JP2009264845A - Structure of gyro package and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gyro package which prevents contact between a stem body and a cap upon sealing a metal stem with the cap, and prevents occurrence of a spark and the like, and thereby does not influence components therein. <P>SOLUTION: The gyro package has a structure in which a metal stem 10 having a gyro component mounted thereon is sealed with a position determined metal cap 20. In the gyro package, the metal stem has a tapered stem body 11, and a flange part 22 of the metal cap and a flange part 12 of the metal stem are joined by electric welding. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明はジャイロパッケージの構造及びその作製方法、特にジャイロパッケージのキャップを金属製ステムに位置決めして気密に封止する構造及びその方法に関する。   The present invention relates to a structure of a gyro package and a manufacturing method thereof, and more particularly to a structure and a method of hermetically sealing a cap of a gyro package by positioning the cap on a metal stem.

運動している物体が回転するときに生ずる角速度を検出する、例えば振動子として圧電素子を使用したジャイロは、自動車、航空機、船舶等あらゆる移動体のナビ装置として広く使用されている。近年は１ｍ単位で移動体の位置を補正するためのより精密なジャイロが求められるようになってきている。このように圧電素子を使用したジャイロでは、圧電素子及びその振動を電気的に取り出す電極や回路部分を金属製ステム上に搭載し、キャップで封止してジャイロパッケージとして構成する。したがって、このようなジャイロパッケージを作製するにあたっては、内部の振動子の微妙な動きを計測する関係上、各部品に必要な精度や作製上の作業管理の精確さが要求される。   A gyro that detects an angular velocity generated when a moving object rotates, for example, uses a piezoelectric element as a vibrator, is widely used as a navigation device for all moving objects such as automobiles, airplanes, and ships. In recent years, a more precise gyro for correcting the position of a moving body in units of 1 m has been demanded. Thus, in a gyro using a piezoelectric element, an electrode and a circuit portion for electrically extracting the piezoelectric element and its vibration are mounted on a metal stem and sealed with a cap to constitute a gyro package. Therefore, when manufacturing such a gyro package, the precision required for each component and the accuracy of work management in manufacturing are required in order to measure the delicate movement of the internal vibrator.

従来、ジャイロパッケージの金属製キャップを金属製ステムに位置決めしてシール接合する構造としては次のようなものであった。即ち、図１及び図２に示すように、金属製ステム１０は、ステム胴部１１’とそのフランジ１２とが一体的に構成されたもので、ステム胴部１１’はフランジ１２上面に対してほぼ垂直に立ち上がった構造を有する。一方、キャップ２０は周囲フランジ２２と、このフランジの周囲からほぼ垂直に立ち上がり、ステム胴部１１’の上面上の搭載される電極や圧電素子等の部品を覆うキャップ本体部２１とが一体的に構成されたものである。そして、キャップ２０をステム１０に位置決めし、ステム１０のフランジ１２と、キャップ２０のフランジ２２との間で電気溶接を行ってキャップ２０をステム１０に接合する。なお、図１及び図２においては、ステム胴部１１’の上面上の搭載される電極や圧電素子等の部品の図示を省略している。   Conventionally, a structure for positioning and sealingly bonding a metal cap of a gyro package to a metal stem has been as follows. That is, as shown in FIGS. 1 and 2, the metal stem 10 has a stem body portion 11 ′ and its flange 12 integrally formed, and the stem body portion 11 ′ is formed with respect to the upper surface of the flange 12. It has a structure that stands almost vertically. On the other hand, the cap 20 is integrally formed with a peripheral flange 22 and a cap main body 21 that rises substantially perpendicularly from the periphery of the flange and covers components such as electrodes and piezoelectric elements mounted on the upper surface of the stem body 11 ′. It is configured. Then, the cap 20 is positioned on the stem 10, and electric welding is performed between the flange 12 of the stem 10 and the flange 22 of the cap 20 to join the cap 20 to the stem 10. 1 and 2, illustration of components such as electrodes and piezoelectric elements mounted on the upper surface of the stem body 11 'is omitted.

