit by laser scribing 本発明の実施例に基づくチップ抵抗器の使用状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the use condition of the chip resistor based on the Example of this invention. 従来におけるチップ抵抗器の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the conventional chip resistor. 従来におけるチップ抵抗器の製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the chip resistor in the past. スリットが形成されたグリーンシートを焼成したアルミナ基板の問題点を示す要部平面図である。It is a principal part top view which shows the problem of the alumina substrate which baked the green sheet in which the slit was formed.

符号の説明Explanation of symbols

A、B チップ抵抗器
10 絶縁基板
20 抵抗体
30 上面電極
40 下面電極
50 側面電極
50a 上側部分
50b 下側部分
60 メッキ
70 カバーコート
80 保護膜
A, B Chip resistor 10 Insulating substrate 20 Resistor 30 Upper surface electrode 40 Lower surface electrode 50 Side electrode 50a Upper part 50b Lower part 60 Plating 70 Cover coat 80 Protective film

Claims (5)

チップ抵抗器の製造方法であって、
チップ抵抗器における絶縁基板の素体となる基板素体で、該絶縁基板の複数個分の大きさを少なくとも有し、焼成済みの基板素体の上面に、一次分割用のスリットである一次スリットと二次分割用のスリットである二次スリットとをレーザースクライブにより形成し、レーザースクライブをすることにより、基板素体の上面の一次スリットと二次スリットに沿った両側に、レーザー照射により溶融した基板材料が盛り上がって再焼結することにより基板素体の上面よりも上方に突出した突堤部を形成するスリット形成工程と、
基板素体の上面に抵抗体を形成するとともに、抵抗体の両側に接続された上面電極を形成する抵抗体・上面電極形成工程で、抵抗体における上面電極に接続していない領域の電極間方向の長さである抵抗体の有効長をチップ抵抗器として基板素体が分割された状態となった絶縁基板の電極間方向の長さの60%以上95%以下となり、かつ、抵抗体における電極間方向と直角方向である幅方向の幅をチップ抵抗器として基板素体が分割された状態となった絶縁基板の幅方向の長さの70%以上95%以下となるように、抵抗体と上面電極とを形成する抵抗体・上面電極形成工程と、
抵抗体の上面に抵抗体のトリミング時の熱衝撃を緩和するためのカバーコートを形成するカバーコート形成工程と、
抵抗体にトリミングを行って抵抗体の抵抗値を調整する抵抗値調整工程と、
を有することを特徴とするチップ抵抗器の製造方法。
A method of manufacturing a chip resistor,
A substrate element which is an element of an insulating substrate in a chip resistor, and has at least a size corresponding to a plurality of the insulating substrates, and a primary slit which is a slit for primary division on the upper surface of the fired substrate element And a secondary slit which is a slit for secondary division were formed by laser scribing, and by laser scribing, both sides along the primary slit and the secondary slit on the upper surface of the substrate body were melted by laser irradiation. A slit forming step of forming a jetty portion protruding above the upper surface of the substrate body by raising and re-sintering the substrate material;
In the resistor / upper surface electrode forming step in which the resistor is formed on the upper surface of the substrate body and the upper surface electrode connected to both sides of the resistor is formed, the inter-electrode direction of the region not connected to the upper surface electrode in the resistor The effective length of the resistor is a chip resistor, and is 60% to 95% of the length in the inter-electrode direction of the insulating substrate in which the substrate body is divided, and the electrode in the resistor The width of the width direction, which is perpendicular to the gap direction, is set to 70% to 95% of the length in the width direction of the insulating substrate in which the substrate body is divided using the chip resistor as the chip resistor. A resistor / upper surface electrode forming step for forming the upper surface electrode;
A cover coat forming step of forming a cover coat on the upper surface of the resistor to mitigate thermal shock during trimming of the resistor;
A resistance value adjusting step of adjusting the resistance value of the resistor by trimming the resistor;
A method of manufacturing a chip resistor, comprising:
レーザースクライブにおいて、レーザー方式をYAGレーザー、波長を1000〜1100μm、出力を7〜9W、Qレートを40〜60kHz、加工速度を60〜80mm/sとすることを特徴とする請求項1に記載のチップ抵抗器の製造方法。 In laser scribing, the laser system is a YAG laser, the wavelength is 1000 to 1100 μm, the output is 7 to 9 W, the Q rate is 40 to 60 kHz, and the processing speed is 60 to 80 mm / s. Manufacturing method of chip resistor. 上記抵抗体・上面電極形成工程において、抵抗体と上面電極の接続領域において上面電極を抵抗体の上面に積層して形成することにより、上面電極と抵抗体とを接続させ、
抵抗値調整工程の後に、抵抗体における上面電極に被覆されていない領域と上面電極の内側の領域とを被覆する保護膜を形成する保護膜形成工程と、