図３は、内部に圧電体からなる振動子１３、振動子１３を支持するセラミック１４等を具備したジャイロパッケージの概略の外観を示す。振動子１３は鉛直軸Ｚに対して所定角度θ傾斜した回転軸Ｏ中心に搭載され、回転軸Ｏに関する振動子１３の角速度が検出される。   FIG. 3 shows a schematic appearance of a gyro package including a vibrator 13 made of a piezoelectric material, a ceramic 14 for supporting the vibrator 13 and the like. The vibrator 13 is mounted at the center of the rotation axis O inclined by a predetermined angle θ with respect to the vertical axis Z, and the angular velocity of the vibrator 13 with respect to the rotation axis O is detected.

このような構造のジャイロパッケージにおいて、金属製キャップ２０のこの金属製ステム１０への位置出しは、製品や電極ガイドの寸法精度によって決まる。また、金属製ステム１０の胴部１１’及びキャップ２０の内径寸法は、双方が誤差にして最大又は最小に振れた場合においても、相互に接触しないように設計されている。   In the gyro package having such a structure, the positioning of the metal cap 20 on the metal stem 10 is determined by the dimensional accuracy of the product and the electrode guide. Further, the inner diameter dimensions of the body 11 ′ of the metal stem 10 and the cap 20 are designed so that they do not contact each other even when both of them swing to the maximum or minimum due to errors.

関連する先行技術として、特許文献１（特開平５−１０２３３２号公報）があるが、この文献では、半導体レーザのような半導体装置において、金属製ステムとキャップを電気溶接によって封止する構造において、ステムとキャップの各々の中心位置ずれが生じない精度の良い半導体装置を複雑な封止装置を用いることなく得ることを課題としている。これによると、ステムの上面にキャップの内径と同一又は大きい底辺のテーパ状突起を設けることによって、その突起にガイドされてキャップがステム上に載置されるようにしたもので、その状態でキャップとステムを電気溶接する。したがって、キャップとステムの中心位置のばらつき、ひいてはレーザ出力のばらつきが小さくなる。   As related prior art, there is Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 5-102332). In this document, in a semiconductor device such as a semiconductor laser, a metal stem and a cap are sealed by electric welding. It is an object of the present invention to obtain a highly accurate semiconductor device that does not cause a deviation of the center positions of the stem and the cap without using a complicated sealing device. According to this, by providing a tapered protrusion on the upper surface of the stem that is the same as or larger than the inner diameter of the cap, the cap is placed on the stem while being guided by the protrusion. And the stem are electrically welded. Therefore, variations in the center positions of the cap and the stem, and hence variations in laser output, are reduced.

特開平５−１０２３３２号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-102332

従来のジャイロパッケージにおいては、その一例を図１及び図２に示したが、実際の具体的な態様としては、金属製キャップ２０を金属製ステム１０に対して封止する方法や電極ガイドの寸法精度も様々であるため、基本的には、金属製ステム１０のステム胴部１１とキャップ２０との間のクリアランスだけではキャップ２０を金属製ステム１０に対してシール封止する際の双方の接触を十分防ぐことが出来ない、という問題がある。即ち、金属製キャップ２０と金属製ステム１０との間において、どんなに製品寸法でクリアランスをとったとしても、電極を案内する際のガイド性が悪くて、図１のＡで示すように、金属製ステム１０と金属製キャップ２０との間で位置ズレが生ずると、同図のＢで示す個所においてステム胴部１１と金属製キャップ２０との間で接触を生じてしまう。   An example of the conventional gyro package is shown in FIG. 1 and FIG. 2, but as an actual concrete aspect, a method of sealing the metal cap 20 with respect to the metal stem 10 and dimensions of the electrode guide Since the accuracy varies, basically, the contact between the cap 20 and the metal stem 10 is sealed only by the clearance between the stem body 11 of the metal stem 10 and the cap 20. There is a problem that cannot be prevented sufficiently. That is, no matter how much clearance is taken between the metal cap 20 and the metal stem 10, the guide property when guiding the electrode is poor, and as shown in FIG. When a misalignment occurs between the stem 10 and the metal cap 20, a contact occurs between the stem body 11 and the metal cap 20 at a position indicated by B in FIG.

また、金属製キャップを金属製ステムにシール封止する際に、ステム胴部とキャップ内径とが接触してしまうと、接触個所から電流が逃げてしまったり、電圧が一箇所に集中してしまったりして、図２のＣで示す個所において、溶接不良となってしまう場合がある。また、電気溶接時に接触個所からスプラッシュやスパークが発生し、内部に搭載されている部品に悪影響を及ぼすおそれもある。   Also, when sealing the metal cap to the metal stem, if the stem body comes into contact with the inner diameter of the cap, the current will escape from the contact location or the voltage will be concentrated in one location. In some cases, welding may be poor at the location indicated by C in FIG. In addition, splashing or sparking may occur from contact points during electric welding, which may adversely affect the components mounted inside.

特許文献１では、ステムの上面にキャップの内径と同一又は大きい底辺のテーパ状突起を設けることによって、その突起にガイドされてキャップがステム上に載置されるようにしたもので、その状態でキャップとステムを電気溶接する。   In Patent Document 1, by providing a tapered protrusion on the top surface of the stem that is the same as or larger than the inner diameter of the cap, the cap is placed on the stem while being guided by the protrusion. Electrowel the cap and stem.

しかしながら、特許文献１では、半導体レーザ装置を対象としており、ステム上には半導体チップが搭載され、キャップには半導体チップ（半導体レーザ）から発振されたレーザ光をキャップの設けてあるレンズの中心位置を通して出力する構造であるため、キャップをステムに対して中心位置を位置決めするために、上述のように、ステムの上面にキャップの内径と同一又は大きい底辺のテーパ状突起を設けている。そして、その突起にガイドされてキャップがステム上に載置されるようにし、その状態でキャップとステムを電気溶接する。   However, Patent Document 1 is directed to a semiconductor laser device. A semiconductor chip is mounted on the stem, and a laser beam oscillated from the semiconductor chip (semiconductor laser) is placed on the cap. In order to position the center position of the cap with respect to the stem, the upper surface of the stem is provided with a tapered protrusion on the bottom that is the same as or larger than the inner diameter of the cap as described above. Then, the cap is placed on the stem while being guided by the protrusion, and the cap and the stem are electrically welded in this state.

このように、特許文献１では、キャップをステムに対して中心位置に正確に位置決めしなければならないため、上述のような構造を採用しているが、キャップのレンズと半導体チップとの位置関係は、ステムに対する半導体チップの取り付け位置、キャップに対するレンズの取り付け位置、ステムに対するテーパ状突起の位置等を精確に規定しなければならず、これらの誤差が蓄積されて、半導体チップに対するレンズの位置の誤差となってあらわれるため、各部品の精度管理や作製上の作業管理が複雑になるという問題がある。   As described above, in Patent Document 1, since the cap must be accurately positioned at the center position with respect to the stem, the above-described structure is adopted. However, the positional relationship between the cap lens and the semiconductor chip is as follows. The mounting position of the semiconductor chip with respect to the stem, the mounting position of the lens with respect to the cap, the position of the tapered protrusion with respect to the stem, etc. must be precisely defined, and these errors are accumulated and the error in the position of the lens with respect to the semiconductor chip. Therefore, there is a problem in that accuracy management of each part and work management in manufacturing are complicated.