基板素体を一次スリットに沿って分割する一次分割工程と、
基板素体を分割してなる短冊状基板の電極間方向の側面に側面電極を形成する側面電極形成工程で、側面電極の上側部分が、上面電極における保護膜に被覆されていない領域と保護膜の電極間方向の端部領域とを被覆し、側面電極の上側部分の内側の端部が上面電極の内側の端部よりも内側位置となるように側面電極を形成する側面電極形成工程と、
短冊状基板を二次スリットに沿って分割する二次分割工程と、
側面電極に対してメッキを行なうメッキ工程と、
を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のチップ抵抗器の製造方法。
In the resistor / upper surface electrode forming step, the upper surface electrode is laminated on the upper surface of the resistor in the connection region between the resistor and the upper surface electrode, thereby connecting the upper surface electrode and the resistor,
After the resistance value adjusting step, a protective film forming step for forming a protective film covering the region of the resistor that is not covered with the upper surface electrode and the inner region of the upper surface electrode;
A primary division step of dividing the substrate body along the primary slit;
In the side electrode forming step of forming the side electrode on the side surface in the inter-electrode direction of the strip-shaped substrate obtained by dividing the substrate body, the region where the upper part of the side electrode is not covered with the protective film on the upper electrode and the protective film A side electrode forming step of forming a side electrode so as to cover an end region in the inter-electrode direction, and an inner end of the upper portion of the side electrode is located at an inner position than an inner end of the upper surface electrode;
A secondary dividing step of dividing the strip substrate along the secondary slit;
A plating process for plating the side electrodes;
The method for manufacturing a chip resistor according to claim 1, wherein:
チップ抵抗器であって、
略直方体形状の絶縁基板と、
絶縁基板の上面に形成された抵抗体と、
抵抗体の両側に接続して形成された上面電極と、
抵抗体が外部に露出しないように抵抗体を保護する保護膜と、
少なくとも絶縁基板の側面に形成され、上面電極の端部に接続された側面電極と、
少なくとも側面電極の表面に形成されたメッキと、
を有し、
抵抗体における上面電極に接続していない領域の電極間方向の長さである抵抗体の有効長が絶縁基板の電極間方向の長さの60%以上95%以下であり、かつ、抵抗体における電極間方向と直角方向である幅方向の幅が絶縁基板の幅方向の長さの70%以上95%以下であることを特徴とするチップ抵抗器。
A chip resistor,
An approximately rectangular parallelepiped insulating substrate;
A resistor formed on the upper surface of the insulating substrate;
An upper surface electrode formed on both sides of the resistor;
A protective film that protects the resistor so that the resistor is not exposed to the outside;
A side electrode formed on at least a side surface of the insulating substrate and connected to an end of the upper surface electrode;
Plating formed on the surface of at least the side electrode;
Have
The effective length of the resistor, which is the length in the inter-electrode direction of the region not connected to the upper surface electrode in the resistor, is 60% to 95% of the length in the inter-electrode direction of the insulating substrate, and in the resistor A chip resistor characterized in that the width in the width direction perpendicular to the interelectrode direction is 70% or more and 95% or less of the length in the width direction of the insulating substrate.
抵抗体と上面電極の接続領域において上面電極が抵抗体の上面に積層して形成され、保護膜が、抵抗体における上面電極に被覆されていない領域と上面電極の内側の領域とを被覆し、側面電極が、上面電極における保護膜に被覆されていない領域と保護膜の電極間方向の端部領域を被覆し、側面電極の内側の端部が、上面電極の内側の端部よりも内側に位置していることを特徴とする請求項4に記載のチップ抵抗器。 In the connection region between the resistor and the upper surface electrode, the upper surface electrode is formed by being laminated on the upper surface of the resistor, and the protective film covers the region not covered by the upper surface electrode in the resistor and the region inside the upper surface electrode, The side electrode covers the region of the top electrode that is not covered with the protective film and the end region of the protective film between the electrodes, and the inner end of the side electrode is on the inner side of the inner end of the upper electrode. The chip resistor according to claim 4, wherein the chip resistor is located.
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