そこで、本発明では、ジャイロパッケージにおいて、キャップを金属製ステムにシール封止するに際して、ステム胴部とキャップとの間で接触を生じ、スプラッシュやスパーク等を生じて、内部の部品に影響を及ぼすことのないジャイロパッケージの構造を提案するものである。   Therefore, in the present invention, when the cap is sealed with a metal stem in the gyro package, the stem body and the cap are brought into contact with each other, causing splash, spark, etc., and affecting the internal components. We propose a structure of a gyro package that never happens.

上記の課題を達成するために、本発明によれば、振動部品を搭載した金属製ステムに金属製キャップを位置決めして封止する構造を有する振動部品搭載用パッケージにおいて、金属製ステムのステム胴部をテーパ状に形成し、金属製キャップのフランジと金属製ステムのフランジとの間で電気溶接により接合したことを特徴とする振動部品搭載用パッケージの構造が提供される。   To achieve the above object, according to the present invention, in a vibration component mounting package having a structure in which a metal cap is positioned and sealed on a metal stem on which a vibration component is mounted, the stem barrel of the metal stem is provided. A structure of a package for mounting a vibration component is provided in which a portion is formed in a tapered shape and is joined by electric welding between a flange of a metal cap and a flange of a metal stem.

また、本発明によれば、ジャイロ部品を搭載した金属製ステムに金属製キャップを位置決めして封止する構造を有するジャイロパッケージにおいて、金属製ステムのステム胴部をテーパ状に形成し、金属製キャップのフランジと金属製ステムのフランジとの間で電気溶接により接合したことを特徴とするジャイロパッケージの構造が提供される。   According to the present invention, in the gyro package having a structure in which the metal cap is positioned and sealed on the metal stem on which the gyro component is mounted, the stem trunk portion of the metal stem is formed in a tapered shape, A gyro package structure is provided in which the flange of the cap and the flange of the metal stem are joined by electric welding.

これらの場合において、金属製ステムのフランジと金属製キャップのフランジの接合面の少なくとも一方に電気溶接用の突条を設けたことを特徴とする。   In these cases, a protrusion for electric welding is provided on at least one of the joint surfaces of the flange of the metal stem and the flange of the metal cap.

また、本発明によれば、ジャイロ部品を搭載した金属製ステムに金属製キャップを位置決めして封止するジャイロパッケージの作製方法において、金属製ステムのステム胴部をテーパ状に形成し、該テーパ状のステム胴部に沿って金属製キャップを案内且つ位置決めし、金属製キャップのフランジと金属製ステムのフランジとの間で電気溶接をすることを特徴とするジャイロパッケージの作製方法が提供される。   According to the present invention, in the gyro package manufacturing method in which the metal cap is positioned and sealed on the metal stem on which the gyro component is mounted, the stem body of the metal stem is formed in a tapered shape, and the taper is formed. There is provided a method of manufacturing a gyro package characterized in that a metal cap is guided and positioned along a cylindrical stem body, and electric welding is performed between the flange of the metal cap and the flange of the metal stem. .

本発明では、金属製ステムのステム胴部をテーパ状に形成したので、金属製キャップを金属製ステムに接合する際に、金属製キャップの内周壁が金属製ステムのテーパ状のステム胴部に案内されるので、たとえその時点で、金属製キャップと金属製ステムとの間に電圧が作用して電気溶接のスパークが発生したとしても、スパークはテーパ状のステム胴部により遮断され、内部に収容されているジャイロ部品に影響を与えることはなくなり、金属製ステムのフランジと金属製キャップのフランジとの接合面にて適切に電気溶接を行うことができる。   In the present invention, since the stem trunk portion of the metal stem is formed in a taper shape, when the metal cap is joined to the metal stem, the inner peripheral wall of the metal cap becomes the tapered stem trunk portion of the metal stem. Even if a voltage is applied between the metal cap and the metal stem and an electric welding spark is generated at that time, the spark is blocked by the tapered stem body, The gyro parts accommodated therein are not affected, and electric welding can be appropriately performed at the joint surface between the flange of the metal stem and the flange of the metal cap.

この場合において、金属製ステムのフランジと金属製キャップのフランジとの接合面の、少なくとも一方に、電気溶接用の突条を設けた場合は、電気溶接の際、この突条の部分に局部的に電流が集中し、この突条に沿って電気溶接が行われる。   In this case, if an electric welding ridge is provided on at least one of the joint surfaces of the flange of the metal stem and the flange of the metal cap, the portion of the ridge is locally applied during the electric welding. The electric current is concentrated on the surface, and electric welding is performed along this protrusion.

また、本発明のジャイロパッケージの作製方法によれば、金属製ステムのステム胴部をテーパ状に形成したので、金属製キャップを金属製ステムに接合する際の電気溶接のスパークが内部に収容されているジャイロ部品に影響を与えることはなくなり、良好な性能のジャイロパッケージを得ることができる。   In addition, according to the gyro package manufacturing method of the present invention, since the stem trunk portion of the metal stem is formed in a tapered shape, an electric welding spark when the metal cap is joined to the metal stem is accommodated therein. The gyro parts are not affected, and a gyro package with good performance can be obtained.

以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図４及び図５は本発明のジャイロパッケージの構造を示す。金属製ステム１０は、ステム胴部１１とそのフランジ１２とが、例えば鉄材によりプレスや鍛造等で一体的に構成され、その表面に電解又は無電解ニッケルにてめっきされ、或いは金などが電解めっきされたものである。ステム胴部１１は、その壁部が周囲のフランジ１２上面に対して内側へテーパ状に傾斜した構造を有する。ステム胴部１１の上面には、前述のように、圧電体からなる振動子、振動子を支持するセラミック等のジャイロ部品（図示せず）が実装されている。符号１６は内部のジャイロ部品に接続される内部電極、符号１７はステム１０の外部へ延びた外部電極を示す。   4 and 5 show the structure of the gyro package of the present invention. In the metal stem 10, the stem body 11 and the flange 12 thereof are integrally formed of, for example, an iron material by pressing or forging, and the surface thereof is plated with electrolytic or electroless nickel, or gold is electrolytically plated. It has been done. The stem body 11 has a structure in which the wall portion is inclined inwardly with respect to the upper surface of the surrounding flange 12. As described above, a gyro component (not shown) such as a vibrator made of a piezoelectric material and a ceramic that supports the vibrator is mounted on the upper surface of the stem body 11. Reference numeral 16 denotes an internal electrode connected to the internal gyro component, and reference numeral 17 denotes an external electrode extending to the outside of the stem 10.

金属製キャップ２０は、周囲フランジ２２とこのフランジの周囲からほぼ垂直に立ち上がり、ステム胴部１１の上面上の搭載される電極１６や圧電素子等の部品（図示せず）を覆うキャップ本体部２１とが、鉄板材によりプレスの深絞り加工等で一体的に形成され、その表面が例えばニッケル等で無電解めっきされたものである。   The metal cap 20 rises substantially vertically from the periphery of the peripheral flange 22 and the periphery of the flange, and the cap main body 21 covers the components (not shown) such as electrodes 16 and piezoelectric elements mounted on the upper surface of the stem body 11. Are integrally formed of an iron plate material by deep drawing of a press or the like, and the surface thereof is electrolessly plated with, for example, nickel or the like.

金属製ステム１０はその平面形状が矩形又は円形であり、金属製キャップ２０もその平面形状は金属製ステム１０の形状に対応した矩形又は円形であり、金属製キャップ２０のキャップ本体部２１の内径の寸法は、金属製ステム１０のテーパ状のステム胴部１１下部の寸法より僅かに大きく形成されている。例えば、キャップ本体部２１の内壁とテーパ状のステム胴部１１下部の隙間が０．５μｍ以上となるようにされる。金属製ステム１０のフランジ１２の上面である、金属製キャップ２０のフランジ２２との接合面に、フランジ１２の電気溶接の際の突条１５が形成されている。この突条５はフランジ１２の全周にわたって形成されている。   The planar shape of the metallic stem 10 is rectangular or circular, and the metallic cap 20 also has a rectangular or circular shape corresponding to the shape of the metallic stem 10, and the inner diameter of the cap main body 21 of the metallic cap 20. These dimensions are slightly larger than the dimensions of the lower portion of the tapered stem body 11 of the metal stem 10. For example, the gap between the inner wall of the cap body 21 and the lower portion of the tapered stem body 11 is set to 0.5 μm or more. On the joint surface with the flange 22 of the metal cap 20, which is the upper surface of the flange 12 of the metal stem 10, a protrusion 15 at the time of electric welding of the flange 12 is formed. The ridge 5 is formed over the entire circumference of the flange 12.

図６は金属製キャップを金属製ステムに案内し且つ位置決めすると共に、金属製キャップのフランジと金属製ステムのフランジとの間で電気溶接をする状態を示す。金属製ステム１０を保持する、上電極を兼ねた治具３０は、金属製ステム１０のフランジ１２の周囲を案内・位置決めするガイド溝３１を有し、このガイド溝３１に沿って金属製ステムが所定位置に保持される。一方、金属製キャップ２０は下電極を兼ねた治具４０によって保持される。そして、金属製キャップ２０を金属製ステム１０に封止する際は、治具３０、４０が相互に接近する方向に上下移動され、金属製キャップ２０のフランジ２２が金属製ステム１０のフランジ１２に接合される。接合と同時に、上電極３０と下電極４０との間に電圧が印加され、これらの間で電気溶接が行われる。この時、金属製ステム１０のフランジ１２に設けてある突条１５には集中的に電流が流れ、この部分が局部的に溶融して両フランジ１２、２２間の電気溶接による封止性がより堅固なものとなる。   FIG. 6 shows a state in which the metal cap is guided and positioned on the metal stem, and electric welding is performed between the flange of the metal cap and the flange of the metal stem. The jig 30 that also serves as an upper electrode that holds the metal stem 10 has a guide groove 31 that guides and positions the periphery of the flange 12 of the metal stem 10, and the metal stem extends along the guide groove 31. Held in place. On the other hand, the metal cap 20 is held by a jig 40 that also serves as a lower electrode. When the metal cap 20 is sealed to the metal stem 10, the jigs 30 and 40 are moved up and down in a direction approaching each other, and the flange 22 of the metal cap 20 is moved to the flange 12 of the metal stem 10. Be joined. Simultaneously with the joining, a voltage is applied between the upper electrode 30 and the lower electrode 40, and electric welding is performed between them. At this time, current flows intensively on the ridge 15 provided on the flange 12 of the metal stem 10, and this portion melts locally, so that the sealing performance by electric welding between the flanges 12 and 22 is further improved. It will be solid.

本発明では、上述のように、金属製ステム１０のステム胴部２１をテーパ状に形成したので、金属製キャップ２０と金属製ステム１０との間で電気溶接をする際の位置決めにおいて、図４のＡで示すように、各種の部品の精度上、作業管理上の誤差等に起因して、或いは、部品間の熱膨張差に起因して、金属製キャップ２０が金属製ステム１０に対して正規の位置から水平方向に位置ずれを生じていたとしても、金属製キャップ２０のキャップ本体２１の内周壁が金属製ステム１０のテーパ状のステム胴部１１に案内されて、その斜面にそって金属製キャップ２０は金属製ステム１０に対して水平方向の正規の位置に修正され、金属製ステム１０のフランジ１１と金属製キャップ２０のフランジ２１との間で適正位置にて電気溶接が行われる。   In the present invention, as described above, since the stem body portion 21 of the metal stem 10 is formed in a tapered shape, in the positioning when the electric welding is performed between the metal cap 20 and the metal stem 10, FIG. As shown by A, due to the accuracy of various parts, due to errors in work management, etc., or due to the difference in thermal expansion between the parts, the metal cap 20 is in relation to the metal stem 10. Even if there is a displacement in the horizontal direction from the normal position, the inner peripheral wall of the cap body 21 of the metal cap 20 is guided by the tapered stem body 11 of the metal stem 10 and along its slope. The metal cap 20 is corrected to a normal position in the horizontal direction with respect to the metal stem 10, and electric welding is performed at an appropriate position between the flange 11 of the metal stem 10 and the flange 21 of the metal cap 20.

また、たとえ、金属製キャップ２０のフランジ２２が金属製ステム１０のテーパ状のステム胴部１１に接触した時点で、上下電極３０、４０間に電圧が印加されて電気溶接のスプラッシュやスパークが発生したと仮定しても、その際に生ずる電気火花等はテーパ状のステム胴部１１によって遮断され、ジャイロパッケージの内部には到達しないため、内部収容されているジャイロ部品（図示せず）に影響を与えることはない。このようにして、金属製キャップ２０のフランジ２２と金属製ステム１０のフランジ１２との間で溶接不良を生ずることなく、ジャイロパッケージは気密に封止される。   For example, when the flange 22 of the metal cap 20 contacts the tapered stem body 11 of the metal stem 10, a voltage is applied between the upper and lower electrodes 30, 40 to generate electric welding splash or spark. Even if it is assumed, since the electric spark generated at that time is blocked by the tapered stem body 11 and does not reach the inside of the gyro package, it affects the gyro parts (not shown) accommodated therein. Never give. In this way, the gyro package is hermetically sealed without causing poor welding between the flange 22 of the metal cap 20 and the flange 12 of the metal stem 10.

なお、上記のように気密封止されたジャイロパッケージの内部は、減圧され、例えば窒素等の希薄な不活性ガスが存在する。   Note that the inside of the gyro package hermetically sealed as described above is decompressed, and a rare inert gas such as nitrogen exists.

以上添付図面を参照して本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の精神ないし範囲内において種々の形態、変形、修正等が可能である。例えば、図示の実施形態では、金属製ステム１０の電気溶接用の突条１５を形成したが、逆に金属製キャップ２０のフランジ２２の、金属製ステム１０のフランジ１２に接合される面に、或いは、金属製ステム１０と金属製キャップ２０の両側にこのような突条１５を形成すること、又は、このような突条１５をいずれかに複数本形成すること等も可能である。   Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various forms, modifications, corrections, and the like are possible within the spirit and scope of the present invention. It is. For example, in the illustrated embodiment, the protrusion 15 for electric welding of the metal stem 10 is formed. Conversely, on the surface of the flange 22 of the metal cap 20 that is joined to the flange 12 of the metal stem 10, Alternatively, it is possible to form such ridges 15 on both sides of the metal stem 10 and the metal cap 20, or to form a plurality of such ridges 15 in any one of them.

本発明では、金属製ステムのステム胴部をテーパ状に形成したので、金属製キャップを金属製ステムに接合する際に、金属製キャップの内周壁が金属製ステムのテーパ状のステム胴部に案内され、金属製ステムのフランジと金属製キャップのフランジとの接合面にて適正位置にて電気溶接が行われる。よって、本発明は、自動車、航空機、船舶等あらゆる移動体のナビ装置におけるジャイロパッケージについて適用可能である。また、本発明はジャイロパッケージに限らず、内部に振動子を有するあらゆるセンサー類又は機器類において、金属製キャップを金属製ステムに対して気密封止するパッケージについて適用可能である。   In the present invention, since the stem trunk portion of the metal stem is formed in a taper shape, when the metal cap is joined to the metal stem, the inner peripheral wall of the metal cap becomes the tapered stem trunk portion of the metal stem. It is guided and electric welding is performed at an appropriate position on the joint surface between the flange of the metal stem and the flange of the metal cap. Therefore, the present invention can be applied to a gyro package in a navigation device of any moving body such as an automobile, an aircraft, and a ship. The present invention is not limited to a gyro package, and can be applied to a package in which a metal cap is hermetically sealed with respect to a metal stem in any sensor or device having a vibrator inside.

図１は従来のジャイロパッケージの構造を示す。FIG. 1 shows the structure of a conventional gyro package. 図２は接合時の従来のジャイロパッケージを示す。FIG. 2 shows a conventional gyro package at the time of joining. 図３はジャイロパッケージの概略を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view schematically showing the gyro package. 図４は本発明の実施形態に係るジャイロパッケージの構造を示す。FIG. 4 shows the structure of the gyro package according to the embodiment of the present invention. 図５は本発明のジャイロパッケージにおいて、金属製キャップを金属製ステムに接合する状態を示す。FIG. 5 shows a state in which the metal cap is joined to the metal stem in the gyro package of the present invention. 図６は本発明のジャイロパッケージにおいて、金属製キャップを金属製ステムに接合する装置の構成の概略を示す。FIG. 6 shows an outline of the configuration of an apparatus for joining a metal cap to a metal stem in the gyro package of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 金属製ステム
１１ ステム胴部
１２ ステムのフランジ
１５ 電気溶接用の突条
２０ 金属製キャップ
２１ キャップ本体
２２ キャップのフランジ
３０、４０ 電極
３１ ガイド溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Metal stem 11 Stem trunk 12 Stem flange 15 Electric welding protrusion 20 Metal cap 21 Cap body 22 Cap flange 30, 40 Electrode 31 Guide groove

Claims (4)

振動部品を搭載した金属製ステムに金属製キャップを位置決めして封止する構造を有する振動部品搭載用パッケージにおいて、金属製ステムのステム胴部をテーパ状に形成し、金属製キャップのフランジと金属製ステムのフランジとの間で電気溶接により接合したことを特徴とする振動部品搭載用パッケージの構造。   In a vibration component mounting package having a structure in which a metal cap is positioned and sealed on a metal stem on which the vibration component is mounted, the stem trunk portion of the metal stem is formed in a tapered shape, and the flange of the metal cap and the metal A structure of a vibration component mounting package characterized by being joined to a flange of a stem made by electric welding. ジャイロ部品を搭載した金属製ステムに金属製キャップを位置決めして封止する構造を有するジャイロパッケージにおいて、金属製ステムのステム胴部をテーパ状に形成し、金属製キャップのフランジと金属製ステムのフランジとの間で電気溶接により接合したことを特徴とするジャイロパッケージの構造。   In a gyro package having a structure in which a metal cap is positioned and sealed on a metal stem on which a gyro component is mounted, the stem body of the metal stem is formed in a tapered shape, and the flange of the metal cap and the metal stem are A gyro package structure characterized by being joined to a flange by electric welding. 金属製ステムのフランジと金属製キャップのフランジの接合面の少なくとも一方に電気溶接用の突条を設けたことを特徴とする請求項１又は２に記載の振動部品搭載用パッケージの構造。   The structure of the package for mounting a vibration component according to claim 1 or 2, wherein a protrusion for electric welding is provided on at least one of the joint surfaces of the flange of the metal stem and the flange of the metal cap. ジャイロ部品を搭載した金属製ステムに金属製キャップを位置決めして封止するジャイロパッケージの作製方法において、金属製ステムのステム胴部をテーパ状に形成し、該テーパ状のステム胴部に沿って金属製キャップを案内且つ位置決めし、金属製キャップのフランジと金属製ステムのフランジとの間で電気溶接をすることを特徴とするジャイロパッケージの作製方法。   In a gyro package manufacturing method in which a metal cap is positioned and sealed on a metal stem on which a gyro component is mounted, the stem trunk portion of the metal stem is formed in a tapered shape, and the tapered stem barrel portion is formed along the tapered stem barrel portion. A method for producing a gyro package, characterized in that a metal cap is guided and positioned, and electric welding is performed between a flange of the metal cap and a flange of the metal stem.
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